Patents
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紫外線露光機
JP4414866B2
Japan
Description
translated from
２，２ａ，２ｂ：発光部、
３：電力供給部、
４，４ａ，４ｂ：センサー、
５：制御装置、
６，７：フレキシブルコード、
８：伝送路、
９ａ，９ｂ：ケーブル、
１０ａ，１０ｂ：ケーブル
Claims (3)
Hide Dependent
translated from
- 複数個の紫外線発光ダイオードが発光部に備えられ、
前記発光部が、ワーキングスペース内の任意の位置へ移動可能なように構成されるとともに、照射光の指向角度を自在に変更できるように構成され、
前記紫外線発光ダイオードから照射される紫外線の強度、処理対象物の表面における明るさ、及び、処理対象物の表面温度を測定するセンサーが、前記発光部の近傍に配置され、このセンサーの計測値から、処理対象物に対する紫外線の照射強度、明るさ、及び、温度を一定の範囲内とするために必要な紫外線発光ダイオードの出力条件が算出され、電力供給部へ出力されるように構成されていることを特徴とする紫外線露光機。 - 多数の紫外線発光ダイオードが平面方向へ整列配置されてなる発光部を一つ又は複数有し、処理対象物に対して面露光を行うことができるように構成され、
前記紫外線発光ダイオードから照射される紫外線の強度、処理対象物の表面における明るさ、及び、処理対象物の表面温度を測定するセンサーが、前記発光部の近傍に配置され、このセンサーの計測値から、処理対象物に対する紫外線の照射強度、明るさ、及び、温度を一定の範囲内とするために必要な紫外線発光ダイオードの出力条件が算出され、電力供給部へ出力されるように構成されていることを特徴とする紫外線露光機。 - 前記発光部に配置されているすべての紫外線発光ダイオードの出力をそれぞれ個別に調節できるように構成され、かつ、前記センサーがすべての紫外線発光ダイオードに個別に対応するように構成され、すべての紫外線発光ダイオードの紫外線強度、明るさ、及び、温度を、それぞれ個別に制御できるように構成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の紫外線露光機。