JPWO2021094350A5

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Publication number: JPWO2021094350A5
Application number: JP2022527755A
Authority: JP
Publication date: 2023-11-02
Anticipated expiration: 2040-11-11

Description

本願は特許請求の範囲に記載の発明に係るものであるが、本願の開示は以下も包含する：
１．次の成分
ａ）少なくとも一種のジアゾナフトキノンスルホネート光活性化合物（ＤＮＱ－ＰＡＣ）、
ｂ）構造（７）、（８）及び／または（９）を有する少なくとも一種のヘテロ環状チオール、
ｃ）少なくとも一種の光酸発生剤；
ｄ）構造（１）、（２）、（３）、（４）、（５）及び（６）を有するものから選択される繰り返し単位を含む少なくとも一種のアクリル系ポリマー、
ｅ）２３℃で０．２６Ｎテトラメチルアンモニウムヒドロキシド中で少なくとも５０Å／秒の溶解速度を有する少なくとも一種のノボラックポリマー、
を含み、
前記繰り返し単位は、存在する全ての異なる繰り返し単位の全モル数を基準にして以下のモル％範囲で前記アクリル系ポリマー中に存在し、及び更に、前記ポリマー中に存在する全ての繰り返し単位の個々のモル％値の総和が１００モル％に等しくなければならず；
（１）は、約０モル％～約３５モル％の範囲であり、
（２）は、約５モル％～約５５モル％の範囲であり、
（３）は、約０モル％～約３０モル％の範囲であり、
（４）は、約１５モル％～約５５モル％の範囲であり、
（５）は、約１０モル％～約４０モル％の範囲であり、
（６）は、約０モル％～約２５モル％の範囲であり；及び
Ｒ _１、Ｒ _２、Ｒ _３、Ｒ _４、Ｒ _５、及びＲ _６は、個別に、Ｈ、Ｆ、Ｃ１～Ｃ４フルオロアルキル、またはＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、
Ｒ _７は、Ｈ、Ｃ１～Ｃ４アルキル、Ｃ１～Ｃ４アルキルオキシアルキル、及びハロゲンから選択され、
Ｒ _８は、Ｃ３～Ｃ８環状アルキル、またはＣ７～Ｃ１４脂環式アルキルであり、
Ｒ _９は、Ｃ２～Ｃ８（ヒドロキシ）アルキレン部分であり、
Ｒ _１０は、酸解裂性基であり、
Ｒ _１１は、Ｃ３～Ｃ１２（アルキルオキシ）アルキレン部分であり；及び
前記構造（７）において、Ｘｔは、Ｃ（Ｒｔ _１）（Ｒｔ _２）、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ及びＴｅからなる群から選択され；
前記構造（８）において、Ｙは、Ｃ（Ｒｔ _３）及びＮからなる群から選択され；
前記構造（９）において、Ｚは、Ｃ（Ｒｔ _３）及びＮからなる群から選択され；及び
Ｒｔ _１、Ｒｔ _２、及びＲｔ _３は、Ｈ、炭素原子数が１～８の置換されたアルキル基、炭素原子数が１～８の置換されていないアルキル基、炭素原子数が２～８の置換されたアルケニル基、炭素原子数が２～８の置換されていないアルケニル基、炭素原子数が２～８の置換されたアルキニル基、炭素原子数が２～８の置換されていないアルキニル基、炭素原子数が６～２０の置換された芳香族基、炭素原子数が３～２０の置換されたヘテロ芳香族基、炭素原子数が６～２０の置換されていない芳香族基、及び炭素原子数が３～２０の置換されていないヘテロ芳香族基からなる群から個別に選択される、
組成物。

２．前記ＤＮＱ－ＰＡＣが、構造（１０）を有する２，１，５－ジアゾナフトキノンスルホネート部分が、フェノール系化合物と少なくとも一つのスルホネートエステルを形成している、単一の材料または複数の材料の混合物である、前記１．に記載の組成物。

３．前記ＤＮＱＰＡＣが、一般式（１１）を有する単一の材料または複数の材料の混合物であり、但し、Ｄ _１ｃ、Ｄ _２ｃ、Ｄ _３ｃ及びＤ _４ｃは、Ｈまたは構造（１０）を有する部分から個別に選択され、更に、Ｄ _１ｃ、Ｄ _２ｃ、Ｄ _３ｃまたはＤ _４ｃのうちの少なくとも一つは構造（１０）を有する部分である、前記１．または２．に記載の組成物。

４．前記ＤＮＱＰＡＣが、構造（１２ａ）を有する単一の化合物または複数のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ _１ｅ、Ｄ _２ｅ、及びＤ _３ｅは、Ｈまたは構造（１０）を有する部分から個別に選択され、更に、Ｄ _１ｅ、Ｄ _２ｅ、またはＤ _３ｅのうちの少なくとも一つは構造（１０）を有する部分である、前記１．または２．に記載の組成物。

５．前記ＤＮＱＰＡＣが、構造（１２ｂ）を有する単一の化合物または複数のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ _１ｅ、Ｄ _２ｅ、Ｄ _３ｅ及びＤ _４ｅは、Ｈまたは構造（１０）を有する部分から個別に選択され、更に、Ｄ _１ｅ、Ｄ _２ｅ、Ｄ _３ｅまたはＤ _４ｅのうちの少なくとも一つは構造（１０）を有する部分である、前記１．または２．に記載の組成物。

６．前記ＤＮＱＰＡＣが、構造（１３）を有する単一の化合物または複数の化合物の混合物であり、但し、Ｄ _１ｆ、Ｄ _２ｆ、Ｄ _３ｆ及びＤ _４ｆは、Ｈまたは構造（１０）を有する部分から個別に選択され、更に、Ｄ _１ｆ、Ｄ _２ｆ、Ｄ _３ｆまたはＤ _４ｆのうちの少なくとも一つは構造（１０）を有する部分である、前記１．または２．に記載の組成物。

７．前記ヘテロ環状チオールが、置換されていないトリアゾールチオール、置換されたトリアゾールチオール、置換されていないイミダゾールチオール、置換されたイミダゾールチオール、置換されたトリアジンチオール、置換されていないトリアジンチオール、置換されたメルカプトピリミジン、置換されていないメルカプトピリミジン、置換されたチアジアゾール－チオール、置換されていないチアジアゾ－ル－チオール、置換されたインダゾールチオール、置換されていないインダゾールチオール、これらの互変異性体及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、前記１．～６．のいずれか一つに記載の組成物。
８．前記ヘテロ環状チオールが、１，３，５－トリアジン－２，４，６－トリチオール、２－メルカプト－６－メチルピリミジン－４－オール、３－メルカプト－６－メチル－１，２，４－トリアジン－５－オール、２－メルカプトピリミジン－４，６－ジオール、１Ｈ－１，２，４－トリアゾール－３－チオール、１Ｈ－１，２，４－トリアゾール－５－チオール、１Ｈ－イミダゾール－２－チオール、１Ｈ－イミダゾール－５－チオール、１Ｈ－イミダゾール－４－チオール、２－アザビシクロ［３．２．１］オクタ－２－エン－３－チオール、２－アザビシクロ［２．２．１］ヘプタ－２－エン－３－チオール、１Ｈ－ベンゾ［ｄ］イミダゾール－２－チオール、２－メルカプト－６－メチルピリミジン－４－オール、２－メルカプトピリミジン－４－オール、１－メチル－１Ｈ－イミダゾール－２－チオール、１，３，４－チアジアゾール－２，５－ジチオール、１Ｈ－インダゾール－３－チオール、これらの互変異性体及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、前記１．～６．のいずれか一つに記載の組成物。
９．少なくとも一種の光酸発生剤が、オニウム塩、ジカルボキシイミジルスルホネートエステル、オキシムスルホネートエステル、ジアゾ（スルホニルメチル）化合物、ジスルホニルメチレンヒドラジン化合物、ニトロベンジルスルホネートエステル、ビイミダゾール化合物、ジアゾメタン誘導体、グリオキシム誘導体、β－ケトスルホン誘導体、ジスルホン誘導体、スルホン酸エステル誘導体、イミドイルスルホネート誘導体、及びハロゲン化されたトリアジン化合物、またはこれらの組み合わせからなる群から選択される、前記１．～６．のいずれか一つに記載の組成物。
１０．前記アクリレート系ポリマーが、構造（１）、（２）、（３）、（４）、（５）及び（６）を有する繰り返し単位からなる群から選択される繰り返し単位を有するものである、前記１．～９．のいずれか一つに記載の組成物。
１１．前記アクリレート系ポリマーが、構造（１）、（２）、（４）、（５）及び（６）を有する繰り返し単位からなる群から選択される繰り返し単位を有するものである、前記１．～１０．のいずれか一つに記載の組成物。
１２．前記アクリレート系ポリマーが、
（１）が、約５モル％～約２０モル％の範囲であり、
（２）が、約５モル％～約２５モル％の範囲であり、
（３）が、約０モル％～約３０モル％の範囲であり、
（４）が、約１５モル％～約５５モル％の範囲であり、
（５）が、約２０モル％～約４０モル％の範囲であり、及び
（６）が、約５モル％～約２５モル％の範囲である、
ものである、前記１．～１１．のいずれか一つに記載の組成物。
１３．前記アクリレート系ポリマーが、構造（１）、（２ａ）、（４ａ）、（５）及び（６ａ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、ｎ及びｎ’は、メチレンスペーサー部分の数であり、そして独立して１～４の範囲であり、Ｒ _１、Ｒ _２、Ｒ _４、Ｒ _５、及びＲ _７はＣ１～Ｃ４アルキルから独立して選択され、Ｒ _９’ 及びＲ _１１’ はＨまたはＣ１～Ｃ４アルキルから独立して選択され、そしてＲ _１１’’ はＣ１～Ｃ４アルキルである、前記１．～１２．のいずれか一つに記載の組成物。

１４．（１）が、約５モル％～約２０モル％の範囲であり、
（２ａ）が、約５モル％～約２５モル％の範囲であり、
（４ａ）が、約１５モル％～約５５モル％の範囲であり、
（５）が、約２０モル％～約４０モル％の範囲であり、及び
（６ａ）が、約５モル％～約２５モル％の範囲である、
前記１３．に記載の組成物。
１５．構造（５）の繰り返し単位において、前記Ｒ _１０酸解裂性基が、ｔ－ブチル基、テトラヒドロピラン－２－イル基、テトラヒドロフラン－２－イル基、４－メトキシテトラヒドロピラン－４－イル基、１－エトキシエチル基、１－ブトキシエチル基、１－プロポキシエチル基、３－オキソシクロヘキシル基、２－メチル－２－アダマンチル基、２－エチル－２－アダマンチル基、８－メチル－８－トリシクロ［５．２．１．０２，６］デシル基、１，２，７，７－テトラメチル－２－ノルボルニル基、２－アセトキシメンチル基、２－ヒドロキシメチル基、１－メチル－１－シクロヘキシルエチル基、４－メチル－２－オキソテトラヒドロ－２Ｈ－ピラン－４－イル基、２，３－ジメチルブタン－２－イル基、２，３，３－トリメチルブタン－２－イル基、１－メチルシクロペンチル基、１－エチルシクロペンチル基、１－メチルシクロヘキシル基、１－エチルシクロヘキシル基、１，２，３，３－テトラメチルビシクロ［２．２．１］ヘプタン－２－イル基、２－エチル－１，３，３－トリメチルビシクロ［２．２．１］ヘプタン－２－イル基、２，６，６－トリメチルビシクロ［３．１．１］ヘプタン－２－イル基、２，３－ジメチルペンタン－３－イル基、または３－エチル－２－メチルペンタン－３－イル基からなる群から選択される、前記１．～１４．のいずれか一つに記載の組成物。
１６．前記アクリレート系ポリマーが、構造（１）、（２ｂ）、（４ｂ）、（５ａ）及び（６ｂ）を有する繰り返し単位を含有するものである、前記１．～１５．のいずれか一つに記載の組成物。

１７．（１ａ）が、約５モル％～約２０モル％の範囲であり、
（２ｂ）が、約５モル％～約２５モル％の範囲であり、
（４ｂ）が、約１５モル％～約５５モル％の範囲であり、
（５ａ）が、約２０モル％～約４０モル％の範囲であり、及び
（６ｂ）が、約５モル％～約２５モル％の範囲である、
前記１６．に記載の組成物。
１８．前記ポリマーが、構造（１４）を有するものから選択される少なくとも一種のスチレン系繰り返し単位を含み、但し、Ｒ _１４はＨまたはＣＨ _３から選択され、そしてＲ _１４’ 及びＲ _１４’’ は同一かまたは異なることができ、そしてＨ、ＯＨ、ＯＣＯＯＣ（ＣＨ _３） _３、またはＯＣＯＣＯＯ（ＣＨ _３） _３から選択される、前記１．～９．のいずれか一つに記載の組成物。

１９．前記ポリマーが、単環式ラクトンまたは脂環式アルキル内に含まれるラクトン部分のいずれかであるラクトン部分の（メタ）アクリレートを更に含む、前記１．～９．及び１８．のいずれか一つに記載の組成物。
２０．前記ポリマーが、ラクトン部分を含む構造（１５）の少なくとも一種の繰り返し単位を更に含み、但し、Ｒ _１５はＨまたはＣＨ _３から選択され、そしてｍは１または２である、前記１．～９．、１８．及び１９．のいずれか一つに記載の組成物。

２１．前記ノボラック樹脂が、構造（１６）の繰り返し単位を含み、但し、Ｒａ及びＲｂは独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり、ｎａは０～３であり、ｎｂは０または１である、前記１．～２０．のいずれか一つに記載の組成物。

２２．前記ノボラック樹脂が、構造（１７）の繰り返し単位を含み、但し、ＲｃはＣ１～Ｃ４アルキルであり、ＲｄはＣ１～Ｃ４アルキルであり、Ｘは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ _３） _２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ _２－であり、ｎｃは０～３であり、ｎｄは０または１である、前記１．～２１．のいずれか一つに記載の組成物。

２３．前記ノボラック樹脂が、前記繰り返し単位（１６）及び（１７）を含む、前記１．～２２．のいずれか一つに記載の組成物。
２４．前記ノボラック樹脂が、ｍ－クレゾールとホルムアルデヒドとのノボラック樹脂である、前記１．～２３．のいずれか一つに記載の組成物。
２５．前記ノボラック樹脂が、約１０重量％固形物～約９０重量％固形物を含む、前記１．～２４．のいずれか一つに記載の組成物。
２６．ポジ型レリーフ画像を形成する方法であって、
前記１．～２５．のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物を基材上に施与することによって感光性層を形成すること；
感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成すること；
潜像を現像剤中で現像すること；
を含み、
像様露光された感光性層が任意選択的に熱処理される、前記方法。
２７．基材が親銅元素を含む、前記２６．に記載の方法。
２８．基材が銅である、前記２６．に記載の方法。
２９．基材上にポジ型レリーフ画像を形成するための、前記１．～２５．のいずれか一つに記載の組成物の使用。

Claims

次の成分
ａ）少なくとも一種のジアゾナフトキノンスルホネート光活性化合物（ＤＮＱ－ＰＡＣ）、
ｂ）構造（７）、（８）及び／または（９）を有する少なくとも一種のヘテロ環状チオール、
ｃ）少なくとも一種の光酸発生剤；
ｄ）構造（１）、（２）、（３）、（４）、（５）及び（６）を有するものから選択される繰り返し単位を含む少なくとも一種のアクリル系ポリマー、
ｅ）２３℃で０．２６Ｎテトラメチルアンモニウムヒドロキシド中で少なくとも５０Å／秒の溶解速度を有する少なくとも一種のノボラックポリマー、
を含み、
前記繰り返し単位は、存在する全ての異なる繰り返し単位の全モル数を基準にして以下のモル％範囲で前記アクリル系ポリマー中に存在し、及び更に、前記ポリマー中に存在する全ての繰り返し単位の個々のモル％値の総和が１００モル％に等しくなければならず；
（１）は、０モル％～３５モル％の範囲であり、
（２）は、５モル％～５５モル％の範囲であり、
（３）は、０モル％～３０モル％の範囲であり、
（４）は、１５モル％～５５モル％の範囲であり、
（５）は、１０モル％～４０モル％の範囲であり、
（６）は、０モル％～２５モル％の範囲であり；及び
Ｒ_１、Ｒ_２、Ｒ_３、Ｒ_４、Ｒ_５、及びＲ_６は、個別に、Ｈ、Ｆ、Ｃ１～Ｃ４フルオロアルキル、またはＣ１～Ｃ４アルキルから選択され、
Ｒ_７は、Ｈ、Ｃ１～Ｃ４アルキル、Ｃ１～Ｃ４アルキルオキシアルキル、及びハロゲンから選択され、
Ｒ_８は、Ｃ３～Ｃ８環状アルキル、またはＣ７～Ｃ１４脂環式アルキルであり、
Ｒ_９は、Ｃ２～Ｃ８（ヒドロキシ）アルキレン部分であり、
Ｒ_１０は、酸解裂性基であり、
Ｒ_１１は、Ｃ３～Ｃ１２（アルキルオキシ）アルキレン部分であり；及び
前記構造（７）において、Ｘｔは、Ｃ（Ｒｔ_１）（Ｒｔ_２）、Ｏ、Ｓ、Ｓｅ及びＴｅからなる群から選択され；
前記構造（８）において、Ｙは、Ｃ（Ｒｔ_３）及びＮからなる群から選択され；
前記構造（９）において、Ｚは、Ｃ（Ｒｔ_３）及びＮからなる群から選択され；及び
Ｒｔ_１、Ｒｔ_２、及びＲｔ_３は、Ｈ、炭素原子数が１～８の置換されたアルキル基、炭素原子数が１～８の置換されていないアルキル基、炭素原子数が２～８の置換されたアルケニル基、炭素原子数が２～８の置換されていないアルケニル基、炭素原子数が２～８の置換されたアルキニル基、炭素原子数が２～８の置換されていないアルキニル基、炭素原子数が６～２０の置換された芳香族基、炭素原子数が３～２０の置換されたヘテロ芳香族基、炭素原子数が６～２０の置換されていない芳香族基、及び炭素原子数が３～２０の置換されていないヘテロ芳香族基からなる群から個別に選択される、
組成物。
前記ＤＮＱ－ＰＡＣが、構造（１０）を有する２，１，５－ジアゾナフトキノンスルホネート部分が、フェノール系化合物と少なくとも一つのスルホネートエステルを形成している、単一の材料または複数の材料の混合物である、請求項１に記載の組成物。
前記ＤＮＱＰＡＣが、一般式（１１）を有する単一の材料または複数の材料の混合物であり、但し、Ｄ_１ｃ、Ｄ_２ｃ、Ｄ_３ｃ及びＤ_４ｃは、Ｈまたは構造（１０）を有する部分から個別に選択され、更に、Ｄ_１ｃ、Ｄ_２ｃ、Ｄ_３ｃまたはＤ_４ｃのうちの少なくとも一つは構造（１０）を有する部分である、請求項１または２に記載の組成物。
前記ＤＮＱＰＡＣが、構造（１２ａ）を有する単一の化合物または複数のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ_１ｅ、Ｄ_２ｅ、及びＤ_３ｅは、Ｈまたは構造（１０）を有する部分から個別に選択され、更に、Ｄ_１ｅ、Ｄ_２ｅ、またはＤ_３ｅのうちの少なくとも一つは構造（１０）を有する部分である、請求項１または２に記載の組成物。
前記ＤＮＱＰＡＣが、構造（１２ｂ）を有する単一の化合物または複数のＰＡＣ化合物の混合物のいずれかであり、但し、Ｄ_１ｅ、Ｄ_２ｅ、Ｄ_３ｅ及びＤ_４ｅは、Ｈまたは構造（１０）を有する部分から個別に選択され、更に、Ｄ_１ｅ、Ｄ_２ｅ、Ｄ_３ｅまたはＤ_４ｅのうちの少なくとも一つは構造（１０）を有する部分である、請求項１または２に記載の組成物。
前記ＤＮＱＰＡＣが、構造（１３）を有する単一の化合物または複数の化合物の混合物であり、但し、Ｄ_１ｆ、Ｄ_２ｆ、Ｄ_３ｆ及びＤ_４ｆは、Ｈまたは構造（１０）を有する部分から個別に選択され、更に、Ｄ_１ｆ、Ｄ_２ｆ、Ｄ_３ｆまたはＤ_４ｆのうちの少なくとも一つは構造（１０）を有する部分である、請求項１または２に記載の組成物。
前記ヘテロ環状チオールが、置換されていないトリアゾールチオール、置換されたトリアゾールチオール、置換されていないイミダゾールチオール、置換されたイミダゾールチオール、置換されたトリアジンチオール、置換されていないトリアジンチオール、置換されたメルカプトピリミジン、置換されていないメルカプトピリミジン、置換されたチアジアゾール－チオール、置換されていないチアジアゾ－ル－チオール、置換されたインダゾールチオール、置換されていないインダゾールチオール、これらの互変異性体及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項１～６のいずれか一つに記載の組成物。
前記ヘテロ環状チオールが、１，３，５－トリアジン－２，４，６－トリチオール、２－メルカプト－６－メチルピリミジン－４－オール、３－メルカプト－６－メチル－１，２，４－トリアジン－５－オール、２－メルカプトピリミジン－４，６－ジオール、１Ｈ－１，２，４－トリアゾール－３－チオール、１Ｈ－１，２，４－トリアゾール－５－チオール、１Ｈ－イミダゾール－２－チオール、１Ｈ－イミダゾール－５－チオール、１Ｈ－イミダゾール－４－チオール、２－アザビシクロ［３．２．１］オクタ－２－エン－３－チオール、２－アザビシクロ［２．２．１］ヘプタ－２－エン－３－チオール、１Ｈ－ベンゾ［ｄ］イミダゾール－２－チオール、２－メルカプト－６－メチルピリミジン－４－オール、２－メルカプトピリミジン－４－オール、１－メチル－１Ｈ－イミダゾール－２－チオール、１，３，４－チアジアゾール－２，５－ジチオール、１Ｈ－インダゾール－３－チオール、これらの互変異性体及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項１～６のいずれか一つに記載の組成物。
少なくとも一種の光酸発生剤が、オニウム塩、ジカルボキシイミジルスルホネートエステル、オキシムスルホネートエステル、ジアゾ（スルホニルメチル）化合物、ジスルホニルメチレンヒドラジン化合物、ニトロベンジルスルホネートエステル、ビイミダゾール化合物、ジアゾメタン誘導体、グリオキシム誘導体、β－ケトスルホン誘導体、ジスルホン誘導体、スルホン酸エステル誘導体、イミドイルスルホネート誘導体、及びハロゲン化されたトリアジン化合物、またはこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項１～６のいずれか一つに記載の組成物。
前記アクリレート系ポリマーが、構造（１）、（２）、（３）、（４）、（５）及び（６）を有する繰り返し単位からなる群から選択される繰り返し単位を有するものである、請求項１～９のいずれか一つに記載の組成物。
前記アクリレート系ポリマーが、構造（１）、（２）、（４）、（５）及び（６）を有する繰り返し単位からなる群から選択される繰り返し単位を有するものである、請求項１～１０のいずれか一つに記載の組成物。
前記アクリレート系ポリマーが、
（１）が、５モル％～２０モル％の範囲であり、
（２）が、５モル％～２５モル％の範囲であり、
（３）が、０モル％～３０モル％の範囲であり、
（４）が、１５モル％～５５モル％の範囲であり、
（５）が、２０モル％～４０モル％の範囲であり、及び
（６）が、５モル％～２５モル％の範囲である、
ものである、請求項１～１１のいずれか一つに記載の組成物。
前記アクリレート系ポリマーが、構造（１）、（２ａ）、（４ａ）、（５）及び（６ａ）を有する繰り返し単位を含むものであり、但し、ｎ及びｎ’は、メチレンスペーサー部分の数であり、そして独立して１～４の範囲であり、Ｒ_１、Ｒ_２、Ｒ_４、Ｒ_５、及びＲ_７はＣ１～Ｃ４アルキルから独立して選択され、Ｒ_９’及びＲ_１１’はＨまたはＣ１～Ｃ４アルキルから独立して選択され、そしてＲ_１１’’はＣ１～Ｃ４アルキルである、請求項１～１２のいずれか一つに記載の組成物。
（１）が、５モル％～２０モル％の範囲であり、
（２ａ）が、５モル％～２５モル％の範囲であり、
（４ａ）が、１５モル％～５５モル％の範囲であり、
（５）が、２０モル％～４０モル％の範囲であり、及び
（６ａ）が、５モル％～２５モル％の範囲である、
請求項１３に記載の組成物。
構造（５）の繰り返し単位において、前記Ｒ_１０酸解裂性基が、ｔ－ブチル基、テトラヒドロピラン－２－イル基、テトラヒドロフラン－２－イル基、４－メトキシテトラヒドロピラン－４－イル基、１－エトキシエチル基、１－ブトキシエチル基、１－プロポキシエチル基、３－オキソシクロヘキシル基、２－メチル－２－アダマンチル基、２－エチル－２－アダマンチル基、８－メチル－８－トリシクロ［５．２．１．０２，６］デシル基、１，２，７，７－テトラメチル－２－ノルボルニル基、２－アセトキシメンチル基、２－ヒドロキシメチル基、１－メチル－１－シクロヘキシルエチル基、４－メチル－２－オキソテトラヒドロ－２Ｈ－ピラン－４－イル基、２，３－ジメチルブタン－２－イル基、２，３，３－トリメチルブタン－２－イル基、１－メチルシクロペンチル基、１－エチルシクロペンチル基、１－メチルシクロヘキシル基、１－エチルシクロヘキシル基、１，２，３，３－テトラメチルビシクロ［２．２．１］ヘプタン－２－イル基、２－エチル－１，３，３－トリメチルビシクロ［２．２．１］ヘプタン－２－イル基、２，６，６－トリメチルビシクロ［３．１．１］ヘプタン－２－イル基、２，３－ジメチルペンタン－３－イル基、または３－エチル－２－メチルペンタン－３－イル基からなる群から選択される、請求項１～１４のいずれか一つに記載の組成物。
前記アクリレート系ポリマーが、構造（１）、（２ｂ）、（４ｂ）、（５ａ）及び（６ｂ）を有する繰り返し単位を含有するものである、請求項１～１５のいずれか一つに記載の組成物。
（１ａ）が、５モル％～２０モル％の範囲であり、
（２ｂ）が、５モル％～２５モル％の範囲であり、
（４ｂ）が、１５モル％～５５モル％の範囲であり、
（５ａ）が、２０モル％～４０モル％の範囲であり、及び
（６ｂ）が、５モル％～２５モル％の範囲である、
請求項１６に記載の組成物。
前記ポリマーが、構造（１４）を有するものから選択される少なくとも一種のスチレン系繰り返し単位を更に含み、但し、Ｒ_１４はＨまたはＣＨ_３から選択され、そしてＲ_１４’及びＲ_１４’’は同一かまたは異なることができ、そしてＨ、ＯＨ、ＯＣＯＯＣ（ＣＨ_３）_３、またはＯＣＯＣＯＯ（ＣＨ_３）_３から選択される、請求項１～９のいずれか一つに記載の組成物。
前記ポリマーが、単環式ラクトンまたは脂環式アルキル内に含まれるラクトン部分のいずれかであるラクトン部分の（メタ）アクリレートを更に含む、請求項１～９及び１８のいずれか一つに記載の組成物。
前記ポリマーが、ラクトン部分を含む構造（１５）の少なくとも一種の繰り返し単位を更に含み、但し、Ｒ_１５はＨまたはＣＨ_３から選択され、そしてｍは１または２である、請求項１～９、１８及び１９のいずれか一つに記載の組成物。
前記ノボラック樹脂が、構造（１６）の繰り返し単位を含み、但し、Ｒａ及びＲｂは独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり、ｎａは０～３であり、ｎｂは０または１である、請求項１～２０のいずれか一つに記載の組成物。
前記ノボラック樹脂が、構造（１７）の繰り返し単位を含み、但し、ＲｃはＣ１～Ｃ４アルキルであり、ＲｄはＣ１～Ｃ４アルキルであり、Ｘは、－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ_３）_２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ_２－であり、ｎｃは０～３であり、ｎｄは０または１である、請求項１～２１のいずれか一つに記載の組成物。
前記ノボラック樹脂が、繰り返し単位（１６）及び（１７）を含み、但し、Ｒａ及びＲｂは独立してＣ１～Ｃ４アルキルであり、ｎａは０～３であり、そしてｎｂは０または１であり、そしてＲｃはＣ１～Ｃ４アルキルであり、ＲｄはＣ１～Ｃ４アルキルであり、Ｘは－Ｏ－、－Ｃ（ＣＨ _３） _２－、－（Ｃ＝Ｏ）－または－ＳＯ _２－であり、ｎｃは０～３であり、そしてｎｄは０または１である、請求項１～２２のいずれか一つに記載の組成物。
前記ノボラック樹脂が、ｍ－クレゾールとホルムアルデヒドとのノボラック樹脂である、請求項１～２３のいずれか一つに記載の組成物。
前記ノボラック樹脂が、１０重量％固形物～９０重量％固形物を含む、請求項１～２４のいずれか一つに記載の組成物。
ポジ型レリーフ画像を形成する方法であって、
請求項１～２５のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物を基材上に施与することによって感光性層を形成すること；
感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成すること；
潜像を現像剤中で現像すること；
を含み、
像様露光された感光性層が任意選択的に熱処理される、前記方法。
基材が親銅元素を含む、請求項２６に記載の方法。
基材が銅である、請求項２６に記載の方法。
基材上にポジ型レリーフ画像を形成するための、請求項１～２５のいずれか一つに記載の組成物の使用。