JPWO2020098645A5

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Publication number: JPWO2020098645A5
Application number: JP2020560749A
Authority: JP
Publication date: 2022-11-17
Anticipated expiration: 2039-11-12

Claims

少なくとも１つのパターン領域を含み、各前記パターン領域はマスクプレートの長さ方向において隣り合う第１の開口領域と第２の開口領域とを含み、各前記第１の開口領域および各前記第２の開口領域内に、厚み方向にマスクプレートを貫通するパターン開口を複数備えるマスクプレートであって、前記第２の開口領域におけるパターン開口の面積の和が前記第２の開口領域の総面積に占める割合は、前記第１の開口領域におけるパターン開口の面積の和が前記第１の開口領域の総面積に占める割合よりも大きく、前記第１の開口領域において、厚み方向に前記マスクプレートを貫通しない凹溝がさらに設けられる、マスクプレート。
前記第１の開口領域内のパターン開口と第２の開口領域内のパターン開口の開口面積が異なる、請求項１に記載のマスクプレート。
前記凹溝の形状はそれが所在する第１の開口領域におけるパターン開口の形状およびサイズと同一である、請求項１または２に記載のマスクプレート。
少なくとも一部の前記凹溝の中心が、それに隣り合う複数のパターン開口の中心で構成されるパターンの中心に設けられる、請求項１に記載のマスクプレート。
前記第１の開口領域におけるパターン開口が複数行複数列に並べられ、少なくとも一部の前記凹溝が前記第１の開口領域における隣り合う行のパターン開口間に設けられ、かつ前記第１の開口領域における隣り合う列のパターン開口間に設けられる、請求項１に記載のマスクプレート。
前記凹溝が前記マスクプレートの上面および／または下面に位置する、請求項１に記載のマスクプレート。
前記第１の開口領域と前記第２の開口領域との境界を除き、前記第１の開口領域内の任意の箇所と前記第２の開口領域内の任意の箇所とを比較すると、前記マスクプレートの第１の方向および第２の方向における両者の伸縮率はいずれも異なり、前記第１の方向は前記第１の開口領域と前記第２の開口領域の配列方向で、前記第２の方向は前記第１の方向に直交する方向である、請求項１から６のいずれか一項に記載のマスクプレート。
前記第１の開口領域と前記第２の開口領域との境界を除き、前記第１の開口領域内の任意の箇所と前記第２の開口領域内の任意の箇所とを比較すると、前記マスクプレートの第２の方向における前者の伸縮率は前記マスクプレートの第２の方向における後者の伸縮率よりも小さい、請求項７に記載のマスクプレート。
前記第１の開口領域と前記第２の開口領域との境界を除き、前記第１の開口領域内の任意の箇所と前記第２の開口領域内の任意の箇所とを比較すると、前記マスクプレートの第１の方向における前記第１の開口領域の伸縮率は前記マスクプレートの第１の方向における前記第２の開口領域の伸縮率よりも大きい、請求項８に記載のマスクプレート。
前記マスクプレートは、仮想の第１の開口領域と、前記マスクプレートの第１の方向両端に位置する第１の仮想端部領域および第２の仮想端部領域と、をさらに含み、前記仮想の第１の開口領域は、前記第１の開口領域よりもさらに離れた前記第２の仮想端部領域と、前記第２の仮想端部領域に最も近接する第２の開口領域との間に設けられ、前記仮想の第１の開口領域の形状と前記第１の開口領域の形状が同一である、請求項９に記載のマスクプレート。
前記仮想の第１の開口領域、および前記第２の仮想端部領域に隣り合う第１の開口領域の両者は、前記マスクプレートの第２の方向における伸縮率が前記マスクプレートの第１の方向に沿って直線的な変化を呈する関係である、請求項１０に記載のマスクプレート。
前記マスクプレートは、前記マスクプレートの第１の方向に重複配列された前記パターン領域を２つ備え、前記第２の仮想端部領域に隣り合う第１の開口領域を除き、前記マスクプレートの第２の方向における他の第１の開口領域の伸縮率が、その中の第１の位置から隣り合う２つの第２の開口領域の境界にそれぞれ至っていずれも直線的な変化を呈する関係である、請求項１１に記載のマスクプレート。
前記マスクプレートは、前記マスクプレートの第１の方向に沿って重複配列された前記パターン領域を複数備え、前記マスクプレートは中央位置に位置する第１の開口領域の、第２の方向に沿う中心線に沿って対称配置をなし、
中央位置に位置する第１の開口領域において、前記中心線から第１の仮想端部領域に至る方向上で、各境界箇所の第２の方向に沿うサイズが直線的に増加し、前記中心線から第２の仮想端部領域に至る方向上で、各境界箇所の第２の方向に沿うサイズが直線的に増加し、
前記中央位置の第１の開口領域から前記第１の仮想端部領域に至る方向上で、前記中央位置の第１の開口領域を除く各第１の開口領域内の各境界箇所の第２の方向に沿うサイズが直線的に減少し、
前記中央位置の第１の開口領域から前記第２の仮想端部領域に至る方向上で、前記中央位置の第１の開口領域を除く各第１の開口領域内の各境界箇所の第２の方向に沿うサイズが直線的に減少する、請求項１から６のいずれか一項に記載のマスクプレート。
各前記第２の開口領域において、境界各箇所の前記第２の方向に沿うサイズが同一であり、
前記中央位置の第１の開口領域から前記第１の仮想端部領域に至る方向上で、各第２の開口領域の前記第２の方向に沿うサイズが徐々に小さくなり、
前記中央位置の第１の開口領域から前記第１の仮想端部領域に至る方向上で、各第２の開口領域の前記第２の方向に沿うサイズが徐々に小さくなる、請求項１３に記載のマスクプレート。
マスク基板上にパターン開口を形成し、第１の開口領域におけるパターン開口の面積の和が前記第１の開口領域の総面積に占める割合は、第２の開口領域におけるパターン開口の面積の和が前記第２の開口領域の総面積に占める割合を上回らず、
前記第１の開口領域におけるパターン開口間の箇所に、マスクプレートの厚み方向に沿って前記マスクプレートを貫通しない凹溝を形成することを含む、請求項１から１４のいずれか一項に記載のマスクプレートの製造方法。
前記マスクプレートの、一端に位置する第１の開口領域の、第２の開口領域から離れた一端に第１の仮想端部領域を加え、
前記マスクプレートの、他端に位置する第２の開口領域の、第１の開口領域から離れた一端に仮想の第１の開口領域を加え、
他の開口領域の、前記第２の開口領域から離れた一端に第２の仮想端部領域を加え、
前記第１の仮想端部領域と第２の端部領域を用いて前記マスクプレートを張設し、前記マスクプレートの張設方向に沿う境界を直線形状にすることを含む、請求項１から１４のいずれか一項に記載のマスクプレートの使用方法。