JPWO2020158806A1 - 耐熱部材 - Google Patents
耐熱部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2020158806A1 JPWO2020158806A1 JP2020569687A JP2020569687A JPWO2020158806A1 JP WO2020158806 A1 JPWO2020158806 A1 JP WO2020158806A1 JP 2020569687 A JP2020569687 A JP 2020569687A JP 2020569687 A JP2020569687 A JP 2020569687A JP WO2020158806 A1 JPWO2020158806 A1 JP WO2020158806A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- glass
- resistant member
- alumina
- mass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 title 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 57
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 47
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 40
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 17
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 17
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 17
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 14
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 14
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 12
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 8
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910000019 calcium carbonate Inorganic materials 0.000 description 7
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 7
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 6
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 6
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 6
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 6
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 5
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 5
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 4
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 2
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 2
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 2
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 238000001694 spray drying Methods 0.000 description 2
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 2
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- QRSFFHRCBYCWBS-UHFFFAOYSA-N [O].[O] Chemical compound [O].[O] QRSFFHRCBYCWBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- -1 e.g. Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 125000001475 halogen functional group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003702 image correction Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
- C04B35/111—Fine ceramics
- C04B35/117—Composites
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B18/00—Layered products essentially comprising ceramics, e.g. refractory products
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
- C04B41/5025—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials with ceramic materials
- C04B41/5031—Alumina
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
- C04B41/81—Coating or impregnation
- C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
- C04B41/87—Ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3206—Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
- C04B2235/3208—Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/34—Non-metal oxides, non-metal mixed oxides, or salts thereof that form the non-metal oxides upon heating, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
- C04B2235/3418—Silicon oxide, silicic acids, or oxide forming salts thereof, e.g. silica sol, fused silica, silica fume, cristobalite, quartz or flint
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/36—Glass starting materials for making ceramics, e.g. silica glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/95—Products characterised by their size, e.g. microceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/30—Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
- C04B2237/32—Ceramic
- C04B2237/34—Oxidic
- C04B2237/343—Alumina or aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/58—Forming a gradient in composition or in properties across the laminate or the joined articles
- C04B2237/588—Forming a gradient in composition or in properties across the laminate or the joined articles by joining layers or articles of the same composition but having different particle or grain sizes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2237/00—Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/50—Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
- C04B2237/70—Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness
- C04B2237/704—Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness of one or more of the ceramic layers or articles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
本開示の耐熱部材は、アルミナ結晶と、Ｓｉ、Ｃａ、ＭｇおよびＯからなるガラスと、を含有するアルミナ質セラミックスからなり、内部におけるガラスが占める面積比率が、表面部におけるガラスが占める面積比率よりも多い。
Description
本開示は、耐熱部材に関する。
高温での使用が前提となる製品、例えば、自動車の車内暖房に使われるヒータ等には、６００℃程度の温度で使用しても破損するおそれが少ない耐熱部材が使用されている。
ここで、耐熱部材の材料には、大気環境下において、６００℃程度の温度でも酸化しにくく、長期間に亘っての使用が可能であるアルミナ質セラミックスが広く採用されている（例えば、特許文献１を参照）。
本開示の耐熱部材は、アルミナ結晶と、Ｓｉ、Ｃａ、ＭｇおよびＯからなるガラスと、を含有するアルミナ質セラミックスからなり、内部における前記ガラスが占める面積比率が、表面部における前記ガラスが占める面積比率よりも多い。
本開示の耐熱部材について、以下詳細に説明する。
本開示の耐熱部材は、アルミナ結晶およびガラスを含有する。本開示の耐熱部材は、アルミナ結晶と、ガラスと、を含有するアルミナ質セラミックスからなる。ガラスは、珪素（Ｓｉ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム（Ｍｇ）および酸素（Ｏ）を構成成分とする。ここで、ガラスとは、酸化珪素（ＳｉＯ2）に酸化カルシウム（ＣａＯ）および酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を含む、混合ガラスである。
本開示の耐熱部材は、内部におけるガラスが占める面積比率が、表面部におけるガラスが占める面積比率よりも多い。ここで、表面部とは、耐熱部材の表面を含む、耐熱部材の表面から深さ０．１ｍｍまでの領域をいう。一方、内部とは、耐熱部材の表面から深さ０．５ｍｍ以上の領域をいう。
このような構成を満足することで、本開示の耐熱部材は優れた耐熱衝撃性および優れた機械的強度を有する。一般的に、アルミナ結晶はガラスよりも優れた機械的強度を有する。また、ガラスは、アルミナ結晶よりも優れた耐熱衝撃性を有する。また、一般的に、熱衝撃は内部を起点に生じやすい傾向にある。本開示の耐熱部材は、内部におけるガラスが占める面積比率が表面部におけるガラスが占める面積比率より大きい。そのため、本開示の耐熱部材は、高い耐熱衝撃性を有する。また、本開示の耐熱部材は、表面部におけるアルミナ結晶が占める面積比率が内部におけるガラスが占める面積比率より大きい。したがって、本開示の耐熱部材は、表面部において優れた機械的強度を有する。そのため、耐熱部材の表面部には亀裂が生じにくい。
ここで、優れた機械的強度とは、ＪＩＳ Ｒ １６０１−２００８に準拠した、室温（２５℃）での３点曲げ強度の値が２８０ＭＰａ以上のことである。
また、優れた耐熱衝撃性とは、水中投下試験における耐熱温度が２５０℃以上であることである。ここで、水中投下試験における耐熱温度とは、Ｔ２（℃）に加熱した、３ｍｍ×４ｍｍ×３６ｍｍの試験片を、Ｔ２よりも低い温度であるＴ１（℃）の水中へ投下したときに、試験片に亀裂または欠けが発生しない温度差Ｔ２−Ｔ１（℃）の最大値のことである。
本開示の耐熱部材の主成分は、アルミニウム（Ａｌ）、酸素（Ｏ）を構成元素とするアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）である。アルミナは結晶の形態（アルミナ結晶）で存在していてもよい。アルミナ結晶は、α−Ａｌ2Ｏ3結晶（α−アルミナ結晶）であってもよい。
本開示の耐熱部材がアルミナ質セラミックスからなるとは、ＡｌのＡｌ２Ｏ３換算での含有量の下限値が７０質量％以上であることをいう。
本開示の耐熱部材に含まれるＡｌのＡｌ２Ｏ３換算での含有量の上限は、９３質量％であってもよい。
そして、本開示の耐熱部材は、構成される全成分１００質量％のうちの含有量が、ＡｌがＡｌ2Ｏ3換算で７０質量％以上８９質量％以下であり、ＳｉをＳｉＯ2、ＣａをＣａＯ、ＭｇをＭｇＯに換算した値の合計が１１質量％以上３０質量％以下であるアルミナ質セラミックスであってもよい。
なお、本開示の耐熱部材は、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｏ以外に、例えば、不可避不純物を合計で０．３質量％以下含有してもよい。不可避不純物としては、例えば、Ｎａ、Ｆｅ、Ｔｉであり、構成される全成分１００質量％のうちの含有量が、ＮａがＮａ2Ｏ換算で０．０１質量％以上０．１質量％以下、ＦｅがＦｅ2Ｏ3換算で０．０１質量％以上０．１質量％以下、ＴｉがＴｉＯ2換算で０．０１質量％以上０．１質量％以下であってもよい。
次に、本開示の耐熱部材が、アルミナ結晶およびガラスを含有しているか否かは、以下の方法で確認すればよい。まず、本開示の耐熱部材を粉砕した後、Ｘ線回折装置（ＸＲＤ）を用いて測定する。そして、得られた２θ（２θは、回折角度である。）の値よりＪＣＰＤＳカードを用いて同定を行なうことにより、アルミナ結晶の存在を確認することができる。また、低角度側のハローパターンの存在によりガラスの有無を確認することができる。
また、ガラスが珪素（Ｓｉ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム（Ｍｇ）、酸素（酸素）を構成成分とすることの確認方法としては、耐熱部材を切断し、鏡面に研磨した断面を観察面する。次に、この観察面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察し、ＳＥＭに付設のエネルギー分散型分析装置（ＥＤＳ）により、結晶以外の非晶質部分が確認されればその部分がガラスであり、その部分に電子線を照射して発生した蛍光Ｘ線（特性Ｘ線）を解析することにより、珪素、カルシウム、マグネシウムおよび酸素を含むガラスであるか否かを確認できる。
また、本開示の耐熱部材を構成する成分の含有量は、以下の方法で確認すればよい。まず、ＩＣＰ発光分光分析装置（ＩＣＰ）を用いて、耐熱性部材の含有成分の定量分析を行なう。そして、ＩＣＰで測定したアルミニウム（Ａｌ）、珪素（Ｓｉ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム（Ｍｇ）の含有量から、それぞれを酸化物換算して算出すればよい。
なお、構成される全成分１００質量％のうち、ＳｉのＳｉＯ2換算での含有量と、ＣａのＣａＯ換算での含有量と、ＭｇのＭｇＯ換算での含有量との合計は、８質量％以上３０質量％以下であるが、ＳｉのＳｉＯ2換算での含有量は６質量％以上１７質量％以下、ＣａのＣａＯ換算での含有量は０．５質量％以上９質量％以下、ＭｇのＭｇＯ換算での含有量は０．５質量％以上５質量％以下であってもよい。
また、表面部および内部におけるガラスが占める面積比率は、以下の方法で確認すればよい。まず、耐熱部材の表面を鏡面に研磨した面を第１観察面とする。また、耐熱部材の内部が露出するように切断し、この切断面を鏡面に研磨した面を第２観察面とする。次に、第１観察面の表面部、第２観察面の内部の写真をＳＥＭで撮影して得る。このとき、表面部および内部それぞれの各写真は、ＳＥＭで倍率を２０００倍以上４０００倍以下で撮影する。また、表面部および内部それぞれの写真の撮影面積は、２０００μｍ2以上８０００μｍ2以下となるようにする。
次に、写真において、ガラスの箇所をトレースして黒く塗りつぶす。このトレースした画像を画像解析ソフト「Ａ像くん」（登録商標、旭化成エンジニアリング（株）製であり、以降に画像解析ソフト「Ａ像くん」と記した場合、旭化成エンジニアリング（株）製の画像解析ソフトを示すものとする。）の粒子解析という手法を適用して画像解析を行なうことで、表面部および内部におけるガラスが占める面積比率を算出すればよい。なお、「Ａ像くん」の解析条件としては、粒子の明度を「暗」、２値化の方法を「自動」、シェーディングを「有」とすればよい。
また、本開示の耐熱部材は、表面部におけるガラスが占める面積比率が、内部における前記ガラスが占める面積比率よりも４面積％以上少なくてもよい。このような構成を満足するならば、本開示の耐熱部材の機械的強度が向上する。
また、本開示の耐熱部材は、表面部におけるガラスが占める面積比率は、２０面積％以下であってもよい。このような構成を満足するならば、表面部に亀裂がより発生しにくいため、本開示の耐熱部材の機械的強度が向上する。
なお、本開示の耐熱部材は、表面部におけるガラスが占める面積比率は、例えば、５面積％以上であってもよい。また、本開示の耐熱部材は、内部におけるガラスが占める面積比率は、例えば、９面積％以上４０面積％以下であってもよい。
本開示の耐熱部材は、表面部におけるアルミナ結晶の平均円相当径が、内部におけるアルミナ結晶の平均円相当径よりも小さいことが好ましい。
表面部におけるアルミナ結晶が内部におけるアルミナ結晶よりも小さいと、耐熱部材に熱衝撃がかかったときに表面部に亀裂が生じにくいだけでなく、表面部に亀裂が生じたとしても内部に亀裂が進展しにくい。そのため、耐熱部材の耐熱衝撃性が向上する。
本開示の耐熱部材は、表面部における前記アルミナ結晶の平均重心間距離が、内部におけるアルミナ結晶の平均重心間距離よりも短くてもよい。
表面部におけるアルミナ結晶の平均重心間距離が内部におけるアルミナ結晶の平均重心間距離よりも短いと、耐熱部材に熱衝撃がかかったときに表面部に亀裂が生じにくいだけでなく、表面部に亀裂が生じたとしても内部への進展を阻止することができる。そのため、耐熱部材の耐熱衝撃性が向上する。
表面部と内部におけるアルミナ結晶の平均円相当径は、次のようにして測定することができる。
本開示の耐熱部材の断面を鏡面加工した観察面を露呈させる。観察面のうち、前記表面部および前記内部のそれぞれを、倍率２０００倍から４０００倍程度の範囲内で電子線マイクロアナライザー（ＥＰＭＡ）により面分析を行なう。そして、面分析のカラーマッピングにおいて、アルミニウム（Ａｌ）が相対的に多く存在し、かつ酸素（Ｏ）が存在する部分をアルミナ結晶とみなす。
次に、ＥＰＭＡで撮影した画像において、アルミナ結晶とみなした部分を黒く塗りつぶす。そして、この画像を画像解析ソフト「Ａ像くん」（登録商標、旭化成エンジニアリング（株）製、なお、以降に画像解析ソフト「Ａ像くん」と記した場合、旭化成エンジニアリング（株）製の画像解析ソフトを示すものとする。）の粒子解析という手法を適用して画像解析を行なう。「Ａ像くん」の解析条件としては、例えば結晶粒子の明度を「暗」、２値化の方法を「自動」、シェーディングを「有」とすればよい。この粒子解析によって測定された各アルミナ結晶の円相当径から平均値を算出すればよい。アルミナ結晶とみなした結晶の測定個数は、表面部および内部ともに２００個以上６００個以下が好ましい。
表面部と内部におけるアルミナ結晶の平均重心間距離は、上述のようにトレースした画像を用いて次のようにして測定することができる。
「Ａ像くん」の分散度計測という手法を適用して画像解析を行なう。「Ａ像くん」の解析条件としては、例えば、粒子の明度を「暗」、２値化の方法を「自動」、小図形除去面積を０．１μｍ、雑音除去フィルタを「有」、２値化画像補正を「直線分離」、表示方法を「重ね合わせ」とすればよい。
また、本開示の耐熱性部材は、上述したように、優れた機械的強度および耐熱衝撃性を兼ね備えていることから、車両内の暖房に用いられる急速昇温可能なヒータ用部材、高温高圧の気体等を流すための流路部材、超高速の飛来物体から人体等を保護するための保護部材等の様々な技術分野において広く利用することができる。
次に、本開示の耐熱性部材の製造方法について以下に説明する。
まず、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）粉末、酸化珪素（ＳｉＯ2）粉末、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ3）粉末および炭酸マグネシウム（ＭｇＣＯ3）粉末を準備する。
次に、アルミナ粉末、酸化珪素粉末、炭酸カルシウム粉末、炭酸マグネシウム粉末を秤量および混合し、混合粉末Ａを得る。次に、混合粉末Ａをボールミル等の公知の方法で湿式粉砕し、公知の有機バインダを混合し、噴霧乾燥等の公知の方法で造粒する。
次に、金型を用いたプレス成形等の公知の方法で成形し、成形体Ａを得る。
次に、混合粉末Ａにアルミナ粉末を添加し、混合粉末Ｂを得る。次に、ボールミル等の公知の方法で湿式粉砕し、有機バインダ（例えば、ニトロセルロース等）および有機溶剤（例えば、テルピネオール等）を添加して、ペーストＢを得る。ここで、混合粉末Ｂを１００質量部としたとき、ペーストＢにおける有機バインダの含有量は、例えば、５質量部以上１５質量部以下であり、ペーストＢにおける有機溶剤の含有量は、例えば、２０質量部以上４０質量部以下である。
次に、成形体Ａの表面にペーストＢをスクリーン印刷またはスプレー等の公知の方法で塗布し、乾燥させることで、成形体Ａの表面にペーストＢの被膜を形成した成形体Ｃを得る。このとき、ペーストＢの被膜の厚さが焼成後に０．１ｍｍとなるように調整する。
また、成形体Ｃの焼結体の平均組成が、アルミニウム（Ａｌ）をアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）換算で７０質量％以上８９質量％以下、珪素（Ｓｉ）を酸化珪素（ＳｉＯ2）、カルシウム（Ｃａ）を酸化カルシウム（ＣａＯ）、マグネシウム（Ｍｇ）を酸化マグネシウム（ＭｇＯ）に換算した含有量の合計が１１質量％以上３０質量％以下の範囲内となるように、混合粉末Ａおよび混合粉末Ｂの組成は調整しておく。
次に、成形体Ｃを大気雰囲気で１３００℃以上１５００℃以下の温度で焼成することで、本開示の耐熱部材を得る。
なお、混合粉末Ｂを得る際に添加するアルミナ粉末の添加量を調整することで、表面部におけるガラスが占める面積比率を任意の値に変化させることができる。
表面部におけるアルミナ結晶が内部におけるアルミナ結晶よりも小さい耐熱部材を製造するには、混合粉末Ａに含まれるアルミナ粉末の平均粒径よりも、混合粉末Ｂに添加するアルミナ粉末の平均粒径を小さくすれば良い。表面部における前記アルミナ結晶の平均重心間距離が、内部における前記アルミナ結晶の平均重心間距離よりも短い耐熱部材を製造する場合も同様である。
以下、本開示の実施例を具体的に説明するが、本開示はこれらの実施例に限定されるものではない。
組成と、表面部および内部におけるガラスが占める面積比率とを異ならせた試料を作製し、機械的強度および耐熱衝撃性を評価した。
まず、アルミナ粉末、酸化珪素粉末、炭酸カルシウム粉末および炭酸マグネシウム粉末を準備した。
次に、アルミナ粉末、酸化珪素粉末、炭酸カルシウム粉末、炭酸マグネシウム粉末を、質量比で、表１の値になるように秤量および混合し、混合粉末Ａを得た。ここで、表１では、炭酸カルシウム粉末は酸化カルシウム（ＣａＯ）換算での値、炭酸マグネシウム粉末は酸化マグネシウム（ＭｇＯ）換算での値で示している。
次に、混合粉末Ａをボールミル等の公知の方法で湿式粉砕し、公知の有機バインダを混合し、噴霧乾燥等の公知の方法で造粒した。
次に、金型を用いたプレス成形により、成形体Ａを得た。このとき、成形体Ａは、焼成後に２．８ｍｍ×３．８ｍｍ×３５．８ｍｍとなる角棒形状とした。
次に、アルミナ粉末、酸化珪素粉末、炭酸カルシウム粉末、炭酸マグネシウム粉末を、質量比で、表１の値になるように秤量および混合し、混合粉末Ｂを得た。ここで、表１では、炭酸カルシウム粉末は酸化カルシウム（ＣａＯ）換算での値、炭酸マグネシウム粉末は酸化マグネシウム（ＭｇＯ）換算での値で示している。
次に、ボールミル等の公知の方法で湿式粉砕し、有機バインダとしてのニトロセルロースおよび有機溶剤としてのテルピネオールを添加して、ペーストＢを得た。ここで、混合粉末Ｂを１００質量部としたとき、ペーストＢにおける有機バインダの含有量は、１０質量部とし、ペーストＢにおける有機溶剤の含有量は、３０質量部とした。
次に、成形体Ａの表面にペーストＢをスクリーン印刷で塗布し、乾燥させることで、成形体Ａの表面にペーストＢの被膜を形成した成形体Ｃを得た。このとき、ペーストＢの被膜の厚さが焼成後に０．１ｍｍとなるように調整した。
次に、成形体Ｃを大気雰囲気で１４５０℃の温度で焼成することで、各試料を得た。なお、各試料は、３ｍｍ×４ｍｍ×３６ｍｍの角棒形状であった。
次に、各試料を構成する成分の含有量を、ＩＣＰを用いて各試料の定量分析を行ない、ＩＣＰで測定したアルミニウム（Ａｌ）、珪素（Ｓｉ）、カルシウム（Ｃａ）、マグネシウム（Ｍｇ）の含有量からそれぞれを酸化物換算することで算出した。
また、各試料の表面部および内部におけるガラスが占める面積比率を、以下の方法で確認した。まず、各試料の表面を鏡面に研磨した面を第１観察面とした。また、各試料の内部が露出するように切断し、この切断面を鏡面に研磨した面を第２観察面とした。次に、第１観察面の表面部、第２観察面の内部の写真をＳＥＭで撮影して得た。このとき、表面部および内部それぞれの各写真は、ＳＥＭで倍率を３０００倍で撮影した。また、表面部および内部それぞれの写真の撮影面積は、４４００μｍ2となるようにした。
次に、写真において、ガラスの箇所をトレースして黒く塗りつぶした。このトレースした画像を画像解析ソフト「Ａ像くん」の粒子解析という手法を適用して画像解析を行なうことで、各試料における、表面部および内部におけるガラスが占める面積比率を算出した。なお、「Ａ像くん」の解析条件としては、粒子の明度を「暗」、２値化の方法を「自動」、シェーディングを「有」とした。
また、各試料の３点曲げ強度を、ＪＩＳ Ｒ １６０１−２００８に概ね準拠した方法で算出した。
また、各試料の耐熱衝撃性を、水中投下試験における耐熱温度で評価した。具体的には、Ｔ２（℃）に加熱した各試料を、２５℃の水中へ投下したときに、各試料に亀裂または欠けが発生しない温度差Ｔ２−２５（℃）の最大値を算出した。ここで、Ｔ２は、１２５℃で開始し、１０℃ずつ上昇させ測定した。
結果を表１に示す。
表１に示すように、試料Ｎｏ．５〜１５は、３点曲げ強度が２８０ＭＰａ以上であるとともに、耐熱温度が２５０℃であった。このことから、構成される全成分１００質量％のうちの含有量が、ＡｌがＡｌ2Ｏ3換算で７０質量％以上８９質量％以下であり、ＳｉをＳｉＯ2、ＣａをＣａＯ、ＭｇをＭｇＯに換算した値の合計が１１質量％以上３０質量％以下であるアルミナ質セラミックスからなり、表面部におけるガラスが占める面積比率が、内部におけるガラスが占める面積比率よりも少なければ、優れた機械的強度および耐熱衝撃性を兼ね備えることがわかった。
また、試料Ｎｏ．５〜１５の中でも、試料Ｎｏ．１０〜１５は、３点曲げ強度が２９５ＭＰａ以上であり、表面部におけるガラスが占める面積比率が内部におけるガラスが占める面積比率よりも４面積％以上少なければ、機械的強度が向上することがわかった。
また、試料Ｎｏ．１０〜１５の中でも、試料Ｎｏ．１０、１２〜１５は、３点曲げ強度が３０３ＭＰａ以上であり、表面部におけるガラスが占める面積比率が２０面積％以下であれば、機械的強度がより向上することがわかった。
Claims (5)
- アルミナ結晶と、Ｓｉ、Ｃａ、ＭｇおよびＯからなるガラスと、を含有するアルミナ質セラミックスからなり、
内部における前記ガラスが占める面積比率が、表面部における前記ガラスが占める面積比率よりも多い耐熱部材。 - 前記内部における前記ガラスが占める面積比率が、前記表面部における前記ガラスが占める面積比率よりも４面積％以上多い請求項１に記載の耐熱部材。
- 前記表面部における前記ガラスが占める面積比率は、２０面積％以下である請求項１または請求項２に記載の耐熱部材。
- 前記表面部における前記アルミナ結晶の平均円相当径が、前記内部における前記アルミナ結晶の平均円相当径よりも小さい、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の耐熱部材。
- 前記表面部における前記アルミナ結晶の平均重心間距離が、前記内部における前記アルミナ結晶の平均重心間距離よりも短い、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の耐熱部材。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019014446 | 2019-01-30 | ||
| JP2019014446 | 2019-01-30 | ||
| PCT/JP2020/003190 WO2020158806A1 (ja) | 2019-01-30 | 2020-01-29 | 耐熱部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2020158806A1 true JPWO2020158806A1 (ja) | 2021-11-25 |
| JP7197610B2 JP7197610B2 (ja) | 2022-12-27 |
Family
ID=71841511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020569687A Active JP7197610B2 (ja) | 2019-01-30 | 2020-01-29 | セラミック部材 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20220073430A1 (ja) |
| EP (1) | EP3919460A4 (ja) |
| JP (1) | JP7197610B2 (ja) |
| CN (1) | CN113302169A (ja) |
| WO (1) | WO2020158806A1 (ja) |
Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5290507A (en) * | 1976-01-26 | 1977-07-29 | Shinagawa Refractories Co | Refractories*compositions therefor and manufacture |
| JPS57118079A (en) * | 1980-12-15 | 1982-07-22 | Coors Porcelain Co | Ceramic substrate for fine wire distribution electric circuit and manufacture |
| JPH09132471A (ja) * | 1995-11-10 | 1997-05-20 | Shinagawa Refract Co Ltd | 高炉出銑口閉塞材 |
| JP2001002464A (ja) * | 1998-11-24 | 2001-01-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 高耐電圧性アルミナ基焼結体及びその製造方法 |
| JP2002246144A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-30 | Ngk Spark Plug Co Ltd | スパークプラグ用絶縁体及びその製造方法 |
| DE10238053A1 (de) * | 2001-08-21 | 2003-03-06 | Nippon Electric Glass Co | Glaskeramisches Laminat, das nach dem Brennen eine relativ hohe Biegefestigkeit erhält |
| JP2007284264A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Sanyo Electric Co Ltd | 積層セラミック基板 |
| JP2008132913A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Asahi Tec Corp | 車両用アルミニウムホイールの塗装方法 |
| US20080248707A1 (en) * | 2006-11-29 | 2008-10-09 | Schott Ag | Armor material and method for producing it |
| JP2011134844A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Kyocera Corp | 多層配線基板の製造方法および多層配線基板 |
| JP2011219301A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Denso Corp | アルミナ質焼結体 |
| CN105237012A (zh) * | 2015-11-04 | 2016-01-13 | 湖南立达高新材料有限公司 | 一种矿热炉出铁口用炮泥及其制备方法 |
| JP2017115789A (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 京セラ株式会社 | ポンプ用部品およびポンプ用部品を備えるポンプ |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62113758A (ja) * | 1985-10-25 | 1987-05-25 | 株式会社住友金属セラミックス | 低温焼成セラミツクス |
| EP2190085B1 (en) * | 1998-11-24 | 2013-03-20 | NGK Spark Plug Co., Ltd. | Insulator and method of manufacturing an insulator |
| JP4546609B2 (ja) * | 2000-04-25 | 2010-09-15 | 株式会社ニッカトー | 耐熱衝撃抵抗性に優れたセラミック製熱処理用部材 |
| JP4883228B2 (ja) * | 2009-02-16 | 2012-02-22 | 株式会社村田製作所 | 低温焼結セラミック焼結体および多層セラミック基板 |
| JP5211251B1 (ja) * | 2012-02-27 | 2013-06-12 | 日本特殊陶業株式会社 | スパークプラグ |
| WO2014073604A1 (ja) * | 2012-11-07 | 2014-05-15 | 旭硝子株式会社 | ガラスセラミックス基板およびこの基板を用いた携帯型電子機器用筐体 |
-
2020
- 2020-01-29 US US17/424,459 patent/US20220073430A1/en active Pending
- 2020-01-29 WO PCT/JP2020/003190 patent/WO2020158806A1/ja unknown
- 2020-01-29 CN CN202080009036.XA patent/CN113302169A/zh active Pending
- 2020-01-29 JP JP2020569687A patent/JP7197610B2/ja active Active
- 2020-01-29 EP EP20748064.1A patent/EP3919460A4/en active Pending
Patent Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5290507A (en) * | 1976-01-26 | 1977-07-29 | Shinagawa Refractories Co | Refractories*compositions therefor and manufacture |
| JPS57118079A (en) * | 1980-12-15 | 1982-07-22 | Coors Porcelain Co | Ceramic substrate for fine wire distribution electric circuit and manufacture |
| JPH09132471A (ja) * | 1995-11-10 | 1997-05-20 | Shinagawa Refract Co Ltd | 高炉出銑口閉塞材 |
| JP2001002464A (ja) * | 1998-11-24 | 2001-01-09 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 高耐電圧性アルミナ基焼結体及びその製造方法 |
| JP2002246144A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-30 | Ngk Spark Plug Co Ltd | スパークプラグ用絶縁体及びその製造方法 |
| DE10238053A1 (de) * | 2001-08-21 | 2003-03-06 | Nippon Electric Glass Co | Glaskeramisches Laminat, das nach dem Brennen eine relativ hohe Biegefestigkeit erhält |
| JP2007284264A (ja) * | 2006-04-13 | 2007-11-01 | Sanyo Electric Co Ltd | 積層セラミック基板 |
| JP2008132913A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Asahi Tec Corp | 車両用アルミニウムホイールの塗装方法 |
| US20080248707A1 (en) * | 2006-11-29 | 2008-10-09 | Schott Ag | Armor material and method for producing it |
| JP2011134844A (ja) * | 2009-12-24 | 2011-07-07 | Kyocera Corp | 多層配線基板の製造方法および多層配線基板 |
| JP2011219301A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Denso Corp | アルミナ質焼結体 |
| CN105237012A (zh) * | 2015-11-04 | 2016-01-13 | 湖南立达高新材料有限公司 | 一种矿热炉出铁口用炮泥及其制备方法 |
| JP2017115789A (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 京セラ株式会社 | ポンプ用部品およびポンプ用部品を備えるポンプ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20220073430A1 (en) | 2022-03-10 |
| CN113302169A (zh) | 2021-08-24 |
| WO2020158806A1 (ja) | 2020-08-06 |
| JP7197610B2 (ja) | 2022-12-27 |
| EP3919460A4 (en) | 2022-11-30 |
| EP3919460A1 (en) | 2021-12-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2018139673A1 (ja) | 半導電性セラミック部材およびウエハ搬送用保持具 | |
| US9073790B2 (en) | Cordierite sintered body and member for semiconductor device composed of cordierite sintered body | |
| US11485687B2 (en) | Ceramic coating film-provided member and glass article manufacturing apparatus using it | |
| JP6712652B2 (ja) | 耐食性部材 | |
| Önen et al. | Microstructural characterization and thermal properties of aluminium titanate/spinel ceramic matrix composites | |
| JP7197610B2 (ja) | セラミック部材 | |
| KR20190085481A (ko) | 소성용 세터 | |
| JPWO2016182012A1 (ja) | アルミナ焼結体及び光学素子用下地基板 | |
| JP7267831B2 (ja) | 黒色セラミックス | |
| JP4721947B2 (ja) | 耐食性マグネシア質焼結体、それよりなる熱処理用部材および前記焼結体の製造方法 | |
| JP7092655B2 (ja) | 耐熱部材 | |
| JP2020097509A (ja) | ムライト質焼結体及びその製造方法 | |
| WO2018131600A1 (ja) | 熱処理用載置部材 | |
| JP7328360B2 (ja) | 耐熱部材 | |
| JP6204149B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体および時計用装飾部品 | |
| JP7242699B2 (ja) | 黒色セラミックス | |
| JP7156987B2 (ja) | 耐熱部材 | |
| Zhiguo et al. | Faience beads of the Western Zhou dynasty excavated in Gansu province, China: a technical study | |
| WO2023243542A1 (ja) | 焼結体 | |
| US20230373863A1 (en) | Cordierite sintered body and method for producing same | |
| WO2024117196A1 (ja) | セラミック焼結体 | |
| KR20210006959A (ko) | 광파장 변환 부재 및 발광 장치 | |
| JPH05170518A (ja) | 電子用セラミックス焼成窯炉用炉材 | |
| JP2005067926A (ja) | 接合用組成物、接合材および接合体 | |
| JPH101361A (ja) | ジルコニア／雲母複合材およびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210716 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220712 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220908 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221122 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221215 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7197610 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |