JPWO2020158537A1 - 化合物、酸発生剤、組成物、硬化物、硬化物の製造方法及びパターン塗膜の製造方法 - Google Patents

Abstract

本開示は、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスに優れた化合物を提供することを主な課題とする。
本開示は、下記一般式（Ａ）で表される化合物を提供することにより、上記課題を解決する。

（式中のＲ^１、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５、Ｒ^１６及びＲ^１７、並びにｎについては、明細書を参照。）Ｒ^１が、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、又は炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基であることが好ましい。

Description

本開示は、酸発生剤として好適に使用される化合物に関するものである。

酸発生剤は、光等のエネルギー線照射や加熱処理等により酸を発生する物質である。
特許文献１及び特許文献２には、酸発生剤として、スルホン酸誘導体化合物からなる光酸発生剤又は熱酸発生剤が開示されている。また、特許文献１及び特許文献２には、酸発生剤から発生する酸により重合又は架橋等の化学結合の形成により現像液に対する溶解性が減少するネガ型レジスト、酸の作用でエステル基或いはアセタール基の化学結合の切断等により現像液に対する溶解性が増加するポジ型レジスト等と共に酸発生剤を用いることが記載されている。また、具体的な用途として、半導体、オーバーコート剤、塗料、接着剤、インク用途等が記載されている。

特開２０１６−１６９１７３号公報 ＥＰ３４１２７４５（Ａ１）

しかしながら、これらの酸発生剤とネガ型レジスト、ポジ型レジスト等の樹脂とを組み合わせて樹脂組成物として用いた場合、樹脂組成物に色変化が生じる場合があるといった課題があった。

本開示は、上記課題に鑑みてなされたものであり、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスに優れた化合物を提供することを主な課題とする。

本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討を行った結果、ナフタレン環及びオキシムエステル構造を含むスルホン酸誘導体構造を有する化合物が、酸発生剤として機能し、かつ、組成物及びその硬化物の色変化抑制効果に優れることを見出した。
本発明者等は、これらの知見に基づいて、本発明を完成させるに至った。

すなわち、本開示は、下記一般式（Ａ）で表される化合物（以下、化合物Ａと称する場合がある。）を提供する。

（式中、Ｒ^１は、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基又は炭素原子数２〜２０の無置換若しくは置換基を有している複素環含有基を表すか、或いは、該脂肪族炭化水素基、該芳香族炭化水素含有基又は該複素環含有基中のメチレン基の１つ又は２つ以上が下記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基を表し、
Ｒ^２は、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基又は炭素原子数２〜２０の無置換若しくは置換基を有している複素環含有基を表すか、或いは、該脂肪族炭化水素基、該芳香族炭化水素含有基又は該複素環含有基中のメチレン基の１つ又は２つ以上が下記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基を表し、
Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５、Ｒ^１６及びＲ^１７は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、カルボキシル基、Ｒ^２０、−ＯＲ^２０、−ＣＯＲ^２０、−ＯＣＯＲ^２０、−ＣＯＯＲ^２０、−ＳＲ^２０、−ＳＯＲ^２０、−ＳＯ_２Ｒ^２０、−ＮＲ^２１Ｒ^２２、−ＮＲ^２１ＣＯＲ^２２又は−ＣＯＮＲ^２１Ｒ^２２を表し、
Ｒ^２０、Ｒ^２１及びＲ^２２は、それぞれ独立に、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基、炭素原子数２〜２０の無置換若しくは置換基を有している複素環含有基、又は該脂肪族炭化水素基、該芳香族炭化水素含有基若しくは該複素環含有基中のメチレン基の１つ若しくは２つ以上が下記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基を表し、
Ｒ^１１とＲ^１２、Ｒ^１２とＲ^１３、Ｒ^１３とＲ^１４、Ｒ^１４とＲ^１５、Ｒ^１５とＲ^１６及びＲ^１６とＲ^１７並びにＲ^２１とＲ^２２は、結合して環を形成する場合もあり、
前記脂肪族炭化水素基、前記芳香族炭化水素含有基及び前記複素環含有基中の水素原子の１つ又は２つ以上を置換する置換基が、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、−ＣＯＯＨ、−ＳＯ_２Ｈ、イソシアネート基又は炭素原子数１〜４のアルキル基であり、
ｎは０又は１を表す。）
群Ｉ：−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯ−、−ＣＳ−、−Ｓ−、−ＳＯ−、−ＳＯ_２−、−ＮＲ^３０−、−ＮＲ^３０−ＣＯ−、−ＣＯ−ＮＲ^３０−、−ＮＲ^３０−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−ＮＲ^３０−又は−ＳｉＲ^３０Ｒ^３１−。
Ｒ^３０及びＲ^３１は、それぞれ独立に、水素原子又は無置換の炭素原子数１〜２０の脂肪族炭化水素基を表す。

本開示によれば、上記構造を有することにより、上記化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスに優れたものとなる。

本開示においては、ｎが１であることが好ましい。ｎが１であることで上記化合物Ａは、透明性に優れたものとなるからである。また、その結果、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスにより優れた化合物となるからである。

本開示においては、Ｒ^１が、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、又は炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基であることが好ましく、Ｒ^１が、炭素原子数１〜１０のアルキル基中の水素原子の１つ又は２つ以上がハロゲン原子で置換された基、炭素原子数６〜１５のアリール基、又は該アリール基の環中の水素原子が無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基で置換された基であることが好ましい。Ｒ^１が上述の構造を有することで、上記化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスにより優れた化合物となるからである。

本開示においては、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５、Ｒ^１６及びＲ^１７が、それぞれ独立に、水素原子、−ＯＲ^２０、−ＣＯＲ^２０、−ＯＣＯＲ^２０、−ＣＯＯＲ^２０、−ＳＲ^２０、−ＳＯＲ^２０、−ＳＯ_２Ｒ^２０、−ＮＲ^２１Ｒ^２２、−ＮＲ^２１ＣＯＲ^２２又は−ＣＯＮＲ^２１Ｒ^２２であることが好ましい。Ｒ^１１〜Ｒ^１７が上述の構造を有することで、上記化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスにより優れた化合物となるからである。

本開示は、上述の一般式（Ａ）で表される化合物を含む酸発生剤を提供する。

本開示によれば、上記酸発生剤が、上記一般式（Ａ）で表される化合物を含むことにより、上記酸発生剤は、色変化の少ない組成物等を容易に得られるものとなる。

本開示は、一般式（Ａ）で表される化合物と、樹脂成分とを含む組成物を提供する。

本開示によれば、上記一般式（Ａ）で表される化合物を含むことで、上記組成物は、色変化の少ないものとなる。

本開示においては、上記樹脂成分が、酸反応性成分であることが好ましい。樹脂成分が酸反応性成分であることで、上記組成物は、化合物Ａが有する酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られるとの効果をより効果的に得られるからである。また、上記酸反応性成分が、酸硬化性成分又は酸分解性成分であることが好ましい。酸反応性成分が酸硬化性成分である場合には、色変化の少ない硬化物が得られるからである。また、酸反応性成分が酸分解性成分である場合、現像液に対する溶解性変化を生じさせない非現像箇所において色変化の少ない組成物が得られる。また、酸分解性成分について色変化の原因と推測される酸化劣化を抑制し、酸分解性成分の現像液に対する溶解性変化を容易とすることができるからである。

本開示は、上述の組成物の硬化物であり、上記酸反応性成分が上記酸硬化性成分である硬化物を提供する。

本開示によれば、上述の組成物を用いることで、色変化の少ないものとなる。

本開示は、上述の組成物を硬化する硬化工程を有し、上記酸反応性成分が上記酸硬化性成分である、硬化物の製造方法を提供する。

本開示によれば、上述の組成物を用いることで、色変化の少ない硬化物が容易に得られる。

本開示は、上述の組成物を用いて塗膜を形成し、形成された塗膜に含まれる化合物から酸を発生させる工程と、前記化合物から酸を発生させる工程後に前記塗膜の一部を現像し、パターン塗膜を形成する工程とを有し、上記酸反応性成分が上記酸分解性成分である、ことを特徴とするパターン塗膜の製造方法を提供する。

本開示によれば、上述の組成物を用いることで、寸法精度等に優れたパターン塗膜が得られるからである。

本開示は、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスに優れた化合物を提供できるという効果を奏する。

本開示は、化合物、酸発生剤、組成物及びその硬化物並びにその硬化物の製造方法並びにパターン塗膜の製造方法に関するものである。
以下、本開示の化合物、酸発生剤、組成物、硬化物、硬化物の製造方法及びパターン塗膜の製造方法について詳細に説明する。

Ａ．化合物
まず、本開示の化合物について説明する。
本開示の化合物は、下記一般式（Ａ）で表されることを特徴とするものである。

（式中、Ｒ^１は、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基又は炭素原子数２〜２０の無置換若しくは置換基を有している複素環含有基を表すか、或いは、該脂肪族炭化水素基、該芳香族炭化水素含有基又は該複素環含有基中のメチレン基の１つ又は２つ以上が下記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基を表し、
Ｒ^２は、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基又は炭素原子数２〜２０の無置換若しくは置換基を有している複素環含有基を表すか、或いは、該脂肪族炭化水素基、該芳香族炭化水素含有基又は該複素環含有基中のメチレン基の１つ又は２つ以上が下記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基を表し、
Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５、Ｒ^１６及びＲ^１７は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、カルボキシル基、Ｒ^２０、−ＯＲ^２０、−ＣＯＲ^２０、−ＯＣＯＲ^２０、−ＣＯＯＲ^２０、−ＳＲ^２０、−ＳＯＲ^２０、−ＳＯ_２Ｒ^２０、−ＮＲ^２１Ｒ^２２、−ＮＲ^２１ＣＯＲ^２２又は−ＣＯＮＲ^２１Ｒ^２２を表し、
Ｒ^２０、Ｒ^２１及びＲ^２２は、それぞれ独立に、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基、炭素原子数２〜２０の無置換若しくは置換基を有している複素環含有基、又は該脂肪族炭化水素基、該芳香族炭化水素含有基若しくは該複素環含有基中のメチレン基の１つ若しくは２つ以上が下記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基を表し、
Ｒ^１１とＲ^１２、Ｒ^１２とＲ^１３、Ｒ^１３とＲ^１４、Ｒ^１４とＲ^１５、Ｒ^１５とＲ^１６及びＲ^１６とＲ^１７並びにＲ^２１とＲ^２２は、結合して環を形成する場合もあり、
前記脂肪族炭化水素基、前記芳香族炭化水素含有基及び前記複素環含有基中の水素原子の１つ又は２つ以上を置換する置換基が、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、−ＣＯＯＨ、−ＳＯ_２Ｈ、イソシアネート基又は炭素原子数１〜４のアルキル基であり、
ｎは０又は１を表す。）
群Ｉ：−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯ−、−ＣＳ−、−Ｓ−、−ＳＯ−、−ＳＯ_２−、−ＮＲ^３０−、−ＮＲ^３０−ＣＯ−、−ＣＯ−ＮＲ^３０−、−ＮＲ^３０−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−ＮＲ^３０−又は−ＳｉＲ^３０Ｒ^３１−。
Ｒ^３０及びＲ^３１は、それぞれ独立に、水素原子又は無置換の炭素原子数１〜２０の脂肪族炭化水素基を表す。

本開示によれば、上記構造を有することにより、上記一般式（Ａ）で表される化合物、すなわち、化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスに優れたものとなる。
ここで、上記構造を有することにより、上記化合物Ａが、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスに優れた化合物を提供できる理由については、明確ではないが、以下のように推察される。

すなわち、上記化合物Ａは、スルホン酸誘導体構造を有するため、酸の発生効率に優れたものとなる。
また、上記化合物Ａは、酸発生後の構造が、樹脂の劣化を引き起こすラジカルを補足する構造となるため、樹脂の酸化劣化を引き起こしにくい。
このようなことから、上記化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスに優れたものとなるのである。

以下、本発明の化合物Ａについて詳細に説明する。

上記化合物Ａは、上記一般式（Ａ）で表されるものである。
上記Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^２０、Ｒ^２１及びＲ^２２並びに上記群Ｉ中のＲ^３０、Ｒ^３１（以下、Ｒ^１等と称する場合がある。）で表される脂肪族炭化水素基（以下、まとめて「Ｒ^１等で表される脂肪族炭化水素基」と称する場合がある。）は炭素原子数が１〜２０のものである。この脂肪族炭化水素基は、無置換であるか、置換基を有している。この脂肪族炭化水素基は、芳香族炭化水素環及び複素環を含まない炭化水素基であればよく、例えば、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数２〜２０のアルケニル基、炭素原子数３〜２０のシクロアルキル基、炭素原子数４〜２０のシクロアルキルアルキル基及びこれらの基の水素原子の１つ又は２つ以上が後述する置換基により置換された基等が挙げられる。

上記Ｒ^１等で表される炭素原子数１〜２０のアルキル基は直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。直鎖のアルキル基としては、メチル、エチル、プロピル、ブチル、ｉｓｏ−アミル、ｔｅｒｔ−アミル、ヘキシル、ヘプチル及びオクチルが挙げられる。分岐のアルキル基としては、ｉｓｏ−プロピル、ｓｅｃ−ブチル、ｔｅｒｔ−ブチル、ｉｓｏ−ブチル、ｉｓｏ−ペンチル、ｔｅｒｔ−ペンチル、２−ヘキシル、３−ヘキシル、２−ヘプチル、３−ヘプチル、ｉｓｏ−ヘプチル、ｔｅｒｔ−ヘプチル、ｉｓｏ−オクチル、ｔｅｒｔ−オクチル、２−エチルヘキシル、ノニル、イソノニル、デシル、ドデシル、トリデシル、テトラデシル、ペンタデシル、ヘキサデシル、へブロタデシル、オクタデシル等が挙げられる。

上記Ｒ^１等で表される炭素原子数２〜２０のアルケニル基は鎖状でることが好ましい。鎖状アルケニル基は、末端に不飽和結合を有する末端アルケニル基であってもよく、内部に不飽和結合を有する内部アルケニル基であってもよい。炭素数が２〜２０である末端アルケニル基としては、例えば、ビニル、アリル、２−メチル−２−プロペニル、３−ブテニル、４−ペンテニル及び５−ヘキセニル等が挙げられる。炭素数が２〜２０である内部アルケニル基としては、例えば、２−ブテニル、３−ペンテニル、２−ヘキセニル、３−ヘキセニル、２−ヘプテニル、３−ヘプテニル、４−ヘプテニル、３−オクテニル、３−ノネニル、４−デセニル、３−ウンデセニル、４−ドデセニル及び４，８，１２−テトラデカトリエニルアリル等が挙げられる。

上記Ｒ^１等で表される炭素原子数３〜２０のシクロアルキル基とは、３〜２０の炭素原子を有する、飽和単環式アルキル基又は飽和多環式アルキル基及びこれらの基の環中の水素原子の１つ又は２つ以上が、アルキル基で置換された基が挙げられる。上記炭素原子数３〜２０の飽和単環式アルキル基としては、例えば、シクロプロピル、シクロブチル、シクロペンチル、シクロヘキシル、シクロヘプチル、シクロオクチル、シクロノニル及びシクロデシル等が挙げられる。上記炭素原子数３〜２０の飽和多環式アルキル基としては、アダマンチル、デカハイドロナフチル、オクタヒドロペンタレン及びビシクロ［１．１．１］ペンタニル等が挙げられる。飽和単環式又は飽和多環式アルキル基の環中の水素原子を置換するアルキル基としては、上記のＲ^１等で表される炭素原子数１〜２０のアルキル基として例示したものと同様の基が挙げられる。飽和多環式アルキル基の環中の水素原子の１つ又は２つ以上が、アルキル基で置換された基としては、例えば、ボルニル基等が挙げられる。

上記Ｒ^１等で表される炭素原子数４〜２０のシクロアルキルアルキル基とは、アルキル基の水素原子が、シクロアルキル基で置換された炭素原子数４〜２０の基を意味する。該シクロアルキルアルキル基中のシクロアルキル基は単環であってもよく、多環であってもよい。シクロアルキル基が単環である炭素原子数４〜２０のシクロアルキルアルキル基としては、例えば、シクロプロピルメチル、２−シクロブチルエチル、３−シクロペンチルプロピル、４−シクロヘキシルブチル、シクロヘプチルメチル、シクロオクチルメチル、２−シクロノニルエチル及び２−シクロデシルエチル等が挙げられる。シクロアルキル基が多環である炭素原子数４〜２０のシクロアルキルアルキル基としては、３−３−アダマンチルプロピル及びデカハイドロナフチルプロピル等が挙げられる。

本発明において、基の炭素原子数は、基中の水素原子が置換基で置換されている場合、その置換後の基の炭素原子数を規定する。例えば、上記炭素原子数１〜２０のアルキル基の水素原子が置換されている場合、炭素原子数１〜２０とは、水素原子が置換された後の炭素原子数を指し、水素原子が置換される前の炭素原子数を指すのではない。
また、本発明において所定の炭素原子数の基中のメチレン基が二価の基で置き換えられた基に係る炭素原子数の規定は、その置換前の基の炭素原子数の規定と同じものとする。例えば、本明細書中、炭素原子数１〜２０のアルキル基中のメチレン基が二価の基で置き換えられた基の炭素原子数は、１〜２０とする。

上記Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^２０、Ｒ^２１及びＲ^２２で表される芳香族炭化水素含有基は炭素原子数が６〜２０のものである。この芳香族炭化水素含有基は、無置換であるか、置換基を有している。該芳香族炭化水素含有基は、芳香族炭化水素環を含み、複素環を含まない炭化水素基であればよく、例えば、炭素原子数６〜２０のアリール基、炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基、不飽和脂肪族炭化水素基がアリール基で置換された基及びこれらの基の水素原子の１つ又は２つ以上が後述する置換基により置換された基等が挙げられる。

上記Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^２０、Ｒ^２１及びＲ^２２で表される炭素原子数６〜２０のアリール基は、芳香族性を有する基とすることができる。単環構造を有するものであってもよく、縮環構造を有するものであってもよい。更に、上記アリール基は、単環構造のアリール基と単環構造のアリール基とを連結したものであってもよく、単環構造のアリール基と縮合構造のアリール基とを連結したものであってもよく、或いは縮合構造のアリール基と縮合構造のアリール基とを連結したものであってもよい。２つのアリール基を連結する連結基としては、単結合及びカルボニル基等が挙げられる。単結合単環構造を有するアリール基としては、例えば、フェニル、ビフェニル及びベンゾフェノン等が挙げられる。縮環構造を有するアリール基としては、例えば、ナフチル、アントラセニル、フェナントリル及びピレニル等が挙げられる。上記アリール基中の水素原子は無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基で置換されていてもよい。Ｒ^１又はＲ^２で表されるアリール基の炭素数は６〜１５であることが好ましい。上記アリール基は単環構造のアリール基であることが好ましく、フェニル基であることがより好ましい。
上記アリール基中の水素原子を置換する無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基としては、上記のＲ^１等で表される無置換若しくは置換基を有している炭素原子数１〜２０の脂肪族炭化水素基として例示したものと同様の基が挙げられる。該脂肪族炭化水素基としては、例えば、炭素原子数１〜４の無置換のアルキル基、炭素原子数１〜４のアルキル基中の水素原子の全てがハロゲン原子で置換された基等が好ましい。

上記Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^２０、Ｒ^２１及びＲ^２２で表される炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基とは、上述のアルキル基中の水素原子の１つ又は２つ以上が上述のアリール基で置換された基とすることができる。炭素原子数７〜２０のアリールアルキル基としては、例えば、ベンジル、フルオレニル、インデニル、９−フルオレニルメチル、α−メチルベンジル、α，α−ジメチルベンジル、フェニルエチル及びナフチルプロピル基やこれらの環中の水素原子が無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基で置換された基等が挙げられる。アリールアルキル基におけるアルキル基及びアリールアルキル基中の水素原子を置換する無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基としては、上記のＲ^１等で表される炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基として例示したものと同様の基が挙げられる。

上記Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^２０、Ｒ^２１及びＲ^２２で表される複素環含有基は炭素原子数が２〜２０のものである。この複素環含有基は、無置換であるか、置換基を有している。この複素環含有基としては、エポキシ基、オキセタン基、ピリジル基、キノリル基、チアゾリル基、テトラヒドロフラン基、ジオキソラニル基、テトラヒドロピラニル基、モルホリルフラン基、チオフェン基、メチルチオフェン基、ヘキシルチオフェン基、ベンゾチオフェン基、ピロール基、ピロリジン基、イミダゾール基、イミダゾリジン基、イミダゾリン基、ピラゾール基、ピラゾリジン基、ピペリジン基及びピペラジン基等の複素環、並びに脂肪族炭化水素基の水素原子の１つ又は２つ以上が複素環で置換された基のほか、これらの基の水素原子の１つ又は２つ以上が後述する置換基により置換された基等が挙げられる。当該脂肪族炭化水素基としては、上記のＲ^１等で表される炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基として例示したものが挙げられる。なお、本明細書において、「炭素原子数２〜２０の複素環含有基」における「２〜２０」は、「複素環」ではなく「複素環含有基」の炭素原子数を規定する。

Ｒ^２、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５、Ｒ^１６及びＲ^１７（以下、Ｒ^２等と称する場合がある。）で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。

上記脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素含有基又は複素環含有基のメチレン基の２以上が上記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基において、複数の当該二価の基は互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。複数の二価の基は互いに隣り合わないものとする。

上記脂肪族炭化水素基のメチレン基の１つ又は２つ以上が、上記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基としては、例えば、脂肪族炭化水素基がボルニル基である場合には、その環中のメチレン基が−ＣＯ−に置き換えられた基、すなわち、１０−カンファーイル基等も用いることができる。

Ｒ^１１とＲ^１２、Ｒ^１２とＲ^１３、Ｒ^１３とＲ^１４、Ｒ^１４とＲ^１５、Ｒ^１５とＲ^１６及びＲ^１６とＲ^１７並びにＲ^２１とＲ^２２が結合して形成する環は５〜７員環の単環であってもよく、縮合環であってもよい。単環としては、例えば、シクロペンタン、シクロヘキサン及びシクロペンテン等の単環のシクロアルカン、ベンゼン等の単環の芳香族環、ピロリジン、ピロール、ピペラジン、モルホリン、チオモルホリン、テトラヒドロピリジン、ラクトン環及びラクタム環等の単環の複素環が挙げられる。縮合環としては、ナフタレン及びアントラセン等が挙げられる。

一般式（１）等で説明した脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素含有基及び複素環含有基並びにこれらの基中のメチレン基の１つ又は２以上が上記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基における水素原子を置換する置換基としては、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、−ＣＯＯＨ、−ＳＯ_２Ｈ、イソシアネート基又は炭素原子数１〜４のアルキル基が挙げられ、ハロゲン原子又は炭素原子数１〜４のアルキル基であることが好ましい。該炭素原子数１〜４のアルキル基の１つ又は２以上の水素原子はハロゲン原子で置換されていてもよい。該ハロゲン原子及び炭素原子数１〜４のアルキル基としては、上述のＲ^１、Ｒ^２等で使用可能な基として挙げたものが挙げられる。
なお、置換基として用いられるハロゲン原子については、上記Ｒ^２等に用いられるハロゲン原子と同様の原子を用いることができる。

上記脂肪族炭化水素基中の水素原子の１つ又は２つ以上がハロゲン原子で置換された基、すなわち、ハロゲン化アルキル基としては、例えば、トリフルオロメチル、ペンタフルオロエチル、２−クロロエチル、２−ブロモエチル、へプタフルオロプロピル、３−ブロモプロピル、ノナフルオロブチル、トリデカフルオロヘキシル、へプタデカフルオロオクチル、２，２，２−トリフルオロエチル、１，１−ジフルオロエチル、１，１−ジフルオロプロピル、１，１，２，２−テトラフルオロプロピル、３，３，３−トリプルオロプロピル、２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロピル、ノルボルニル−１，１−ジフルオロエチル、ノルボルニルテトラフルオロエチル、アダマンタン−１，１，２，２−テトラフルオロプロピル、ビシクロ［２．２．１］へプタン−テトラフルオロメチル等が挙げられる。

上記一般式（Ａ）におけるＲ^１は、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基又は炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基であることが好ましい。
Ｒ^１で表される炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基は、炭素原子数１〜１０の無置換若しくは置換基を有しているアルキル基が好ましく、炭素原子数１〜１０のアルキル基中の水素原子の１つ又は２つ以上がハロゲン原子で置換された基であることがより好ましく、炭素原子数１〜５のアルキル基中の水素原子の全てがハロゲン原子で置換されている基、すなわち炭素原子数１〜５のパーハロアルキル基が更に好ましく、炭素原子数１〜５のアルキル基中の水素原子の全てがフッ素原子で置換されている基、すなわち炭素原子数１〜５のパーフルオロアルキル基が特に好ましい。
Ｒ^１で表される炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基としては、炭素原子数６〜１５のアリール基又は該アリール基中の水素原子の１つ又は２つ以上が無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基で置換された基であることが好ましく、炭素原子数７〜１０のフェニル基の環中の水素原子の１つ又は２つ以上が無置換若しくは置換基を有している炭素原子数１〜４のアルキル基で置換された基であることがより好ましく、トリル基等の炭素原子数７〜１０のフェニル基の環中の水素原子の１つが炭素原子数１〜４の無置換のアルキル基で置換された基であることが特に好ましい。Ｒ^１が炭素原子数７〜１０のフェニル基の環中の水素原子の１つが炭素原子数１〜４の無置換のアルキル基で置換された基である場合、炭素原子数１〜４の無置換のアルキル基は、硫黄原子との結合位置に対してパラ位に位置することが好ましい。
上記Ｒ^１が上述の構造を有することで、上記化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスにより優れた化合物となるからである。

上記一般式（Ａ）におけるＲ^２は、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基又は炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基であることが好ましい。
Ｒ^２で表される炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基は、炭素原子数１〜１０のアルキル基であることが好ましく、炭素原子数１〜４のアルキルであることがより好ましく、炭素原子数１〜２のアルキル基であることが更に好ましい。
Ｒ^２で表される炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基は、炭素原子数６〜１５のアリール基又はアリール基の環中の水素原子の１つ又は２つ以上が無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基で置換された基であることが好ましく、フェニル基又はナフチル基であることが好ましく、フェニル基であることが更に好ましい。
Ｒ^２が上述の構造を有することで、上記化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスにより優れた化合物となるからである。

上記一般式（Ａ）におけるＲ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５、Ｒ^１６及びＲ^１７はそれぞれ独立に、水素原子、−ＯＲ^２０、−ＣＯＲ^２０、−ＯＣＯＲ^２０、−ＣＯＯＲ^２０、−ＳＲ^２０、−ＳＯＲ^２０、−ＳＯ_２Ｒ^２０、−ＮＲ^２１Ｒ^２２、−ＮＲ^２１ＣＯＲ^２２又は−ＣＯＮＲ^２１Ｒ^２２であることが好ましい。Ｒ^１１〜Ｒ^１７が上述の構造を有することで、上記化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスにより優れた化合物となるからである。
本開示においては、Ｒ^２０、Ｒ^２１及びＲ^２２は、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基であることが好ましく、炭素原子数１〜１０の無置換の脂肪族炭化水素基であることがより好ましく、炭素原子数１〜５の無置換の脂肪族炭化水素基であることが更に好ましく、炭素原子数１〜５の無置換のアルキル基であることが特に好ましい。上記化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスにより優れた化合物となるからである。
本開示においては、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１６及びＲ^１７が、水素原子であることが好ましい。Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１６及びＲ^１７が上述の構造を有することで、上記化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスにより優れた化合物となるからである。
本開示においては、Ｒ^１５が、水素原子、−ＯＲ^２０、−ＣＯＲ^２０、−ＯＣＯＲ^２０、−ＣＯＯＲ^２０、−ＳＲ^２０、−ＳＯＲ^２０、−ＳＯ_２Ｒ^２０、−ＮＲ^２１Ｒ^２２、−ＮＲ^２１ＣＯＲ^２２又は−ＣＯＮＲ^２１Ｒ^２２であることが好ましく、水素原子又はＯＲ^２０であることがより好ましい。Ｒ^１５がＯＲ^２０である場合、Ｒ^２０は炭素原子数１〜５の無置換の脂肪族炭化水素基であることが好ましく、炭素原子数１〜５の無置換のアルキル基であることが好ましい。Ｒ^１５が上述の構造を有することで、上記化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスにより優れた化合物となるからである。また、Ｒ^１５が水素原子又はＯＲ^２０である場合、Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１６及びＲ^１７が水素原子であることが好ましい。

上記一般式（Ａ）におけるｎは１であることが好ましい。ｎが１であることで上記化合物Ａは透明性に優れたものとなるからである。また、その結果、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスにより優れた化合物となるからである。

上記化合物Ａの具体例としては、下記Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１６４で表される化合物を挙げることができる。

上記化合物Ａの製造方法としては、所望の構造の化合物が得られる方法であればよく、周知の化学反応を応用して合成することができる。例えば、下記スキームで表される方法が挙げられる。例えば、公知であり、市販されているナフタレン化合物と酸クロリドと反応させることによりケトン化合物を得、得られたケトン化合物と亜硝酸イソブチルとを反応させることにより、オキシム化合物を得る。続いて、オキシム化合物に塩化スルホニル化合物を反応させることにより、化合物Ａを得る方法が挙げられる。製造方法における反応温度、反応時間及び原料の使用量等の反応条件には特に制限はなく、公知の条件を採用すればよい。

上記化合物Ａは、酸を発生する機能を有するものである。
上記化合物Ａから酸を発生させる方法としては、酸発生剤に一般的に用いられる方法を用いることがでる。具体的には、エネルギー線を照射する方法、加熱処理する方法、これらの方法を同時に又は順に行う方法等を挙げることができる。
上記エネルギー線としては、ｇ線（４３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）、可視光線、紫外線、遠紫外線、Ｘ線及び荷電粒子線等が挙げられる。
また、光源としては、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハロゲンランプ、電子線照射装置、Ｘ線照射装置、レーザー（アルゴンレーザー、色素レーザー、窒素レーザー、ＬＥＤ、ヘリウムカドミウムレーザー等）が挙げられる。
上記加熱処理における加熱温度としては、例えば、７０℃以上４５０℃以下であることが好ましく、なかでも、１５０℃以上３００℃以下であることが好ましい。また、加熱処理における加熱時間としては、例えば、１分以上１００分以下であることが好ましい。上記加熱処理条件であることで、色変化の少ない組成物が得られるとの効果を効果的に発揮可能だからである。

上記化合物Ａの用途としては、酸発生剤を挙げることができ、より具体的にはエネルギー線照射により酸を発生する光酸発生剤、加熱処理により酸を発生する熱酸発生剤等を挙げることができる。
また、酸発生剤の用途としては、樹脂成分を含む組成物への添加用途を挙げることができる。
上記組成物の用途としては、例えば、光学フィルタ、塗料、コーティング剤、ライニング剤、接着剤、印刷版、絶縁ワニス、絶縁シート、積層板、プリント基板、半導体装置用・ＬＥＤパッケージ用・液晶注入口用・有機ＥＬ用・光素子用・電気絶縁用・電子部品用・分離膜用等の封止剤、成形材料、パテ、ガラス繊維含浸剤、目止め剤、半導体用・太陽電池用等のパッシベーション膜、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）・液晶表示装置・有機ＥＬ表示装置・プリント基板等に用いられる層間絶縁膜、表面保護膜、プリント基板、或いはカラーテレビ、ＰＣモニタ、携帯情報端末、ＣＣＤイメージセンサのカラーフィルタ、プラズマ表示パネル用の電極材料、印刷インク、歯科用組成物、光造形用樹脂、液状及び乾燥膜の双方、微小機械部品、ガラス繊維ケーブルコーティング、ホログラフィ記録用材料、磁気記録材料、光スイッチ、めっき用マスク、エッチングマスク、スクリーン印刷用ステンシル、透明導電膜等のタッチパネル、ＭＥＭＳ素子、ナノインプリント材料、半導体パッケージの二次元及び三次元高密度実装等のフォトファブリケーション、加飾シート、人口爪、ガラス代替光学フィルム、電子ペーパー、光ディスク、プロジェクター・光通信用レーザー等に用いられるマイクロレンズアレイ、液晶表示装置のバックライトに使用されるプリズムレンズシート、プロジェクションテレビ等のスクリーンに使用されるフレネルレンズシート、レンチキュラーレンズシート等のレンズシートのレンズ部、又はこのようなシートを用いたバックライト等、マイクロレンズ・撮像用レンズ等の光学レンズ、光学素子、光コネクター、光導波路、絶縁用パッキング、熱収縮ゴムチューブ、Ｏ−リング、表示デバイス用シール剤、保護材、光ファイバー保護材、粘着剤、ダイボンディング剤、高放熱性材料、高耐熱シール材、太陽電池・燃料電池・二次電池用部材、電池用固体電解質、絶縁被覆材、複写機用感光ドラム、ガス分離膜、コンクリート保護材・ライニング・土壌注入剤・シーリング剤・蓄冷熱材・ガラスコーティング・発泡体等の土木・建築材料、チューブ・シール材・コーティング材料・滅菌処理装置用シール材・コンタクトレンズ・酸素富化膜、バイオチップ等の医療用材料、自動車部品、各種機械部品等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限はない。
本開示の色変化が少ない組成物が得られるとの効果をより効果的に発揮する観点からは、上記用途が、透明性が要求される部材形成用であることが好ましく、具体的には、光学フィルタ、光学フィルタ用のコーティング剤、光学レンズ、光学素子、光コネクター、光導波路、透明性が要求される電子回路に用いられる透明絶縁層等の形成用であることが好ましい。

Ｂ．酸発生剤
次に、本開示の酸発生剤について説明する。
本開示の酸発生剤は、上述の化合物Ａを含むことを特徴とするものである。

本開示によれば、上記酸発生剤が、上記構造の化合物Ａを含むことにより、上記酸発生剤は、色変化の少ない組成物等を容易に得られるものとなる。

１．化合物Ａ
本発明の酸発生剤に用いる上記化合物Ａの種類としては、色変化の少ない組成物等を容易に得られるものであればよく、酸発生剤中に１種類のみであってもよく、２種類以上であってもよい。

本発明の酸発生剤における上記化合物Ａの含有量は、色変化の少ない組成物等を容易に得られる量であればよく、酸発生剤の種類等に応じて適宜設定されるものである。本発明の酸発生剤における上記化合物Ａの含有量としては、例えば、上記酸発生剤の固形分１００質量部中に１００質量部、すなわち、上記酸発生剤の固形分が上記化合物Ａのみであるものとすることができる。本発明の酸発生剤における上記化合物Ａの含有量は、酸発生剤の固形分１００質量部中に１００質量部未満、すなわち、酸発生剤が上記化合物Ａ及びその他の成分を含む組成物であってもよく、例えば、２０質量部超９９．９９質量部以下とすることができる。化合物Ａの含有量が上述の範囲であることで、色変化の少ない組成物等を容易に得られるからである。
本発明の酸発生剤が上記化合物Ａ以外のその他の成分を含有する場合、色変化の少ない組成物がより容易に得られるとの観点からは、本発明の酸発生剤における化合物Ａの含有量の下限が、酸発生剤の固形分１００質量部中に５０質量部以上であることが好ましく、７０質量部以上であることがより好ましく、９０質量部以上であることが更に好ましい。上記化合物Ａの含有量の上限値を上述の範囲であることで、色変化の少ない組成物等を容易に得られるからである。また、酸発生剤の粒径制御等が容易になるとの観点等からは、本発明の酸発生剤における化合物Ａの含有量の上限は、酸発生剤の固形分１００質量部中に９９質量部以下であることが好ましく、９５質量部以下であることがより好ましく、９０質量部以下であることが更に好ましい。化合物Ａの含有量が上述の範囲であることで、色変化の少ない組成物等を容易に得られるからである。
なお、固形分とは、溶剤以外の全ての成分を含むものである。
また、上記化合物Ａの含有量は、化合物Ａとして２種類以上を含む場合には、化合物Ａの合計量を示すものである。

上記化合物Ａについては、上記「Ａ．化合物」の項に記載の内容と同様とすることができるので、ここでの説明は省略する。

２．その他の成分
上記酸発生剤は、上記化合物Ａ以外のその他の成分を含むものであってもよい。このようなその他の成分としては、例えば、溶剤を挙げることができる。
上記溶剤は、酸発生剤中の各成分を分散又は溶解可能なものである。したがって、常温（２５℃）大気圧下で液状であっても、上記化合物Ａは溶剤には含まれない。上記溶剤としては、水、有機溶剤の何れも用いることができる。本開示においては、上記溶剤が有機溶剤であることが好ましい。上記化合物Ａの溶解又は分散が容易だからである。

有機溶剤としては、プロピレンカーボネート、ジエチルカーボネート等のカーボネート類；アセトン、２−ヘプタノン等のケトン類；エチレングリコール、プロピレングリコール、プロピレングリコールモノアセテート、ジプロピレングリコール及びジプロピレングリコールモノアセテートのモノメチルエーテル又はモノフェニルエーテル等の多価アルコール類及びその誘導体；ジオキサンのような環式エーテル類；蟻酸エチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート等のエステル類；トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；γ−カプロラクトン、δ−カプロラクトン、等のラクトン類等が挙げられる。

上記酸発生剤における上記溶剤の含有量は、酸発生剤１００質量部中に、１質量部以上９９質量部以下とすることができる。

上記溶剤以外のその他の成分としては、後述する「Ｃ．組成物」の「２．樹脂成分」及び「３．その他の成分」の項に記載の内容を挙げることができる。
上記その他の成分の含有量は、上記酸発生剤の用途等に応じて適宜設定することができるが、例えば、酸発生剤１００質量部中に５０質量部以下とすることができ、１０質量部以下であることが好ましい。上記酸発生剤は、化合物Ａの含有割合を大きいものとすることが容易となり、色変化の少ない組成物等をより容易に得られるものとなるからである。

３．その他
上記酸発生剤の製造方法としては、上記化合物Ａを所望の配合量で含むものとすることができる方法であればよい。
上記酸発生剤が、化合物Ａ及びその他の成分を含む場合には、公知の混合手段を用いる方法を挙げることができる。

上記酸発生剤の用途としては、樹脂成分を含む組成物への添加用途を挙げることができ、具体的には、上記「Ａ．化合物」の項に記載の内容と同様とすることができる。

Ｃ．組成物
次に、本開示の組成物について説明する。
本開示の組成物は、上述の化合物Ａと樹脂成分とを含むことを特徴とするものである。

本開示によれば、上記化合物を含むことで、上記組成物は、色変化の少ないものとなる。

１．化合物Ａ
本発明の組成物に用いる上記化合物Ａの種類としては、色変化の少ないものとなればよく、組成物中に１種類のみであってもよく、２種類以上であってもよい。

本発明の組成物における上記化合物Ａの含有量としては、色変化の少ないものとなればよく、用いる樹脂成分の種類等に応じて適宜設定されるものである。
本発明の組成物における化合物Ａの含有量は、例えば、上記樹脂成分１００質量部に対して０．０５質量部以上１００質量部以下であることが好ましく、０．０５質量部以上２０質量部以下であることがより好ましい。色変化の少ない組成物が得られるとの効果を容易に得られるものとなるからである。
本発明の組成物における化合物Ａの含有量は、例えば、上記組成物の固形分１００質量部中に０．００１質量部以上２０質量部以下であることが好ましい。感度に優れた、かつ色変化の少ない組成物が得られるとの効果を容易に得られるものとなるからである。
本発明の組成物における上記化合物Ａの含有量としては、例えば、上記組成物１００質量部中に０．００１質量部以上２０質量部以下であることが好ましい。感度に優れ、かつ色変化の少ない組成物が得られるとの効果を容易に得られるものとなるからである。
上記化合物Ａの含有量は、化合物Ａとして２種類以上を含む場合には、化合物Ａの合計量を示すものである。

なお、上記化合物Ａについては、上記「Ａ．化合物」の項に記載の内容と同様とすることができるので、ここでの説明は省略する。

２．樹脂成分
上記樹脂成分は、高分子又は高分子となり得る成分を用いることができる。
また、上記樹脂成分は、上記化合物Ａ以外の成分として含まれるものである。
また、上記樹脂成分は、化合物Ａから発生した酸と反応可能な構造を有する酸反応性成分であってもよく、化合物Ａから発生した酸と反応しない非酸反応性成分であってもよいが、上記樹脂成分が酸反応性成分であることが好ましい。樹脂成分が酸反応性成分であることで、上記組成物は、化合物Ａが有する酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られるとの効果をより効果的に得られるからである。

このような酸反応性成分としては、化合物Ａから発生した酸により重合又は架橋し硬化する酸硬化性成分、化合物Ａから発生した酸により現像液の溶解性が増加する酸分解性成分等を用いることが好ましい。
本開示においては、樹脂成分が酸硬化性成分である場合には、色変化の少ない硬化物が得られるからである。また、樹脂成分が酸分解性成分である場合には、現像液に対する溶解性変化を生じさせない非現像箇所において色変化の少ない組成物が得られる。具体的には、上記組成物の用途により、酸発生以外の工程として加熱処理工程、光照射工程等が実施されることがある。その際に、一部の化合物Ａから酸が発生し、その酸発生後の化合物Ａにより、色変化の原因と推測される酸化劣化の抑制効果が得られる。このようなことから、非現像箇所の色変化の少ないものとなるのである。また、酸分解性成分について色変化の原因と推測される酸化劣化を抑制し、酸分解性成分の現像液に対する溶解性変化を容易とすることができるからである。

上記酸硬化性成分としては、カチオン重合性化合物を挙げることができる。
上記カチオン重合性化合物としては、エポキシ化合物、オキセタン化合物等の環状エーテル化合物、ビニルエーテル化合物、ビニル化合物、スチレン類、スピロオルソエステル類、ビシクロオルソエステル類、スピロオルソカーボナート類、ラクトン類、オキサゾリン類、アジリジン類、シクロシロキサン類、ケタール類、環状酸無水物類、ラクタム類、アリールジアルデヒド類等のほか、これらの重合性基を側鎖に有する重合性或いは架橋性ポリマー及びオリゴマーが挙げられる。これらは単独又は２種類以上で混合してもよい。
このようなカチオン重合性化合物の具体例としては、例えば、国際公開２０１７／１３０８９６号に記載の酸反応性有機物質、国際公開２０１４／０８４２６９号、国際公開２０１６／１３２４１３号等に記載のカチオン重合性化合物として記載された化合物を用いることができる。

上記酸硬化性成分としては、架橋性樹脂及び架橋剤の混合物も用いることができる。
上記架橋性樹脂としては、例えば、ポリヒドロキシスチレン及びその誘導体；ポリアクリル酸及びその誘導体；ポリメタクリル酸及びその誘導体；ヒドロキシスチレン、アクリル酸、メタクリル酸及びそれらの誘導体から選ばれ形成される２以上の共重合体；ヒドロキシスチレン、スチレン及びそれらの誘導体から選ばれ形成される２以上の共重合体；シクロオレフィン及びその誘導体、無水マレイン酸、並びに、アクリル酸及びその誘導体から選ばれる３以上の共重合体；シクロオレフィン及びその誘導体、マレイミド、並びに、アクリル酸及びその誘導体から選ばれる３以上の共重合体；ポリノルボルネン；メタセシス開環重合体からなる群から選択される１種類以上の高分子重合体；これら高分子重合体にアルカリ溶解制御能を有する酸不安定基を部分的に置換した高分子重合体等が挙げられる。
上記ポリヒドロキシスチレン等のヒドロキシスチレンに由来する構成単位を含む重合体としては、例えば、特開２０１８−１１２６７０号公報に記載のフェノール性水酸基含有樹脂（ＱＮ）等も挙げることができる。
上記架橋性樹脂としては、例えば、国際公開２０１７／１３０８９６号に記載のレジストベース樹脂、特開２００３−１９２６６５号公報に記載の（Ａ）成分の酸の作用でアルカリ現像液に対する溶解性が変化する樹脂、特開２００４−３２３７０４号公報の請求項３、特開平１０−１０７３３号公報に記載のアルカリ可溶性樹脂等として記載される樹脂も用いることができる。

上記架橋剤としては、酸の存在下で、上記架橋性樹脂同士を架橋可能なものであればよい。このような架橋剤としては、エポキシ基含有化合物、水酸基含有化合物、アルコキシ基含有化合物、メチロール基含有化合物、カルボキシメチル基含有化合物等の、上記樹脂に含まれるフェノール性水酸基、カルボキシル基等の酸性基と、酸の存在下で反応可能な化合物を用いることができる。
上記架橋剤としては、より具体的には、特開２０１６−１６９１７３号公報、特開２０１８−１１２６７０号公報に記載の架橋剤等を挙げることができる。

上記酸分解性成分としては、化合物Ａから発生した酸により現像液への溶解性が増加するものであればよく、例えば、フェノール性水酸基、カルボキシル基、スルホニル基等の酸性基を有する樹脂中の酸性基の水素原子の一部又は全てを保護基で保護した樹脂を挙げることができる。
このような酸性基を有する樹脂としては、例えば、上述した酸硬化性成分として架橋剤と共に用いられる架橋性樹脂を挙げることができる。特開２０１８−１１２６７０号公報に記載のポジ型化学増幅樹脂も用いることができる。
上記保護基としては、上記酸性基を保護できるものであればよく、例えば、特開２０１６−１６９１７３号公報に記載の保護基、国際公開２０１７／１３０８９６号に記載の酸不安定基、特開２０１８−１１２６７０号公報に記載の酸解離性基等を挙げることができる。
また、上記現像液としては、後述する「Ｆ．パターン塗膜の製造方法」の項に記載の現像液が挙げられる。

上記酸反応性成分は、酸硬化性成分及び酸分解性成分以外にも、酸で反応する成分を用いることができ、例えば、アルカリ可溶性の基を有する樹脂が、酸により不溶化する樹脂も用いることができる。具体的には、ヒドロキシル基とカルボキシル基、下記に例示するようなカルボキシル基とカルボキシル基の酸触媒脱水縮合による分子内又は分子間の架橋反応等を生じる酸不溶化樹脂を挙げることができる。カルボキシル基とカルボキシル基の酸触媒脱水縮合を生じる酸不溶化樹脂としては、例えば、下記に示すように、酸によりカルボキシル基同士が脱水縮合するフタル酸構造を有する樹脂等が挙げられる。

上記非酸反応性成分としては、化合物Ａから発生した酸と反応しないもの、より具体的には、化合物Ａから発生した酸により硬化、分解、アルカリ現像液に対する溶解性の変化等を生じないものを用いることができ、例えば、ポリオレフィン系樹脂、ポリブタジエン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリスチレン・ブタジエン系樹脂、ポリスチレン・オレフィン系樹脂等の熱可塑性樹脂等が挙げられる。

本発明の組成物における上記樹脂成分の含有量は、色変化の少ないものとなるとの効果を得られるものであればよく、用いる樹脂成分の種類等に応じて適宜設定されるものである。
本発明の組成物における上記樹脂成分の含有量は、例えば、上記組成物の固形分１００質量部中に１０質量部以上とすることができ、３０質量部以上９９．９質量部以下であることが好ましく、５０質量部以上９９．９質量部以下であることがより好ましい。色変化の少ない組成物が得られるとの効果を効果的に得られるからである。
本発明の組成物における上記樹脂成分の含有量は、例えば、上記組成物１００質量部中に１０質量部以上とすることができ、３０質量部以上９９．９質量部以下であることが好ましく、５０質量部以上９９．９質量部以下であることがより好ましい。色変化の少ない組成物が得られるとの効果を効果的に得られるからである。

３．溶剤
上記組成物は溶剤を含むことができる。
上記溶剤は、組成物中の各成分を分散又は溶解可能なものである。したがって、常温（２５℃）大気圧下で液状であっても、上記化合物Ａ及び樹脂成分は溶剤には含まれない。
上記溶剤としては、水、有機溶剤の何れも用いることができる。
本開示においては、上記溶剤が有機溶剤であることが好ましい。上記化合物Ａの溶解又は分散が容易だからである。
上記有機溶剤としては、上記「Ｂ．酸発生剤」の項に記載の内容と同様とすることができる。
また、本発明の組成物における上記溶剤の含有量は、上記組成物の用途等に応じ適宜設定されるものであり、例えば、上記組成物１００質量部中に１質量部以上９９質量部以下とすることができる。

４．その他の成分
上記組成物は、必要に応じてその他の成分を含むことができる。
このようなその他の成分としては、組成物の用途等に応じて選択することができ、例えば、ベンゾトリアゾール系、トリアジン系、ベンゾエート系の紫外線吸収剤；フェノール系、リン系、硫黄系酸化防止剤；カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、両性界面活性剤等からなる帯電防止剤；ハロゲン系化合物、リン酸エステル系化合物、リン酸アミド系化合物、メラミン系化合物、フッ素樹脂又は金属酸化物、（ポリ）リン酸メラミン、（ポリ）リン酸ピペラジン等の難燃剤；炭化水素系、脂肪酸系、脂肪族アルコール系、脂肪族エステル系、脂肪族アマイド系又は金属石けん系の滑剤；染料、顔料、カーボンブラック等の着色剤；フュームドシリカ、微粒子シリカ、けい石、珪藻土類、クレー、カオリン、珪藻土、シリカゲル、珪酸カルシウム、セリサイト、カオリナイト、フリント、長石粉、蛭石、アタパルジャイト、タルク、マイカ、ミネソタイト、パイロフィライト、シリカ等の珪酸系無機添加剤；ガラス繊維、炭酸カルシウム等の充填剤；造核剤、結晶促進剤等の結晶化剤、シランカップリング剤、可撓性ポリマー等のゴム弾性付与剤、増感剤等が挙げられる。
また、上記その他の成分は、アミン化合物、アミド基含有化合物、ウレア化合物、含窒素複素環化合物等の酸拡散制御剤も含むことができる。
上記増感剤としては、例えば、特表２００８−５０６７４９号公報に分光増感剤として記載される化合物が挙げられる。
上記酸拡散制御剤としては、例えば、特開２０１９−８３００号公報に「［Ｄ］酸拡散制御体」として記載される化合物が挙げられる。
本発明の組成物におけるこれらのその他の成分の含有量は、上記組成物１００質量部中に５０質量部以下とすることができる。

５．その他
上記組成物の製造方法としては、上記各成分を所望の配合量で混合できる方法であればよく、公知の方法を用いることができる。
例えば、上記化合物Ａを溶剤に溶解又は分散した後、上記溶剤に対して、樹脂成分を添加する方法等を挙げることができる。

Ｄ．硬化物
次に、本開示の硬化物について説明する。
本開示の硬化物は、上述の組成物の硬化物である。
また、上記組成物に含まれる樹脂成分が酸硬化性成分である。

本開示によれば、上述の組成物を用いることで、色変化の少ない硬化物となる。

本発明の硬化物は上述の組成物を用いるものである。また、樹脂成分が酸硬化性成分である。上記硬化物は、酸硬化性成分が硬化したものであり、酸硬化性成分同士が重合した重合体又は架橋した架橋体を含むものである。
このような組成物の内容については、上記「Ｃ．組成物」の項に記載の内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。

上記硬化物の平面視形状については、上記硬化物の用途等に応じて適宜設定することができ、例えば、ドット状、ライン状等のパターン状とすることができる。

上記硬化物の用途等については、上記「Ａ．化合物」の項に記載の内容と同様とすることができる。

上記硬化物の製造方法としては、上記組成物の硬化物を所望の形状となるように形成できる方法であれば特に限定されるものではない。
このような製造方法としては、例えば、後述する「Ｅ．硬化物の製造方法」の項に記載の製造方法を用いることができる。

Ｅ．硬化物の製造方法
次に、本開示の硬化物の製造方法について説明する。
本開示の硬化物の製造方法は、上述の組成物を硬化する硬化工程を有することを特徴とするものである。
また、上記組成物に含まれる樹脂成分は酸硬化性成分である。

本開示によれば、上述の組成物を用いることで、色変化の少ない硬化物が容易に得られる。

１．硬化工程
本開示における硬化工程は、上述の組成物を硬化する工程である。
上記組成物を硬化する方法としては、酸硬化性成分を硬化させることができる方法であればよく、化合物Ａから酸を発生させる方法を用いることができる。
化合物Ａから酸を発生させる方法としては、化合物Ａから所望量の酸を発生させる方法であればよく、例えば、エネルギー線を照射する方法、加熱処理する方法及びこれらを同時に又は順に行う方法を挙げることができる。このようなエネルギー線を照射する方法、加熱処理する方法等については、上記「Ａ．化合物」の項に記載の方法と同様の方法を挙げることができる。
なお、上記組成物は樹脂成分として酸硬化性成分を含むものである。このような組成物の内容については、上記「Ｃ．組成物」の項に記載の内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。

２．その他の工程
本開示の硬化物の製造方法は、上記硬化工程以外に、必要に応じてその他の工程を含むものであってもよい。
上記その他の工程としては、上記硬化工程後に、組成物の塗膜中の未重合部分を除去してパターン状硬化物を得る現像工程、上記硬化工程後に、硬化物を加熱処理するポストベーク工程、上記硬化工程前に、組成物を加熱処理して上記組成物中の溶剤を除去するプリベーク工程、上記硬化工程前に、上記組成物の塗膜を形成する工程等を挙げることができる。

上記現像工程における未重合部分を除去する方法としては、例えば、アルカリ現像液等の現像液を未重合部分に塗布する方法を挙げることができる。
上記アルカリ現像液としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）水溶液や、水酸化カリウム水溶液、炭酸カリウム水溶液等のアルカリ現像液として一般的に使用されているものを用いることができる。
また、現像液としては、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＥＧＭＥＡ）やシクロヘキサノンなどの溶剤現像液として一般的に使用されているものを用いることができる。
上記現像液を用いた現像方法としては、現像したい部位と現像液とを接触させることができる方法であればよく、シャワー法、スプレー法、浸漬法等公知の方法を用いることができる。
上記現像工程の実施タイミングとしては、上記硬化工程後であればよい。
上記ポストベーク工程における加熱条件としては、硬化工程により得られた硬化物の強度等を向上できるものであればよく、例えば、２００℃以上２５０℃以下で２０分間〜９０分間とすることができる。
上記プリベーク工程における加熱条件としては、組成物中の溶剤を除去できるものであればよく、例えば、７０℃以上１５０℃以下で３０秒〜３００秒間とすることができる。
上記塗膜を形成する工程で、組成物を塗布する方法としては、スピンコーター、ロールコーター、バーコーター、ダイコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の方法を用いることができる。
上記塗膜は、基材上に形成することができる。
上記基材としては、硬化物の用途等に応じて適宜設定することができ、ソーダガラス、石英ガラス、半導体基板、配線基板、金属、紙、プラスチック等を含むものを挙げることができる。
また、上記硬化物は、基材上で形成された後、基材から剥離して用いても、基材から他の被着体に転写して用いてもよい。

Ｆ．パターン塗膜の製造方法
次に、本開示のパターン塗膜の製造方法について説明する。
本開示のパターン塗膜の製造方法は、上述の組成物を用いて塗膜を形成し、形成された塗膜に含まれる化合物Ａから酸を発生させる工程と、前記化合物Ａから酸を発生させる工程後に前記塗膜の一部を現像し、パターン塗膜を形成する工程とを有するものである。上記組成物に含まれる樹脂成分は酸分解性成分である。

本開示によれば、上述の組成物を用いることで、寸法精度等に優れたパターン塗膜が得られる。

１．酸を発生させる工程
本開示における酸を発生させる工程は、上述の組成物を用いて形成された塗膜に含まれる上記化合物Ａから酸を発生させる工程である。
本工程において、上記化合物Ａから酸を発生させる方法としては、化合物Ａから所望量の酸を発生できる方法であればよく、例えば、エネルギー線を照射する方法、加熱処理する方法及びこれらを同時に又は順に行う方法を挙げることができる。このようなエネルギー線を照射する方法、加熱処理する方法等については、上記「Ａ．化合物」の項に記載の方法と同様の方法を挙げることができる。
また、本工程においては、塗膜中の酸を発生させる箇所については、平面視上塗膜の一部であることが好ましい。後述するパターン塗膜を形成する工程の実施が容易となるからである。
上記塗膜の平面視形状及び厚みについては、パターン塗膜の用途等に応じて適宜設定されるものである。
なお、上記組成物は、樹脂成分として酸分解性成分を含むものである。このような組成物の内容については、上記「Ｃ．組成物」の項に記載の内容と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。

２．パターン塗膜を形成する工程
本開示におけるパターン塗膜を形成する工程は、上記化合物から酸を発生させる工程後に、上記塗膜の一部を現像し、パターン塗膜を形成する工程である。
本工程における現像する方法としては、現像液を用いて、現像する方法を挙げることができる。
このような現像液及び現像方法については、上記「Ｅ．硬化物の製造方法」の項に記載の内容と同様とすることができる。

３．その他の工程
本開示のパターン塗膜の製造方法としては、上記酸を発生させる工程及びパターン塗膜を形成する工程を有するものであるが、必要に応じてその他の工程を有することもできる。
このようなその他の工程としては、上記酸を発生させる工程前に、上記組成物の塗膜を形成する工程、上記塗膜を形成する工程後に、加熱処理して上記塗膜中の溶剤を除去するプリベーク工程等を挙げることができる。
上記塗膜を形成する工程、プリベークする工程については、上記「Ｅ．硬化物の製造方法」の項に記載の内容と同様とすることができる。

４．その他
上記製造方法により製造されるパターン塗膜及びその用途等については、上記「Ａ．組成物」の項に記載の内容と同様とすることができる。

本開示は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本開示の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本開示の技術的範囲に包含される。

以下、実施例等を挙げて本開示を更に詳細に説明するが、本開示はこれらの実施例に限定されるものではない。

［実施例１］
窒素雰囲気下、２００ｍＬ四つ口フラスコに１−メトキシナフタレンを１０．０ｇ（６３．２ｍｍｏｌ）、ＥＤＣを１１０ｇ、塩化亜鉛を９．５ｇ（６９．５ｍｍｏｌ）を加え撹拌した。次いでフェニルアセチルクロライドを１１．７ｇ（７５．９ｍｍｏｌ）滴下し、室温で２時間撹拌し、反応液を得た。反応終了後、得られた反応液に酢酸エチルとイオン交換水とを入れて油水分離した。分離した油分に対し、水洗、脱水、ろ過、脱溶媒の順に処理を行った。その後、シリカゲルでカラムクロマトし中間体１−Ａを得た。

＜ステップ２＞
窒素雰囲気下、２００ｍＬ四つ口フラスコに中間体１−Ａを１０．７ｇ（３８．７ｍｍｏｌ）、ＤＭＦを２５．０ｇ加え、撹拌溶解させて冷却した。３５％塩酸を４．４ｇ（４２．６ｍｍｏｌ）、亜硝酸イソブチルを６．０ｇ（５８．１ｍｍｏｌ）各々滴下し、２時間撹拌し、反応液を得た。反応終了後、得られた反応液に酢酸エチルとイオン交換水とを入れて、油水分離した。分離した油分に対し、水洗を行った後、トルエンを加えて析出させ、ろ過、乾燥を行い、中間体１−Ｂを得た。

＜ステップ３＞
窒素雰囲気下、１００ｍＬ四つ口フラスコに中間体１−Ｂを６．９ｇ（２２．６ｍｍｏｌ）、ジクロロメタンを２１ｇ、塩化パラトルエンスルホニルを５．２ｇ（２７．１ｍｍｏｌ）加え、撹拌し冷却した。次いで、１０℃以下でトリエチルアミンを２．５ｇ（２４．９ｍｍｏｌ）滴下して加え２時間撹拌し、反応液を得た。反応終了後、反応液にイオン交換水を入れて油水分離した。分離した油分に対し、水洗を実施し、メタノールを加えて結晶を析出させ、ろ過、乾燥を行い、目的物である下記式（Ａ１）で表される化合物Ａ１得た。
得られた固体が目的物であることは、^１Ｈ−ＮＭＲ及びＩＲにて確認した。
得られた化合物の^１Ｈ−ＮＭＲ及びＩＲ測定結果を下記表１及び表２に示す。

［実施例２］化合物Ａ２の合成
ｐ−トルエンスルホン酸クロライドの代わりにトリフルオロメタンスルホン酸無水物を用いた以外は化合物Ａ１と同様の方法で、下記式（Ａ２）で表される化合物Ａ２を合成した。
得られた固体が目的物であることは、^１Ｈ−ＮＭＲ及びＩＲにて確認した。

［実施例３］化合物Ａ３の合成
トリフルオロメタンスルホン酸の代わりにノナフルオロメタンスルホン酸を用いた以外は化合物Ａ２の合成と同様の方法で、下記式（Ａ３）で表される化合物Ａ３を合成した。
得られた固体が目的物であることは、^１Ｈ−ＮＭＲ及びＩＲにて確認した。

［実施例４］化合物Ａ４の合成
１−メトキシナフタレンの代わりにナフタレンを用いた以外は化合物Ａ２と同様の方法で、下記式（Ａ４）で表される化合物Ａ４を合成した。
得られた固体が目的物であることは、^１Ｈ−ＮＭＲ及びＩＲにて確認した。

［実施例５］化合物Ａ５の合成
１−メトキシナフタレンの代わりにナフタレンを用い、フェニルアセチルクロライドの代わりにプロピオニルクロライドを用いた以外は化合物Ａ１と同様の方法で、下記式（Ａ５）で表される化合物Ａ５を合成した。
得られた固体が目的物であることは、^１Ｈ−ＮＭＲ及びＩＲにて確認した。

［実施例６］化合物Ａ６の合成
＜ステップ１＞
フェニルアセチルクロライドの代わりに塩化ベンゾイルを用いた以外は中間体１−Ａと同様の方法で中間体６−Ａを合成した。

＜ステップ２＞
窒素雰囲気下、２００ｍＬ四つ口フラスコに中間体６−Ａを５．４ｇ（２０．６ｍｍｏｌ）、ピリジンを１７．１ｇ、塩酸ヒドロキシアミン塩酸塩を２．１ｇ加えて撹拌し、反応液を得た。得られた反応液に酢酸とイオン交換水を加え油水分離した。分離した油分に対し、水洗行い、脱水、ろ過、脱溶媒の順に処理を行い、次の反応に用いた。

＜ステップ３＞
中間体１−Ｂの代わりに中間体６−Ｂを用いた以外は化合物Ａ１のステップ３と同様の方法で、下記式（Ａ６）で表される化合物Ａ６を合成した。
得られた固体が目的物であることは、^１Ｈ−ＮＭＲ及びＩＲにて確認した。

［実施例７〜１２及び比較例１〜４］
下記の表３に記載の配合にしたがって、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＥＧＭＥＡ）中に、エポキシ化合物、ノボラック樹脂、酸発生剤及び界面活性剤を添加し、２５℃で１時間撹拌して組成物（固形分２５質量％のＰＥＧＭＥＡ溶液）を得た。
また、各成分は以下の材料を用いた。
なお、表中の配合量は、各成分の質量部を表すものである。

エポキシ化合物：日本化薬社製ＥＰＰＮ−２０１（酸硬化性成分の架橋剤）
ノボラック樹脂：昭和電工株式会社製ＢＲＧ−５５８（酸硬化性成分の架橋性樹脂）
界面活性剤：東レ・ダウコーニング社製ＦＺ２１２２
化合物Ａ１〜Ａ６：上述の実施例１〜６で製造した化合物Ａ１〜Ａ６
化合物Ｂ１〜Ｂ３：下記式（Ｂ１）〜（Ｂ３）で表される化合物

１．酸発生能評価
実施例及び比較例で得た組成物をスピンコーターでガラス基板に回転塗布し、９０℃１２０ｓプリベークして５μｍの膜を作製した後、２５０℃３ｍｉｎでポストベークした。
その後、２３℃のＰＧＭＥＡ溶液で現像し、以下の基準で酸発生能を評価した。結果を下記表３に示す。
＋：膜が残った。
−：膜が残らなかった。
なお、膜が残ったものは酸発生感度に優れることを示す。

２．色変化評価
「１．酸発生能評価」でポストベーク後の膜の黄色度（ＹＩ）を測定し、比較例１を基準とした黄色度の差（ΔＹＩ）（実施例及び比較例で得た膜のＹＩ値−比較例１で得た膜のＹＩ値）を測定し、下記基準で評価した。結果を下記表３に示す。
＋＋：黄色度の差（ΔＹＩ）が−１未満である。
＋：黄色度の差（ΔＹＩ）が−１以上１未満である。
−：黄色度の差（ΔＹＩ）が１以上である。
黄色度の差（ΔＹＩ）が小さい程、色変化の抑制効果に優れることを示す。

［まとめ］
表３より、化合物Ａは、酸発生感度と色変化の少ない組成物が得られる効果とのバランスに優れることが確認できた。

Claims (14)

1. 下記一般式（Ａ）で表される化合物。
   

   

   （式中、Ｒ^１は、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基又は炭素原子数２〜２０の無置換若しくは置換基を有している複素環含有基を表すか、或いは、該脂肪族炭化水素基、該芳香族炭化水素含有基又は該複素環含有基中のメチレン基の１つ又は２つ以上が下記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基を表し、
   Ｒ^２は、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基又は炭素原子数２〜２０の無置換若しくは置換基を有している複素環含有基を表すか、或いは、該脂肪族炭化水素基、該芳香族炭化水素含有基又は該複素環含有基中のメチレン基の１つ又は２つ以上が下記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基を表し、
   Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５、Ｒ^１６及びＲ^１７は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、水酸基、カルボキシル基、Ｒ^２０、−ＯＲ^２０、−ＣＯＲ^２０、−ＯＣＯＲ^２０、−ＣＯＯＲ^２０、−ＳＲ^２０、−ＳＯＲ^２０、−ＳＯ_２Ｒ^２０、−ＮＲ^２１Ｒ^２２、−ＮＲ^２１ＣＯＲ^２２又は−ＣＯＮＲ^２１Ｒ^２２を表し、
   Ｒ^２０、Ｒ^２１及びＲ^２２は、それぞれ独立に、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基、炭素原子数２〜２０の無置換若しくは置換基を有している複素環含有基、又は該脂肪族炭化水素基、該芳香族炭化水素含有基若しくは該複素環含有基中のメチレン基の１つ若しくは２つ以上が下記群Ｉから選ばれる二価の基で置き換えられた基を表し、
   Ｒ^１１とＲ^１２、Ｒ^１２とＲ^１３、Ｒ^１３とＲ^１４、Ｒ^１４とＲ^１５、Ｒ^１５とＲ^１６及びＲ^１６とＲ^１７並びにＲ^２１とＲ^２２は、結合して環を形成する場合もあり、
   前記脂肪族炭化水素基、前記芳香族炭化水素含有基及び前記複素環含有基中の水素原子の１つ又は２つ以上を置換する置換基が、ハロゲン原子、シアノ基、ニトロ基、水酸基、チオール基、−ＣＯＯＨ、−ＳＯ_２Ｈ、イソシアネート基又は炭素原子数１〜４のアルキル基であり、
   ｎは０又は１を表す。）
   群Ｉ：−Ｏ−、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、−ＣＯ−、−ＣＳ−、−Ｓ−、−ＳＯ−、−ＳＯ_２−、−ＮＲ^３０−、−ＮＲ^３０−ＣＯ−、−ＣＯ−ＮＲ^３０−、−ＮＲ^３０−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−ＮＲ^３０−又は−ＳｉＲ^３０Ｒ^３１−。
   Ｒ^３０及びＲ^３１は、それぞれ独立に、水素原子又は無置換の炭素原子数１〜２０の脂肪族炭化水素基を表す。
2. ｎが１である、請求項１に記載の化合物。
3. Ｒ^１が、炭素原子数１〜２０の無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基、又は炭素原子数６〜２０の無置換若しくは置換基を有している芳香族炭化水素含有基である、請求項１又は２に記載の化合物。
4. Ｒ^１が、炭素原子数１〜１０のアルキル基中の水素原子の１つ又は２つ以上がハロゲン原子で置換された基、炭素原子数６〜１５のアリール基、又は該アリール基の環中の水素原子が無置換若しくは置換基を有している脂肪族炭化水素基で置換された基である、請求項３に記載の化合物。
5. Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１５、Ｒ^１６及びＲ^１７が、それぞれ独立に、水素原子、−ＯＲ^２０、−ＣＯＲ^２０、−ＯＣＯＲ^２０、−ＣＯＯＲ^２０、−ＳＲ^２０、−ＳＯＲ^２０、−ＳＯ_２Ｒ^２０、−ＮＲ^２１Ｒ^２２、−ＮＲ^２１ＣＯＲ^２２又は−ＣＯＮＲ^２１Ｒ^２２である、請求項１〜４の何れか１項に記載の化合物。
6. Ｒ^１１、Ｒ^１２、Ｒ^１３、Ｒ^１４、Ｒ^１６及びＲ^１７が水素原子である、請求項１〜５の何れか１項に記載の化合物。
7. Ｒ^１５が水素原子又は−ＯＲ^２０である、請求項１〜６の何れか１項に記載の化合物。
8. Ｒ^２が、炭素原子数１〜１０のアルキル基又は炭素原子数６〜１５のアリール基である、請求項１〜７の何れか１項に記載の化合物。
9. 請求項１〜８の何れか１項に記載の化合物を含む、酸発生剤。
10. 請求項１〜８の何れか１項に記載の化合物と、
    樹脂成分と、
    を含む、組成物。
11. 前記樹脂成分が酸反応性成分であり、
    前記酸反応性成分が、酸硬化性成分又は酸分解性成分である、請求項１０に記載の組成物。
12. 請求項１１に記載の組成物の硬化物であり、
    前記酸反応性成分が前記酸硬化性成分である、硬化物。
13. 請求項１１に記載の組成物を硬化する硬化工程を有し、
    前記酸反応性成分が前記酸硬化性成分である、硬化物の製造方法。
14. 請求項１１に記載の組成物を用いて塗膜を形成し、形成された塗膜に含まれる化合物から酸を発生させる工程と、
    前記化合物から酸を発生させる工程後に前記塗膜の一部を現像し、パターン塗膜を形成する工程と、
    を有し、
    前記酸反応性成分が前記酸分解性成分である、パターン塗膜の製造方法。