JP2008004452A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 電子を供給する電子供給源と、
   前記電子供給源によって供給された電子を収束させて、スポット光源領域に照射する電子レンズと、
   前記電子レンズによって照射された電子によって光を発する発光体と、
   負屈折を示す材料で構成された負屈折レンズを含み、前記発光体から発した光を物体に投影する光学系と、
   を有することを特徴とする照明装置。
2. 前記電子供給源は、電子銃または針型電極であることを特徴とする請求項１に記載の照明装置。
3. 前記スポット光源領域の大きさは、発光体の波長で規定される回折限界より小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の照明装置。
4. 前記スポット光源領域の大きさは、1ｎｍより小さいことを特徴とする請求項３に記載の照明装置。
5. 前記電子供給源と前記電子レンズの間に、電子を加速する陽極をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の照明装置。
6. 前記電子供給源と前記電子レンズの間に、電子を偏向する偏向器をさらに備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の照明装置。
7. 前記発光体は導電性を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の照明装置。
8. 電子を供給する電子供給ステップと、
   前記供給された電子を収束させて、スポット光源領域に照射する照射ステップと、
   前記照射ステップによって照射された電子によって光を発する発光ステップと、
   前記発光ステップによる光を、負屈折を示す材料で構成された負屈折レンズを介して、物体に投影するための投影ステップと、
   を有することを特徴とする照明方法。