JPWO2021111550A5 - - Google Patents
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- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 claims 1
Claims (1)
- 前記第２ファンが、前記クリーンルームの還気及び排気の両方を行う場合において、
前記第２ユニットは、前記クリーンルームの壁又は床に設けられた所定の隙間を介して空気を前記ダクトシャフトに導き、導いた空気の一部を前記ダクトシャフトを介して前記チャンバに戻し、残りの空気を排気するように配置され、
前記クリーンルームは、前記第１ファンの吸込側を介して、前記チャンバに連通するとともに、前記第２ファンの吸込側を介して、前記チャンバに連通していること
を特徴とする請求項１又は請求項２に記載の空調システム。
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