JPWO2021210087A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2021210087A5
JPWO2021210087A5 JP2022514912A JP2022514912A JPWO2021210087A5 JP WO2021210087 A5 JPWO2021210087 A5 JP WO2021210087A5 JP 2022514912 A JP2022514912 A JP 2022514912A JP 2022514912 A JP2022514912 A JP 2022514912A JP WO2021210087 A5 JPWO2021210087 A5 JP WO2021210087A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mesh
holder
information
image data
analysis system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2022514912A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP7322284B2 (ja
JPWO2021210087A1 (https=
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2020/016525 external-priority patent/WO2021210087A1/ja
Publication of JPWO2021210087A1 publication Critical patent/JPWO2021210087A1/ja
Publication of JPWO2021210087A5 publication Critical patent/JPWO2021210087A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7322284B2 publication Critical patent/JP7322284B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2022514912A 2020-04-15 2020-04-15 搬送装置および解析システム Active JP7322284B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2020/016525 WO2021210087A1 (ja) 2020-04-15 2020-04-15 搬送装置および解析システム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2021210087A1 JPWO2021210087A1 (https=) 2021-10-21
JPWO2021210087A5 true JPWO2021210087A5 (https=) 2023-01-10
JP7322284B2 JP7322284B2 (ja) 2023-08-07

Family

ID=78083575

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022514912A Active JP7322284B2 (ja) 2020-04-15 2020-04-15 搬送装置および解析システム

Country Status (5)

Country Link
US (1) US12586751B2 (https=)
JP (1) JP7322284B2 (https=)
KR (1) KR102734341B1 (https=)
TW (2) TWI745250B (https=)
WO (1) WO2021210087A1 (https=)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7322284B2 (ja) * 2020-04-15 2023-08-07 株式会社日立ハイテク 搬送装置および解析システム
JP7842907B2 (ja) * 2023-01-31 2026-04-08 株式会社日立ハイテク 搬送方法、搬送装置および解析システム
WO2024257241A1 (ja) * 2023-06-13 2024-12-19 株式会社日立ハイテク 搬送容器

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58169762A (ja) * 1982-03-30 1983-10-06 Internatl Precision Inc 電子線装置
JPS61101945A (ja) 1984-10-24 1986-05-20 Hitachi Ltd 電子顕微鏡の試料ホルダ−
US5783830A (en) * 1996-06-13 1998-07-21 Hitachi, Ltd. Sample evaluation/process observation system and method
JPH1064473A (ja) 1996-06-13 1998-03-06 Hitachi Ltd 試料評価・処理観察システム
NL1022426C2 (nl) * 2003-01-17 2004-07-26 Fei Co Werkwijze voor het vervaardigen en transmissief bestralen van een preparaat alsmede deeltjes optisch systeem.
JP4636897B2 (ja) * 2005-02-18 2011-02-23 株式会社日立ハイテクサイエンスシステムズ 走査電子顕微鏡
JP4923716B2 (ja) * 2006-05-11 2012-04-25 株式会社日立製作所 試料分析装置および試料分析方法
JP4205122B2 (ja) * 2006-07-19 2009-01-07 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線加工装置
JP5410286B2 (ja) 2006-10-20 2014-02-05 エフ・イ−・アイ・カンパニー S/temのサンプルを作成する方法およびサンプル構造
JP5250470B2 (ja) * 2009-04-22 2013-07-31 株式会社日立ハイテクノロジーズ 試料ホールダ,該試料ホールダの使用法、及び荷電粒子装置
JP2011080869A (ja) 2009-10-07 2011-04-21 Bridgestone Corp 試験片の観察用メッシュ及び試験片の観察方法
JP5476115B2 (ja) 2009-12-21 2014-04-23 日本電子株式会社 グリッドを用いた試料ホルダ
JP5930922B2 (ja) 2012-09-14 2016-06-08 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置及び試料観察方法
US9601305B2 (en) 2013-11-11 2017-03-21 Howard Hughes Medical Institute Specimen sample holder for workpiece transport apparatus
JP6711655B2 (ja) * 2016-03-18 2020-06-17 株式会社日立ハイテクサイエンス 集束イオンビーム装置
JP6636839B2 (ja) * 2016-03-28 2020-01-29 株式会社日立ハイテクサイエンス 試料ホルダー、集束イオンビーム装置
DE112016006484B4 (de) * 2016-03-31 2022-02-03 Hitachi, Ltd. Ladungsträgerstrahlvorrichtung sowie Steuerverfahren
CN111033676B (zh) * 2017-09-04 2022-08-30 株式会社日立高新技术 带电粒子线装置
JP2019145304A (ja) * 2018-02-20 2019-08-29 株式会社日立ハイテクサイエンス 荷電粒子ビーム装置、荷電粒子ビーム装置のステージ駆動範囲制限方法およびプログラム
WO2019207707A1 (ja) * 2018-04-26 2019-10-31 株式会社日立ハイテクノロジーズ 荷電粒子線装置
DE112018007565B4 (de) * 2018-07-02 2024-02-08 Hitachi High-Tech Corporation Rasterelektronenmikroskop
JP7212592B2 (ja) * 2019-07-12 2023-01-25 株式会社荏原製作所 調整方法及び電子線装置
US12347707B2 (en) * 2020-02-27 2025-07-01 Hitachi High-Tech Corporation Semiconductor analysis system
JP7322284B2 (ja) * 2020-04-15 2023-08-07 株式会社日立ハイテク 搬送装置および解析システム
JP2025101945A (ja) 2023-12-26 2025-07-08 株式会社クボタ 作業車両

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3259908B1 (en) Image-based tray alignment and tube slot localization in a vision system
JPWO2021210087A5 (https=)
EP3499178B1 (en) Image processing system, image processing program, and image processing method
CN110073171A (zh) 对漆膜的厚度分布执行可视化测量的方法及其设备
CN104254757A (zh) 图像处理系统、图像处理方法以及图像处理程序
TWI765830B (zh) 搬運裝置及解析系統
JP6383707B2 (ja) 撮影画像のずれ補正装置、撮影画像のずれ補正方法および撮影画像のずれ補正プログラム
JP2012002680A (ja) センサ出力データの補正装置及びセンサ出力データの補正方法
CN108702867B (zh) 安装装置及拍摄处理方法
WO2021044549A1 (ja) 位置推定方法、位置推定システム、及び位置推定装置
CN111062920A (zh) 用于生成半导体检测报告的方法及装置
JP6196684B2 (ja) 検査装置
JP2013003218A (ja) 撮像装置およびその制御方法
JP6913615B2 (ja) 鉄道車両の外観検査装置及びその設定方法
JP2006275780A (ja) パターン検査方法
CN113190013A (zh) 控制终端运动的方法和装置
US11794234B2 (en) Processing apparatus, processing system, and non-transitory computer readable medium storing program
JPH11121589A (ja) 搬送方法および搬送装置、および露光装置
EP3499408B1 (en) Image processing system and image processing program
JP5570588B2 (ja) 映像センタリング方法
CN111447366B (zh) 运输方法、运输装置、电子装置及计算机可读存储介质
JPWO2024161507A5 (https=)
JP6225719B2 (ja) 真直度測定装置、真直度測定方法、およびプログラム
CN113870363B (zh) 一种多目测距设备参数标定方法
JP7059872B2 (ja) 移動式マニピュレータ、移動ロボット、サーバ、および移動式マニピュレータシステム