JPWO2022220229A5 - 光照射装置、露光装置、および露光方法 - Google Patents

Description

本発明の一局面によれば、
ＬＥＤを有する第１光源、および、前記第１光源における前記ＬＥＤから放射されるＬＥＤ光よりも多くの光量を放射する光源で構成された第２光源を備える露光用光源と、
前記第１光源および前記第２光源からの光を露光面に導く光学系具とを備えており、
前記露光用光源は、１回の露光工程中において前記第１光源からの光では不足する場合、前記第１光源からの光に変えて前記第２光源からの光で露光を行い、
１回の露光工程中において、
前記第１光源の発光中に、前記第１光源は前記光学系具の光路上の位置にあり、
前記第２光源の発光中に、前記第１光源は前記光学系具の光路から外れた位置にある
光照射装置が提供される。

本発明の他の局面によれば、
ＬＥＤを有する第１光源、および、前記第１光源における前記ＬＥＤから放射されるＬＥＤ光よりも多くの光量を放射する光源で構成された第２光源を備える露光用光源と、
前記第１光源および前記第２光源からの光を露光面に導く光学系具とを備えており、
前記露光用光源は、１回の露光工程中において前記第１光源からの光では不足する場合、前記第１光源からの光に変えて前記第２光源からの光で露光を行い、
１回の露光工程中において、
前記第２光源の発光中に、前記第２光源は前記光学系具の光路上の位置にあり、
前記第１光源の発光中に、前記第２光源は前記光学系具の光路から外れた位置にある
光照射装置が提供される。

好適には、
前記光学系具は、インテグレータレンズを有している。

本発明の他の局面によれば、
ＬＥＤを有する第１光源と、前記第１光源における前記ＬＥＤから放射されるＬＥＤ光よりも多くの光量を放射する光源で構成された第２光源と、前記第１光源および前記第２光源からの光を露光面に導く光学系具とを用意し、
１回の露光工程中において前記第１光源からの光では不足する場合、前記第１光源からの光に変えて前記第２光源からの光で露光を行い、
１回の露光工程中において、
前記第１光源の発光中に、前記第１光源は前記光学系具の光路上の位置にあり、
前記第２光源の発光中に、前記第１光源は前記光学系具の光路から外れた位置にあるようにする
露光方法が提供される。
さらに、本発明の別の局面によれば、
ＬＥＤを有する第１光源と、前記第１光源における前記ＬＥＤから放射されるＬＥＤ光よりも多くの光量を放射する光源で構成された第２光源と、前記第１光源および前記第２光源からの光を露光面に導く光学系具とを用意し、
１回の露光工程中において前記第１光源からの光では不足する場合、前記第１光源からの光に変えて前記第２光源からの光で露光を行い、
１回の露光工程中において、
前記第２光源の発光中に、前記第２光源は前記光学系具の光路上の位置にあり、
前記第１光源の発光中に、前記第２光源は前記光学系具の光路から外れた位置にあるようにする
露光方法が提供される。

Claims (8)

1. ＬＥＤを有する第１光源、および、前記第１光源における前記ＬＥＤから放射されるＬＥＤ光よりも多くの光量を放射する光源で構成された第２光源を備える露光用光源と、
   前記第１光源および前記第２光源からの光を露光面に導く光学系具とを備えており、
   前記露光用光源は、１回の露光工程中において前記第１光源からの光では不足する場合、前記第１光源からの光に変えて前記第２光源からの光で露光を行い、
   １回の露光工程中において、
   前記第１光源の発光中に、前記第１光源は前記光学系具の光路上の位置にあり、
   前記第２光源の発光中に、前記第１光源は前記光学系具の光路から外れた位置にある
   光照射装置。
2. ＬＥＤを有する第１光源、および、前記第１光源における前記ＬＥＤから放射されるＬＥＤ光よりも多くの光量を放射する光源で構成された第２光源を備える露光用光源と、
   前記第１光源および前記第２光源からの光を露光面に導く光学系具とを備えており、
   前記露光用光源は、１回の露光工程中において前記第１光源からの光では不足する場合、前記第１光源からの光に変えて前記第２光源からの光で露光を行い、
   １回の露光工程中において、
   前記第２光源の発光中に、前記第２光源は前記光学系具の光路上の位置にあり、
   前記第１光源の発光中に、前記第２光源は前記光学系具の光路から外れた位置にある
   光照射装置。
3. 前記光学系具は、インテグレータレンズを有している
   請求項１または２に記載の光照射装置。
4. 前記第１光源または前記第２光源は、前記インテグレータレンズの最大有効面よりも狭い領域を照射するようなっている
   請求項３に記載の光照射装置。
5. 前記第１光源または前記第２光源と前記インテグレータレンズとの間には、アパーチャーが配設されている
   請求項３に記載の光照射装置。
6. 請求項１または２に記載の光照射装置を備える露光装置。
7. ＬＥＤを有する第１光源と、前記第１光源における前記ＬＥＤから放射されるＬＥＤ光よりも多くの光量を放射する光源で構成された第２光源と、前記第１光源および前記第２光源からの光を露光面に導く光学系具とを用意し、
   １回の露光工程中において前記第１光源からの光では不足する場合、前記第１光源からの光に変えて前記第２光源からの光で露光を行い、
   １回の露光工程中において、
   前記第１光源の発光中に、前記第１光源は前記光学系具の光路上の位置にあり、
   前記第２光源の発光中に、前記第１光源は前記光学系具の光路から外れた位置にあるようにする
   露光方法。
8. ＬＥＤを有する第１光源と、前記第１光源における前記ＬＥＤから放射されるＬＥＤ光よりも多くの光量を放射する光源で構成された第２光源と、前記第１光源および前記第２光源からの光を露光面に導く光学系具とを用意し、
   １回の露光工程中において前記第１光源からの光では不足する場合、前記第１光源からの光に変えて前記第２光源からの光で露光を行い、
   １回の露光工程中において、
   前記第２光源の発光中に、前記第２光源は前記光学系具の光路上の位置にあり、
   前記第１光源の発光中に、前記第２光源は前記光学系具の光路から外れた位置にあるようにする
   露光方法。