JP7212592B2 - 調整方法及び電子線装置 - Google Patents

Description

本発明は、電子線の経路を調整する調整方法及び電子線装置に関する。

＜電子線を用いた光学系の構成部品とその配置に関する許容値＞
電子線を対象物に照射する電子線装置（例えば、電子顕微鏡、電子線を用いた対象物の検査装置など）では、磁場レンズ・静電レンズ・ウィーンフィルター・スキャン電極等の光学系の構成部品が配置されて使用されている。電子線に対して上記構成部品（例えば、磁場レンズまたは静電レンズ）の位置ずれが大きいと、収差等の成分が大きくなり、像の歪、ボケにつながる。電子線に対する上記レンズの許容軸芯精度は数μｍである。

＜電子線を用いた光学系の機械的構造＞
電子線を発生させ使用するためには、電子線の経路は真空である必要がある。そのため、電子線の経路は大気圧から仕切られた空間でなければならないので、通常電子線の経路は、金属チャンバの内部に用意されている。これは、真空排気装置によるチャンバ内部の真空排気によって実現される。

特開２０１６－３５８００号公報

裏克己著 「電子・イオンビーム光学」、共立出版株式会社、１９９４年

仮に電子源と電子線を運用するために使用する構成機器の形状が金属チャンバの内側の形状と同じとし、それぞれの形状のサイズが同じとする。ここで、仮に各構成機器の外周の中心と内周の中心が同一であれば、上記構成の場合すべて軸ずれが０ｍｍとなる。
ここで、各種構成機器は様々な材料を加工することにより作られている。各構成機器が様々な材料の加工により作られているので、加工精度が軸芯精度に影響する。通常での機械加工における公差寸法は数十μmから数百μmの公差にて製作されている。従って各構成機器の加工精度の分だけ軸ずれが発生し、これを数μmに収めることはできない。

この問題に対して、軸ずれの修正をするためにアライナ電極を配置することが考えられる。その際に、構成部品の前にアライナ電極を、複数配置することで構成部品に対する入射角を調整する事も可能である。

電子線の軸ずれの修正として、例えば特許文献１には、機械的軸調整の後に電気的軸調整を行い、それを繰り返すことが開示されている。

＜電子線を用いた光学系の組立構造＞
一方、多数の光学系の要素をくみ上げる場合は軸芯精度がある程度保たれるように、冷やしハメ、焼きハメやすきまバメが用いられている。これを実施する理由としては、アライナ電極による位置修正の度合いは、電極の大きさや電極に印加する電圧・電流の量により制限され、製造誤差すべてをアライナにて吸収する場合、装置が巨大になる可能性があるためである。

（１）ユニット組立構造に用いる手法その１（冷やしハメや焼きハメを利用する方法）
内部構造物を冷やすことで縮小させる、または、外部構造物を焼くことで膨張させて、はめ込むものである。
（２）ユニット組立構造に用いる手法その２（すきまバメを利用する方法）
連結する先のユニットの隙間にはめ込むものである。
（３）ユニット組立構造に使用する手法その３（すきまバメを用いた位置決めピンの使用）
連結する先のユニットの隙間にはめ込む際に、位置決めピンを連結する先のユニットの溝にはめ込むものである。

上述のように、機械工作時に発生した部品の公差によるずれを、組立時の冷やしハメ・焼きハメ・隙間公差によるはめ込み・位置決めピン等を用いて極力少なくし、それでも吸収できないものについては、アライナ電極を使用して光軸調整を実施することが考えられる。

ここで、アライナ電極を使用して電子線の光軸のずれを修正する際には、レンズの条件を変更しても電子線の検出器への入射位置もしくは検出器で撮像された電子線の像（スポットともいう）の位置が変化しないように、アライナ電極それぞれの電圧を調整する必要がある。しかしながら、この調整は難しく時間がかかるという問題があった。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、電子線装置における電子線の光軸のずれの調整を容易化することを可能とする調整方法及び電子線装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係る調整方法は、少なくとも一つのレンズと少なくとも一つのアライナ電極とを有するユニットを少なくとも一つと、電子線を検出する検出器を備える電子線装置を通る電子線の経路を調整する調整方法であって、三次元測定機を用いて、電子線装置を構成するユニット毎の組立公差を測定するステップと、ユニット毎の組立公差を考慮して、少なくとも一つの前記レンズの中心を通るように、当該レンズの位置における電子線のシフト量を決定するステップと、前記電子線のシフト量が前記決定されたシフト量になるよう、各ユニットが備えるアライナ電極それぞれの電極条件を決定するステップと、前記アライナ電極それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にするステップと、を有する。

この構成によれば、電子線の経路が前記シミュレーションされた経路になるよう、各ユニットが備えるアライナ電極それぞれの電極条件を決定することによって、アライナ電極の電極条件がほぼ調整されるので、人手による調整は微調整で済ますことができる。このため、電子線装置における電子線の光軸のずれの調整を容易化することができる。

ここで、前記アライナ電極それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にした後に、前記レンズそれぞれの条件を変更しても電子線の前記検出器で得られる像が変化しないように、アライナ電極それぞれの電極条件を調整するステップを更に有してもよい。

ここで、前記アライナ電極が電界アライナの場合、前記レンズの位置における電子線のシフト量とアライナ電極の電極間の電圧との対応関係が予め定められており、前記電極条件を決定するステップにおいて、前記レンズの位置における電子線のシフト量を当該対応関係に適用することにより、アライナ電極の電極間の電圧を前記電極条件として決定してもよい。

あるいは、前記アライナ電極が磁界アライナの場合、前記レンズの位置における電子線のシフト量とアライナ電極に印加する電流との対応関係が予め定められており、前記電極条件を決定するステップにおいて、前記レンズの位置における電子線のシフト量を当該対応関係に適用することにより、アライナ電極に印加する電流を前記電極条件として決定してもよい。

本発明の一態様に係る電子線装置は、少なくとも一つのレンズと少なくとも一つのアライナ電極とを有するユニットを少なくとも一つと、電子線を検出する検出器と、三次元測定機を用いて測定された電子線装置を構成するユニット毎の組立公差を考慮して、少なくとも一つの前記レンズの中心を通るように、当該レンズの位置における電子線のシフト量を決定し、前記電子線のシフト量が前記決定されたシフト量になるよう、各ユニットが備えるアライナ電極それぞれの電極条件を決定し、前記アライナ電極それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にするよう制御する制御器と、を備えてもよい。

本発明の一態様によれば、電子線の経路がシミュレーションされた経路になるよう、各ユニットが備えるアライナ電極それぞれの電極条件を決定することによって、アライナ電極の電極条件がほぼ調整されるので、人手による調整は微調整で済ますことができる。このため、電子線装置における電子線の光軸のずれの調整を容易化することができる。

電子線装置の２次光学系の概略構成を示す図である。 電子線装置の第１のユニットの概略構成図である。 筒部材１１とレンズの内縁１５の位置関係の例を模式的に示した図である。 電子線装置の第２のユニットの概略構成図である。 筒部材２１とレンズ２５の内縁の位置関係を模式的に示した図である。 第１のユニットと第２のユニットが組み立てられた図である。 本実施形態に係る電子線の経路の調整方法の流れの一例を示すフローチャートである。 比較例に係る電子線装置の一部の構成を示す概略図である。 比較例において、電流測定用アパーチャに流れる電流値と第２アライナ電極の電圧との関係を示すグラフである。 軸ずれしている場合の電子線のスポット位置と、軸ずれを調整した後の電子線のスポット位置とを比較する図である。

以下、各実施形態について、図面を参照しながら説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。

本実施形態について説明する前に、本実施形態に係る課題を明確にするために、比較例に係る電子線の光軸の調整方法について説明する。
＜比較例＞
図６は、比較例に係る電子線装置の一部の構成を示す概略図である。図６に示すように、比較例に係る電子線装置は、中空の円柱状の筒部材１０１と、筒部材１０１の内側に嵌め込まれた中空の円柱状の筒部材１０２と、筒部材１０２の内周に固定された第１アライナ電極１０３と、筒部材１０２の内周に固定された第２アライナ電極１０４と、レンズ１０５と、電流測定用アパーチャ１０６と、電流測定用アパーチャ１０６に接続された電流計１０７とを備える。

第１アライナ電極１０３または第２アライナ電極１０４に電圧をかけることによって、電子線の軌道を変えることができる。レンズ１０５は、静電レンズまたは磁場レンズである。電流計１０７は、電流測定用アパーチャ１０６に流れる電流を測定する。破線の矢印Ａ４は、電子線の経路を表す。

図７は、比較例において、電流測定用アパーチャ１０６に流れる電流値と第２アライナ電極の電圧との関係を示すグラフである。図７のグラフは、縦軸が電流計１０７で計測された電流測定用アパーチャ１０６に流れる電流値で、横軸が第２アライナ電極の電圧値である。図７には、第１アライナ電極及び第２アライナ電極を用いた場合の関係を示す曲線Ｗ１と、第２アライナ電極のみを用いた場合の関係を示す曲線Ｗ２が示されている。

比較例に係る電子線の光軸調整は実際に電子線を出して、それにより得られる情報で軸調整を実施する。
具体的には、まず電流計が電流測定用アパーチャ１０６に流れる電流を計測し、計測された電流プロファイルから電子線の中心を割り出す。その際、例えば、電流計にて測定される電流値を図７に示すようにグラフ化する。
次に、検出器（例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）などのカメラ）によって撮像されて得られた電子線の画像を使用して、レンズ１０５の変化による電子線の像（スポット）の位置変化を確認しながら、電子線のスポットの中心位置が変化しないように、第１アライナ電極１０３及び第２アライナ電極１０４の電圧を調整する。

図８は、軸ずれしている場合の電子線のスポット位置と、軸ずれを調整した後の電子線のスポット位置とを比較する図である。図８の上側のグラフは、軸ずれしている場合の電子線のスポット位置を示している。図８の上側のグラフに示すように、レンズ１０５の条件を変更させると、軸ずれしている場合は電子線の軌道が変わるので、電子線のスポットＰ１１～Ｐ１３の中心位置が変わる。

一方、図８の下側のグラフは、軸ずれを調整した後の電子線のスポット位置を示している。図８の下側のグラフに示すように、レンズ１０５の条件を変更させても、電子線のスポットＰ２１～Ｐ２３の中心位置が変化しないように、第１アライナ電極１０３及び第２アライナ電極１０４の電圧を調整する。しかしながら、この調整は難しく時間がかかるという問題がある。これに対し、本実施形態は、電子線装置における電子線の光軸のずれの調整を容易化する。

＜本実施形態＞
図１は、電子線装置の２次光学系の概略構成を示す図である。図１に示すように、電子線装置１は、アライナ電極１３、アライナ電極１４、レンズ１５、アライナ電極１６、アライナ電極１７、レンズ２５、アライナ電極２６、アライナ電極２７、電流測定用アパーチャ２８、検出器６１、及び制御器７１を備える。電流計３１が電流測定用アパーチャ２８に接続されており、電流測定用アパーチャ２８に流れる電流を測定する。

アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７に電圧をかけることによって、電子線の軌道を変えることができる。レンズ１５、２５は例えば磁場レンズである。電子線の光軸を調整する場合には、図１に示すように、支持部材５２に光電部材５１を配置する。そして、レーザ４１を矢印Ａ１に示すように、光電部材５１の裏面から照射すると、矢印Ａ２に示すように光電部材５１の表面から電子線が出射される。

検出器６１は、２次光学系７４により導かれた電子を検出する手段である。検出器６１は、その表面に複数のピクセルを有する。検出器６１には、種々の二次元型センサを適用することができる。例えば、検出器６１には、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）及びＴＤＩ（Time Delay Integration）－ＣＣＤが適用されてよい。これらは、電子を光に変換してから信号検出を行うセンサである。そのため、光電変換等の手段が必要である。よって、光電変換やシンチレータを用いて、電子が光に変換される。光の像情報は、光を検知するＴＤＩに伝達される。こうして電子が検出される。本実施形態では検出器６１は一例としてＣＣＤカメラであるものとして説明する。制御器７１は例えば、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７に印可する電圧または電流を制御する。制御器７１は例えば、検出器６１に接続されており、検出器６１によって検出された検出信号を取得可能である。

図２Ａは、電子線装置の第１のユニットの概略構成図である。第１のユニットは、中空の円柱状の筒部材１１と、筒部材１１の内側に嵌め込まれた中空の円柱状の筒部材１２と、筒部材１２の内周に固定されたアライナ電極１３、１４、１６、１７と、筒部材１２の内周に固定されたレンズ１０５とを備える。

筒部材１１に筒部材１２を嵌め込む際に、組立公差が生じる。この組立公差を、三次元測定機を用いて測定すると、筒部材１１の中心Ｐ０から、レンズ１５の中心がＸ方向とＹ方向にどれだけずれているかを示すずれ量が測定される。図２Ｂは、図２Ａに示すように、レンズ１５の中心が筒部材１１の中心Ｐ０からＸ方向に－０．００１ｍｍ、Ｙ方向に０．００１ｍｍずれている場合において、筒部材１１とレンズ１５の内縁の位置関係を模式的に示した図である。この例の場合図２Ｂに示すように、筒部材１１の中心Ｐ０に対して、レンズ１５の中心は、左下にずれている。このため、電子線の軌道をレンズ１５の中心を通るように調整する必要がある。

図３Ａは、電子線装置の第２のユニットの概略構成図である。第２のユニットは、中空の円柱状の筒部材２１と、筒部材２１の内側に嵌め込まれた中空の円柱状の筒部材２２と、筒部材２２の内周に固定された位置決め部材２３と、位置決め部材２３に連結された支持部材２４と、支持部材２４の内周に固定されたレンズ２５と、支持部材２４の内周に固定されたアライナ電極２６、２７と、支持部材２４の内周に固定された電流測定用アパーチャ２８とを備える。

筒部材２１に筒部材２２を嵌め込む際、位置決め部材２３を筒部材２２に固定する際、位置決め部材２３に支持部材２４を連結する際に組立公差が生じる。この組立公差を、三次元測定機を用いて測定すると、筒部材２１の中心Ｐ１から、レンズ２５の中心がＸ方向とＹ方向にどれだけずれているかを示すずれ量が測定される。図３Ｂは、図３Ａに示すように、レンズ２５の中心が筒部材２１の中心Ｐ１からＸ方向に０．００１ｍｍ、Ｙ方向に０．００１ｍｍずれている場合において、筒部材２１とレンズ２５の内縁の位置関係を模式的に示した図である。この例の場合図３Ｂに示すように、筒部材２１の中心Ｐ１に対して、レンズ２５の中心は、右上にずれている。このため、電子線の軌道をレンズ２５の中心を通るように調整する必要がある。

図４は、第１のユニットと第２のユニットが組み立てられた図である。図４の矢印Ａ３は、筒部材１１の中心及び筒部材２１の中心を通すようにした場合の電子線の経路を表す。このように、筒部材１１の中心及び筒部材２１の中心を通す電子線の経路をシミュレーションする。そして、この電子線の経路を実現するように、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７の電圧値を決定する。その後、比較例と同様に、検出器６１によって撮像されて得られた電子線の画像を使用して、レンズ１５、２５の変化による電子線の像（スポット）の位置変化を確認しながら、電子線のスポットの中心位置が変化しないように、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７の電圧値を調整する。

図５は、本実施形態に係る電子線の経路の調整方法の流れの一例を示すフローチャートである。
（ステップＳ１）まず、三次元測定機を用いて、ユニットごとの組立公差を測定する。

（ステップＳ２）次に、電子線がレンズ１５の中心及びレンズ２５の中心を通るように電子線の経路をシミュレーションする。換言すれば、電子線がレンズ１５の中心及びレンズ２５の中心を通るように、レンズ１５の位置及びレンズ２５の位置における電子線のシフト量を決定する。ここで、基準位置に対するシフト量が、三次元測定機で測定した結果である組立公差に出ているので、この組立公差の値を利用してレンズ１５の位置及びレンズ２５の位置における電子線のシフト量を決定する。例えば図２Ａの場合、レンズ１５の中心がＸ方向に－０．００１ｍｍずれているので、レンズ１５の中心を電子線が通過できるように、レンズ１５の位置における電子線のＸ方向のシフト量で組立公差を相殺するよう、レンズ１５の位置における電子線のシフト量を決定する。図２Ａの場合、レンズ１５の位置における電子線のＸ方向のシフト量は＋０．００１ｍｍである。同様に、図２Ａの場合、レンズ１５の位置における電子線のＹ方向のシフト量は＋０．００１ｍｍである。

そしてこの電子線のシフト量を実現するように、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７の電極条件を決定する。ここで電極条件は、例えばアライナ電極が電界アライナの場合はアライナ電極に印加する電圧値であり、例えば磁界アライナの場合は磁界アライナに含まれるコイルに流す電流量である。

例えば、レンズ１５までのアライナ電極が１段の場合（例えば、図２Ａにおいてアライナ電極１４がなくアライナ電極１３のみの場合）について、決定されたシフト量の分、レンズの位置において電子線がシフトするためのアライナ電極の電極条件を決定する。

アライナ電極には電界を使用したものと、磁界を使用したものがあるが、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７は、いずれであってもよい。電界アライナの場合、非特許文献１の６頁に記載のように、対象のアライナ電極とレンズ１５との間の距離がＬとすると、レンズ１５の位置（すなわちアライナ電極から距離Ｌだけ離れた位置）における電子線のＹ方向のシフト量ｙ_sは、次の式（１）で算出される。

ここで、ｌはアライナ電極のＺ方向の長さ（電子線軌道方向の長さ）、ｄはアライナ電極の径（アライナ電極間の長さ）、Ｖ₁はアライナ電極の電極間の電圧、Ｖ₀は電子の入射電圧（加速電圧）である。ここで、式（１）の右辺のうち、ｌ、ｄ、Ｌ、Ｖ₀の値は、設計値で予め定められているから、式（２）の右辺のうち未知の値は、アライナ電極の電極間の電圧Ｖ₁だけである。よって、レンズ１５の位置における電子線のＹ方向のシフト量ｙ_sが決まれば、式（１）からアライナ電極の電極間の電圧Ｖ₁を決定することができる。

このように、レンズ１５の位置における電子線のＹ方向のシフト量ｙ_sとアライナ電極の電極間の電圧Ｖ₁との対応関係が定められている。そして、レンズ１５の位置における電子線のシフト量を、上記の対応関係に適用することにより、アライナ電極の電極間の電圧を上記電極条件として決定する。

なお、設計時に、対象のアライナ電極とレンズ１５との間の距離（あるいは二つのアライナ電極間の距離）、アライナ電極の長さ、アライナ電極の径が決められていて変更することができないものとして説明したが、これに限ったものではない。これらのパラメータを調整可能にすることによって、これらも含めて、希望とするシフト量を満足する条件を求めてもよい。

磁界アライナの場合は、例えば巻いているコイルであり、仮に電子線がこのコイルを用いて作り出した磁界を通過するものとする。この場合、非特許文献１の９頁に記載のように、対象のアライナ電極とレンズ１５との間の距離がＬとすると、レンズ１５の位置（すなわちアライナ電極から距離Ｌだけ離れた位置）における電子線のＹ方向のシフト量ｙ_sは、次の式（２）で算出される。

ここで、ｅは電気素量、ｍは電子の重さ、ＢはＸ軸負方向（図４において紙面の裏側から表側に向かう方向）の磁束密度、Ｖ₀は電子の入射電圧（加速電圧）、２×ｌは、コイルの電子線通過方向の長さ（Ｚ方向の長さ）である。ここで、式（２）の右辺のうち、ｅ、ｍ、Ｖ₀、ｌ、Ｌの値は、設計値で予め定められており、式（２）の右辺のうち未知の値はＢである。

コイルが、単位長あたりの巻数をｎとする円形の有限長のコイルである場合、コイルに印加する電流がＩとすると、コイルの中心の磁界の強さＢは、次の式で表される。
Ｂ＝μ×ｎ×Ｉ （３）
ここでコイルの中心に設けられた材料（例えば、鉄心）の透磁率μ及び単位長あたりの巻数ｎは予め決まっているので、レンズ１５の位置における電子線のＹ方向のシフト量ｙ_sが決まれば、式（２）及び式（３）からコイルに流す電流Ｉを決定することができる。

このように、レンズ１５の位置における電子線のＹ方向のシフト量ｙ_sとアライナ電極に印加する電流との対応関係が定められている。そして、レンズ１５の位置における電子線のシフト量を、当該対応関係に適用することにより、アライナ電極に印加する電流を上記電極条件として決定する。

なお、設計時に、対象のアライナ電極とレンズ１５との間の距離（あるいは二つのアライナ電極間の距離）、コイルの電子線通過方向の長さ、単位長あたりの巻数ｎ（あるいは総巻数）が決められていて変更することができないものとして説明したが、これに限ったものではない。これらのパラメータを調整可能にすることによって、これらも含めて、希望とするシフト量を満足する条件を求めてもよい。

（ステップＳ３）次に、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にした後に、検出器６１によって撮像することにより電子線の像を得る。

（ステップＳ４）レンズ１５、２５それぞれの条件を変更しても電子線のスポット位置が変化しないように、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７の電圧値を微調整する。

なお、本実施形態では、ユニットは二つとして説明したが、一つでもよいし、三つ以上であってもよい。
また、ユニットは、少なくとも一つのレンズと少なくとも一つのアライナ電極を有するものであればよく、このようなユニットが少なくとも一つ以上あればよい。
また、本実施形態では、レンズ１５の中心及びレンズ２５の中心を通るように電子線の経路をシミュレーションしたが、これに限らず、いずれか一方の中心だけを通るように電子線の経路をシミュレーションしてもよく、少なくとも一つのレンズの中心を通るように、電子線の経路をシミュレーションすればよい。

以上、本実施形態に係る調整方法は、少なくとも一つのレンズと少なくとも一つのアライナ電極とを有するユニットを少なくとも一つと、電子線を検出する検出器６１を備える電子線装置を通る電子線の経路を調整する調整方法であって、三次元測定機を用いて、電子線装置を構成するユニット毎の組立公差を測定するステップと、ユニット毎の組立公差を考慮して、少なくとも一つのレンズ１５、２５の中心を通るように、当該レンズ１５、２５の位置における電子線のシフト量を決定するステップと、前記電子線のシフト量が前記決定されたシフト量になるよう、各ユニットが備えるアライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７それぞれの電極条件を決定するステップと、前記アライナ電極それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にするステップと、を有する。

この構成により、電子線の経路が前記シミュレーションされた経路になるよう、各ユニットが備えるアライナ電極それぞれの電極条件（例えば、電圧値）を決定することによって、アライナ電極の電極条件（例えば、電圧値）がほぼ調整されるので、人手による調整は微調整で済ますことができる。このため、電子線装置における電子線の光軸のずれの調整を容易化することができる。

本実施形態に係る調整方法は、更に、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にした後に、レンズ１５、２５それぞれの条件を変更しても電子線の検出器６１で得られる像が変化しないように、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７それぞれの電圧を調整するステップを有する。これにより、電子線装置における電子線の光軸のずれの調整が完了する。なお、この調整するステップは、電子線装置によっては不要な場合もあり、省略可能である。

なお、本実施形態では、電子線のシフト量を決定するステップ、電極条件を決定するステップ、電極条件にするステップ、アライナ電極それぞれの電圧を調整するステップを人手を介して実行したが、電子線装置が備える制御器７１が実行してもよい。
すなわち、制御器７１は、三次元測定機を用いて測定された電子線装置を構成するユニット毎の組立公差を考慮して、少なくとも一つのレンズ１５、２５の中心を通るように、当該レンズ１５、２５の位置における電子線のシフト量を決定し、前記電子線のシフト量が前記決定されたシフト量になるよう、各ユニットが備えるアライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７それぞれの電極条件を決定し、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にするよう制御してもよい。
更に、制御器７１は、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にした後に、レンズ１５、２５それぞれの条件を変更しても電子線の検出器６１で得られる像が変化しないように、アライナ電極１３、１４、１６、１７、２６、２７それぞれの電圧を調整してもよい。

以上、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

１ 電子線装置
１０１ 筒部材
１０２ 筒部材
１０３ 第１アライナ電極
１０４ 第２アライナ電極
１０５ レンズ
１０６ 電流測定用アパーチャ
１０７ 電流計
１１ 筒部材
１２ 筒部材
１３、１４、１６、１７ アライナ電極
１５ レンズ
２１ 筒部材
２２ 筒部材
２３ 位置決め部材
２４ 支持部材
２５ レンズ
２６、２７ アライナ電極
２８ 電流測定用アパーチャ
３１ 電流計
４１ レーザ
５１ 光電部材
５２ 支持部材
６１ 検出器
７１ 制御器

Claims (5)

1. 少なくとも一つのレンズと少なくとも一つのアライナ電極とを有するユニットを少なくとも一つと、電子線を検出する検出器を備える電子線装置を通る電子線の経路を調整する調整方法であって、
   三次元測定機を用いて、電子線装置を構成するユニット毎の組立公差を測定するステップと、
   ユニット毎の組立公差を考慮して、少なくとも一つの前記レンズの中心を通るように、当該レンズの位置における電子線のシフト量を決定するステップと、
   前記電子線のシフト量が前記決定されたシフト量になるよう、各ユニットが備えるアライナ電極それぞれの電極条件を決定するステップと、
   前記アライナ電極それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にするステップと、
   を有する調整方法。
2. 前記アライナ電極それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にした後に、前記レンズそれぞれの条件を変更しても電子線の前記検出器で得られる像が変化しないように、アライナ電極それぞれの電極条件を調整するステップ
   を更に有する請求項１に記載の調整方法。
3. 前記アライナ電極が電界アライナの場合、前記レンズの位置における電子線のシフト量とアライナ電極の電極間の電圧との対応関係が予め定められており、
   前記電極条件を決定するステップにおいて、前記レンズの位置における電子線のシフト量を当該対応関係に適用することにより、アライナ電極の電極間の電圧を前記電極条件として決定する
   請求項１または２に記載の調整方法。
4. 前記アライナ電極が磁界アライナの場合、前記レンズの位置における電子線のシフト量とアライナ電極に印加する電流との対応関係が予め定められており、
   前記電極条件を決定するステップにおいて、前記レンズの位置における電子線のシフト量を当該対応関係に適用することにより、アライナ電極に印加する電流を前記電極条件として決定する
   請求項１または２に記載の調整方法。
5. 少なくとも一つのレンズと少なくとも一つのアライナ電極とを有するユニットを少なくとも一つと、
   電子線を検出する検出器と、
   三次元測定機を用いて測定された電子線装置を構成するユニット毎の組立公差を考慮して、少なくとも一つの前記レンズの中心を通るように、当該レンズの位置における電子線のシフト量を決定し、前記電子線のシフト量が前記決定されたシフト量になるよう、各ユニットが備えるアライナ電極それぞれの電極条件を決定し、前記アライナ電極それぞれを前記決定されたそれぞれの電極条件にするよう制御する制御器と、
   を備える電子線装置。

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