JP2022119126A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2022119126A5
JP2022119126A5 JP2021016148A JP2021016148A JP2022119126A5 JP 2022119126 A5 JP2022119126 A5 JP 2022119126A5 JP 2021016148 A JP2021016148 A JP 2021016148A JP 2021016148 A JP2021016148 A JP 2021016148A JP 2022119126 A5 JP2022119126 A5 JP 2022119126A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
support
region
piezoelectric element
piezoelectric
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2021016148A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2022119126A (ja
JP7528804B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2021016148A external-priority patent/JP7528804B2/ja
Priority to JP2021016148A priority Critical patent/JP7528804B2/ja
Application filed filed Critical
Priority to DE112022000948.9T priority patent/DE112022000948T5/de
Priority to PCT/JP2022/003806 priority patent/WO2022168826A1/ja
Priority to CN202280012733.XA priority patent/CN116784020A/zh
Publication of JP2022119126A publication Critical patent/JP2022119126A/ja
Publication of JP2022119126A5 publication Critical patent/JP2022119126A5/ja
Priority to US18/356,487 priority patent/US20230363280A1/en
Priority to JP2024117752A priority patent/JP7772148B2/ja
Publication of JP7528804B2 publication Critical patent/JP7528804B2/ja
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2021016148A 2021-02-03 2021-02-03 圧電素子、圧電装置、および圧電素子の製造方法 Active JP7528804B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021016148A JP7528804B2 (ja) 2021-02-03 2021-02-03 圧電素子、圧電装置、および圧電素子の製造方法
DE112022000948.9T DE112022000948T5 (de) 2021-02-03 2022-02-01 Piezoelektrisches element, piezoelektrische vorrichtung und verfahren zum herstellen eines piezoelektrischen elements
PCT/JP2022/003806 WO2022168826A1 (ja) 2021-02-03 2022-02-01 圧電素子、圧電装置、および圧電素子の製造方法
CN202280012733.XA CN116784020A (zh) 2021-02-03 2022-02-01 压电元件、压电装置及压电元件的制造方法
US18/356,487 US20230363280A1 (en) 2021-02-03 2023-07-21 Piezoelectric element, piezoelectric device, and method for manufacturing piezoelectric element
JP2024117752A JP7772148B2 (ja) 2021-02-03 2024-07-23 圧電素子、圧電装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021016148A JP7528804B2 (ja) 2021-02-03 2021-02-03 圧電素子、圧電装置、および圧電素子の製造方法

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024117752A Division JP7772148B2 (ja) 2021-02-03 2024-07-23 圧電素子、圧電装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2022119126A JP2022119126A (ja) 2022-08-16
JP2022119126A5 true JP2022119126A5 (https=) 2023-01-06
JP7528804B2 JP7528804B2 (ja) 2024-08-06

Family

ID=82741457

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021016148A Active JP7528804B2 (ja) 2021-02-03 2021-02-03 圧電素子、圧電装置、および圧電素子の製造方法
JP2024117752A Active JP7772148B2 (ja) 2021-02-03 2024-07-23 圧電素子、圧電装置

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024117752A Active JP7772148B2 (ja) 2021-02-03 2024-07-23 圧電素子、圧電装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20230363280A1 (https=)
JP (2) JP7528804B2 (https=)
CN (1) CN116784020A (https=)
DE (1) DE112022000948T5 (https=)
WO (1) WO2022168826A1 (https=)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12513467B2 (en) * 2021-12-09 2025-12-30 Skyworks Solutions, Inc. Acoustic resistance improvement in piezoelectric microelectromechanical system microphone using compliant joint
US12549906B2 (en) * 2022-03-31 2026-02-10 Skyworks Solutions, Inc. MEMS sensor with two compliances
CN119183056B (zh) * 2024-11-25 2025-07-22 成都纤声科技有限公司 一种压电mems麦克风及其制备方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58100000U (ja) * 1981-12-26 1983-07-07 クラウン株式会社 音響変換装置
DE69827767T2 (de) 1997-09-08 2006-03-02 Ngk Insulator, Ltd. Gewichtssensor und verfahren zur bestimmung der masse
JP2003207729A (ja) 2002-01-16 2003-07-25 Ricoh Co Ltd 形状可変鏡の製造方法及び光ディスク情報入出力装置
WO2005050836A1 (ja) * 2003-11-19 2005-06-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. 端面反射型弾性表面波装置及びその製造方法
JP4691395B2 (ja) * 2005-05-30 2011-06-01 株式会社日立メディアエレクトロニクス バルク弾性波共振器、バルク弾性波共振器を用いたフィルタ、それを用いた高周波モジュール、並びにバルク弾性波共振器を用いた発振器
JP5250899B2 (ja) 2007-10-16 2013-07-31 船井電機株式会社 携帯電話およびマイクロホンユニット
JP5491080B2 (ja) 2009-06-18 2014-05-14 国立大学法人 東京大学 マイクロフォン
WO2013002847A1 (en) 2011-03-31 2013-01-03 Bakr-Calling, Inc. Acoustic transducer with gap-controlling geometry and method of manufacturing an acoustic transducer
JP6908322B2 (ja) 2016-09-06 2021-07-21 新日本無線株式会社 圧電素子
JP6894719B2 (ja) * 2017-02-21 2021-06-30 新日本無線株式会社 圧電素子
JP2019114958A (ja) 2017-12-25 2019-07-11 第一精工株式会社 電気音響変換器
JP2019161030A (ja) 2018-03-14 2019-09-19 新日本無線株式会社 圧電素子
JP7088314B2 (ja) 2018-12-10 2022-06-21 株式会社村田製作所 圧電トランスデューサ
JP7176678B2 (ja) 2019-02-15 2022-11-22 日清紡マイクロデバイス株式会社 圧電素子
JP2020178109A (ja) 2019-04-23 2020-10-29 新日本無線株式会社 圧電素子
JP7251618B2 (ja) * 2019-05-16 2023-04-04 株式会社村田製作所 圧電デバイスおよび超音波トランスデューサ
JP2021016148A (ja) 2019-07-15 2021-02-12 シャープ株式会社 走査アンテナおよび走査アンテナの製造方法
WO2021095311A1 (ja) 2019-11-13 2021-05-20 株式会社村田製作所 トランスデューサ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100899482B1 (ko) 실리콘 마이크 및 그의 제조 방법
JP4893860B1 (ja) マイクロフォン
JP7359169B2 (ja) 圧電素子、圧電装置、および圧電素子の製造方法
JP2022119126A5 (https=)
JP5382029B2 (ja) マイクロフォンの製造方法
CN110113699B (zh) 一种mems结构的制备方法
CN110149582B (zh) 一种mems结构的制备方法
KR102193337B1 (ko) Mems 구조 및, mems 구조를 갖는 정전 용량형 센서, 압전형 센서, 음향 센서
CN101437188B (zh) 声音换能器以及使用声音换能器的麦克风
CN110113703B (zh) 一种mems结构的制备方法
CN108464017B (zh) 麦克风及麦克风制造方法
JP2024133375A (ja) 圧電素子、圧電装置
TWI880447B (zh) 超聲波震盪子元件以及超聲波換能裝置
CN1968547B (zh) 硅传声器
JP2008085507A (ja) 音響センサ並びにそれを備えた音響モジュール
JP6432372B2 (ja) 音響センサ
US12294831B2 (en) Electroacoustic transducer
KR101760628B1 (ko) 수평 인장 구조의 마이크로폰 및 그 마이크로폰 제조 방법
JP4811035B2 (ja) 音響センサ
JP5007522B2 (ja) 圧電振動子およびその製造方法
JP7718201B2 (ja) 圧電素子
JP2026017787A (ja) 圧電素子、マイクロフォン
TWI697999B (zh) Ｍｅｍｓ裝置及製程
JPWO2022219717A5 (https=)