JPWO2021240638A5 - - Google Patents

Description

【０００２】
作業負担を軽減することが困難であるという問題点がある。
［０００６］
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、基板作業装置内において使用される物を基板作業装置に対して搬送する際の作業者の作業負担を軽減することが可能な基板製造システム、自律走行台車および基板製造方法を提供することである。
課題を解決するための手段
［０００７］
上記目的を達成するために、この発明の第１の局面による基板製造システムは、基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインと、実装ラインの基板作業装置において使用される物を搬送する自律走行台車と、自律走行台車に設けられ、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置の内部に搬送するロボットアームと、部品実装装置において部品を供給する複数の部品供給装置を保持する部品供給台車と、を備え、ロボットアームは、部品供給台車が配置される位置とは別個に部品実装装置に設けられた第１の開口と、部品供給台車を部品実装装置から取り外したことにより生じる第２の開口とのうち一方を介して、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置の内部に搬送するように構成されている。
［０００８］
この発明の第１の局面による基板製造システムでは、上記のように、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置の内部に搬送するロボットアームを設ける。これにより、基板作業装置の内部において使用される物（たとえば、ノズル、バックアップピン、廃棄箱、校正治具など）をロボットアームにより搬送することができるので、作業者が基板作業装置に対して物を搬送する作業を行う必要がない。その結果、基板作業装置内において使用される物を基板作業装置に対して搬送する際の作業者の作業負担を軽減することができる。また、作業者により基板作業装置の内部に物を搬送する場合と異なり、基板作業装置の動作を完全に止める必要がない。これにより、基板作業装置による基板製造の効率（生産性）が低下するのを抑制することができる。また、基板作業装置において必要な場合に、ロボットアームにより物を搬送することができるので、基板作業装置内に使用する物を必要な場合に備えて、基板作業装置内に物を保管するための保管スペースを設ける必要がない。これにより、基板作業装置の小型化を図ることができる。また、自律走行台車およびロボットアームにより物を搬送することができるので、複数の基板作業装置において使用する物を共用することができる。
［０００９］
上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、基板作業

【０００３】
装置において使用される物は、基板を支持するバックアップピン、部品を吸着するノズル、部品を廃棄する廃棄箱、および、基板作業装置の校正に用いる校正治具のうち少なくとも１つを含む。このように構成すれば、基板作業装置にバックアップピン、ノズル、廃棄箱、校正治具を搬送する際の作業者の作業負担を軽減することができる。
［００１０］
上記第１の局面による基板製造システムでは、ロボットアームを開口を介して基板作業装置の内部に挿入することができるので、ロボットアームにより基板作業装置の内部に物を容易に搬送することができる。
［００１１］
上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、自律走行台車またはロボットアームに設けられ、基板作業装置の開口の位置を検出するための検出部をさらに備える。このように構成すれば、基板作業装置の開口の位置を精度よく取得することができるので、基板作業装置の開口に対してロボットアームを精度よく挿入することができる。
［００１２］
上記基板作業装置が内部に通じる開口を有する構成の基板製造システムにおいて、好ましくは、基板作業装置の開口は、基板作業装置の前方から基板作業装置の基板を搬送する基板搬送部に向けてロボットアームが挿入されるように設けられている。このように構成すれば、基板作業装置の前方に対して自律走行台車を位置させた状態で、ロボットアームを基板作業装置の前方から内部に対して挿入させて作業を行うことができる。
［００１３］
上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、基板作業装置は、自律走行台車を連結して固定する連結部を有し、ロボットアームは、自律走行台車が基板作業装置の連結部に連結した状態で、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置の内部に搬送するように構成されている。このように構成すれば、自律走行台車を基板作業装置に連結して位置決めすることができるので、ロボットアームを基板作業装置の内部に安定して

【０００４】
挿入することができる。
［００１４］
上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、ロボットアームは、水平方向に沿って伸縮する水平移動部を含む。このように構成すれば、水平移動部を回動することにより伸長する場合と比べて、伸長方向と直交する水平方向において、ロボットアームを回動させるためのスペースを設ける必要がない。これにより、基板作業装置の内部にロボットアームを挿入させるために必要なスペースが大きくなるのを抑制することができる。
［００１５］
この場合、好ましくは、ロボットアームは、上下方向に回動する回動軸を有する上下移動部と、上下移動部に接続された水平移動部と、水平移動部に接続され、水平方向に回動する水平回動部と、水平回動部に接続され、先端に異なる種類のハンドを着脱可能なハンド保持部と、を含む。このように構成すれば、ロボットアームのハンド保持部に保持されたハンドを、上下方向および水平方向に移動および回動させることができる。また、ロボットアームにより搬送する物に適したハンドをハンド保持部に取り付けた状態で物を搬送することができる。
［００１６］
上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、自律走行台車に設けられ、基板作業装置において使用される複数種類の物を載置する載置部をさらに備える。このように構成すれば、自律走行台車により、複数種類の物を搬送して基板作業装置に供給することができる。
［００１７］
上記第１の局面による基板製造システムにおいて、好ましくは、ロボットアームは、自律走行台車の走行時において、動かないように自律走行台車に対して固定されている。このように構成すれば、自律走行台車の走行時においてロボットアームが動くのを抑制することができる。
［００１８］
この場合、好ましくは、ロボットアームを、自律走行台車の走行時において、動かないように自律走行台車に対して固定する移動規制部材をさらに備える。このように構成すれば、移動規制部材によりロボットアームを自律走行台車に安定して固定することができる。
［００１９］
上記第１の局面による基板製造システムでは、

【０００５】
部品供給台車を取り外したことにより生じる開口からロボットアームを部品実装装置の内部に挿入することができるので、専用の開口を設ける必要がない。これにより、既存の部品実装装置に対して、ロボットアームにより物を供給することができる。
［００２０］
この発明の第２の局面による自律走行台車は、基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインの基板作業装置において使用される物を搬送する自律走行台車本体と、自律走行台車本体に設けられ、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置の内部に搬送するロボットアームと、を備え、ロボットアームは、部品実装装置において部品を供給する複数の部品供給装置を保持する部品供給台車が配置される位置とは別個に部品実装装置に設けられた第１の開口と、部品供給台車を部品実装装置から取り外したことにより生じる第２の開口とのうち一方を介して、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置の内部に搬送するように構成されている。
［００２１］
この発明の第２の局面による自律走行台車では、上記のように、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置の内部に搬送するロボットアームを設ける。これにより、基板作業装置の内部において使用される物をロボットアームにより搬送することができるので、作業者が基板作業装置に対して物を搬送する作業を行う必要がない。その結果、基板作業装置内において使用される物を基板作業装置に対して搬送する際の作業者の作業負担を軽減することが可能な自律走行台車を提供することができる。また、作業者により基板作業装置の内部に物を搬送する場合と異なり、基板作業装置の動作を完全に止める必要がない。これにより、基板作業装置による基板製造の効率（生産性）が低下するのを抑制することができる。また、基板作業装置において必要な場合に、ロボットアームにより物を搬送することができるので、基板作業装置内に使用する物を必要な場合に備えて、基板作業装置内に物を保管するための保管スペースを設ける必要がない。これにより、基板作業装置の小型化を図ることができる。また、自律走行台車およびロボットアーム

【０００６】
により物を搬送することができるので、複数の基板作業装置において使用する物を共用することができる。
［００２２］
上記第２の局面による自律走行台車において、好ましくは、基板作業装置において使用される物は、基板を支持するバックアップピン、部品を吸着するノズル、部品を廃棄する廃棄箱、および、基板作業装置の校正に用いる校正治具のうち少なくとも１つを含む。このように構成すれば、基板作業装置にバックアップピン、ノズル、廃棄箱、校正治具を搬送する際の作業者の作業負担を軽減することができる。
［００２３］
この発明の第３の局面による基板製造方法は、基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインにおける基板製造方法であって、実装ラインの基板作業装置において使用される物を自律走行台車により搬送し、自律走行台車に設けられたロボットアームにより、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置の内部に搬送し、ロボットアームにより、部品実装装置において部品を供給する複数の部品供給装置を保持する部品供給台車が配置される位置とは別個に部品実装装置に設けられた第１の開口と、部品供給台車を部品実装装置から取り外したことにより生じる第２の開口とのうち一方を介して、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置の内部に搬送する。
［００２４］
この発明の第３の局面による基板製造方法では、上記のように、ロボットアームにより、基板作業装置において使用される物を、基板作業装置の内部に搬送する。これにより、作業者が基板作業装置に対して物を搬送する作業を行う必要がない。その結果、基板作業装置内において使用される物を基板作業装置に対して搬送する際の作業者の作業負担を軽減することが可能な基板製造方法を提供することができる。また、作業者により基板作業装置の内部に物を搬送する場合と異なり、基板作業装置の動作を完全に止める必要がない。これにより、基板作業装置による基板製造の効率（生産性）が低下するのを抑制することができる。また、基板作業装置において必要な場合に、ロボットアームにより物を搬送することができるので、基板作業装置内に使用する物を必要な場合に備えて、基板作業装置内に物を保管するための保管スペースを設ける必要がない。これにより、基板作業装置の小型化を図ることができる。また、自律走行台車およびロボットアームにより物を搬送することができるので、複数の基板作業装置において使用する物を共用することができる。

Claims (15)

1. 基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインと、
   前記実装ラインの前記基板作業装置において使用される物を搬送する自律走行台車と、
   前記自律走行台車に設けられ、前記基板作業装置において使用される物を、前記基板作業装置の内部に搬送するロボットアームと、
   前記部品実装装置において部品を供給する複数の部品供給装置を保持する部品供給台車と、を備え、
   前記ロボットアームは、前記部品供給台車が配置される位置とは別個に前記部品実装装置に設けられた第１の開口と、前記部品供給台車を前記部品実装装置から取り外したことにより生じる第２の開口とのうち一方を介して、前記基板作業装置において使用される物を、前記基板作業装置の内部に搬送するように構成されている、基板製造システム。
2. 前記基板作業装置において使用される物は、基板を支持するバックアップピン、部品を吸着するノズル、部品を廃棄する廃棄箱、および、前記基板作業装置の校正に用いる校正治具のうち少なくとも１つを含む、請求項１に記載の基板製造システム。
3. （削除）
4. 前記自律走行台車または前記ロボットアームに設けられ、前記基板作業装置の前記開口の位置を検出するための検出部をさらに備える、請求項１または２に記載の基板製造システム。
5. 前記基板作業装置の前記開口は、前記基板作業装置の前方から前記基板作業装置の基板を搬送する基板搬送部に向けて前記ロボットアームが挿入されるように設けられている、請求項４に記載の基板製造システム。
6. 前記基板作業装置は、前記自律走行台車を連結して固定する連結部を有し、
   前記ロボットアームは、前記自律走行台車が前記基板作業装置の前記連結部に連結した状態で、前記基板作業装置において使用される物を、前記基板作業装置の内部に搬送するように構成されている、請求項１、２、４、５のいずれか１項に記載の基板製造システム。
7. 前記ロボットアームは、水平方向に沿って伸縮する水平移動部を含む、請求項１、２、４～６のいずれか１項に記載の基板製造システム。
8. 前記ロボットアームは、上下方向に回動する回動軸を有する上下移動部と、前記上下移動部に接続された前記水平移動部と、前記水平移動部に接続され、水平方向に回動する水平回動部と、前記水平回動部に接続され、先端に異なる種類のハンドを着脱可能なハンド保持部と、を含む、請求項７に記載の基板製造システム。
9. 前記自律走行台車に設けられ、前記基板作業装置において使用される複数種類の物を載置する載置部をさらに備える、請求項１、２、４～８のいずれか１項に記載の基板製造システム。
10. 前記ロボットアームは、前記自律走行台車の走行時において、動かないように前記自律走行台車に対して固定されている、請求項１、２、４～９のいずれか１項に記載の基板製造システム。
11. 前記ロボットアームを、前記自律走行台車の走行時において、動かないように前記自律走行台車に対して固定する移動規制部材をさらに備える、請求項１０に記載の基板製造システム。
12. （削除）
13. 基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインの前記基板作業装置において使用される物を搬送する自律走行台車本体と、
    前記自律走行台車本体に設けられ、前記基板作業装置において使用される物を、前記基板作業装置の内部に搬送するロボットアームと、を備え、
    前記ロボットアームは、前記部品実装装置において部品を供給する複数の部品供給装置を保持する部品供給台車が配置される位置とは別個に前記部品実装装置に設けられた第１の開口と、前記部品供給台車を前記部品実装装置から取り外したことにより生じる第２の開口とのうち一方を介して、前記基板作業装置において使用される物を、前記基板作業装置の内部に搬送するように構成されている、自律走行台車。
14. 前記基板作業装置において使用される物は、基板を支持するバックアップピン、部品を吸着するノズル、部品を廃棄する廃棄箱、および、前記基板作業装置の校正に用いる校正治具のうち少なくとも１つを含む、請求項１３に記載の自律走行台車。
15. 基板に部品を実装する部品実装装置を含む基板作業装置を複数含む実装ラインにおける基板製造方法であって、
    前記実装ラインの前記基板作業装置において使用される物を自律走行台車により搬送し、
    前記自律走行台車に設けられたロボットアームにより、前記基板作業装置において使用される物を、前記基板作業装置の内部に搬送し、
    前記ロボットアームにより、前記部品実装装置において部品を供給する複数の部品供給装置を保持する部品供給台車が配置される位置とは別個に前記部品実装装置に設けられた第１の開口と、前記部品供給台車を前記部品実装装置から取り外したことにより生じる第２の開口とのうち一方を介して、前記基板作業装置において使用される物を、前記基板作業装置の内部に搬送する、基板製造方法。