JP7381566B2 - ポジ作動型感光性材料 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 257
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 305
- HSZMPIGFPRXBDT-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-3-(oxiran-2-ylmethyl)benzoic acid Chemical compound C(C1CO1)C=1C(=C(C(=O)O)C=CC=1)O HSZMPIGFPRXBDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 240
- -1 heterocyclic thiol compound Chemical class 0.000 claims description 202
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 200
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 91
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 68
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 63
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 62
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 claims description 57
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims description 56
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 51
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 48
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 48
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 claims description 47
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 45
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 44
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 32
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 28
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 28
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 25
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims description 17
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 claims description 16
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 claims description 16
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 claims description 15
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 15
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 claims description 13
- 125000003367 polycyclic group Chemical group 0.000 claims description 10
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 claims description 9
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 8
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 claims description 8
- 125000002950 monocyclic group Chemical group 0.000 claims description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 7
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 claims description 5
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 claims description 5
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 101100156282 Neurospora crassa (strain ATCC 24698 / 74-OR23-1A / CBS 708.71 / DSM 1257 / FGSC 987) vib-1 gene Proteins 0.000 claims description 4
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 4
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- 150000004074 biphenyls Chemical class 0.000 claims description 4
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 claims description 4
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 claims description 4
- 125000004426 substituted alkynyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000005196 alkyl carbonyloxy group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000005017 substituted alkenyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 claims description 2
- 125000006832 (C1-C10) alkylene group Chemical group 0.000 claims 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 45
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 40
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 39
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 38
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 32
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 31
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 30
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 29
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 25
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 24
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 24
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 22
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 22
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 22
- RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N m-cresol Chemical compound CC1=CC=CC(O)=C1 RLSSMJSEOOYNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 20
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 19
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 19
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 17
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 17
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 16
- HTZCNXWZYVXIMZ-UHFFFAOYSA-M benzyl(triethyl)azanium;chloride Chemical compound [Cl-].CC[N+](CC)(CC)CC1=CC=CC=C1 HTZCNXWZYVXIMZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 16
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 16
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 16
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 15
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 15
- 125000005207 tetraalkylammonium group Chemical group 0.000 description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 14
- 150000007942 carboxylates Chemical group 0.000 description 14
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 13
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 13
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 13
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 description 13
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 13
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 13
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- UYEMGAFJOZZIFP-UHFFFAOYSA-N 3,5-dihydroxybenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(O)=CC(O)=C1 UYEMGAFJOZZIFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- GNSFRPWPOGYVLO-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCO GNSFRPWPOGYVLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- OZAIFHULBGXAKX-VAWYXSNFSA-N AIBN Substances N#CC(C)(C)\N=N\C(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-VAWYXSNFSA-N 0.000 description 12
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1 IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 12
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 11
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 11
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 10
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 10
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 10
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 10
- HFCUBKYHMMPGBY-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl prop-2-enoate Chemical compound COCCOC(=O)C=C HFCUBKYHMMPGBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 9
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 9
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 9
- YFSUTJLHUFNCNZ-UHFFFAOYSA-N perfluorooctane-1-sulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F YFSUTJLHUFNCNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- AFBBKYQYNPNMAT-UHFFFAOYSA-N 1h-1,2,4-triazol-1-ium-3-thiolate Chemical compound SC=1N=CNN=1 AFBBKYQYNPNMAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical group CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 8
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 7
- 238000011161 development Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 7
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- SJMYWORNLPSJQO-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C)(C)C SJMYWORNLPSJQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- QMYGFTJCQFEDST-UHFFFAOYSA-N 3-methoxybutyl acetate Chemical compound COC(C)CCOC(C)=O QMYGFTJCQFEDST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(O)C=C1 FJKROLUGYXJWQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002585 base Substances 0.000 description 6
- YOUGRGFIHBUKRS-UHFFFAOYSA-N benzyl(trimethyl)azanium Chemical compound C[N+](C)(C)CC1=CC=CC=C1 YOUGRGFIHBUKRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 6
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001393 microlithography Methods 0.000 description 6
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N tetrabutylammonium Chemical compound CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC DZLFLBLQUQXARW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CBXCPBUEXACCNR-UHFFFAOYSA-N tetraethylammonium Chemical compound CC[N+](CC)(CC)CC CBXCPBUEXACCNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- QEMXHQIAXOOASZ-UHFFFAOYSA-N tetramethylammonium Chemical group C[N+](C)(C)C QEMXHQIAXOOASZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- GJSGYPDDPQRWPK-UHFFFAOYSA-N tetrapentylammonium Chemical compound CCCCC[N+](CCCCC)(CCCCC)CCCCC GJSGYPDDPQRWPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OSBSFAARYOCBHB-UHFFFAOYSA-N tetrapropylammonium Chemical compound CCC[N+](CCC)(CCC)CCC OSBSFAARYOCBHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HIXDQWDOVZUNNA-UHFFFAOYSA-N 2-(3,4-dimethoxyphenyl)-5-hydroxy-7-methoxychromen-4-one Chemical compound C=1C(OC)=CC(O)=C(C(C=2)=O)C=1OC=2C1=CC=C(OC)C(OC)=C1 HIXDQWDOVZUNNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 5
- 150000007933 aliphatic carboxylic acids Chemical class 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 125000001511 cyclopentyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 5
- HBCQSNAFLVXVAY-UHFFFAOYSA-N pyrimidine-2-thiol Chemical class SC1=NC=CC=N1 HBCQSNAFLVXVAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 5
- 150000003871 sulfonates Chemical class 0.000 description 5
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 5
- JJJPTTANZGDADF-UHFFFAOYSA-N thiadiazole-4-thiol Chemical class SC1=CSN=N1 JJJPTTANZGDADF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N (+)-borneol Chemical group C1C[C@@]2(C)[C@@H](O)C[C@@H]1C2(C)C DTGKSKDOIYIVQL-WEDXCCLWSA-N 0.000 description 4
- CXYVKXKWSPEULT-UHFFFAOYSA-N 1h-imidazol-1-ium-4-thiolate Chemical compound SC1=CNC=N1 CXYVKXKWSPEULT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HWGBHCRJGXAGEU-UHFFFAOYSA-N Methylthiouracil Chemical compound CC1=CC(=O)NC(=S)N1 HWGBHCRJGXAGEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 4
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical compound COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N cyclopentanone Chemical compound O=C1CCCC1 BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000001559 cyclopropyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C1([H])* 0.000 description 4
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000004428 fluoroalkoxy group Chemical group 0.000 description 4
- LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N gallic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 4
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N monobenzene Natural products C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 4
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000002868 norbornyl group Chemical group C12(CCC(CC1)C2)* 0.000 description 4
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 4
- RWHJHYXWZJKPAP-UHFFFAOYSA-L oxalate;tetrabutylazanium Chemical compound [O-]C(=O)C([O-])=O.CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC.CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC RWHJHYXWZJKPAP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 4
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000005621 tetraalkylammonium salts Chemical group 0.000 description 4
- 150000003573 thiols Chemical group 0.000 description 4
- ZEMGGZBWXRYJHK-UHFFFAOYSA-N thiouracil Chemical class O=C1C=CNC(=S)N1 ZEMGGZBWXRYJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-M triflate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 4
- FMEBJQQRPGHVOR-UHFFFAOYSA-N (1-ethylcyclopentyl) 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1(CC)CCCC1 FMEBJQQRPGHVOR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LJHFIVQEAFAURQ-ZPUQHVIOSA-N (NE)-N-[(2E)-2-hydroxyiminoethylidene]hydroxylamine Chemical class O\N=C\C=N\O LJHFIVQEAFAURQ-ZPUQHVIOSA-N 0.000 description 3
- QZQLBBPKPGSZBH-UHFFFAOYSA-N 1,2-dihydroindazole-3-thione Chemical class C1=CC=C2C(S)=NNC2=C1 QZQLBBPKPGSZBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LEEANUDEDHYDTG-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethoxypropane Chemical compound COCC(C)OC LEEANUDEDHYDTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OXFSTTJBVAAALW-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydroimidazole-2-thione Chemical class SC1=NC=CN1 OXFSTTJBVAAALW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ODDDCGGSPAPBOS-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl propanoate Chemical compound CCOCC(C)OC(=O)CC ODDDCGGSPAPBOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HAZJTCQWIDBCCE-UHFFFAOYSA-N 1h-triazine-6-thione Chemical class SC1=CC=NN=N1 HAZJTCQWIDBCCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NDMUQNOYNAWAAL-UHFFFAOYSA-N 3-diazo-1,4-dioxonaphthalene-2-sulfonic acid Chemical class C1=CC=C2C(=O)C(=[N+]=[N-])C(S(=O)(=O)O)C(=O)C2=C1 NDMUQNOYNAWAAL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940090248 4-hydroxybenzoic acid Drugs 0.000 description 3
- FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxystyrene Chemical compound OC1=CC=C(C=C)C=C1 FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- STUQITWXBMZUGY-UHFFFAOYSA-N 6-hydroxy-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound OC1=CC(O)=NC(S)=N1 STUQITWXBMZUGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 101001053401 Arabidopsis thaliana Acid beta-fructofuranosidase 3, vacuolar Proteins 0.000 description 3
- LCFVJGUPQDGYKZ-UHFFFAOYSA-N Bisphenol A diglycidyl ether Chemical compound C=1C=C(OCC2OC2)C=CC=1C(C)(C)C(C=C1)=CC=C1OCC1CO1 LCFVJGUPQDGYKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YYLLIJHXUHJATK-UHFFFAOYSA-N Cyclohexyl acetate Chemical compound CC(=O)OC1CCCCC1 YYLLIJHXUHJATK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXHKONLOYHBTNS-UHFFFAOYSA-N Diazomethane Chemical class C=[N+]=[N-] YXHKONLOYHBTNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-L Malonate Chemical compound [O-]C(=O)CC([O-])=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 3
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-L adipate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCCCC([O-])=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 3
- 125000004448 alkyl carbonyl group Chemical group 0.000 description 3
- 229940072049 amyl acetate Drugs 0.000 description 3
- PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N anhydrous amyl acetate Natural products CCCCCOC(C)=O PGMYKACGEOXYJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000001995 cyclobutyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])(*)C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000000664 diazo group Chemical group [N-]=[N+]=[*] 0.000 description 3
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 3
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N heptan-2-one Chemical compound CCCCCC(C)=O CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M heptanoate Chemical compound CCCCCCC([O-])=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004128 high performance liquid chromatography Methods 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 3
- HSDFKDZBJMDHFF-UHFFFAOYSA-N methyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OC HSDFKDZBJMDHFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000013500 performance material Substances 0.000 description 3
- 125000006239 protecting group Chemical group 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 3
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 3
- 125000003107 substituted aryl group Chemical group 0.000 description 3
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L succinate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCC([O-])=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 150000003459 sulfonic acid esters Chemical class 0.000 description 3
- 150000003460 sulfonic acids Chemical class 0.000 description 3
- 125000004192 tetrahydrofuran-2-yl group Chemical group [H]C1([H])OC([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- 125000004187 tetrahydropyran-2-yl group Chemical group [H]C1([H])OC([H])(*)C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 3
- LWHOMMCIJIJIGV-UHFFFAOYSA-N (1,3-dioxobenzo[de]isoquinolin-2-yl) trifluoromethanesulfonate Chemical compound C1=CC(C(N(OS(=O)(=O)C(F)(F)F)C2=O)=O)=C3C2=CC=CC3=C1 LWHOMMCIJIJIGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BIGYLAKFCGVRAN-UHFFFAOYSA-N 1,3,4-thiadiazolidine-2,5-dithione Chemical compound S=C1NNC(=S)S1 BIGYLAKFCGVRAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WZRRRFSJFQTGGB-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-triazinane-2,4,6-trithione Chemical compound S=C1NC(=S)NC(=S)N1 WZRRRFSJFQTGGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YHMYGUUIMTVXNW-UHFFFAOYSA-N 1,3-dihydrobenzimidazole-2-thione Chemical compound C1=CC=C2NC(S)=NC2=C1 YHMYGUUIMTVXNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000005207 1,3-dihydroxybenzenes Chemical class 0.000 description 2
- WXWSNMWMJAFDLG-UHFFFAOYSA-N 1-(6-butoxynaphthalen-2-yl)thiolan-1-ium Chemical compound C1=CC2=CC(OCCCC)=CC=C2C=C1[S+]1CCCC1 WXWSNMWMJAFDLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCCOCC(C)OC(C)=O DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VUAXHMVRKOTJKP-UHFFFAOYSA-M 2,2-dimethylbutanoate Chemical compound CCC(C)(C)C([O-])=O VUAXHMVRKOTJKP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- NKTOLZVEWDHZMU-UHFFFAOYSA-N 2,5-xylenol Chemical compound CC1=CC=C(C)C(O)=C1 NKTOLZVEWDHZMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000000343 2,5-xylenols Chemical class 0.000 description 2
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FVRSFOCASMKKEG-UHFFFAOYSA-N 3-azabicyclo[2.2.1]heptane-2-thione Chemical compound C1CC2C(=S)NC1C2 FVRSFOCASMKKEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MFKRHJVUCZRDTF-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-3-methylbutan-1-ol Chemical compound COC(C)(C)CCO MFKRHJVUCZRDTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 3-oxo-n-[2-(trifluoromethyl)phenyl]butanamide Chemical compound CC(=O)CC(=O)NC1=CC=CC=C1C(F)(F)F VATRWWPJWVCZTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MECNWXGGNCJFQJ-UHFFFAOYSA-N 3-piperidin-1-ylpropane-1,2-diol Chemical compound OCC(O)CN1CCCCC1 MECNWXGGNCJFQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MLRAJZNPKPVUDQ-UHFFFAOYSA-N 3-sulfanyl-1,2-dihydrotriazole Chemical compound SN1NNC=C1 MLRAJZNPKPVUDQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CZCYNJKYXAWNLA-UHFFFAOYSA-N 4-azabicyclo[3.2.1]octane-3-thione Chemical compound N1C(=S)CC2CCC1C2 CZCYNJKYXAWNLA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WTQZSMDDRMKJRI-UHFFFAOYSA-N 4-diazoniophenolate Chemical class [O-]C1=CC=C([N+]#N)C=C1 WTQZSMDDRMKJRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYWBAUGTSAYDBR-UHFFFAOYSA-N 5-amino-6-phenyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound N1C(=S)NC(=O)C(N)=C1C1=CC=CC=C1 RYWBAUGTSAYDBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NKOPQOSBROLOFP-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-3-sulfanylidene-2h-1,2,4-triazin-5-one Chemical compound CC1=NNC(=S)NC1=O NKOPQOSBROLOFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 9H-carbazole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 101001130128 Arabidopsis thaliana Leucoanthocyanidin dioxygenase Proteins 0.000 description 2
- 101100046775 Arabidopsis thaliana TPPA gene Proteins 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-M Butyrate Chemical compound CCCC([O-])=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N Butyric acid Natural products CCCC(O)=O FERIUCNNQQJTOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N Indole Chemical compound C1=CC=C2NC=CC2=C1 SIKJAQJRHWYJAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TWRXJAOTZQYOKJ-UHFFFAOYSA-L Magnesium chloride Chemical compound [Mg+2].[Cl-].[Cl-] TWRXJAOTZQYOKJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N Methanesulfonic acid Chemical compound CS(O)(=O)=O AFVFQIVMOAPDHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WRQNANDWMGAFTP-UHFFFAOYSA-N Methylacetoacetic acid Chemical compound COC(=O)CC(C)=O WRQNANDWMGAFTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910001128 Sn alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001241 acetals Chemical group 0.000 description 2
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 2
- 125000005073 adamantyl group Chemical group C12(CC3CC(CC(C1)C3)C2)* 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004390 alkyl sulfonyl group Chemical group 0.000 description 2
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 150000008109 benzenetriols Chemical class 0.000 description 2
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- QSRFYFHZPSGRQX-UHFFFAOYSA-N benzyl(tributyl)azanium Chemical compound CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CC1=CC=CC=C1 QSRFYFHZPSGRQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DNFSNYQTQMVTOK-UHFFFAOYSA-N bis(4-tert-butylphenyl)iodanium Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1[I+]C1=CC=C(C(C)(C)C)C=C1 DNFSNYQTQMVTOK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 2
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical group OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052798 chalcogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001787 chalcogens Chemical class 0.000 description 2
- 238000010511 deprotection reaction Methods 0.000 description 2
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 2
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 2
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 description 2
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 2
- HHEIMYAXCOIQCJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 2,2-dimethylpropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)(C)C HHEIMYAXCOIQCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N ethyl acetoacetate Chemical compound CCOC(=O)CC(C)=O XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 229940074391 gallic acid Drugs 0.000 description 2
- 235000004515 gallic acid Nutrition 0.000 description 2
- 125000001188 haloalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 2
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 150000005419 hydroxybenzoic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 2
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002596 lactones Chemical class 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M methacrylate group Chemical group C(C(=C)C)(=O)[O-] CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical class C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 2
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N methyl 3-methoxypropanoate Chemical compound COCCC(=O)OC BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IZJVVXCHJIQVOL-UHFFFAOYSA-N nitro(phenyl)methanesulfonic acid Chemical class OS(=O)(=O)C([N+]([O-])=O)C1=CC=CC=C1 IZJVVXCHJIQVOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012643 polycondensation polymerization Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- ILVGAIQLOCKNQA-UHFFFAOYSA-N propyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)O ILVGAIQLOCKNQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000425 proton nuclear magnetic resonance spectrum Methods 0.000 description 2
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N pyrene Chemical compound C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical compound O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 description 2
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)(C)OC(=O)C=C ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000008027 tertiary esters Chemical class 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- YFZDLRVCXDBOPH-UHFFFAOYSA-N tetraheptylazanium Chemical compound CCCCCCC[N+](CCCCCCC)(CCCCCCC)CCCCCCC YFZDLRVCXDBOPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DTIFFPXSSXFQCJ-UHFFFAOYSA-N tetrahexylazanium Chemical compound CCCCCC[N+](CCCCCC)(CCCCCC)CCCCCC DTIFFPXSSXFQCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CHYBTAZWINMGHA-UHFFFAOYSA-N tetraoctylazanium Chemical compound CCCCCCCC[N+](CCCCCCCC)(CCCCCCCC)CCCCCCCC CHYBTAZWINMGHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005409 triarylsulfonium group Chemical group 0.000 description 2
- XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N triphenyl phosphate Chemical compound C=1C=CC=CC=1OP(OC=1C=CC=CC=1)(=O)OC1=CC=CC=C1 XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FAYMLNNRGCYLSR-UHFFFAOYSA-M triphenylsulfonium triflate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F.C1=CC=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 FAYMLNNRGCYLSR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N valeric acid Chemical compound CCCCC(O)=O NQPDZGIKBAWPEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- OWSOJBZLBDNGNM-UHFFFAOYSA-N (1,3-dioxoisoindol-2-yl) 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate Chemical compound C1=CC=C2C(=O)N(OS(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F)C(=O)C2=C1 OWSOJBZLBDNGNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYXAHUXQRATWDV-UHFFFAOYSA-N (1,3-dioxoisoindol-2-yl) trifluoromethanesulfonate Chemical compound C1=CC=C2C(=O)N(OS(=O)(=O)C(F)(F)F)C(=O)C2=C1 GYXAHUXQRATWDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSWBUABBMRVQAC-UHFFFAOYSA-N (2-nitrophenyl)methanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC1=CC=CC=C1[N+]([O-])=O YSWBUABBMRVQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JNYAEWCLZODPBN-JGWLITMVSA-N (2r,3r,4s)-2-[(1r)-1,2-dihydroxyethyl]oxolane-3,4-diol Chemical compound OC[C@@H](O)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1O JNYAEWCLZODPBN-JGWLITMVSA-N 0.000 description 1
- PNXSDOXXIOPXPY-UHFFFAOYSA-N (3,5-dioxo-4-azatricyclo[5.2.1.02,6]dec-8-en-4-yl) 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate Chemical compound C1=CC2CC1C1C2C(=O)N(OS(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F)C1=O PNXSDOXXIOPXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZKXMOAZVGXPZFK-UHFFFAOYSA-N (3,5-dioxo-4-azatricyclo[5.2.1.02,6]dec-8-en-4-yl) 1,1-difluoro-2-(4-tetracyclo[6.2.1.13,6.02,7]dodecanyl)ethanesulfonate Chemical compound C12C3C(CC(C2C2CCC1C2)C3)CC(F)(F)S(=O)(=O)ON3C(=O)C2C1C=CC(C2C3=O)C1 ZKXMOAZVGXPZFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYPFUPZGMLOPAJ-UHFFFAOYSA-N (3,5-dioxo-4-azatricyclo[5.2.1.02,6]dec-8-en-4-yl) 2-(2-bicyclo[2.2.1]heptanyl)-1,1,2,2-tetrafluoroethanesulfonate Chemical compound C1=CC2CC1C(C1=O)C2C(=O)N1OS(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C1C(C2)CCC2C1 JYPFUPZGMLOPAJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNUYPROIFFCXAE-UHFFFAOYSA-N (4-cyclohexylphenyl)-diphenylsulfanium Chemical compound C1CCCCC1C1=CC=C([S+](C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=C1 XNUYPROIFFCXAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFADEYDBOXASBQ-UHFFFAOYSA-M (4-cyclohexylphenyl)-diphenylsulfanium;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F.C1CCCCC1C1=CC=C([S+](C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=C1 UFADEYDBOXASBQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- QEYKXSMQZGHJSX-UHFFFAOYSA-M (4-cyclohexylphenyl)-diphenylsulfanium;trifluoromethanesulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F.C1CCCCC1C1=CC=C([S+](C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=C1 QEYKXSMQZGHJSX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- HQGTWZUOVIZAKX-UHFFFAOYSA-N (4-methylsulfonylphenyl)-diphenylsulfanium Chemical compound C1=CC(S(=O)(=O)C)=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 HQGTWZUOVIZAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VKOHBZXAXOVWQU-UHFFFAOYSA-M (4-methylsulfonylphenyl)-diphenylsulfanium;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F.C1=CC(S(=O)(=O)C)=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 VKOHBZXAXOVWQU-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- CFRRWRASBDSKBI-UHFFFAOYSA-M (4-methylsulfonylphenyl)-diphenylsulfanium;trifluoromethanesulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F.C1=CC(S(=O)(=O)C)=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 CFRRWRASBDSKBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000003837 (C1-C20) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- XVOUMQNXTGKGMA-OWOJBTEDSA-N (E)-glutaconic acid Chemical compound OC(=O)C\C=C\C(O)=O XVOUMQNXTGKGMA-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 1
- VLLPVDKADBYKLM-UHFFFAOYSA-M 1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate;triphenylsulfanium Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F.C1=CC=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 VLLPVDKADBYKLM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000002030 1,2-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:1])=C([*:2])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000001989 1,3-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:1])=C([H])C([*:2])=C1[H] 0.000 description 1
- 125000004955 1,4-cyclohexylene group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])C([H])([H])C1([H])[*:2] 0.000 description 1
- 125000001140 1,4-phenylene group Chemical group [H]C1=C([H])C([*:2])=C([H])C([H])=C1[*:1] 0.000 description 1
- CEZIJESLKIMKNL-UHFFFAOYSA-N 1-(4-butoxynaphthalen-1-yl)thiolan-1-ium Chemical compound C12=CC=CC=C2C(OCCCC)=CC=C1[S+]1CCCC1 CEZIJESLKIMKNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WNDABSCBNOUSTE-UHFFFAOYSA-M 1-(4-butoxynaphthalen-1-yl)thiolan-1-ium;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F.C12=CC=CC=C2C(OCCCC)=CC=C1[S+]1CCCC1 WNDABSCBNOUSTE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WFZZYWQSLJQVOT-UHFFFAOYSA-M 1-(6-butoxynaphthalen-2-yl)thiolan-1-ium;trifluoromethanesulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F.C1=CC2=CC(OCCCC)=CC=C2C=C1[S+]1CCCC1 WFZZYWQSLJQVOT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- MYKQKWIPLZEVOW-UHFFFAOYSA-N 11h-benzo[a]carbazole Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2C2=C1C1=CC=CC=C1N2 MYKQKWIPLZEVOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004206 2,2,2-trifluoroethyl group Chemical group [H]C([H])(*)C(F)(F)F 0.000 description 1
- BDLFEAFWNOROAK-UHFFFAOYSA-N 2,3-bis(hydroxymethyl)-4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C(CO)=C1CO BDLFEAFWNOROAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMBHAQMOBKLWRX-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1,4-benzodioxine-3-carboxylic acid Chemical compound C1=CC=C2OC(C(=O)O)COC2=C1 HMBHAQMOBKLWRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFQNMENFJSZTGD-UHFFFAOYSA-O 2,6-dimethyl-4-(thiolan-1-ium-1-yl)phenol Chemical compound CC1=C(O)C(C)=CC([S+]2CCCC2)=C1 WFQNMENFJSZTGD-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- GNZYDSUXCMLOMM-UHFFFAOYSA-N 2,6-dimethyl-4-(thiolan-1-ium-1-yl)phenol;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate Chemical compound CC1=C(O)C(C)=CC([S+]2CCCC2)=C1.[O-]S(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F GNZYDSUXCMLOMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VAOHUAFTTHSCRT-UHFFFAOYSA-N 2,6-dimethyl-4-(thiolan-1-ium-1-yl)phenol;trifluoromethanesulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F.CC1=C(O)C(C)=CC([S+]2CCCC2)=C1 VAOHUAFTTHSCRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZDVZUTSFCLMPMB-UHFFFAOYSA-M 2-(3-bicyclo[2.2.1]heptanyl)-1,1,2,2-tetrafluoroethanesulfonate;(4-cyclohexylphenyl)-diphenylsulfanium Chemical compound C1CC2C(C(F)(F)C(F)(F)S(=O)(=O)[O-])CC1C2.C1CCCCC1C1=CC=C([S+](C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)C=C1 ZDVZUTSFCLMPMB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- CIEPNGYYAZJVPI-UHFFFAOYSA-M 2-(3-bicyclo[2.2.1]heptanyl)-1,1,2,2-tetrafluoroethanesulfonate;(4-methylsulfonylphenyl)-diphenylsulfanium Chemical compound C1CC2C(C(F)(F)C(F)(F)S(=O)(=O)[O-])CC1C2.C1=CC(S(=O)(=O)C)=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 CIEPNGYYAZJVPI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- CDSOWTBAXZQSFF-UHFFFAOYSA-M 2-(3-bicyclo[2.2.1]heptanyl)-1,1,2,2-tetrafluoroethanesulfonate;1-(4-butoxynaphthalen-1-yl)thiolan-1-ium Chemical compound C1CC2C(C(F)(F)C(F)(F)S(=O)(=O)[O-])CC1C2.C12=CC=CC=C2C(OCCCC)=CC=C1[S+]1CCCC1 CDSOWTBAXZQSFF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- COAPLGOCHZYBCI-UHFFFAOYSA-M 2-(3-bicyclo[2.2.1]heptanyl)-1,1,2,2-tetrafluoroethanesulfonate;1-(6-butoxynaphthalen-2-yl)thiolan-1-ium Chemical compound C1CC2C(C(F)(F)C(F)(F)S(=O)(=O)[O-])CC1C2.C1=CC2=CC(OCCCC)=CC=C2C=C1[S+]1CCCC1 COAPLGOCHZYBCI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- FUARBSGJOAXCCL-UHFFFAOYSA-M 2-(3-bicyclo[2.2.1]heptanyl)-1,1,2,2-tetrafluoroethanesulfonate;diphenyliodanium Chemical compound C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1.C1CC2C(C(F)(F)C(F)(F)S(=O)(=O)[O-])CC1C2 FUARBSGJOAXCCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- AHFWIRXJWWWORD-UHFFFAOYSA-N 2-(3-bicyclo[2.2.1]heptanyl)-1,1,2,2-tetrafluoroethanesulfonic acid Chemical compound C1CC2C(C(F)(F)C(F)(F)S(=O)(=O)O)CC1C2 AHFWIRXJWWWORD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWLUZGJDEZBBRH-UHFFFAOYSA-N 2-(propan-2-yloxymethyl)oxirane Chemical compound CC(C)OCC1CO1 NWLUZGJDEZBBRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCNPOZMLKGDJGP-QPJJXVBHSA-N 2-[(e)-2-(4-methoxyphenyl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1\C=C\C1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 MCNPOZMLKGDJGP-QPJJXVBHSA-N 0.000 description 1
- ZJRNXDIVAGHETA-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(3,4-dimethoxyphenyl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound C1=C(OC)C(OC)=CC=C1C=CC1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 ZJRNXDIVAGHETA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOPKKHCDIAYUSK-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(5-methylfuran-2-yl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine Chemical compound O1C(C)=CC=C1C=CC1=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=NC(C(Cl)(Cl)Cl)=N1 XOPKKHCDIAYUSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUAUJXBLDYVELT-UHFFFAOYSA-N 2-[[2,2-dimethyl-3-(oxiran-2-ylmethoxy)propoxy]methyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCC(C)(C)COCC1CO1 KUAUJXBLDYVELT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWQPDVZUOZVCBH-UHFFFAOYSA-N 2-diazonio-4-oxo-3h-naphthalen-1-olate Chemical group C1=CC=C2C(=O)C(=[N+]=[N-])CC(=O)C2=C1 UWQPDVZUOZVCBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLLXMBCBJGATSP-UHFFFAOYSA-N 2-phenylethenol Chemical compound OC=CC1=CC=CC=C1 XLLXMBCBJGATSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000094 2-phenylethyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- QYSWOQHLIDKEOL-UHFFFAOYSA-N 5,6-diamino-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound NC=1NC(=S)NC(=O)C=1N QYSWOQHLIDKEOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WATIYWFLGQFKBA-UHFFFAOYSA-N 5,6-dihydroxy-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound OC=1NC(=S)NC(=O)C=1O WATIYWFLGQFKBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MEAKRQUSGACTFV-UHFFFAOYSA-N 5,6-dimethyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CC=1NC(=S)NC(=O)C=1C MEAKRQUSGACTFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTHSUUAWAJXBSU-UHFFFAOYSA-N 5-amino-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound NC1=CN=C(S)N=C1O CTHSUUAWAJXBSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKRVMBCSBMRJJV-UHFFFAOYSA-N 5-amino-6-(4-chlorophenyl)-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound N1C(=S)NC(=O)C(N)=C1C1=CC=C(Cl)C=C1 FKRVMBCSBMRJJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TUKCQZKLVXAOTE-UHFFFAOYSA-N 5-amino-6-methyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CC=1NC(=S)NC(=O)C=1N TUKCQZKLVXAOTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IQONBPISLRWNJP-UHFFFAOYSA-N 5-benzyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound O=C1NC(=S)NC=C1CC1=CC=CC=C1 IQONBPISLRWNJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNEXCHUDIUXJAZ-UHFFFAOYSA-N 5-benzyl-6-methyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound N1C(=S)NC(=O)C(CC=2C=CC=CC=2)=C1C DNEXCHUDIUXJAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JGZMMVRSEVEBDN-UHFFFAOYSA-N 5-bromo-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound BrC1=CNC(=S)NC1=O JGZMMVRSEVEBDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VKEFPEFOAGKBII-UHFFFAOYSA-N 5-butoxy-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCCOC1=CNC(=S)NC1=O VKEFPEFOAGKBII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ADIYSJAIOVUVLG-UHFFFAOYSA-N 5-butyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCCC1=CNC(=S)NC1=O ADIYSJAIOVUVLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CVUUUVXCTJCXGC-UHFFFAOYSA-N 5-butyl-6-ethyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCCC1=C(CC)NC(=S)NC1=O CVUUUVXCTJCXGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PPZCMIFVHYZLQV-UHFFFAOYSA-N 5-chloro-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound ClC1=CNC(=S)NC1=O PPZCMIFVHYZLQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYBWJPAOAQCXAX-UHFFFAOYSA-N 5-ethyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCC1=CNC(=S)NC1=O JYBWJPAOAQCXAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MFRRUUYTFLZFLT-UHFFFAOYSA-N 5-ethyl-6-icosyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCC=1NC(=S)NC(=O)C=1CC MFRRUUYTFLZFLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAMXUTIFBMEJAV-UHFFFAOYSA-N 5-fluoro-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound FC1=CNC(=S)NC1=O AAMXUTIFBMEJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UTGGJYGCTHNWFC-UHFFFAOYSA-N 5-hexyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCCCCC1=CNC(=S)NC1=O UTGGJYGCTHNWFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRROYQPJEAZQFA-UHFFFAOYSA-N 5-hydroxy-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound OC1=CN=C(S)NC1=O WRROYQPJEAZQFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CJKRSIYQQYFLQS-UHFFFAOYSA-N 5-hydroxy-6-propyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCC=1NC(=S)NC(=O)C=1O CJKRSIYQQYFLQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDFYFTSELDPCJA-UHFFFAOYSA-N 5-methoxy-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound COC1=CNC(=S)NC1=O CDFYFTSELDPCJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QUEMVJIEYWGDFW-UHFFFAOYSA-N 5-methoxy-6-phenyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound N1C(=S)NC(=O)C(OC)=C1C1=CC=CC=C1 QUEMVJIEYWGDFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVSPQKRGLIRGBC-UHFFFAOYSA-N 5-methoxy-6-propyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCC=1NC(=S)NC(=O)C=1OC HVSPQKRGLIRGBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLAQATDNGLKIEV-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CC1=CNC(=S)NC1=O ZLAQATDNGLKIEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFJYYHMLLGDFJL-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-6-(3-propan-2-yloctyl)-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCCCC(C(C)C)CCC=1NC(=S)NC(=O)C=1C AFJYYHMLLGDFJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNMDNPCBIKJCQP-UHFFFAOYSA-N 5-nonyl-7-oxabicyclo[4.1.0]hepta-1,3,5-trien-2-ol Chemical compound C(CCCCCCCC)C1=C2C(=C(C=C1)O)O2 RNMDNPCBIKJCQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWJRFPUNLXBCML-UHFFFAOYSA-N 5-propyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCC1=CNC(=S)NC1=O RWJRFPUNLXBCML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGBMRCINIVSOQZ-UHFFFAOYSA-N 5-tert-butyl-6-naphthalen-1-yl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound N1C(=S)NC(=O)C(C(C)(C)C)=C1C1=CC=CC2=CC=CC=C12 QGBMRCINIVSOQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IVVTWRBKURLSPQ-UHFFFAOYSA-N 6-(2-hydroxyethyl)-2-sulfanylidene-1H-pyrimidin-4-one Chemical compound OCCC1=CC(=O)NC(=S)N1 IVVTWRBKURLSPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BGSPVUXZJZZCIH-UHFFFAOYSA-N 6-(3,3-dimethyloctyl)-5-ethyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCCCC(C)(C)CCC=1NC(=S)NC(=O)C=1CC BGSPVUXZJZZCIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZBELZEOKBUNGOZ-UHFFFAOYSA-N 6-(3-nitrophenyl)-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound [O-][N+](=O)C1=CC=CC(C=2NC(=S)NC(=O)C=2)=C1 ZBELZEOKBUNGOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJBSUZMQFHDZMP-UHFFFAOYSA-N 6-(3-nitrophenyl)-5-propyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound N1C(=S)NC(=O)C(CCC)=C1C1=CC=CC([N+]([O-])=O)=C1 NJBSUZMQFHDZMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LTQWTYKQCZSHGX-UHFFFAOYSA-N 6-(4-chlorophenyl)-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound C1=CC(Cl)=CC=C1C1=CC(=O)NC(=S)N1 LTQWTYKQCZSHGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YFYYRKDBDBILSD-UHFFFAOYSA-N 6-amino-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound NC1=CC(=O)NC(=S)N1 YFYYRKDBDBILSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYWXDGAZVJZNJ-UHFFFAOYSA-N 6-amino-5-methyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CC1=C(N)NC(=S)NC1=O XLYWXDGAZVJZNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PTXWGZIHQKSVOS-UHFFFAOYSA-N 6-amino-5-propyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCC1=C(N)NC(=S)NC1=O PTXWGZIHQKSVOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNQYYXBXKJUURT-UHFFFAOYSA-N 6-bromo-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound BrC1=CC(=O)NC(=S)N1 SNQYYXBXKJUURT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSDMLFXMPLTACO-UHFFFAOYSA-N 6-bromo-5-methyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CC1=C(Br)NC(=S)NC1=O GSDMLFXMPLTACO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZIIFPSPUDAGJM-UHFFFAOYSA-N 6-chloro-2-n,2-n-diethylpyrimidine-2,4-diamine Chemical compound CCN(CC)C1=NC(N)=CC(Cl)=N1 XZIIFPSPUDAGJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VOLWLMIBCULDCN-UHFFFAOYSA-N 6-chloro-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound ClC1=CC(=O)NC(=S)N1 VOLWLMIBCULDCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDSTXTGIHXMUAV-UHFFFAOYSA-N 6-dodecyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCCCCCCCCCCC1=CC(=O)NC(=S)N1 LDSTXTGIHXMUAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DAWYXMLSWCGCEP-UHFFFAOYSA-N 6-ethyl-5-methyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCC=1NC(=S)NC(=O)C=1C DAWYXMLSWCGCEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URTRAAJRTDWJEE-UHFFFAOYSA-N 6-fluoro-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound FC1=CC(=O)NC(=S)N1 URTRAAJRTDWJEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUCKTDSMDZGYBY-UHFFFAOYSA-N 6-hexadecyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCC1=CC(=O)NC(=S)N1 RUCKTDSMDZGYBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SHFMWHXVJMQJEQ-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-5-nitro-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CC=1NC(=S)NC(=O)C=1[N+]([O-])=O SHFMWHXVJMQJEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XZVYOSIHDWNKKK-UHFFFAOYSA-N 6-methyl-5-propyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCC1=C(C)NC(=S)NC1=O XZVYOSIHDWNKKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCDMKHHSVLSBPL-UHFFFAOYSA-N 6-naphthalen-1-yl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound N1C(=S)NC(=O)C=C1C1=CC=CC2=CC=CC=C12 BCDMKHHSVLSBPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCMUFMVSRYHJJS-UHFFFAOYSA-N 6-octyl-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-4-one Chemical compound CCCCCCCCC1=CC(=O)NC(=S)N1 BCMUFMVSRYHJJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N Acetophenone Chemical compound CC(=O)C1=CC=CC=C1 KWOLFJPFCHCOCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDALETGZDYOOGB-UHFFFAOYSA-N Acridone Natural products C1=C(O)C=C2N(C)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=C1O GDALETGZDYOOGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001120493 Arene Species 0.000 description 1
- 239000007848 Bronsted acid Substances 0.000 description 1
- JGLMVXWAHNTPRF-CMDGGOBGSA-N CCN1N=C(C)C=C1C(=O)NC1=NC2=CC(=CC(OC)=C2N1C\C=C\CN1C(NC(=O)C2=CC(C)=NN2CC)=NC2=CC(=CC(OCCCN3CCOCC3)=C12)C(N)=O)C(N)=O Chemical compound CCN1N=C(C)C=C1C(=O)NC1=NC2=CC(=CC(OC)=C2N1C\C=C\CN1C(NC(=O)C2=CC(C)=NN2CC)=NC2=CC(=CC(OCCCN3CCOCC3)=C12)C(N)=O)C(N)=O JGLMVXWAHNTPRF-CMDGGOBGSA-N 0.000 description 1
- UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L Calcium chloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Ca+2] UXVMQQNJUSDDNG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical class CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYOQNXMUXLWAMT-UHFFFAOYSA-N FC(F)(C1CC2CCC1C2)C(F)(F)S(=O)(=O)ON1C(=O)c2cccc3cccc(C1=O)c23 Chemical compound FC(F)(C1CC2CCC1C2)C(F)(F)S(=O)(=O)ON1C(=O)c2cccc3cccc(C1=O)c23 DYOQNXMUXLWAMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQTQRNUJUPPWJR-UHFFFAOYSA-N FC(S(=O)(=O)ON1C(=O)C2C3C=CC(C2C1=O)C3)(F)F.C31C(CC(CC3)C1)C(C(S(=O)(=O)[O-])(F)F)(F)F.CC=1C=C(C=C(C1O)C)[S+]1CCCC1 Chemical compound FC(S(=O)(=O)ON1C(=O)C2C3C=CC(C2C1=O)C3)(F)F.C31C(CC(CC3)C1)C(C(S(=O)(=O)[O-])(F)F)(F)F.CC=1C=C(C=C(C1O)C)[S+]1CCCC1 QQTQRNUJUPPWJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-M Formate Chemical compound [O-]C=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004713 HPF6 Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N Hydrogen bromide Chemical compound Br CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002841 Lewis acid Substances 0.000 description 1
- WLLGXSLBOPFWQV-UHFFFAOYSA-N MGK 264 Chemical compound C1=CC2CC1C1C2C(=O)N(CC(CC)CCCC)C1=O WLLGXSLBOPFWQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005481 NMR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 241000282337 Nasua nasua Species 0.000 description 1
- JUQRWCMITUNYSA-UHFFFAOYSA-N O=S(=O)=NN=S(=O)=O Chemical class O=S(=O)=NN=S(=O)=O JUQRWCMITUNYSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 229920001213 Polysorbate 20 Polymers 0.000 description 1
- 229920001214 Polysorbate 60 Polymers 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HVUMOYIDDBPOLL-XWVZOOPGSA-N Sorbitan monostearate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](O)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1O HVUMOYIDDBPOLL-XWVZOOPGSA-N 0.000 description 1
- 239000004147 Sorbitan trioleate Substances 0.000 description 1
- PRXRUNOAOLTIEF-ADSICKODSA-N Sorbitan trioleate Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(=O)OC[C@@H](OC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC)[C@H]1OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC PRXRUNOAOLTIEF-ADSICKODSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAXXETNIOYFMLW-COPLHBTASA-N [(1s,3s,4s)-4,7,7-trimethyl-3-bicyclo[2.2.1]heptanyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1C[C@]2(C)[C@@H](OC(=O)C(=C)C)C[C@H]1C2(C)C IAXXETNIOYFMLW-COPLHBTASA-N 0.000 description 1
- NVJPBZCLWGTJKD-UHFFFAOYSA-N [bis(4-tert-butylphenyl)-lambda3-iodanyl] trifluoromethanesulfonate Chemical compound CC(C)(C)c1ccc(cc1)[I](OS(=O)(=O)C(F)(F)F)c1ccc(cc1)C(C)(C)C NVJPBZCLWGTJKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- CSCPPACGZOOCGX-WFGJKAKNSA-N acetone d6 Chemical compound [2H]C([2H])([2H])C(=O)C([2H])([2H])[2H] CSCPPACGZOOCGX-WFGJKAKNSA-N 0.000 description 1
- FZEYVTFCMJSGMP-UHFFFAOYSA-N acridone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3NC2=C1 FZEYVTFCMJSGMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005210 alkyl ammonium group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002877 alkyl aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000005215 alkyl ethers Chemical class 0.000 description 1
- IYABWNGZIDDRAK-UHFFFAOYSA-N allene Chemical group C=C=C IYABWNGZIDDRAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000004653 anthracenylene group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004104 aryloxy group Chemical group 0.000 description 1
- BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-L azelaate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCCCCCCC([O-])=O BDJRBEYXGGNYIS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000003935 benzaldehydes Chemical class 0.000 description 1
- HUMNYLRZRPPJDN-UHFFFAOYSA-N benzenecarboxaldehyde Natural products O=CC1=CC=CC=C1 HUMNYLRZRPPJDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XJHABGPPCLHLLV-UHFFFAOYSA-N benzo[de]isoquinoline-1,3-dione Chemical compound C1=CC(C(=O)NC2=O)=C3C2=CC=CC3=C1 XJHABGPPCLHLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid group Chemical group C(C1=CC=CC=C1)(=O)O WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- VBQDSLGFSUGBBE-UHFFFAOYSA-N benzyl(triethyl)azanium Chemical compound CC[N+](CC)(CC)CC1=CC=CC=C1 VBQDSLGFSUGBBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCCDCNCWUHICFM-UHFFFAOYSA-N benzyl(tripropyl)azanium Chemical compound CCC[N+](CCC)(CCC)CC1=CC=CC=C1 BCCDCNCWUHICFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 125000002529 biphenylenyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3C12)* 0.000 description 1
- DJBAOXYQCAKLPH-UHFFFAOYSA-M bis(4-tert-butylphenyl)iodanium;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F.C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1[I+]C1=CC=C(C(C)(C)C)C=C1 DJBAOXYQCAKLPH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N butane-1-sulfonic acid Chemical compound CCCCS(O)(=O)=O QDHFHIQKOVNCNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000001110 calcium chloride Substances 0.000 description 1
- 229910001628 calcium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 230000009920 chelation Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- ZPEIMTDSQAKGNT-UHFFFAOYSA-N chlorpromazine Chemical compound C1=C(Cl)C=C2N(CCCN(C)C)C3=CC=CC=C3SC2=C1 ZPEIMTDSQAKGNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001076 chlorpromazine Drugs 0.000 description 1
- 229940075419 choline hydroxide Drugs 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 239000007859 condensation product Substances 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229940118056 cresol / formaldehyde Drugs 0.000 description 1
- 150000001896 cresols Chemical class 0.000 description 1
- 125000000853 cresyl group Chemical group C1(=CC=C(C=C1)C)* 0.000 description 1
- 125000000000 cycloalkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002993 cycloalkylene group Chemical group 0.000 description 1
- NZNMSOFKMUBTKW-UHFFFAOYSA-M cyclohexanecarboxylate Chemical compound [O-]C(=O)C1CCCCC1 NZNMSOFKMUBTKW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NZNMSOFKMUBTKW-UHFFFAOYSA-N cyclohexanecarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1 NZNMSOFKMUBTKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001934 cyclohexanes Chemical class 0.000 description 1
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- FHIVAFMUCKRCQO-UHFFFAOYSA-N diazinon Chemical compound CCOP(=S)(OCC)OC1=CC(C)=NC(C(C)C)=N1 FHIVAFMUCKRCQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYSA-N diazonaphthoquinone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C(=[N]=[N])C=CC2=C1 URQUNWYOBNUYJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical class C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002013 dioxins Chemical class 0.000 description 1
- OZLBDYMWFAHSOQ-UHFFFAOYSA-N diphenyliodanium Chemical compound C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1 OZLBDYMWFAHSOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ORPDKMPYOLFUBA-UHFFFAOYSA-M diphenyliodanium;1,1,2,2,3,3,4,4,4-nonafluorobutane-1-sulfonate Chemical compound C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1.[O-]S(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F ORPDKMPYOLFUBA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SBQIJPBUMNWUKN-UHFFFAOYSA-M diphenyliodanium;trifluoromethanesulfonate Chemical compound [O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F.C=1C=CC=CC=1[I+]C1=CC=CC=C1 SBQIJPBUMNWUKN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 1
- 150000002118 epoxides Chemical group 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2C3=C[CH]C=CC3=CC2=C1 RMBPEFMHABBEKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- UQSQSQZYBQSBJZ-UHFFFAOYSA-N fluorosulfonic acid Chemical compound OS(F)(=O)=O UQSQSQZYBQSBJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002485 formyl group Chemical group [H]C(*)=O 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-L fumarate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)\C=C\C([O-])=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-L 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004438 haloalkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003106 haloaryl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-N heptanoic acid Chemical compound CCCCCCC(O)=O MNWFXJYAOYHMED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MBAKFIZHTUAVJN-UHFFFAOYSA-I hexafluoroantimony(1-);hydron Chemical compound F.F[Sb](F)(F)(F)F MBAKFIZHTUAVJN-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
- 125000004356 hydroxy functional group Chemical group O* 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- PZOUSPYUWWUPPK-UHFFFAOYSA-N indole Natural products CC1=CC=CC2=C1C=CN2 PZOUSPYUWWUPPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKJUIXBNRJVNHR-UHFFFAOYSA-N indolenine Natural products C1=CC=C2CC=NC2=C1 RKJUIXBNRJVNHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N iodonium Chemical compound [IH2+] MGFYSGNNHQQTJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940119545 isobornyl methacrylate Drugs 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N itaconic acid Chemical compound OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011133 lead Substances 0.000 description 1
- 150000007517 lewis acids Chemical class 0.000 description 1
- 125000003717 m-cresyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(O*)=C([H])C(=C1[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910001629 magnesium chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000002905 metal composite material Substances 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940098779 methanesulfonic acid Drugs 0.000 description 1
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N methanol Natural products OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001434 methanylylidene group Chemical group [H]C#[*] 0.000 description 1
- PMRYVIKBURPHAH-UHFFFAOYSA-N methimazole Chemical compound CN1C=CNC1=S PMRYVIKBURPHAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IDBOAVAEGRJRIZ-UHFFFAOYSA-N methylidenehydrazine Chemical class NN=C IDBOAVAEGRJRIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- JESXATFQYMPTNL-UHFFFAOYSA-N mono-hydroxyphenyl-ethylene Natural products OC1=CC=CC=C1C=C JESXATFQYMPTNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HEPOEAALKWFVLE-UHFFFAOYSA-N n -((perfluorooctanesulfonyl)oxy)-5-norbornene-2,3-dicarboximide Chemical compound C1=CC2CC1C1C2C(=O)N(OS(=O)(=O)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F)C1=O HEPOEAALKWFVLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VBGNVIVLWIKQSR-UHFFFAOYSA-N n-(4-oxo-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-5-yl)acetamide Chemical compound CC(=O)NC1=CNC(=S)NC1=O VBGNVIVLWIKQSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDWOPCNAJAZCJA-UHFFFAOYSA-N n-(4-oxo-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-6-yl)acetamide Chemical compound CC(=O)NC1=CC(=O)NC(=S)N1 XDWOPCNAJAZCJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWOGJRAALPPLGL-UHFFFAOYSA-N n-(5-ethyl-4-oxo-2-sulfanylidene-1h-pyrimidin-6-yl)acetamide Chemical compound CCC1=C(NC(C)=O)NC(=S)NC1=O TWOGJRAALPPLGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004957 naphthylene group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-M octanoate Chemical compound CCCCCCCC([O-])=O WWZKQHOCKIZLMA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- QNGNSVIICDLXHT-UHFFFAOYSA-N para-ethylbenzaldehyde Natural products CCC1=CC=C(C=O)C=C1 QNGNSVIICDLXHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005459 perfluorocyclohexyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005004 perfluoroethyl group Chemical group FC(F)(F)C(F)(F)* 0.000 description 1
- 150000002979 perylenes Chemical class 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 150000002990 phenothiazines Chemical class 0.000 description 1
- KRIOVPPHQSLHCZ-UHFFFAOYSA-N phenyl propionaldehyde Natural products CCC(=O)C1=CC=CC=C1 KRIOVPPHQSLHCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
- XKJCHHZQLQNZHY-UHFFFAOYSA-N phthalimide Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NC(=O)C2=C1 XKJCHHZQLQNZHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-M pimelate(1-) Chemical compound OC(=O)CCCCCC([O-])=O WLJVNTCWHIRURA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003880 polar aprotic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920000559 poly(Bisphenol A-co-epichlorohydrin) Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000259 polyoxyethylene lauryl ether Polymers 0.000 description 1
- 239000000256 polyoxyethylene sorbitan monolaurate Substances 0.000 description 1
- 235000010486 polyoxyethylene sorbitan monolaurate Nutrition 0.000 description 1
- 239000000249 polyoxyethylene sorbitan monopalmitate Substances 0.000 description 1
- 235000010483 polyoxyethylene sorbitan monopalmitate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001818 polyoxyethylene sorbitan monostearate Substances 0.000 description 1
- 235000010989 polyoxyethylene sorbitan monostearate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001816 polyoxyethylene sorbitan tristearate Substances 0.000 description 1
- 235000010988 polyoxyethylene sorbitan tristearate Nutrition 0.000 description 1
- 229920002503 polyoxyethylene-polyoxypropylene Polymers 0.000 description 1
- 150000003220 pyrenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000005548 pyrenylene group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229930195734 saturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007086 side reaction Methods 0.000 description 1
- 229940035044 sorbitan monolaurate Drugs 0.000 description 1
- 239000001587 sorbitan monostearate Substances 0.000 description 1
- 235000011076 sorbitan monostearate Nutrition 0.000 description 1
- 229940035048 sorbitan monostearate Drugs 0.000 description 1
- 235000019337 sorbitan trioleate Nutrition 0.000 description 1
- 229960000391 sorbitan trioleate Drugs 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- TYFQFVWCELRYAO-UHFFFAOYSA-N suberic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCC(O)=O TYFQFVWCELRYAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 229920001059 synthetic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000003419 tautomerization reaction Methods 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJWMYLFHBXEWNZ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl (4-ethenylphenyl) carbonate Chemical group CC(C)(C)OC(=O)OC1=CC=C(C=C)C=C1 GJWMYLFHBXEWNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKXIQBVKMABYQJ-UHFFFAOYSA-M tert-butyl carbonate Chemical compound CC(C)(C)OC([O-])=O XKXIQBVKMABYQJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N thallium Chemical compound [Tl] BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWIVZLWKBOZJFG-UHFFFAOYSA-N thiolan-1-ium trifluoromethanesulfonate Chemical compound C1CC[SH+]C1.[O-]S(=O)(=O)C(F)(F)F UWIVZLWKBOZJFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-M toluene-4-sulfonate Chemical compound CC1=CC=C(S([O-])(=O)=O)C=C1 JOXIMZWYDAKGHI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003866 trichloromethyl group Chemical group ClC(Cl)(Cl)* 0.000 description 1
- ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N triflic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C(F)(F)F ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000876 trifluoromethoxy group Chemical group FC(F)(F)O* 0.000 description 1
- 125000002023 trifluoromethyl group Chemical group FC(F)(F)* 0.000 description 1
- PHYFQTYBJUILEZ-IUPFWZBJSA-N triolein Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(=O)OCC(OC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC)COC(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC PHYFQTYBJUILEZ-IUPFWZBJSA-N 0.000 description 1
- WLOQLWBIJZDHET-UHFFFAOYSA-N triphenylsulfonium Chemical compound C1=CC=CC=C1[S+](C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 WLOQLWBIJZDHET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012953 triphenylsulfonium Substances 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
- 238000010977 unit operation Methods 0.000 description 1
- 229930195735 unsaturated hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005023 xylyl group Chemical group 0.000 description 1
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/42—Stripping or agents therefor
Description
a)少なくとも一種の光酸発生剤;
b)少なくとも一種のノボラックポリマー;
c)次の構造(I)を有する成分を含む少なくとも一種のアクリレートポリマー、
d)以下の構造(II)を有する一種以上の化合物を含む少なくとも一種のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料、
Wは、600以下の分子量を有する有機部分であり、ここでWは、それが結合する酸素とエーテル結合を形成し、
mは1~3の整数であり、そして
nは1~4の整数であり、但し、
mが1である場合は、nは3または4であり、
そして、mが2または3である場合は、nは1~4の整数であり、
n’は0または1である]
e)一般構造式(III)、(IIIa)もしくは(IIIb)、またはそれらの互変異性体から選択される環構造を含む少なくとも一種のヘテロ環状チオール化合物;
前記環構造は、4~8個の原子を有する単環構造であるか、または5~20個の原子を有する多環構造であり;ここで前記単環構造または前記多環構造は、芳香族、非芳香族またはヘテロ芳香族環を含み、そして
前記構造(III)において、Xは、C(Rt1)(Rt2)、O、S、Se、及びTeからなる群から選択され;
前記構造(IIIa)において、Yは、C(Rt3)及びNからなる群から選択され;
前記構造(IIIb)において、Zは、C(Rt3)及びNからなる群から選択され;そして
Rt1、Rt2、及びRt3は、独立して、H、1~8個の炭素原子を有する置換されたアルキル基、1~8個の炭素原子を有する置換されていないアルキル基、2~8個の炭素原子を有する置換されたアルケニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されていないアルケニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されたアルキニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されていないアルキニル基、6~20個の炭素原子を有する置換された芳香族基、3~20個の炭素原子を有する置換されたヘテロ芳香族基、6~20個の炭素原子を有する置換されていない芳香族基、及び3~20個の炭素原子を有する置換されていないヘテロ芳香族基から選択される]
f)少なくとも一種の溶媒、
を含むポジ作動型感光性組成物に関する。
a)少なくとも一種の光酸発生剤;
b)少なくとも一種のノボラックポリマー;
c)次の構造(I)を有する成分を含む少なくとも一種のアクリレートポリマー、
d)以下の構造(II)を有する一種以上の化合物を含む少なくとも一種のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料、
Wは、600以下の分子量を有する有機部分であり、ここでWは、それが結合する酸素とエーテル結合を形成し、
mは1~3の整数であり、そして
nは1~4の整数であり、但し、
mが1である場合は、nは3または4であり、
そして、mが2または3である場合は、nは1~4の整数であり、
n’は0または1である]
e)一般構造式(III)、(IIIa)もしくは(IIIb)、またはそれらの互変異性体から選択される環構造を含む少なくとも一種のヘテロ環状チオール化合物;
前記環構造は、4~8個の原子を有する単環構造であるか、または5~20個の原子を有する多環構造であり;ここで前記単環構造または前記多環構造は、芳香族、非芳香族またはヘテロ芳香族環を含み、そして
前記構造(III)において、Xは、C(Rt1)(Rt2)、O、S、Se、及びTeからなる群から選択され;
前記構造(IIIa)において、Yは、C(Rt3)及びNからなる群から選択され;
前記構造(IIIb)において、Zは、C(Rt3)及びNからなる群から選択され;そして
Rt1、Rt2、及びRt3は、独立して、H、1~8個の炭素原子を有する置換されたアルキル基、1~8個の炭素原子を有する置換されていないアルキル基、2~8個の炭素原子を有する置換されたアルケニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されていないアルケニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されたアルキニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されていないアルキニル基、6~20個の炭素原子を有する置換された芳香族基、3~20個の炭素原子を有する置換されたヘテロ芳香族基、6~20個の炭素原子を有する置換されていない芳香族基、及び3~20個の炭素原子を有する置換されていないヘテロ芳香族基からなる群から選択される]
f)少なくとも一種の溶媒、
を含むポジ作動型感光性組成物に関する。
a)ここに記載のポジ作動型感光性組成物のいずれかを基材上に施与して、フィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c)前記潜像を現像剤中で現像するステップ。
a’)ここに記載のポジ作動型感光性組成物のいずれかを基材上に施与して、フィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b’)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c’)像様露光された前記感光性層を熱処理して、ベークされた潜像を形成するステップ;
d’)前記ベークされた潜像を現像剤中で現像するステップ。
a’’)ここに記載のポジ作動型感光性組成物のいずれかを基材上に施与して、フィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b’’)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c’’)前記潜像を現像剤中で現像して、基材上にレジストパターンを形成するステップ;
d’’)前記レジストパターンをバリアとして使用して、基材上で選択的に電解メッキするステップ;
e’’)前記レジストパターンを剥がして、選択的に電解メッキされた金属を後に残し、それによって基材上に金属パターンを形成するステップ。
a’’’)ここに記載のポジ作動型感光性組成物のいずれかを基材上に施与して、フィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b’’’)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c’’’)像様露光された前記感光性層を熱処理して、ベークされた潜像を形成するステップ;
d’’’)前記ベークされた潜像を現像剤中で現像して、基材上にレジストパターンを形成するステップ;
e’’’)前記レジストパターンをバリアとして使用して、基材上で選択的に電解メッキするステップ;
f’’’)前記レジストパターンを剥がして、選択的に電解メッキされた金属を後に残し、それによって基材上に金属パターンを形成するステップ。
式中、Wは、それが結合する酸素とエーテル結合を形成し、
mは1~3の整数であり、そして
nは1~4の整数であり、但し、
mが1である場合は、nは3または4であり、
そして、mが2または3である場合は、nは1~4の整数であり、
n’は0または1である]
前記のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料の他の態様の一つでは、これは、該ポジ作動型感光性組成物について先に記載した成分d)のバリエーションのうちのいずれか一つである。
15.4g(0.1モル)の3,5-ジヒドロキシ安息香酸、53.75gの(グリシジルエンドキャップされた)ポリ(ビスフェノールA-co-エピクロロヒドリン)(平均Mn=約1075)、0.1gのベンジルトリエチルアンモニウムクロライドを、104gのプロピレングリコールメチルエーテル(PGME)溶媒中に混入した。この反応は、窒素下に110℃で10時間進行させた。室温まで冷却した後、反応混合物をDI水中で析出させた。固形のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料を洗浄し、そして50℃で真空下に乾燥して、Mw=3829のGPC(ポリスチレン標準使用)重量平均分子量及びMn=1895の数平均分子量を持って69.0g(99.8%収率)を生成した。グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が得られた。AZ(登録商標)300MIF現像剤中の溶解速度は6Å/秒である。
全てのグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料をPGMEA中に溶解して、50%の溶液を調製した。次いで、レジストサンプルをスピンコートし、そしてコンタクトモードで標準的なウェハトラックホットプレートを用いて110℃で180秒間のソフトベークを適用することによってコーティングを形成した。スピン速度は、10ミクロン厚のレジストフィルムが得られるように調整した。全てのフィルム厚測定は、光学的測定法を用いてSiウェハ上で行った。フィルムをAZ(登録商標)300MIF現像剤(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド=TMAH)の0.26N水溶液)(EMD Performance Materials,AZ Products,Somerville,NJ)中に23℃で浸漬した。規定の時間での膜減りを測定することによって溶解速度を決定した。
化学品
α,α-ビス(4-ヒドロキシフェニル)-4-(4-ヒドロキシ-α,α-ジメチルベンジル)エチルベンゼン(TPPA)は、本州化学工業社、日本国、郵便番号104-0031 東京都中央区京橋1丁目1-1八重洲大丸ビルから入手した。
添加剤合成例1の4.2gのグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料、アクリルポリマー合成例12の16.5gのアクリルポリマー樹脂、20.9gのノボラック-3、0.42gの1,3-ジオキソ-1H-ベンゾ[de]イソキノリン-2(3H)-イルトリフルオロメタンスルホネート[ナフタレンジカルボキシイミジルトリフレート、NIT](NIT PAG)、0.075gの1H-1,2,4-トリアゾール-3-チオール、0.055gのテトラブチルアンモニウムオキサレート、及び0.050gのAPS-437を、57.8gのPGMEA溶媒中に溶解して、42.2%固形分のレジスト溶液を得た。この溶液を銅ウェハ上にコーティングし、生成した10μmフィルムを110℃で180秒間乾燥した。このレジストを加工してパターン化された画像を形成し、これを90℃で60秒間、ポスト露光ベークし、そして120秒間現像した。
これらの処方では、処方例1の添加剤合成例1を、添加剤合成例2、3、4、5、6、7及び8とそれぞれ置き換えた。
アクリルポリマー合成例12の16.5gのアクリルポリマー樹脂、25.1gのノボラック-3、0.42gのNIT PAG、0.075gの1H-1,2,4-トリアゾール-3-チオール、0.055gのテトラブチルアンモニウムオキサレート、及び0.050gのAPS-437を、57.8gのPGMEA溶媒中に溶解して、42.2%固形分のレジスト溶液を得た。この溶液を銅ウェハ上にコーティングし、生成した10μmフィルムを110℃で180秒間乾燥した。このレジストを加工してパターン化された画像を形成し、これを90℃で60秒間、ポスト露光ベークし、そして120秒間現像した。生じたレジストパターンプロフィルはアンダーカットを示さない。この例を、多官能性グリシジル化合物と4-ヒドロキシ安息香酸または3,5-ジヒドロキシ安息香酸または没食子酸との縮合物の添加剤の、銅基材上でのレジストアンダーカットプロフィルへの大きな影響を示すために、例1~8と比較するために使用する。
これらの処方では、処方例1で使用したアクリル合成ポリマー12を、アクリル合成例1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11とそれぞれ置き換えて、レジスト溶液を得た。これらのレジストを、先に記載したものと同じ加工条件下に試験した。
添加剤合成例1の4.2gのグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物剤材料、30.575gのノボラックSPN560樹脂、7.3gのジアゾナフトキノンスルホン酸エステル[NK280とも称する)、0.075gの1H-1,2,4-トリアゾール-3-チオール[3-メルカプト-1,2,4-トリアゾールとも称する]、及び0.050gのAPS-437を、57.8gのPGMEA溶媒中に溶解して、溶液を調製した。この溶液を試験用に濾過した。
処方1~27を、6インチ径のSi及びCuウェハ上で試験した。Siウェハは脱水ベークし、そしてヘキサメチルジシラザン(HMDS)で蒸気下地処理した。Cuウェハは、5,000オングストロームの二酸化ケイ素、250オングストロームの窒化タンタル、及び3,500オングストロームのCu(PVD電解メッキ)でコーティングしたケイ素ウェハであった。
これらのウェハを、ASML250i線ステッパで露光した。レジストを、90℃で60秒間ポスト露光ベークし、そしてAZ(登録商標)300MIF現像剤(テトラメチルアンモニウムヒドロキシド=TMAHの0.26N水溶液)(EMD Performance Materials,AZ Products,Somerville,NJ)中で23℃で120秒間パドル現像した。現像されたレジスト画像は、Hitachi S4700またはAMRAY 4200L電子顕微鏡を用いて検査した。
Cu電解メッキは、エンソンGSW銅メッキ液(Enthone GSW Copper Plating Solution)を用いてカップ中で行った。電流密度は1ASDに制御し;メッキ温度は25℃であり;メッキ時間は12分間である。メッキ後、レジストをアセトンによって除去した。銅ワイヤ画像を、Hitachi S4700またはAMRAY4200L電子顕微鏡を用いて検査した。
本願は特許請求の範囲に記載の発明に係るものであるが、本願の開示は以下も包含する:
1. ポジ作動型感光性組成物であって、
a)少なくとも一種の光酸発生剤;
b)少なくとも一種のノボラックポリマー;
c)次の構造(I)を有する成分を含む少なくとも一種のアクリレートポリマー、
d)以下の構造(II)を有する一種以上の化合物を含む少なくとも一種のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料、
Wは、600以下の分子量を有する有機部分であり、ここでWは、それが結合する酸素とエーテル結合を形成し、
mは1~3の整数であり、そして
nは1~4の整数であり、但し、
mが1である場合は、nは3または4であり、
そして、mが2または3である場合は、nは1~4の整数であり、
n’は0または1である]
e)一般構造式(III)、(IIIa)もしくは(IIIb)、またはそれらの互変異性体から選択される環構造を含む少なくとも一種のヘテロ環状チオール化合物;
前記環構造は、4~8個の原子を有する単環構造であるか、または5~20個の原子を有する多環構造であり;ここで前記単環構造または前記多環構造は、芳香族、非芳香族またはヘテロ芳香族環を含み、そして
前記構造(III)において、Xは、C(Rt 1 )(Rt 2 )、O、S、Se、及びTeからなる群から選択され;
前記構造(IIIa)において、Yは、C(Rt 3 )及びNからなる群から選択され;
前記構造(IIIb)において、Zは、C(Rt 3 )及びNからなる群から選択され;そして
Rt 1 、Rt 2 、及びRt 3 は、独立して、H、1~8個の炭素原子を有する置換されたアルキル基、1~8個の炭素原子を有する置換されていないアルキル基、2~8個の炭素原子を有する置換されたアルケニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されていないアルケニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されたアルキニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されていないアルキニル基、6~20個の炭素原子を有する置換された芳香族基、3~20個の炭素原子を有する置換されたヘテロ芳香族基、6~20個の炭素原子を有する置換されていない芳香族基、及び3~20個の炭素原子を有する置換されていないヘテロ芳香族基からなる群から選択される]
f)少なくとも一種の溶媒、
を含む、ポジ作動型感光性組成物。
2. 構造(II)を有する前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、部分Wが、脂肪族炭化水素、脂肪族アルキルエーテル、ビス(アルキル)スルホン、及びビス(アルキル)ケトンからなる群から選択される脂肪族部分であるものである、前記1.に記載のポジ作動型感光性組成物。
3. 構造(II)を有する前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、部分Wが、アレーン、多環式アレーン、ビス(アリール)エーテル、ビフェニル、ビス(アリール)スルホン、ビス(フェニル)アルキレン、(アルキル)(アリール)ケトン、ビス(アリール)ケトン、ビス(アリール)スルホン、及び(アルキル)(アリール)スルホンから選択される芳香族部分であるものである、前記1.に記載のポジ作動型感光性組成物。
4. mが1である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
5. mが2である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
6. mが3である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
7. nが1である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
8. nが2である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
9. nが3である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
10. nが4である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
11. n’が0である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
12. n’が1である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
13. 前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、構造(IVa-1)を有する少なくとも一種の化合物を含み、ここでnは3~4であり、そしてRwはOHであるか、または部分(IVb-1)であり、ここで
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される部分であり;
Ra1、Rb1及びRcは、独立して、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 アルキレンオキシアルキルから選択され;
Ra2は、C 1 ~C 5 アルキル、C 2 ~C 5 アルキレンオキシアルキル、C 1 ~C 5 アルキルオキシ、ハライド、C 1 ~C 5 アルキルスルホニル、C 1 ~C 5 アルキルカルボニル、及びC 1 ~C 5 アルキルカルボニルオキシから選択され、そしてn’’は0~12の範囲である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
mは2~3であり、
n’は1または0であり;そして
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
23. mが3である、前記21.に記載のポジ作動型感光性組成物。
24. 前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、構造(V-1)を有する少なくとも一種の化合物を含み、ここでmは2~3であり、更にここで、
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
26. mが3である、前記24.に記載のポジ作動型感光性組成物。
27. 前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、構造(Va-2)を有する少なくとも一種の化合物を含み、ここでRw4はOHであるか、または構造(Vb-2)の部分であり、ここで
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
Xaはアルキレン部分である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
Xaはアルキレン部分である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
Ra及びRbは、独立して、C 1 ~C 5 アルキル部分、またはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
mは2~3であり、
n’は0または1であり;更にここで
Ra1及びRb1は、独立して、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
61. mが2である、前記59.に記載のポジ作動型感光性組成物。
62. 前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、構造(VIa-2)を有する少なくとも一種の化合物を含み、ここでRw21はOHであるか、または構造(VIb-2)の部分であり、ここで
Ra1及びRb1は、独立して、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
Ra1及びRb1は、独立して、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
mは1、2または3であり、そしてn’は0または1であり;更にここで
Ra2は、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
68. mが2である、前記66.に記載のポジ作動型感光性組成物。
69. mが1である、前記66.に記載のポジ作動型感光性組成物。
70. 前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、構造(VII-1)の少なくとも一種の化合物を含み、ここで、Ra2は、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分から選択され、そしてmは1、2または3である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
72. mが2である、前記70.に記載のポジ作動型感光性組成物。
73. mが1である、前記70.に記載のポジ作動型感光性組成物。
74. 前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、構造(VIIa-2)の少なくとも一種の化合物を含み、ここでRw24はOHであるか、または部分(VIIb-2)であり、ここで
Ra2は、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分である、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
80. 前記ノボラックポリマーが、o-クレゾール、p-クレゾールまたはm-クレゾールから選択される一種以上のクレゾール系繰り返し単位を含む、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
81. 前記ノボラックポリマーが、少なくとも80モル%のm-クレゾールを含むクレゾール系ノボラックである、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性材料。
82. 前記アクリレートポリマーが、Aがメチレン基、エチレン基、または1,2-プロピレン基であり、Bがメチル基、エチル基、プロピル基、またはブチル基であり、Cがメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、シクロヘキシル基、イソボルニル基またはテトラヒドロジシクロペンタジエニル基であり、Dが直接原子価結合、メチレン基またはエチレン基であり、Eがメチレン基、エチレン基または1,2-プロピレン基であるものである、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
83. 前記アクリレートポリマーが、Gが、第三級エステルを形成するzで指定される繰り返し単位中のカルボキシレートの酸素の第三級結合点に少なくとも一つの隣接水素を有する第三級アルキルから選択される高活性化エネルギー酸不安定性基であるか、またはzで指定される繰り返し単位中のカルボキシレートの酸素と形成したアセタールまたはケタールから選択される低活性化エネルギー保護基であるものである、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
84. 前記アクリレートポリマーが、Gが、t-ブチル基、テトラヒドロピラン-2-イル基、テトラヒドロフラン-2-イル基、4-メトキシテトラヒドロピラン-4-イル基、1-エトキシエチル基、1-ブトキシエチル基、1-プロポキシエチル基、3-オキソシクロヘキシル基、2-メチル-2-アダマンチル基、2-エチル-2-アダマンチル基、8-メチル-8-トリシクロ[5.2.1.0 2,6]デシル基、1,2,7,7-テトラメチル-2-ノルボニル基、2-アセトキシメンチル基、2-ヒドロキシメンチル基、1-メチル-1-シクロヘキシルエチル基、4-メチル-2-オキソテトラヒドロ-2H-ピラン-4-イル基、2,3-ジメチルブタン-2-イル基、2,3,3-トリメチルブタン-2-イル基、1-メチルシクロペンチル基、1-エチルシクロペンチル基、1-メチルシクロヘキシル基、1-エチルシクロヘキシル基、1,2,3,3-テトラメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2-イル基、2-エチル-1,3,3-トリメチルビシクロ[2.2.1]ヘプタン-2-イル基、2,6,6-トリメチルビシクロ[3.1.1]ヘプタン-2-イル基、2,3-ジメチルペンタン-3-イル基、または3-エチル-2-メチルペンタン-3-イル基から選択される酸解裂性基であるものである、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
85. 前記アクリレートポリマーが、tが0モル%であり、vが約2モル%~約15モル%であり、wが0モル%であり、xが約5モル%~約30モル%であり、yが約20モル%~約45モル%であり、そしてzが約20モル%~約45モル%であり、R 2 がメチルであり、R 4 及びR 5 がメチルであり、そしてR 6 がHであるものである、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
86. Dがメチレンであり、Arがフェニルであり、Eが-CH 2 -CH(CH 3 )-基であり、ここでこの基の-CH 2 -部分は、yで指定される繰り返し単位のカルボキシレート酸素に結合し、そしてGがtert-ブチル基である、前記85.に記載のポジ作動型感光性組成物。
87. 前記アクリレートポリマーが、tが0モル%であり、vが約2モル%~約15モル%であり、wが約5モル%~約20モル%であり、xが約5モル%~約50モル%であり、yが約20モル%~約45モル%であり、そしてzが約20モル%~約45モル%であり、R 2 及びR 3 がHであり、R 3 、R 4 及びR 6 がメチルである、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
88. Aがエチレン基であり、Bがメチルであり、Dがメチレンであり、Arがフェニルであり、Eが-CH 2 -CH(CH 3 )-基であり、ここでこの基の-CH 2 -部分は、yで指定される繰り返し単位のカルボキシレート酸素に結合し、そしてGがtert-ブチル基または1-エチルシクロペンチル基である、前記87.に記載のポジ作動型感光性組成物。
89. 前記アクリレートポリマーが、tが約5モル%~約30モル%であり、vが約2モル%~約15モル%であり、wが0モル%であり、xが0モル%であり、yが約20モル%~約45モル%であり、そしてzが約20モル%~約45モル%であり、R 1 がメチルであり、R 2 がHであり、そしてR 5 及びR 6 がメチルであるものである、前記1.~81.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
90. Cがメチルであり、Eが-CH 2 -CH(CH 3 )-基であり、ここでこの基の-CH 2 -部分は、yで指定される繰り返し単位のカルボキシレート酸素に結合し、そしてGがtert-ブチル基または1-エチルシクロペンチル基である、前記89.に記載のポジ作動型感光性組成物。
91. 前記アクリレートポリマーが、tが5モル%~約30モル%であり、vが約2モル%~約15モル%であり、wが0モル%であり、xが約10モル%~約30モル%であり、yが約20モル%~約45モル%であり、そしてzが約20モル%~約45モル%であり、R 1 、R 2 、R 4 及びR 5 がメチルであり、そしてR 6 がHであるものである、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
92. Cがイソボルニルまたはテトラヒドロジシクロペンタジエニルであり、Eが-CH 2 -CH(CH 3 )-基であり、ここでこの基の-CH 2 -部分は、yで指定される繰り返し単位のカルボキシレート酸素に結合し、そしてGがtert-ブチル基または1-エチルシクロペンチル基である、前記91.に記載のポジ作動型感光性組成物。
93. 前記アクリレートポリマーが、tが約0モル%であり、vが0モル%であり、wが約5モル%~約20モル%であり、xが約5モル%~約30モル%であり、yが約20モル%~約45モル%であり、そしてzが約20モル%~約45モル%であり、R 3 がHであり、R 4 、R 5 及びR 6 がメチルであるものである、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
94. Aがエチレン基であり、Bがメチルであり、Dがメチレンであり、Arがフェニルであり、Eが-CH 2 -CH(CH 3 )-基であり、ここでこの基の-CH 2 -部分は、yで指定される繰り返し単位のカルボキシレート酸素に結合し、そしてGがtert-ブチル基または1-エチルシクロペンチル基である、前記93.に記載のポジ作動型感光性組成物。
95. ヘテロ環状チオールが、置換されていないトリアゾールチオール、置換されたトリアゾールチオール、置換されていないイミダゾールチオール、置換されたイミダゾールチオール、置換されたトリアジンチオール、置換されていないトリアジンチオール、置換されたメルカプトピリミジン、置換されていないメルカプトピリミジン、置換されたチアジアゾール-チオール、置換されていないチアジアゾ-ル-チオール、置換されたインダゾールチオール、置換されていないインダゾールチオール、これらの互変異性体及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
96. 前記ヘテロ環状チオールが、1,3,5-トリアジン-2,4,6-トリチオール、2-メルカプト-6-メチルピリミジン-4-オール、3-メルカプト-6-メチル-1,2,4-トリアジン-5-オール、2-メルカプトピリミジン-4,6-ジオール、1H-1,2,4-トリアゾール-3-チオール、1H-1,2,4-トリアゾール-5-チオール、1H-イミダゾール-2-チオール、1H-イミダゾール-5-チオール、1H-イミダゾール-4-チオール、2-アザビシクロ[3.2.1]オクタ-2-エン-3-チオール、2-アザビシクロ[2.2.1]ヘプタ-2-エン-3-チオール、1H-ベンゾ[d]イミダゾール-2-チオール、2-メルカプト-6-メチルピリミジン-4-オール、2-メルカプトピリミジン-4-オール、1-メチル-1H-イミダゾール-2-チオール、1,3,4-チアジアゾ-ル-2,5-ジチオール、1H-インダゾール-3-チオール、これらの互変異性体及びこれらの組み合わせからなる群から選択される、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
97. 塩基性クエンチャを更に含む、前記1.~3.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
98. 前記塩基性クエンチャが、アミン類、またはテトラアルキルアンモニウムカルボキシレート塩から選択される、前記97.に記載のポジ作動型感光性組成物。
99. 前記塩基性クエンチャが、アミン類である、前記97.に記載のポジ作動型感光性組成物。
100. 前記塩基性クエンチャが、テトラアルキルアンモニウムカルボキシレート塩である、前記97.に記載のポジ作動型感光性組成物。
101. 前記塩基性クエンチャが、単官能性脂肪族カルボン酸のテトラアルキルアンモニウムカルボキシレート塩、または脂肪族ジカルボン酸のビス[テトラアルキルアンモニウム]塩である、前記97.に記載のポジ作動型感光性組成物。
102. 前記塩基性クエンチャが、単官能性脂肪族カルボン酸のカルボキシレート塩である、前記97.に記載のポジ作動型感光性組成物。
103. 前記塩基性クエンチャが、脂肪族ジカルボン酸のビス[テトラアルキルアンモニウム]塩である、前記97.に記載のポジ作動型感光性組成物。
104. 脂肪族ジカルボン酸の前記ビス[テトラアルキルアンモニウム]塩が、ビス[テトラアルキルアンモニウム]部分がビス[テトラメチルアンモニウム]、ビス[テトラエチルアンモニウム]、ビス[テトラプロピルアンモニウム]、ビス[テトラブチルアンモニウム]、及びビス[テトラペンチルアンモニウム]、ビス[ベンジルトリメチルアンモニウム]から選択され、そしてジカルボキシレートが、オキサレート、マロネート、スクシネート、アジペート及びヘプタジオネートから選択される塩から選択される、前記97.に記載のポジ作動型感光性組成物。
105. 前記溶媒が、有機酢酸ブチル、酢酸アミル、酢酸シクロヘキシル、酢酸3-メトキシブチル(MBA)、メチルエチルケトン、メチルアミルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、3-エトキシプロパン酸エチル、3-エトキシプロパン酸メチル、3-メトキシプロパン酸メチル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、ジアセトンアルコール、ピバル酸メチル、ピバル酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロパノエート、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、3-メチル-3-メトキシブタノール、N-メチル-2-ピロリドン、アニソール、ジメチルスルホキシド、ガンマ-ブチロラクトン、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、テトラメチレンスルホン、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテルまたはジエチレングリコールジメチルエーテル、及びガンマブチロラクトンからなる群、あるいはこの群からの溶媒の混合物から選択される有機溶媒である、前記1.~104.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
106. ポジ型レリーフ画像を形成する方法であって、
a)前記1.~105.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物を基材上に施与してフィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c)前記潜像を現像剤中で現像するステップ;
を含む前記方法。
107. ポジ型レリーフ画像を形成する方法であって、
a’)前記1.~105.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物を基材上に施与してフィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b’)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c’)像様露光された前記感光性層を熱処理して、ベークされた潜像を形成するステップ;
d’)前記ベークされた潜像を現像剤中で現像するステップ;
を含む前記方法。
108. 基材上に金属パターンを形成する方法であって、
a’’)前記1.~105.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物を基材上に施与してフィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b’’)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c’’)前記潜像を現像剤中で現像して、基材上にレジストパターンを形成するステップ;
d’’)前記レジストパターンをバリアとして使用して、基材上で選択的に電解メッキするステップ;
e’’)前記レジストパターンを剥がして、選択的に電解メッキされた金属を後に残し、それによって基材上に金属パターンを形成するステップ;
を含む前記方法。
109. 基材上に金属パターンを形成する方法であって、
a’’’)前記1.~105.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物を基材上に施与してフィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b’’’)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c’’’)像様露光された前記感光性層を熱処理して、ベークされた潜像を形成するステップ;
d’’’)前記ベークされた潜像を現像剤中で現像して、基材上にレジストパターンを形成するステップ;
e’’’)前記レジストパターンをバリアとして使用して、基材上で選択的に電解メッキするステップ;
f’’’)前記レジストパターンを剥がして、選択的に電解メッキされた金属を後に残し、それによって基材上に金属パターンを形成するステップ;
を含む前記方法。
110. 以下の構造(II)を有する一種以上の化合物を含むグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
Wは、600以下の分子量を有する有機部分であり、ここでWは、それが結合する酸素とエーテル結合を形成し、
mは1~3の整数であり、そして
nは1~4の整数であり、但し、
mが1である場合は、nは3または4であり、
そして、mが2または3である場合は、nは1~4の整数であり、
n’は0または1である]
111. 前記部分Wが、脂肪族炭化水素、脂肪族アルキルエーテル、ビス(アルキル)スルホン、及びビス(アルキル)ケトンからなる群から選択される脂肪族部分である、前記110.に記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
112. 構造(II)を有する前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、部分Wが、アレーン、多環式アレーン、ビス(アリール)エーテル、ビフェニル類、ビス(アリール)スルホン類、ビス(フェニル)アルキレン、(アルキル)(アリール)ケトン、ビス(アリール)ケトン類、ビス(アリール)スルホン類、及び(アルキル)(アリール)スルホン類から選択される芳香族部分であるものである、前記110.に記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
113. mが1である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
114. mが2である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
115. mが3である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
116. nが1である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
117. nが2である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
118. nが3である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
119. nが4である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
120. n’が0である、前記110.~118.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
121. n’が1である、前記110.~118.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
122. 構造(IVa-1)を有する少なくとも一種の化合物を含み、ここでnは3~4であり、そしてRwはOHであるか、または部分(IVb-1)であり、ここで
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される部分であり;Ra1、Rb1及びRcは、独立して、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 アルキレンオキシアルキルから選択され;
Ra2は、C 1 ~C 5 アルキル、C 2 ~C 5 アルキレンオキシアルキル、C 1 ~C 5 アルキルオキシ、ハライド、C 1 ~C 5 アルキルスルホニル、C 1 ~C 5 アルキルカルボニル、及びC 1 ~C 5 アルキルカルボニルオキシから選択され、そしてn’’は0~12の範囲である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
mは2~3であり、
n’は1または0であり;そして
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
132. mが3である、前記130.に記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
133. 構造(V-1)を有する少なくとも一種の化合物を含み、ここでmは2~3であり、更にここで
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
135. mが3である、前記133.に記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
136. 構造(Va-2)を有する少なくとも一種の化合物を含み、ここでRw4はOHであるか、または構造(Vb-2)の部分であり、ここで
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
Xaはアルキレン部分である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO 2 -、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
Xaはアルキレン部分である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
Ra及びRbは、独立して、C 1 ~C 5 アルキル部分、またはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
mは2~3であり、
n’は0または1であり;更にここで
Ra1及びRb1は、独立して、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分から選択される、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
170. mが2である、前記168.に記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
171. 構造(VIa-2)を有する少なくとも一種の化合物を含み、ここでRw21はOHであるか、または構造(VIb-2)の部分であり、ここで
Ra1及びRb1は、独立して、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分から選択される、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
Ra1及びRb1は、独立して、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分から選択される、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
mは1、2または3であり、そしてn’は0または1であり;更にここで
Ra2は、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分から選択される、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
177. mが2である、前記175.に記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
178. mが1である、前記175.に記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
179. 構造(VII-1)の少なくとも一種の化合物を含み、ここで、Ra2は、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分から選択され、そしてmは1、2または3である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
181. mが2である、前記179.に記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
182. mが1である、前記179.に記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
183. 構造(VIIa-2)の少なくとも一種の化合物を含み、ここでRw24はOHであるか、または部分(VIIb-2)であり、ここで
Ra2は、C 1 ~C 5 アルキルまたはC 2 ~C 5 -アルキレン-O-アルキル部分である、前記110.~112.のいずれか一つに記載のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料。
189. 前記1.~105.のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物の、基材上にポジレリーフ画像を形成するための方法での使用。
Claims (17)
- ポジ作動型感光性組成物であって、
a)少なくとも一種の光酸発生剤;
b)少なくとも一種のノボラックポリマー;
c)次の構造(I)を有する成分を含む少なくとも一種のアクリレートポリマー、
d)以下の構造(II)を有する一種以上の化合物を含む少なくとも一種のグリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料、
Wは、600以下の分子量を有する有機部分であり、ここでWは、それが結合する酸素とエーテル結合を形成し、
mは1~3の整数であり、そして
nは1~4の整数であり、但し、
mが1である場合は、nは3または4であり、
そして、mが2または3である場合は、nは1~4の整数であり、
n’は0または1である]
e)一般構造式(III)、(IIIa)もしくは(IIIb)、またはそれらの互変異性体から選択される環構造を含む少なくとも一種のヘテロ環状チオール化合物;
前記環構造は、4~8個の原子を有する単環構造であるか、または5~20個の原子を有する多環構造であり;ここで前記単環構造または前記多環構造は、芳香族、非芳香族またはヘテロ芳香族環を含み、そして
前記構造(III)において、Xは、C(Rt1)(Rt2)、O、S、Se、及びTeからなる群から選択され;
前記構造(IIIa)において、Yは、C(Rt3)及びNからなる群から選択され;
前記構造(IIIb)において、Zは、C(Rt3)及びNからなる群から選択され;そして
Rt1、Rt2、及びRt3は、独立して、H、1~8個の炭素原子を有する置換されたアルキル基、1~8個の炭素原子を有する置換されていないアルキル基、2~8個の炭素原子を有する置換されたアルケニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されていないアルケニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されたアルキニル基、2~8個の炭素原子を有する置換されていないアルキニル基、6~20個の炭素原子を有する置換された芳香族基、3~20個の炭素原子を有する置換されたヘテロ芳香族基、6~20個の炭素原子を有する置換されていない芳香族基、及び3~20個の炭素原子を有する置換されていないヘテロ芳香族基からなる群から選択される]
f)少なくとも一種の溶媒、
を含む、ポジ作動型感光性組成物。 - 構造(II)を有する前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、部分Wが、脂肪族炭化水素、脂肪族アルキルエーテル、ビス(アルキル)スルホン、及びビス(アルキル)ケトンからなる群から選択される脂肪族部分であるものである、請求項1に記載のポジ作動型感光性組成物。
- 構造(II)を有する前記グリシジルヒドロキシ安息香酸縮合物材料が、部分Wが、アレーン、多環式アレーン、ビス(アリール)エーテル、ビフェニル類、ビス(アリール)スルホン、ビス(フェニル)アルキレン、(アルキル)(アリール)ケトン、ビス(アリール)ケトン、ビス(アリール)スルホン、及び(アルキル)(アリール)スルホンから選択される芳香族部分であるものである、請求項1に記載のポジ作動型感光性組成物。
- 前記有機部分Wが、構造(Wa)、(Wb)、(Wc)、(Wd)、(We)及び(Wf)の部分からなる群から選択され、ここで
Xaは、直接原子価結合、アルキレン、-SO2-、-C(=O)-及び-O-からなる群から選択される部分であり;
Ra1、Rb1及びRcは、独立して、C1~C5アルキルまたはC2~C5アルキレンオキシアルキルから選択され;
Ra2は、C1~C5アルキル、C2~C5アルキレンオキシアルキル、C1~C5アルキルオキシ、ハライド、C1~C5アルキルスルホニル、C1~C5アルキルカルボニル、及びC1~C5アルキルカルボニルオキシから選択され、そしてn’’は0~12の範囲である、請求項1~3のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物。
- ポジ型レリーフ画像を形成する方法であって、
a)請求項1~13のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物を基材上に施与してフィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c)前記潜像を現像剤中で現像するステップ;
を含む前記方法。 - ポジ型レリーフ画像を形成する方法であって、
a’)請求項1~13のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物を基材上に施与してフィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b’)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c’)像様露光された前記感光性層を熱処理して、ベークされた潜像を形成するステップ;
d’)前記ベークされた潜像を現像剤中で現像するステップ;
を含む前記方法。 - 基材上に金属パターンを形成する方法であって、
a’’)請求項1~13のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物を基材上に施与してフィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b’’)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c’’)前記潜像を現像剤中で現像して、基材上にレジストパターンを形成するステップ;
d’’)前記レジストパターンをバリアとして使用して、基材上で選択的に電解メッキするステップ;
e’’)前記レジストパターンを剥がして、選択的に電解メッキされた金属を後に残し、それによって基材上に金属パターンを形成するステップ;
を含む前記方法。 - 基材上に金属パターンを形成する方法であって、
a’’’)請求項1~13のいずれか一つに記載のポジ作動型感光性組成物を基材上に施与してフィルムを形成し、次いでこのフィルムをベークすることによって、感光性層を形成するステップ;
b’’’)前記感光性層を化学線に像様露光して潜像を形成するステップ;
c’’’)像様露光された前記感光性層を熱処理して、ベークされた潜像を形成するステップ;
d’’’)前記ベークされた潜像を現像剤中で現像して、基材上にレジストパターンを形成するステップ;
e’’’)前記レジストパターンをバリアとして使用して、基材上で選択的に電解メッキするステップ;
f’’’)前記レジストパターンを剥がして、選択的に電解メッキされた金属を後に残し、それによって基材上に金属パターンを形成するステップ;
を含む前記方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023113648A JP2023145510A (ja) | 2018-09-05 | 2023-07-11 | ポジ作動型感光性材料 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201862727180P | 2018-09-05 | 2018-09-05 | |
US62/727,180 | 2018-09-05 | ||
PCT/EP2019/073430 WO2020048957A1 (en) | 2018-09-05 | 2019-09-03 | Positive working photosensitive material |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023113648A Division JP2023145510A (ja) | 2018-09-05 | 2023-07-11 | ポジ作動型感光性材料 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021535441A JP2021535441A (ja) | 2021-12-16 |
JPWO2020048957A5 JPWO2020048957A5 (ja) | 2022-08-12 |
JP7381566B2 true JP7381566B2 (ja) | 2023-11-15 |
Family
ID=67874438
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021511604A Active JP7381566B2 (ja) | 2018-09-05 | 2019-09-03 | ポジ作動型感光性材料 |
JP2023113648A Pending JP2023145510A (ja) | 2018-09-05 | 2023-07-11 | ポジ作動型感光性材料 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023113648A Pending JP2023145510A (ja) | 2018-09-05 | 2023-07-11 | ポジ作動型感光性材料 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220019141A1 (ja) |
EP (1) | EP3847506A1 (ja) |
JP (2) | JP7381566B2 (ja) |
KR (1) | KR20210053963A (ja) |
CN (1) | CN112654928A (ja) |
PH (1) | PH12021550383A1 (ja) |
SG (1) | SG11202100517VA (ja) |
TW (1) | TWI826515B (ja) |
WO (1) | WO2020048957A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI760123B (zh) * | 2021-02-26 | 2022-04-01 | 新應材股份有限公司 | 用於低溫製程的正型感光性樹脂組成物以及光阻膜的製造方法 |
WO2023088869A2 (en) | 2021-11-17 | 2023-05-25 | Merck Patent Gmbh | Compositions and methods for improving metal structure fabrication by wet chemical etch |
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JP2012159830A (ja) | 2011-01-12 | 2012-08-23 | Fujifilm Corp | ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜の形成方法、硬化膜、有機el表示装置、及び、液晶表示装置 |
WO2017182441A1 (en) | 2016-04-19 | 2017-10-26 | AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l. | Positive working photosensitive material |
CN108241256A (zh) | 2016-12-27 | 2018-07-03 | 奇美实业股份有限公司 | 化学增幅型正型感光性树脂组成物、附有铸模的基板的制造方法以及电镀成形体的制造方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL7103379A (ja) * | 1971-03-13 | 1972-09-15 | ||
US4073773A (en) * | 1976-12-30 | 1978-02-14 | General Electric Company | Melt polymerization method for making polyetherimides |
DE3405436A1 (de) * | 1984-02-15 | 1985-08-29 | Wacker-Chemie GmbH, 8000 München | Verfahren zur herstellung von polymerisaten ethylenisch ungesaettigter verbindungen |
US4999274A (en) * | 1987-02-02 | 1991-03-12 | Nippon Paint Co., Ltd. | Positive type photosensitive resinous composition with 1,2 quinone diazide sulfonyl unit |
CA2114461A1 (en) * | 1993-01-29 | 1994-07-30 | Chikayuki Otsuka | Positive-type photosensitive resin compositions |
US6042988A (en) | 1996-12-26 | 2000-03-28 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Chemical-amplification-type negative resist composition |
JP4991074B2 (ja) | 2000-02-27 | 2012-08-01 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | 光反応性酸発生剤およびそれを含有してなるフォトレジスト |
US6908722B2 (en) | 2001-06-29 | 2005-06-21 | Jsr Corporation | Acid generator, sulfonic acid, sulfonic acid derivatives and radiation-sensitive resin composition |
JP4214380B2 (ja) * | 2003-01-09 | 2009-01-28 | 日産化学工業株式会社 | エポキシ化合物誘導体を含む反射防止膜形成組成物 |
JP4438931B2 (ja) * | 2003-08-18 | 2010-03-24 | 日産化学工業株式会社 | フォトレジストパターンの形成方法 |
CN102981368B (zh) * | 2004-05-14 | 2015-03-04 | 日产化学工业株式会社 | 含有乙烯基醚化合物的形成防反射膜的组合物 |
DE102005052885A1 (de) * | 2005-11-07 | 2007-05-10 | Az Electronic Materials (Germany) Gmbh | Lichtempfindliche Komponente zur Verwendung in Photoresists |
KR100886314B1 (ko) * | 2007-06-25 | 2009-03-04 | 금호석유화학 주식회사 | 유기반사방지막용 공중합체 및 이를 포함하는유기반사방지막 조성물 |
US9012126B2 (en) * | 2012-06-15 | 2015-04-21 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Positive photosensitive material |
US8841062B2 (en) * | 2012-12-04 | 2014-09-23 | Az Electronic Materials (Luxembourg) S.A.R.L. | Positive working photosensitive material |
JP6923334B2 (ja) * | 2016-04-14 | 2021-08-18 | 旭化成株式会社 | 感光性樹脂組成物及び硬化レリーフパターンの製造方法 |
-
2019
- 2019-09-03 SG SG11202100517VA patent/SG11202100517VA/en unknown
- 2019-09-03 EP EP19765215.9A patent/EP3847506A1/en active Pending
- 2019-09-03 TW TW108131621A patent/TWI826515B/zh active
- 2019-09-03 JP JP2021511604A patent/JP7381566B2/ja active Active
- 2019-09-03 KR KR1020217009789A patent/KR20210053963A/ko active Search and Examination
- 2019-09-03 WO PCT/EP2019/073430 patent/WO2020048957A1/en unknown
- 2019-09-03 US US17/265,855 patent/US20220019141A1/en active Pending
- 2019-09-03 CN CN201980057768.3A patent/CN112654928A/zh active Pending
-
2021
- 2021-02-24 PH PH12021550383A patent/PH12021550383A1/en unknown
-
2023
- 2023-07-11 JP JP2023113648A patent/JP2023145510A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5817722A (en) | 1995-10-10 | 1998-10-06 | Exxon Chemical Patents Inc. | Low viscosity, high solids polyesterdiols and compositions containing same |
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CN108241256A (zh) | 2016-12-27 | 2018-07-03 | 奇美实业股份有限公司 | 化学增幅型正型感光性树脂组成物、附有铸模的基板的制造方法以及电镀成形体的制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20210053963A (ko) | 2021-05-12 |
SG11202100517VA (en) | 2021-02-25 |
EP3847506A1 (en) | 2021-07-14 |
CN112654928A (zh) | 2021-04-13 |
JP2021535441A (ja) | 2021-12-16 |
US20220019141A1 (en) | 2022-01-20 |
WO2020048957A1 (en) | 2020-03-12 |
TWI826515B (zh) | 2023-12-21 |
JP2023145510A (ja) | 2023-10-11 |
TW202024794A (zh) | 2020-07-01 |
PH12021550383A1 (en) | 2021-11-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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