KR20210138210A - 마스크 검사 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 방법 - Google Patents

마스크 검사 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 방법은 복수의 제1 개구들이 정의된 제1 영역 및 복수의 제2 개구들이 정의된 제2 영역을 포함하는 마스크를 촬영하여 이미지를 획득하는 단계, 상기 이미지로부터 상기 제1 영역에 대응되는 제1 부분 이미지 및 상기 제2 영역에 대응되는 제2 부분 이미지를 구분하는 단계, 기 제1 부분 이미지를 근거로 상기 마스크의 상기 제1 영역의 결함 여부를 검사하는 단계, 및 상기 제2 부분 이미지를 근거로 상기 마스크의 상기 제2 영역의 결함 여부를 검사하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

마스크 검사 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 방법{MASK INSPECTION APPARATUS AND MASK INSPECTION METHOD USING THE SAME}
본 발명은 서로 다른 복수의 개구들이 정의된 마스크를 검사 할 수 있는 마스크 검사 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로 유기 발광 표시 장치는 유기막 및/또는 전극을 진공 증착법에 의해 형성한다. 유기 발광 표시 장치를 제작하기 위한 증착 공정 시 사용되는 마스크는 다양하게 제공될 수 있다. 마스크에는 오픈 슬릿(open slit)이 정의되고, 오픈 슬릿의 상태에 따라 유기 발광 장치의 신뢰도가 판단될 수 있다. 따라서, 오픈 슬릿의 상태를 파악하는 마스크의 검사 방법이 요구되고 있다.
본 발명은 서로 다른 복수의 개구들이 정의된 마스크를 검사 할 수 있는 마스크 검사 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 방법은 복수의 제1 개구들이 정의된 제1 영역 및 복수의 제2 개구들이 정의된 제2 영역을 포함하는 마스크를 촬영하여 이미지를 획득하는 단계, 상기 이미지로부터 상기 제1 영역에 대응되는 제1 부분 이미지 및 상기 제2 영역에 대응되는 제2 부분 이미지를 구분하는 단계, 기 제1 부분 이미지를 근거로 상기 마스크의 상기 제1 영역의 결함 여부를 검사하는 단계, 및 상기 제2 부분 이미지를 근거로 상기 마스크의 상기 제2 영역의 결함 여부를 검사하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 영역의 결함 여부를 검사하는 단계는 상기 제1 부분 이미지에 포함된 상기 복수의 제1 개구들에 대응하는 복수의 제1 패턴들을 비교하는 단계를 포함하고, 상기 제2 영역의 결함 여부를 검사하는 단계는 상기 제2 부분 이미지에 포함된 상기 복수의 제2 개구들에 대응하는 복수의 제2 패턴들을 비교하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 복수의 제1 패턴들을 비교하는 단계는 상기 복수의 제1 패턴들 중 하나의 제1 패턴을 상기 하나의 제1 패턴과 인접한 다른 제1 패턴들 각각과 대조하는 단계를 포함하고, 상기 복수의 제2 패턴들을 비교하는 단계는 상기 복수의 제2 패턴들 중 하나의 제2 패턴을 상기 하나의 제2 패턴과 인접한 다른 제2 패턴들 각각과 대조하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 하나의 제1 패턴을 상기 다른 제1 패턴들과 대조하는 단계는 상기 하나의 제1 패턴의 형상과 상기 다른 제1 패턴들 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 정상으로 판단하고, 상기 하나의 제2 패턴을 상기 다른 제2 패턴들과 대조하는 단계는 상기 하나의 제2 패턴의 형상과 상기 다른 제2 패턴들 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 정상으로 판단할 수 있다.
상기 하나의 제1 패턴을 상기 다른 제1 패턴들과 대조하는 단계는 상기 하나의 제1 패턴의 크기와 상기 다른 제1 패턴들 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 정상으로 판단하고, 상기 하나의 제2 패턴을 상기 다른 제2 패턴들과 대조하는 단계는 상기 하나의 제2 패턴의 크기와 상기 다른 제2 패턴들 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 정상으로 판단할 수 있다.
상기 제1 부분 이미지 및 상기 제2 부분 이미지를 구분하는 단계는 상기 제1 부분 이미지 및 상기 제2 부분 이미지 사이의 경계를 설정하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 부분 이미지 및 상기 제2 부분 이미지 사이의 상기 경계를 설정하는 단계는 상기 이미지의 패턴 사이의 피치가 상기 복수의 제1 패턴들 사이의 제1 피치에서 상기 복수의 제2 패턴들 사이의 제2 피치로 변환되는 영역을 경계로 설정하며, 상기 제1 피치 및 상기 제2 피치는 상이할 수 있다.
상기 복수의 제1 패턴들 각각의 제1 형상 및 상기 복수의 제2 패턴들 각각의 제2 형상은 동일할 수 있다.
상기 복수의 제1 패턴들 각각의 제1 크기 및 상기 복수의 제2 패턴들 각각의 제2 크기는 동일할 수 있다.
상기 제1 부분 이미지 및 상기 제2 부분 이미지 사이의 상기 경계를 설정하는 단계는 상기 이미지의 패턴의 형상이 상기 복수의 제1 패턴들 각각의 제1 형상에서 상기 복수의 제2 패턴들 각각의 제2 형상으로 변환되는 영역을 경계로 설정하며, 상기 제1 형상 및 상기 제2 형상을 상이할 수 있다.
상기 제1 부분 이미지 및 상기 제2 부분 이미지 사이의 상기 경계를 설정하는 단계는 상기 이미지의 패턴의 크기가 상기 복수의 제1 패턴들 각각의 제1 크기에서 상기 복수의 제2 패턴들 각각의 제2 크기로 변환되는 영역을 경계로 설정하며, 상기 제1 크기 및 상기 제2 크기는 상이할 수 있다.
상기 제1 부분 이미지에는 복수의 제1 그룹들이 정의되고, 상기 제2 부분 이미지에는 복수의 제2 그룹들이 정의되며, 상기 복수의 제1 그룹들 각각은 상기 복수의 제1 패턴들 중 n 개(n은 2 이상의 정수)의 제1 패턴들을 포함하고, 상기 복수의 제2 그룹들 각각은 상기 복수의 제2 패턴들 중 m 개(m은 2 이상의 정수)의 제2 패턴들을 포함하고, 상기 제1 영역의 결함 여부를 검사하는 단계는 상기 복수의 제1 그룹들을 서로 비교하는 단계를 포함하고, 상기 제2 영역의 결함 여부를 검사하는 단계는 상기 복수의 제2 그룹들을 서로 비교하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 n 및 상기 m은 상이할 수 있다.
상기 복수의 제1 그룹들 각각의 크기 및 상기 복수의 제2 그룹들 각각의 크기는 상이할 수 있다.
상기 복수의 제1 그룹들을 비교하는 단계는 상기 복수의 제1 그룹들 중 하나의 제1 그룹을 상기 하나의 제1 그룹과 인접한 다른 제1 그룹들 각각과 대조하는 단계를 포함하고, 상기 복수의 제2 그룹들을 비교하는 단계는 상기 복수의 제2 그룹들 중 하나의 제2 그룹을 상기 하나의 제2 그룹과 인접한 다른 제2 그룹들 각각과 대조하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 이미지를 획득하는 단계는 상기 마스크의 전체 영역을 촬영하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치는 복수의 제1 개구들이 정의된 제1 영역 및 복수의 제2 개구들이 정의된 제2 영역을 포함하는 마스크를 촬영하여 이미지를 획득하는 카메라, 상기 이미지로부터 상기 제1 영역에 대응되는 제1 부분 이미지 및 상기 제2 영역에 대응되는 제2 부분 이미지를 구분하는 영역 구분부, 상기 제1 부분 이미지를 근거로 상기 마스크의 상기 제1 영역의 결함 여부를 검사하는 제1 검사부, 및 상기 제2 부분 이미지를 근거로 상기 마스크의 상기 제2 영역의 결함 여부를 검사하는 제2 검사부를 포함할 수 있다.
상기 제1 검사부는 상기 제1 부분 이미지에 포함된 상기 복수의 제1 개구들에 대응하는 복수의 제1 패턴들을 비교하고, 상기 제2 검사부는 상기 제2 부분 이미지에 포함된 상기 복수의 제2 개구들에 대응하는 복수의 제2 패턴들을 비교할 수 있다.
상기 영역 구분부는 상기 이미지의 패턴 사이의 피치가 상기 복수의 제1 패턴들 사이의 제1 피치에서 상기 제1 피치와 상이한 상기 복수의 제2 패턴들 사이의 제2 피치로 변환되는 영역을 경계로 설정할 수 있다.
상기 영역 구분부는 상기 이미지의 패턴의 형상이 상기 복수의 제1 패턴들 각각의 제1 형상에서 상기 제1 형상과 상이한 상기 복수의 제2 패턴들 각각의 제2 형상으로 변환되는 영역을 경계로 설정할 수 있다.
본 발명에 따르면, 마스크는 복수의 제1 개구들이 정의된 제1 영역 및 복수의 제1 개구들과 형상, 크기, 또는 배열이 상이한 복수의 제2 개구들이 정의된 제2 영역을 포함할 수 있다. 마스크 검사 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 방법은 마스크의 제1 영역과 제2 영역을 구분하여 불량을 검사할 수 있다. 따라서, 영역 별로 마스크 불량 여부를 검사함에 따라 마스크 불량 검출이 보다 용이해질 수 있고, 마스크 검사의 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 AA' 영역을 확대하여 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 블록도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 방법을 도시한 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지를 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 5의 BB' 영역을 확대하여 도시한 평면도이다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 5의 BB' 영역에 대응하는 영역을 확대하여 도시한 평면도들이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 평면도들이다.
본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결 된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.
동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다.
"및/또는"은 연관된 구성들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.
다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 이상적인 또는 지나치게 형식적인 의미로 해석되지 않는 한, 명시적으로 여기에서 정의될 수 있다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 마스크 검사 장치(MIA)는 마스크(MK)를 검사할 수 있다. 마스크(MK)는 박판(thin plate)을 이용하여 제조될 수 있다. 마스크(MK)의 소재로는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 니켈 코발트 합금 등이 사용될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크(MK)의 소재는 이에 제한되지 않고, 다양한 소재가 사용될 수 있다.
마스크(MK)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 정의하는 면에 평행하게 정의될 수 있다. 예를 들어, 마스크(MK)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2) 각각에 평행한 사각 형상을 가질 수 있다. 다만, 이는 예시적으로 도시한 것으로 마스크(MK)는 다양한 형상을 가질 수 있으며, 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다. 마스크(MK)의 수직 방향은 마스크(MK)의 두께 방향(DR3, 이하 제3 방향)과 대응될 수 있다.
제3 방향(DR3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)과 교차하는 방향일 수 있다. 예를 들어, 제1 방향(DR1), 제2 방향(DR2), 및 제3 방향(DR3)은 서로 직교할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)이 정의하는 면을 평면이라 정의하고, "평면 상에서 보았다"는 것은 제3 방향(DR3)에서 바라본 것으로 정의될 수 있다.
마스크(MK)는 제1 영역(AR1) 및 제2 영역(AR2)을 포함할 수 있다. 제1 영역(AR1)은 제2 영역(AR2)을 에워쌀 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 영역(AR1) 및 제2 영역(AR2)의 배치 관계는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 따른 제2 영역(AR2)은 제1 영역(AR1)을 에워쌀 수 있다.
제1 영역(AR1)에는 복수의 제1 개구들이 정의될 수 있다. 제2 영역(AR2)에는 복수의 제2 개구들이 정의될 수 있다. 상기 제1 개구들 및 상기 제2 개구들은 서로 형상, 크기, 또는 배열이 상이할 수 있다.
마스크 검사 장치(MIA)는 카메라(CM) 및 검사부(CC)를 포함할 수 있다. 카메라(CM)는 마스크(MK) 위에 배치될 수 있다. 카메라(CM)는 마스크(MK)를 촬영할 수 있다. 예를 들어, 카메라(CM)는 마스크(MK)의 전체 영역을 촬영할 수 있다.
검사부(CC)는 카메라(CM)로부터 마스크(MK)를 촬영한 이미지를 제공받을 수 있다. 검사부(CC)는 카메라(CM)와 통신 케이블을 통해 연결될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 검사부(CC) 및 카메라(CM)의 연결 관계는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 검사부(CC)는 카메라(CM)로부터 무선 통신을 통해 상기 이미지를 제공받을 수도 있다. 검사부(CC)는 카메라(CM)와 통신하기 위한 통신 인터페이스 및 프로세서를 포함하는 컴퓨터일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 1의 AA' 영역을 확대하여 도시한 평면도이다.
도 2를 참조하면, 복수의 제1 개구들(OP1) 및 복수의 제2 개구들(OP2)은 오픈 슬릿(open slit)으로 지칭될 수 있다. 복수의 제1 개구들(OP1) 각각의 크기는 복수의 제2 개구들(OP2) 각각의 크기보다 작을 수 있다. 서로 인접한 복수의 제1 개구들(OP1) 사이의 제1 거리(DT1)는 서로 인접한 복수의 제2 개구들(OP2) 사이의 제2 거리(DT2)보다 작을 수 있다.
복수의 제1 개구들(OP1) 및 복수의 제2 개구들(OP2)은 증착 물질이 통과하는 경로를 제공할 수 있다. 복수의 제1 개구들(OP1) 및 복수의 제2 개구들(OP2)은 기판의 증착 대상 영역을 노출시킬 수 있다. 복수의 제1 개구들(OP1) 및 복수의 제2 개구들(OP2)은 형상하고자 하는 증착 대상 영역을 노출시킬 수 있다.
복수의 제1 개구들(OP1)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 제1 개구들(OP1) 소정의 규칙을 가지고 배열될 수 있다. 복수의 제1 개구들(OP1)은 제1 형상을 가지는 복수의 제1 개구 패턴들(OP1a) 및 상기 제1 형상과 상이한 형상을 가지는 제2 형상을 가지는 복수의 제2 개구 패턴들(OP1b)을 포함할 수 있다. 상기 제1 형상 및 상기 제2 형상은 서로 대칭될 수 있다.
복수의 제1 개구 패턴들(OP1a) 및 복수의 제2 개구 패턴들(OP1b)은 제1 방향(DR1)으로 교대로 배열될 수 있다. 복수의 제1 개구 패턴들(OP1a) 및 복수의 제2 개구 패턴들(OP1b)은 제2 방향(DR2)으로 교대로 배열될 수 있다.
제1 영역(AR1)에는 복수의 제1 그룹들(G1)이 정의될 수 있다. 복수의 제1 그룹들(G1)은 상기 소정의 규칙으로 반복되는 복수의 제1 개구들(OP1)의 최소 단위로 정의될 수 있다. 복수의 제1 그룹들(G1) 각각은 4 개의 제1 개구들(OP1)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 복수의 제1 그룹들(G1) 각각은 2 개의 제1 개구 패턴들(OP1a) 및 2 개의 제2 개구 패턴들(OP1b)을 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 제1 그룹들(G1) 각각이 포함하는 제1 개구들(OP1)의 개수는 이에 제한되지 않고 다양하게 제공될 수 있다.
복수의 제1 그룹들(G1)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다.
복수의 제2 개구들(OP2)은 제1 방향(DR1), 제2 방향(DR2), 및 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 교차하는 방향을 따라 배열될 수 있다. 복수의 제2 개구들(OP2)은 소정의 규칙을 가지고 배열될 수 있다.
제2 영역(AR2)에는 복수의 제2 그룹들(G2)이 정의될 수 있다. 복수의 제2 그룹들(G2)은 상기 소정의 규칙으로 반복되는 복수의 제2 개구들(OP2)의 최소 단위로 정의될 수 있다. 복수의 제2 그룹들(G2) 각각은 2 개의 제2 개구들(OP2)을 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 제2 그룹들(G2) 각각이 포함하는 제2 개구들(OP2)의 개수는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 복수의 제2 그룹들(G2)은 적어도 하나의 제2 개구(OP2)를 포함할 수 있다.
다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 제1 개구들(OP1) 및 복수의 제2 개구들(OP2) 각각의 형상 또는 크기는 이에 제한되지 않고, 다양한 형상 또는 크기로 제공될 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 블록도이다.
도 3을 참조하면, 검사부(CC)는 영역 구분부(ARD), 제1 검사부(DT1), 및 제2 검사부(DT2)를 포함할 수 있다.
영역 구분부(ARD)는 카메라(CM)로부터 촬영된 이미지 데이터들 수신할 수 있다. 영역 구분부(ARD)는 카메라(CM)가 촬영한 마스크(MK, 도 1 참조)의 이미지를 분리할 수 있다. 영역 구분부(ARD)는 분리된 이미지 데이터를 제1 검사부(DT1) 및 제2 검사부(DT2)에 제공할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 영역 구분부(ARD)가 구분한 상기 이미지의 상기 일부를 근거로 마스크(MK, 도 1 참조)의 제1 영역(AR1)의 결함 여부를 검사할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 영역 구분부(ARD)가 구분한 상기 이미지의 상기 다른 일부를 근거로 마스크(MK, 도 1 참조)의 제2 영역(AR2)의 결함 여부를 검사할 수 있다.
도 3에서는 제1 검사부(DT1) 및 제2 검사부(DT2)를 구분하여 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 검사부(DT1) 및 제2 검사부(DT2)는 하나로 제공될 수 있다. 이 경우, 제1 검사부(DT1) 및 제2 검사부(DT2)는 상기 이미지의 상기 일부 및 상기 다른 일부를 순차적으로 검사하여 마스크(MK, 도 1 참조)의 결함 여부를 검사할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지의 검사 순서는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 검사부(DT1) 및 제2 검사부(DT2)는 상기 이미지의 상기 일부 및 상기 다른 일부를 동시에 검사하여 마스크(MK, 도 1 참조)의 결함 여부를 검사할 수 있다.
본 발명에 따르면, 마스크(MK, 도 1 참조)에는 서로 다른 복수의 개구들이 정의될 수 있다. 상기 서로 다르다는 의미는 복수의 개구들의 형상, 크기, 또는 배열이 서로 상이함을 의미할 수 있다. 영역 구분부(ARD)는 카메라(CM)로부터 받은 이미지를 상기 서로 다른 복수의 개구들을 근거로 상기 이미지를 복수의 영역들(AR1, AR2)로 분리할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 분리된 상기 이미지의 일부를 근거로 제1 영역(AR1)의 결함 여부를 검사할 수 있고, 제2 검사부(DT2)는 분리된 상기 이미지의 다른 일부를 근거로 제2 영역(AR2)의 결함 여부를 검사할 수 있다. 따라서, 상기 서로 다른 복수의 개구들이 정의된 마스크(MK, 도 1 참조)를 검사 할 수 있는 마스크 검사 장치(MIA) 및 이를 이용한 마스크 검사 방법을 제공할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 방법을 도시한 흐름도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이미지를 도시한 평면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 카메라(CM)는 마스크(MK, 도 1 참조)를 촬영하여 이미지(IM)를 획득할 수 있다(S100).
이미지(IM)에는 마스크(MK, 도 1 참조)의 제1 영역(AR1, 도 1 참조)에 대응되는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 마스크(MK, 도 1 참조)의 제2 영역(AR2, 도 1 참조)에 대응되는 제2 부분 이미지(IM-2)가 정의될 수 있다.
영역 구분부(ARD)는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2)를 구분할 수 있다(S200). 영역 구분부(ARD)는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2) 사이의 경계를 설정할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 제1 부분 이미지(IM-1)를 근거로 마스크(MK, 도 1 참조)의 제1 영역(AR1, 도 1 참조)의 결함 여부를 검사할 수 있다(S300). 제1 검사부(DT1)는 제1 부분 이미지(IM-1)에 포함된 복수의 제1 개구들(OP1, 도 2 참조)에 대응하는 패턴들을 비교할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 제2 부분 이미지(IM-2)를 근거로 마스크(MK, 도 1 참조)의 제2 영역(AR2, 도 1 참조)의 결함 여부를 검사할 수 있다(S400). 제2 검사부(DT2)는 제2 부분 이미지(IM-2)에 포함된 복수의 제2 개구들(OP2, 도 2 참조)에 대응하는 패턴들을 비교할 수 있다.
도 4에서는 제1 영역(AR1, 도 1 참조)의 결함 여부를 검사(S300)한 후, 제2 영역(AR2, 도 1 참조)의 결함 여부를 검사(S400)하는 것을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 방법의 순서는 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 방법의 순서는 제2 영역(AR2, 도 1 참조)의 결함 여부를 검사(S400)한 후, 제1 영역(AR1, 도 1 참조)의 결함 여부를 검사(S300)할 수 있고, 제1 영역(AR1, 도 1 참조)의 결함 여부를 검사(S300) 및 제2 영역(AR2, 도 1 참조)의 결함 여부를 검사(S400)는 동시에 진행될 수도 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 5의 BB' 영역을 확대하여 도시한 평면도이다.
도 2, 도 3, 및 도 6을 참조하면, 도 4의 BB' 영역은 도 2의 AA' 영역을 카메라(CM)로 촬영하여 획득한 이미지일 수 있다. 제1 부분 이미지(IM-1)는 제1 영역(AR1)의 복수의 제1 개구들(OP1)에 대응하는 복수의 제1 패턴들(PT1)을 포함할 수 있다. 제2 부분 이미지(IM-2)는 제2 영역(AR2)의 복수의 제2 개구들(OP2)에 대응하는 복수의 제2 패턴들(PT2)을 포함할 수 있다.
복수의 제1 패턴들(PT1)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 제1 패턴들(PT1)은 소정의 규칙을 가지고 배열될 수 있다.
제1 부분 이미지(IM-1)에는 복수의 제1 그룹들(GP1)이 정의될 수 있다. 복수의 제1 그룹들(GP1)은 상기 소정의 규칙으로 반복되는 복수의 제1 패턴들(PT1)의 최소 단위로 정의될 수 있다. 복수의 제1 그룹들(GP1)은 제1 영역(AR1)의 복수의 제1 그룹들(G1)에 대응될 수 있다.
복수의 제1 그룹들(GP1) 각각은 복수의 제1 패턴들(PT1) 중 n 개의 제1 패턴들(PT1)을 포함할 수 있다. 상기 n은 2 이상의 정수일 수 있다. 예를 들어, 상기 n은 4일 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 제1 그룹들(GP1) 각각이 포함하는 제1 패턴들(PT1)의 개수는 이에 제한되지 않는다.
복수의 제1 그룹들(GP1)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 배열될 수 있다. 복수의 제2 패턴들(PT2)은 제1 방향(DR1), 제2 방향(DR2), 및 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 교차하는 방향을 따라 배열될 수 있다. 복수의 제2 패턴들(PT2)은 소정의 규칙을 가지고 배열될 수 있다.
제2 부분 이미지(IM-2)에는 복수의 제2 그룹들(GP2)이 정의될 수 있다. 복수의 제2 그룹들(GP2)은 상기 소정의 규칙으로 반복되는 복수의 제2 패턴들(PT2)의 최소 단위로 정의될 수 있다. 복수의 제2 그룹들(GP2)은 제2 영역(AR2)의 복수의 제2 그룹들(G2)에 대응될 수 있다.
복수의 제2 그룹들(GP2) 각각은 복수의 제2 패턴들(PT2) 중 m 개의 제2 패턴들(PT2)을 포함할 수 있다. 상기 m은 2 이상의 정수일 수 있다. 예를 들어, 상기 m은 2일 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 제2 그룹들(GP2) 각각이 포함하는 제2 패턴들(PT2)의 개수는 이에 제한되지 않는다.
상기 n 및 상기 m은 상이할 수 있다. 예를 들어, 상기 n은 상기 m 보다 클 수 있다. 복수의 제1 그룹들(GP1) 각각의 제1 크기 및 복수의 제2 그룹들(GP2) 각각의 제2 크기는 상이할 수 있다. 예를 들어, 복수의 제1 그룹들(GP1) 각각의 상기 제1 크기는 복수의 제2 그룹들(GP2) 각각의 상기 제2 크기보다 작을 수 있다.
영역 구분부(ARD)는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2) 사이의 경계(BL1)를 설정할 수 있다. 경계(BL1)에 의해 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2)가 구분될 수 있다. 영역 구분부(ARD)는 이미지(IM, 도 4 참조)의 패턴의 형상이 복수의 제1 패턴들(PT1) 각각의 제1 형상에서 복수의 제2 패턴들(PT2) 각각의 제2 형상으로 변환되는 영역을 경계(BL1)로 설정할 수 있다.
상기 제1 형상 및 상기 제2 형상은 상이할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 형상은 기울어진 직사각형일 수 있고, 상기 제2 형상은 사각형일 수 있다.
영역 구분부(ARD)는 이미지(IM, 도 4 참조)의 패턴의 크기가 복수의 제1 패턴들(PT1) 각각의 제1 크기에서 복수의 제2 패턴들(PT2) 각각의 제2 크기로 변환되는 영역을 경계(BL1)로 설정할 수 있다.
상기 제1 크기 및 상기 제2 크기는 상이할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 크기는 상기 제2 크기보다 작을 수 있다.
본 발명에 따르면, 마스크 검사 장치(MIA)는 영역 구분부(ARD)를 포함할 수 있다. 영역 구분부(ARD)는 마스크(MK, 도 1 참조)의 제1 영역(AR1)에 대응되는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 마스크(MK, 도 1 참조)의 제2 영역(AR2)에 대응되는 제2 부분 이미지(IM-2)의 경계(BL1)를 설정할 수 있다. 마스크 검사 장치(MIA)는 경계(BL1)를 기준으로 마스크(MK, 도 1 참조)를 제1 영역(AR1) 및 제2 영역(AR2)으로 구분하여 검사할 수 있다. 따라서, 서로 다른 복수의 개구들(OP1, OP2)이 정의된 마스크(MK, 도 1 참조)를 검사 할 수 있는 마스크 검사 장치(MIA) 및 이를 이용한 마스크 검사 방법을 제공할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 복수의 제1 패턴들(PT1) 중 하나의 제1 패턴(PT1a)을 하나의 제1 패턴(PT1a)과 인접한 다른 제1 패턴(PT1b)과 대조할 수 있다. 도 6에서는 하나의 제1 패턴(PT1a)과 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제1 패턴(PT1b)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 제1 패턴(PT1b)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 제1 패턴(PT1b)은 하나의 제1 패턴(PT1a)과 제1 방향(DR1)으로 인접한 패턴일 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT1a)을 하나의 제1 패턴(PT1a)과 인접한 다른 제1 패턴들(PT1b)과 비교할 수 있다. 예를 들어, 하나의 제1 패턴(PT1a)을 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제1 패턴(PT1b) 및 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제1 패턴(미도시)과 모두 비교할 수 있다. 하나의 제1 패턴(PT1a)과 비교대상이 되는 패턴이 2 개인 것을 예시적으로 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 하나의 제1 패턴(PT1a)은 3 개 또는 4 개의 인접한 다른 제1 패턴들과 대조될 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT1a)의 형상과 다른 제1 패턴들(PT1b) 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제1 영역(AR1)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 실질적으로 동일하다는 의미는 형상의 차이가 정상 범위로 인정될 수 있는 차이 이내인 것을 의미할 수 있다. 상기 정상 범위는 설계 목표치에 따라 소정의 값으로 설정될 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT1a)의 형상과 다른 제1 패턴들(PT1b) 각각의 형상을 대조하여 상이한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제1 영역(AR1)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT1a)의 크기와 다른 제1 패턴들(PT1b) 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제1 영역(AR1)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 실질적으로 동일하다는 의미는 크기의 차이가 상기 정상 범위로 인정될 수 있는 차이 이내인 것을 의미할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT1a)의 크기와 다른 제1 패턴들(PT1b) 각각의 크기를 대조하여 상이한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제1 영역(AR1)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 복수의 제1 그룹들(GP1)을 서로 비교할 수 있다. 복수의 제1 그룹(GP1)은 마스크(MK, 도 1 참조)의 복수의 제1 그룹들(G1)에 대응될 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 복수의 제1 그룹들(GP1) 중 하나의 제1 그룹(GP1a)을 하나의 제1 그룹(GP1a)과 인접한 다른 제1 그룹(GP1b)과 대조할 수 있다. 도 6에서는 하나의 제1 그룹(GP1a)과 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제1 그룹(GP1b)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 제1 그룹(GP1b)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 제1 그룹(GP1b)은 하나의 제1 그룹(GP1a)과 제1 방향(DR1)으로 인접한 그룹일 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 그룹(GP1a)을 하나의 제1 그룹(GP1a)과 인접한 다른 제1 그룹들(GP1b)과 비교할 수 있다. 예를 들어, 하나의 제1 그룹(GP1a)을 제2 방향(DR2)과 인접한 다른 제1 그룹(GP1b) 및 제1 방향(DR1)과 인접한 제1 그룹(미도시)과 모두 비교할 수 있다. 하나의 제1 그룹(GP1a)과 비교대상이 되는 그룹이 2 개인 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 하나의 제1 그룹(GP1a)은 3 개 또는 4 개의 인접한 다른 제1 그룹들과 대조될 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 그룹(GP1a) 내에 배치된 패턴의 형상과 다른 제1 그룹들(GP1b) 각각에 배치된 패턴의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제1 영역(AR1)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 그룹(GP1a) 내에 배치된 패턴의 형상과 다른 제1 그룹들(GP1b) 각각에 배치된 패턴의 형상을 대조하여 상이한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제1 영역(AR1)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 복수의 제2 패턴들(PT2) 중 하나의 제2 패턴(PT2a)을 하나의 제2 패턴(PT2a)과 인접한 다른 제2 패턴(PT2b)과 대조할 수 있다. 도 6에서는 하나의 제2 패턴(PT2a)과 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제2 패턴(PT2b)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 제2 패턴(PT2b)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 제2 패턴(PT2b)은 하나의 제2 패턴(PT2a)과 제2 방향(DR2)으로 인접한 패턴일 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT2a)을 하나의 제1 패턴(PT2a)과 인접한 다른 제2 패턴들(PT2b)과 비교할 수 있다. 예를 들어, 하나의 제2 패턴(PT2a)을 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제2 패턴(PT2b) 및 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제2 패턴(미도시)과 모두 비교할 수 있다. 하나의 제2 패턴(PT2a)과 비교대상이 되는 패턴이 2 개인 것을 예시적으로 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 하나의 제2 패턴(PT2a)은 3 개 또는 4 개의 인접한 다른 제2 패턴들과 대조될 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT2a)의 형상과 다른 제2 패턴들(PT2b) 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제2 영역(AR2)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT2a)의 형상과 다른 제2 패턴들(PT2b) 각각의 형상을 대조하여 상이한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제2 영역(AR2)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT2a)의 크기와 다른 제2 패턴들(PT2b) 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제2 영역(AR2)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT2a)의 크기와 다른 제2 패턴들(PT2b) 각각의 크기를 대조하여 상이한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제2 영역(AR2)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 복수의 제2 그룹들(GP2)을 서로 비교할 수 있다. 복수의 제2 그룹들(GP2)은 마스크(MK, 도 1 참조)의 복수의 제2 그룹들(G2)에 대응될 수 있다. 제2 검사부(DT2)는 복수의 제2 그룹들(GP2) 중 하나의 제2 그룹(GP2a)을 하나의 제2 그룹(GP2a)과 인접한 다른 제2 그룹(GP2b)과 대조할 수 있다. 도 6에서는 하나의 제2 그룹(GP2a)과 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제2 그룹(GP2b)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 제2 그룹(GP2b)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 제2 그룹(GP2b)은 하나의 제2 그룹(GP2b)과 제2 방향(DR2)으로 인접한 그룹일 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 그룹(GP2a)을 하나의 제2 그룹(GP2a)과 인접한 다른 제2 그룹들(GP2b)과 비교할 수 있다. 예를 들어, 하나의 제2 그룹(GP2a)을 제1 방향(DR1)과 인접한 다른 제2 그룹(GP2b) 및 제2 방향(DR1)과 인접한 제2 그룹(미도시)과 모두 비교할 수 있다. 하나의 제2 그룹(GP1a)과 비교대상이 되는 그룹이 2 개인 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 하나의 제2 그룹(GP2a)은 3 개 또는 4 개의 인접한 다른 제2 그룹들과 대조될 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 그룹(GP2a) 내에 배치된 패턴의 형상과 다른 제2 그룹들(GP2b) 각각에 배치된 패턴의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제2 영역(AR2)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 그룹(GP2a) 내에 배치된 패턴의 형상과 다른 제2 그룹들(GP2b) 각각에 배치된 패턴의 형상을 대조하여 상이한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)의 제2 영역(AR2)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
마스크 검사 장치(MIA)는 제1 검사부(DT1)가 제1 영역(AR1)을 정상인 것으로 판단하고 제2 검사부(DT2)가 제2 영역(AR2)을 정상인 것으로 판단한 경우 마스크(MK, 도 1 참조)가 정상인 것으로 판단할 수 있다.
본 발명에 따르면, 영역 구분부(ARD)는 경계(BL1)를 기준으로 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2)를 구분할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 제1 부분 이미지(IM-1)를 근거로 제1 영역(AR1)의 결함 여부를 검사할 수 있고, 제2 검사부(DT2)는 제2 부분 이미지(IM-2)를 근거로 제2 영역(AR2)의 결함 여부를 검사할 수 있다. 따라서, 서로 다른 복수의 개구들(OP1, OP2)이 정의된 마스크(MK, 도 1 참조)를 개구 별로 영역을 나누어 검사하여 마스크(MK, 도 1 참조)의 불량 검출이 용이하고, 신뢰성이 향상된 마스크 검사 장치(MIA) 및 이를 이용한 마스크 검사 방법을 제공할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 5의 BB' 영역에 대응하는 영역을 확대하여 도시한 평면도이다.
도 1, 도 3, 및 도 7을 참조하면, 제1 부분 이미지(IM-1)는 복수의 제1 패턴들(PT11)을 포함할 수 있다. 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)에 정의된 복수의 제1 개구들은 복수의 제1 패턴들(PT11)에 대응될 수 있다. 제2 부분 이미지(IM-2)는 복수의 제2 패턴들(PT21)을 포함할 수 있다. 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)에 정의된 복수의 제2 개구들은 복수의 제2 패턴들(PT21)에 대응될 수 있다.
복수의 제1 패턴들(PT11)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 제2 패턴들(PT21)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 제1 부분 이미지(IM-1)에서 복수의 제1 패턴들(PT11)이 차지하는 면적의 비율은 제2 부분 이미지(IM-2)에서 복수의 제2 패턴들(PT21)이 차지하는 면적의 비율보다 클 수 있다.
영역 구분부(ARD)는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2) 사이의 경계(BL2)를 설정할 수 있다. 경계(BL2)에 의해 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2)가 구분될 수 있다.
영역 구분부(ARD)는 이미지(IM, 도 4 참조)의 패턴의 크기가 복수의 제1 패턴들(PT11) 각각의 제1 크기에서 복수의 제2 패턴들(PT21) 각각의 제2 크기로 변환되는 영역을 경계(BL2)로 설정할 수 있다.
상기 제1 크기 및 상기 제2 크기는 상이할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 크기는 상기 제2 크기보다 클 수 있다.
제1 패턴들(PT11) 사이의 제1 피치(PI11)는 제2 패턴들(PT21) 사이의 제2 피치(PI21)와 동일할 수 있다.
복수의 제1 패턴들(PT11) 각각은 제2 방향(DR2)으로 제1 폭(WD1)을 가질 수 있다. 복수의 제2 패턴들(PT21) 각각은 제2 방향(DR2)으로 제2 폭(WD2)을 가질 수 있다. 제1 폭(WD1)은 제2 폭(WD2)보다 클 수 있다. 예를 들어, 제1 폭(WD1)은 제2 폭(WD2)의 2 배일 수 있다.
본 발명에 따르면, 마스크 검사 장치(MIA)는 영역 구분부(ARD)를 포함할 수 있다. 영역 구분부(ARD)는 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)에 대응되는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)에 대응되는 제2 부분 이미지(IM-2)의 경계(BL2)를 설정할 수 있다. 마스크 검사 장치(MIA)는 경계(BL2)를 기준으로 마스크(MK)를 제1 영역(AR1) 및 제2 영역(AR2)으로 구분하여 검사할 수 있다. 따라서, 서로 다른 복수의 개구들이 정의된 마스크(MK)를 검사 할 수 있는 마스크 검사 장치(MIA) 및 이를 이용한 마스크 검사 방법을 제공할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 복수의 제1 패턴들(PT11) 중 하나의 제1 패턴(PT11a)을 하나의 제1 패턴(PT11a)과 인접한 다른 제1 패턴(PT11b)과 대조할 수 있다. 도 7에서는 하나의 제1 패턴(PT11a)과 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제1 패턴(PT11b)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 제1 패턴(PT11b)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 제1 패턴(PT11b)은 하나의 제1 패턴(PT11a)과 제1 방향(DR1)으로 인접한 패턴일 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT11a)을 하나의 제1 패턴(PT11a)과 인접한 다른 제1 패턴들(PT11b)과 비교할 수 있다. 예를 들어, 하나의 제1 패턴(PT11a)을 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제1 패턴(PT11b) 및 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제1 패턴(미도시)과 모두 비교할 수 있다. 하나의 제1 패턴(PT11a)과 비교대상이 되는 패턴이 2 개인 것을 예시적으로 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 하나의 제1 패턴(PT11a)은 3 개 또는 4 개의 인접한 다른 제1 패턴들과 대조될 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT11a)의 형상과 다른 제1 패턴들(PT11b) 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT11a)의 형상과 다른 제1 패턴들(PT11b) 각각의 형상을 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT11a)의 크기와 다른 제1 패턴들(PT11b) 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT11a)의 크기와 다른 제1 패턴들(PT11b) 각각의 크기를 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 복수의 제2 패턴들(PT21) 중 하나의 제2 패턴(PT21a)을 하나의 제2 패턴(PT21a)과 인접한 다른 제2 패턴(PT2b)과 대조할 수 있다. 도 7에서는 하나의 제2 패턴(PT21a)과 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제2 패턴(PT21b)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 제2 패턴(PT21b)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 제2 패턴(PT21b)은 하나의 제2 패턴(PT21a)과 제1 방향(DR1)으로 인접한 패턴일 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT21a)을 하나의 제2 패턴(PT21a)과 인접한 다른 제2 패턴들(PT21b)과 비교할 수 있다. 예를 들어, 하나의 제2 패턴(PT21a)을 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제2 패턴(PT21b) 및 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제2 패턴(미도시)과 모두 비교할 수 있다. 하나의 제2 패턴(PT21a)과 비교대상이 되는 패턴이 2 개인 것을 예시적으로 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 하나의 제2 패턴(PT21a)은 3 개 또는 4 개의 인접한 다른 제2 패턴들과 대조될 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT21a)의 형상과 다른 제2 패턴들(PT21b) 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT21a)의 형상과 다른 제2 패턴들(PT21b) 각각의 형상을 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT21a)의 크기와 다른 제2 패턴들(PT21b) 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT21a)의 크기와 다른 제2 패턴들(PT21b) 각각의 크기를 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
마스크 검사 장치(MIA)는 제1 검사부(DT1)가 제1 영역(AR1)을 정상인 것으로 판단하고, 제2 검사부(DT2)가 제2 영역(AR2)을 정상인 것으로 판단한 경우 마스크(MK)가 정상인 것으로 판단할 수 있다.
본 발명에 따르면, 영역 구분부(ARD)는 경계(BL2)를 기준으로 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2)를 구분할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 제1 부분 이미지(IM-1)를 근거로 제1 영역(AR1)의 결함 여부를 검사할 수 있고, 제2 검사부(DT2)는 제2 부분 이미지(IM-2)를 근거로 제2 영역(AR2)의 결함 여부를 검사할 수 있다. 따라서, 서로 다른 복수의 개구들이 정의된 마스크(MK)를 개구 별로 영역을 나누어 검사하여 마스크(MK)의 불량 검출이 용이하고, 신뢰성이 향상된 마스크 검사 장치(MIA) 및 이를 이용한 마스크 검사 방법을 제공할 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 도 5의 BB' 영역에 대응하는 영역을 확대하여 도시한 평면도이다.
도 1, 도 3, 및 도 8을 참조하면, 제1 부분 이미지(IM-1)는 복수의 제1 패턴들(PT12)을 포함할 수 있다. 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)에 정의된 복수의 제1 개구들은 복수의 제1 패턴들(PT12)에 대등될 수 있다. 제2 부분 이미지(IM-2)는 복수의 제2 패턴들(PT22)을 포함할 수 있다. 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)에 정의된 복수의 제2 개구들은 복수의 제2 패턴들(PT22)에 대응될 수 있다.
복수의 제1 패턴들(PT12)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 제2 패턴들(PT22)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 제1 부분 이미지(IM-1)에서 복수의 제1 패턴들(PT12)이 차지하는 면적의 비율은 제2 부분 이미지(IM-2)에서 복수의 제2 패턴들(PT22)이 차지하는 면적의 비율보다 클 수 있다.
영역 구분부(ARD)는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2) 사이의 경계(BL3)를 설정할 수 있다. 경계(BL3)에 의해 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2)가 구분될 수 있다.
영역 구분부(ARD)는 이미지(IM, 도 4 참조)의 패턴 사이의 피치가 복수의 제1 패턴들(PT12) 사이의 제1 피치(PI1)에서 복수의 제2 패턴들(PT22) 사이의 제2 피치(PI2)로 변환되는 영역을 경계(BL3)로 설정할 수 있다.
제1 피치(PI1) 및 제2 피치(PI2)는 상이할 수 있다. 제1 피치(PI1)는 제2 피치(PI2)보다 작을 수 있다. 예를 들어, 제2 피치(PI2)는 제1 피치(PI1)의 2 배일 수 있다.
복수의 제1 패턴들(PT12) 각각의 제1 형상 및 복수의 제2 패턴들(PT22) 각각의 제2 형상은 동일할 수 있다. 복수의 제1 패턴들(PT12) 각각의 제1 크기 및 복수의 제2 패턴들(PT22) 각각의 제2 크기는 동일할 수 있다.
본 발명에 따르면, 마스크 검사 장치(MIA)는 영역 구분부(ARD)를 포함할 수 있다. 영역 구분부(ARD)는 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)에 대응되는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)에 대응되는 제2 부분 이미지(IM-2)의 경계(BL3)를 설정할 수 있다. 마스크 검사 장치(MIA)는 경계(BL3)를 기준으로 제1 영역(AR1) 및 제2 영역(AR2)을 구분하여 검사할 수 있다. 따라서, 서로 다른 복수의 개구들이 정의된 마스크(MK)를 검사 할 수 있는 마스크 검사 장치(MIA) 및 이를 이용한 마스크 검사 방법을 제공할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 복수의 제1 패턴들(PT12) 중 하나의 제1 패턴(PT12a)을 하나의 제1 패턴(PT12a)과 인접한 다른 제1 패턴(PT12b)과 대조할 수 있다. 도 8에서는 하나의 제1 패턴(PT12a)과 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제1 패턴(PT12b)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 제1 패턴(PT12b)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 제1 패턴(PT12b)는 하나의 제1 패턴(PT12a)과 제1 방향(DR1)으로 인접한 패턴일 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT12a)을 하나의 제1 패턴(PT12a)과 인접한 다른 제1 패턴들(PT12b)과 비교할 수 있다. 예를 들어, 하나의 제1 패턴(PT12a)을 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제1 패턴(PT12b) 및 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제1 패턴(미도시)과 모두 비교할 수 있다. 하나의 제1 패턴(PT12a)과 비교대상이 되는 패턴이 2 개인 것을 예시적으로 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 하나의 제1 패턴(PT12a)은 3 개 또는 4 개의 인접한 다른 제1 패턴들과 대조될 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT12a)의 형상과 다른 제1 패턴들(PT12b) 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT12a)의 형상과 다른 제1 패턴들(PT12b) 각각의 형상을 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT12a)의 크기와 다른 제1 패턴들(PT12b) 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT12a)의 크기와 다른 제1 패턴들(PT12b) 각각의 크기를 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 복수의 제2 패턴들(PT22) 중 하나의 제2 패턴(PT22a)을 하나의 제2 패턴(PT22a)과 인접한 다른 제2 패턴(PT22b)과 대조할 수 있다. 도 8에서는 하나의 제2 패턴(PT22a)과 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제2 패턴(PT22b)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 제2 패턴(PT22b)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 제2 패턴(PT22b)는 하나의 제2 패턴(PT22a)과 제1 방향(DR1)으로 인접한 패턴일 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT22a)을 하나의 제2 패턴(PT22a)과 인접한 다른 제2 패턴들(PT22b)과 비교할 수 있다. 예를 들어, 하나의 제2 패턴(PT22a)을 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제2 패턴(PT22b) 및 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제2 패턴(미도시)과 모두 비교할 수 있다. 하나의 제2 패턴(PT22a)과 비교대상이 되는 패턴이 2 개인 것을 예시적으로 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 하나의 제2 패턴(PT22a)은 3 개 또는 4 개의 인접한 다른 제2 패턴들과 대조될 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT22a)의 형상과 다른 제2 패턴들(PT22b) 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT22a)의 형상과 다른 제2 패턴들(PT22b) 각각의 형상을 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT22a)의 크기와 다른 제2 패턴들(PT22b) 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT22a)의 크기와 다른 제2 패턴들(PT22b) 각각의 크기를 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
마스크 검사 장치(MIA)는 제1 검사부(DT1)가 제1 영역(AR1)을 정상인 것으로 판단하고, 제2 검사부(DT2)가 제2 영역(AR2)을 정상인 것으로 판단한 경우 마스크(MK)가 정상인 것으로 판단할 수 있다.
본 발명에 따르면, 영역 구분부(ARD)는 경계(BL3)를 기준으로 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2)를 구분할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 제1 부분 이미지(IM-1)를 근거로 제1 영역(AR1)의 결함 여부를 검사할 수 있고, 제2 검사부(DT2)는 제2 부분 이미지(IM-2)를 근거로 제2 영역(AR2)의 결함 여부를 검사할 수 있다. 따라서, 서로 다른 복수의 개구들이 정의된 마스크(MK)를 개구 별로 영역을 나누어 검사하여 마스크(MK)의 불량 검출이 용이하고, 신뢰성이 향상된 마스크 검사 장치(MIA) 및 이를 이용한 마스크 검사 방법을 제공할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 5의 BB' 영역에 대응하는 영역을 확대하여 도시한 평면도이다.
도 1, 도 3, 및 도 9를 참조하면, 제1 부분 이미지(IM-1)는 복수의 제1 패턴들(PT13)을 포함할 수 있다. 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)에 정의된 복수의 제1 개구들은 복수의 제1 패턴들(PT13)에 대응될 수 있다. 제2 부분 이미지(IM-2)는 복수의 제2 패턴들(PT23)을 포함할 수 있다. 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)에 정의된 복수의 제2 개구들은 복수의 제2 패턴들(PT23)에 대응될 수 있다.
복수의 제1 패턴들(PT13)은 제1 방향(DR1), 제2 방향(DR2), 및 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 교차하는 방향을 따라 배열될 수 있다. 복수의 제2 패턴들(PT23)은 제1 방향(DR1), 제2 방향(DR2), 및 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)이 교차하는 방향을 따라 배열될 수 있다. 제1 부분 이미지(IM-1)에서 복수의 제1 패턴들(PT13)이 차지하는 면적의 비율은 제2 부분 이미지(IM-2)에서 복수의 제2 패턴들(PT23)이 차지하는 면적의 비율보다 클 수 있다.
영역 구분부(ARD)는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2) 사이의 경계(BL4)를 설정할 수 있다. 경계(BL4)에 의해 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2)가 구분될 수 있다.
영역 구분부(ARD)는 이미지(IM, 도 4 참조)의 패턴의 형상이 복수의 제1 패턴들(PT13) 각각의 제1 형상에서 복수의 제2 패턴들(PT23) 각각의 제2 형상으로 변환되는 영역을 경계(BL4)로 설정할 수 있다.
상기 제1 형상 및 상기 제2 형상은 상이할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 형상은 마름모일 수 있고, 상기 제2 형상은 정사각형일 수 있다.
본 발명에 따르면, 마스크 검사 장치(MIA)는 영역 구분부(ARD)를 포함할 수 있다. 영역 구분부(ARD)는 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)에 대응되는 제1 부분 이미지(IM-1) 및 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)에 대응되는 제2 부분 이미지(IM-2)의 경계(BL2)를 설정할 수 있다. 마스크 검사 장치(MIA)는 경계(BL2)를 기준으로 제1 영역(AR1) 및 제2 영역(AR2)을 구분하여 검사할 수 있다. 따라서, 서로 다른 복수의 개구들이 정의된 마스크(MK)를 검사 할 수 있는 마스크 검사 장치(MIA) 및 이를 이용한 마스크 검사 방법을 제공할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 복수의 제1 패턴들(PT13) 중 하나의 제1 패턴(PT13a)을 하나의 제1 패턴(PT13a)과 인접한 다른 제1 패턴(PT13b)과 대조할 수 있다. 도 9에서는 하나의 제1 패턴(PT13a)과 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제1 패턴(PT13b)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 제1 패턴(PT13b)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 제1 패턴(PT13b)은 하나의 제1 패턴(PT13a)과 제1 방향(DR1) 또는 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2) 사이에 정의된 방향으로 인접한 패턴일 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT13a)을 하나의 제1 패턴(PT13a)과 인접한 다른 제1 패턴들(PT13b)과 비교할 수 있다. 예를 들어, 하나의 제1 패턴(PT13a)을 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제1 패턴(PT13b) 및 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제1 패턴(미도시)과 모두 비교할 수 있다. 하나의 제1 패턴(PT13a)과 비교대상이 되는 패턴이 2 개인 것을 예시적으로 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 하나의 제1 패턴(PT13a)은 3 개 또는 4 개의 인접한 다른 제1 패턴들과 대조될 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT13a)의 형상과 다른 제1 패턴들(PT13b) 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT13a)의 형상과 다른 제1 패턴들(PT13b) 각각의 형상을 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT13a)의 크기와 다른 제1 패턴들(PT13b) 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 하나의 제1 패턴(PT13a)의 크기와 다른 제1 패턴들(PT13b) 각각의 크기를 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제1 영역(AR1)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 복수의 제2 패턴들(PT23) 중 하나의 제2 패턴(PT23a)을 하나의 제2 패턴(PT23a)과 인접한 다른 제2 패턴(PT23b)과 대조할 수 있다. 도 9에서는 하나의 제2 패턴(PT23a)과 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제2 패턴(PT23b)을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 다른 제2 패턴(PT23b)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 제2 패턴(PT23b)은 하나의 제2 패턴(PT23a)과 제2 방향(DR2) 또는 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2) 사이에 정의된 방향으로 인접한 패턴일 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT23a)을 하나의 제2 패턴(PT23a)과 인접한 다른 제2 패턴들(PT23b)과 비교할 수 있다. 예를 들어, 하나의 제2 패턴(PT23a)을 제1 방향(DR1)으로 인접한 다른 제2 패턴(PT23b) 및 제2 방향(DR2)으로 인접한 다른 제2 패턴(미도시)과 모두 비교할 수 있다. 하나의 제2 패턴(PT23a)과 비교대상이 되는 패턴이 2 개인 것을 예시적으로 설명하였으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 하나의 제2 패턴(PT23a)은 3 개 또는 4 개의 인접한 다른 제2 패턴들과 대조될 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT23a)의 형상과 다른 제2 패턴들(PT23b) 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT23a)의 형상과 다른 제2 패턴들(PT23b) 각각의 형상을 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT23a)의 크기와 다른 제2 패턴들(PT23b) 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 정상인 것으로 판단할 수 있다. 제2 검사부(DT2)는 하나의 제2 패턴(PT23a)의 크기와 다른 제2 패턴들(PT23b) 각각의 크기를 대조하여 상이한 경우 마스크(MK)의 제2 영역(AR2)이 불량인 것으로 판단할 수 있다.
마스크 검사 장치(MIA)는 제1 검사부(DT1)가 제1 영역(AR1)을 정상인 것으로 판단하고, 제2 검사부(DT2)가 제2 영역(AR2)을 정상인 것으로 판단한 경우 마스크(MK)가 정상인 것으로 판단할 수 있다.
본 발명에 따르면, 영역 구분부(ARD)는 경계(BL4)를 기준으로 제1 부분 이미지(IM-1) 및 제2 부분 이미지(IM-2)를 구분할 수 있다. 제1 검사부(DT1)는 제1 부분 이미지(IM-1)를 근거로 제1 영역(AR1)의 결함 여부를 검사할 수 있고, 제2 검사부(DT2)는 제2 부분 이미지(IM-2)를 근거로 제2 영역(AR2)의 결함 여부를 검사할 수 있다. 따라서, 서로 다른 복수의 개구들이 정의된 마스크(MK)를 개구 별로 영역을 나누어 검사하여 마스크(MK)의 불량 검출이 용이하고, 신뢰성이 향상된 마스크 검사 장치(MIA) 및 이를 이용한 마스크 검사 방법을 제공할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 평면도이다.
도 3 및 도 10을 참조하면, 마스크(MK1)는 제1 영역(AR11) 및 제1 영역(AR11)과 제1 방향(DR1)으로 인접한 제2 영역(AR21)을 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 제1 영역(AR11) 및 제2 영역(AR21)의 배치 관계는 이에 제한되지 않고 다양하게 제공될 수 있다.
제1 영역(AR11)에는 복수의 제1 개구들(OP11)이 정의될 수 있다. 제2 영역(AR21)에는 복수의 제2 개구들(OP21)이 정의될 수 있다. 복수의 제1 개구들(OP11)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 제2 개구들(OP21)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다.
복수의 제1 개구들(OP11) 중 서로 인접한 제1 개구들 사이의 간격은 복수의 제2 개구들(OP21) 중 서로 인접한 제2 개구들 사이의 간격보다 작을 수 있다. 동일한 면적 내에 배치된 복수의 제1 개구들(OP11)의 수는 복수의 제2 개구들(OP21)의 수보다 많을 수 있다. 제1 영역(AR11)에서 복수의 제1 개구들(OP11)이 차지하는 면적의 비율은 제2 영역(AR21)에서 복수의 제2 개구들(OP21)이 차지하는 면적의 비율보다 클 수 있다.
본 발명에 따르면, 카메라(CM)는 마스크(MK1)의 전체 영역을 촬영하여 이미지를 획득 수 있다. 영역 구분부(ARD)는 제1 영역(AR11)이 촬영된 제1 부분 이미지와 제2 영역(AR21)이 촬영된 제2 부분 이미지를 구분할 수 있다. 예를 들어, 영역 구분부(ARD)는 패턴들 사이의 거리가 변하는 부분을 제1 부분 이미지와 제2 부분 이미지의 경계로 판단할 수 있다.
마스크 검사 장치(MIA)는 제1 영역(AR11) 및 제2 영역(AR21)을 구분하여 각각 검사할 수 있다. 따라서, 영역 별로 마스크 불량 여부를 검사함에 따라 마스크 불량 검출이 보다 용이할 수 있고, 마스크 검사의 신뢰성이 향상될 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 평면도이다.
도 3 및 도 11을 참조하면, 마스크 검사 장치(MIA)는 다양한 영역으로 구분된 마스크(MK2)의 불량 여부를 용이하게 검사할 수 있다. 예를 들어 마스크(MK2)는 제1 영역(AR12-1), 제2 영역(AR22), 및 제3 영역(AR12-2)을 포함할 수 있다. 제2 영역(AR22)은 제1 영역(AR12-1) 및 제3 영역(AR12-2) 사이에 배치될 수 있다. 제2 영역(AR22)이 형상하고자 하는 증착 대상 영역은 표시 장치의 폴딩 영역일 수 있다.
제1 영역(AR12-1)에는 복수의 제1 개구들(OP12-1)이 정의될 수 있다. 제2 영역(AR22)에는 복수의 제2 개구들(OP22)이 정의될 수 있다. 제3 영역(AR12-2)에는 복수의 제3 개구들(OP12-2)이 정의될 수 있다. 복수의 제1 개구들(OP12-1) 및 복수의 제3 개구들(OP12-2)은 실질적으로 동일할 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로 본 발명의 일 실시예에 따른 복수의 제1 개구들(OP12-1) 및 복수의 제3 개구들(OP12-2)은 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 복수의 제1 개구들(OP12-1) 및 복수의 제3 개구들(OP12-2)은 상이한 형상을 가지거나 상이한 배치 관계를 가질 수 있다.
복수의 제1 개구들(OP12-1)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 제2 개구들(OP22)복수의 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 제3 개구들(OP12-2)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다.
복수의 제1 개구들(OP12-1) 중 서로 인접한 제1 개구들 사이의 간격 및 복수의 제3 개구들(OP12-2) 중 서로 인접한 제3 개구들 사이의 간격은 복수의 제2 개구들(OP22) 중 서로 인접한 제2 개구들 사이의 간격보다 작을 수 있다. 동일한 면적 내에 배치된 복수의 제1 개구들(OP12-1)의 수 및 복수의 제3 개구들(OP12-2)의 수는 복수의 제2 개구들(OP22)의 수보다 많을 수 있다.
제1 영역(AR12-1)에서 복수의 제1 개구들(OP12-1)이 차지하는 면적의 비율 및 제3 영역(AR12-2)에서 복수의 제3 개구들(OP12-2)이 차지하는 면적의 비율 각각은 제2 영역(AR22)에서 복수의 제2 개구들(OP22)이 차지하는 면적의 비율보다 클 수 있다.
본 발명에 따르면, 카메라(CM)는 마스크(MK2)의 전체 영역을 촬영하여 이미지를 획득할 수 있다. 영역 구분부(ARD)는 제1 영역(AR12-1)이 촬영된 제1 부분 이미지, 제2 영역(AR22)이 촬영된 제2 부분 이미지, 및 제3 영역(AR12-2)이 촬영된 제3 부분 이미지를 구분할 수 있다. 예를 들어, 영역 구분부(ARD)는 패턴들 사이의 거리 또는 패턴들의 형상이 변하는 부분을 제1 부분 이미지, 제2 부분 이미지의 경계와 제2 부분 이미지 및 제3 부분 이미지의 경계로 판단할 수 있다.
마스크 검사 장치(MIA)는 제1 영역(AR12-1), 제2 영역(AR22), 및 제3 영역(AR12-2)을 구분하여 각각 검사할 수 있다. 따라서, 영역 별로 마스크 불량 여부를 검사함에 따라 마스크 불량 검출이 보다 용이한 수 있고, 마스크 검사의 신뢰성이 향상될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
MIA: 마스크 검사 장치 MK: 마스크
CM: 카메라 CC: 검사부
ARD: 영역 구분부 DT1: 제1 검사부
DT2: 제2 검사부

Claims (20)

  1. 복수의 제1 개구들이 정의된 제1 영역 및 복수의 제2 개구들이 정의된 제2 영역을 포함하는 마스크를 촬영하여 이미지를 획득하는 단계;
    상기 이미지로부터 상기 제1 영역에 대응되는 제1 부분 이미지 및 상기 제2 영역에 대응되는 제2 부분 이미지를 구분하는 단계;
    상기 제1 부분 이미지를 근거로 상기 마스크의 상기 제1 영역의 결함 여부를 검사하는 단계; 및
    상기 제2 부분 이미지를 근거로 상기 마스크의 상기 제2 영역의 결함 여부를 검사하는 단계를 포함하는 마스크 검사 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 영역의 결함 여부를 검사하는 단계는 상기 제1 부분 이미지에 포함된 상기 복수의 제1 개구들에 대응하는 복수의 제1 패턴들을 비교하는 단계를 포함하고,
    상기 제2 영역의 결함 여부를 검사하는 단계는 상기 제2 부분 이미지에 포함된 상기 복수의 제2 개구들에 대응하는 복수의 제2 패턴들을 비교하는 단계를 포함하는 마스크 검사 방법.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 패턴들을 비교하는 단계는 상기 복수의 제1 패턴들 중 하나의 제1 패턴을 상기 하나의 제1 패턴과 인접한 다른 제1 패턴들 각각과 대조하는 단계를 포함하고,
    상기 복수의 제2 패턴들을 비교하는 단계는 상기 복수의 제2 패턴들 중 하나의 제2 패턴을 상기 하나의 제2 패턴과 인접한 다른 제2 패턴들 각각과 대조하는 단계를 포함하는 마스크 검사 방법.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 하나의 제1 패턴을 상기 다른 제1 패턴들과 대조하는 단계는 상기 하나의 제1 패턴의 형상과 상기 다른 제1 패턴들 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 정상으로 판단하고,
    상기 하나의 제2 패턴을 상기 다른 제2 패턴들과 대조하는 단계는 상기 하나의 제2 패턴의 형상과 상기 다른 제2 패턴들 각각의 형상을 대조하여 실질적으로 동일한 경우 정상으로 판단하는 마스크 검사 방법.
  5. 제3 항에 있어서,
    상기 하나의 제1 패턴을 상기 다른 제1 패턴들과 대조하는 단계는 상기 하나의 제1 패턴의 크기와 상기 다른 제1 패턴들 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 정상으로 판단하고,
    상기 하나의 제2 패턴을 상기 다른 제2 패턴들과 대조하는 단계는 상기 하나의 제2 패턴의 크기와 상기 다른 제2 패턴들 각각의 크기를 대조하여 실질적으로 동일한 경우 정상으로 판단하는 마스크 검사 방법.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 제1 부분 이미지 및 상기 제2 부분 이미지를 구분하는 단계는 상기 제1 부분 이미지 및 상기 제2 부분 이미지 사이의 경계를 설정하는 단계를 포함하는 마스크 검사 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 부분 이미지 및 상기 제2 부분 이미지 사이의 상기 경계를 설정하는 단계는 상기 이미지의 패턴 사이의 피치가 상기 복수의 제1 패턴들 사이의 제1 피치에서 상기 복수의 제2 패턴들 사이의 제2 피치로 변환되는 영역을 경계로 설정하며,
    상기 제1 피치 및 상기 제2 피치는 상이한 마스크 검사 방법.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 패턴들 각각의 제1 형상 및 상기 복수의 제2 패턴들 각각의 제2 형상은 동일한 마스크 검사 방법.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 패턴들 각각의 제1 크기 및 상기 복수의 제2 패턴들 각각의 제2 크기는 동일한 마스크 검사 방법.
  10. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 부분 이미지 및 상기 제2 부분 이미지 사이의 상기 경계를 설정하는 단계는 상기 이미지의 패턴의 형상이 상기 복수의 제1 패턴들 각각의 제1 형상에서 상기 복수의 제2 패턴들 각각의 제2 형상으로 변환되는 영역을 경계로 설정하며,
    상기 제1 형상 및 상기 제2 형상을 상이한 마스크 검사 방법.
  11. 제6 항에 있어서,
    상기 제1 부분 이미지 및 상기 제2 부분 이미지 사이의 상기 경계를 설정하는 단계는 상기 이미지의 패턴의 크기가 상기 복수의 제1 패턴들 각각의 제1 크기에서 상기 복수의 제2 패턴들 각각의 제2 크기로 변환되는 영역을 경계로 설정하며,
    상기 제1 크기 및 상기 제2 크기는 상이한 마스크 검사 방법.
  12. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 부분 이미지에는 복수의 제1 그룹들이 정의되고, 상기 제2 부분 이미지에는 복수의 제2 그룹들이 정의되며, 상기 복수의 제1 그룹들 각각은 상기 복수의 제1 패턴들 중 n 개(n은 2 이상의 정수)의 제1 패턴들을 포함하고, 상기 복수의 제2 그룹들 각각은 상기 복수의 제2 패턴들 중 m 개(m은 2 이상의 정수)의 제2 패턴들을 포함하고,
    상기 제1 영역의 결함 여부를 검사하는 단계는 상기 복수의 제1 그룹들을 서로 비교하는 단계를 포함하고, 상기 제2 영역의 결함 여부를 검사하는 단계는 상기 복수의 제2 그룹들을 서로 비교하는 단계를 포함하는 마스크 검사 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 n 및 상기 m은 상이한 마스크 검사 방법.
  14. 제12 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 그룹들 각각의 크기 및 상기 복수의 제2 그룹들 각각의 크기는 상이한 마스크 검사 방법.
  15. 제12 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 그룹들을 비교하는 단계는 상기 복수의 제1 그룹들 중 하나의 제1 그룹을 상기 하나의 제1 그룹과 인접한 다른 제1 그룹들 각각과 대조하는 단계를 포함하고,
    상기 복수의 제2 그룹들을 비교하는 단계는 상기 복수의 제2 그룹들 중 하나의 제2 그룹을 상기 하나의 제2 그룹과 인접한 다른 제2 그룹들 각각과 대조하는 단계를 포함하는 마스크 검사 방법.
  16. 제1 항에 있어서,
    상기 이미지를 획득하는 단계는 상기 마스크의 전체 영역을 촬영하는 단계를 포함하는 마스크 검사 방법.
  17. 복수의 제1 개구들이 정의된 제1 영역 및 복수의 제2 개구들이 정의된 제2 영역을 포함하는 마스크를 촬영하여 이미지를 획득하는 카메라;
    상기 이미지로부터 상기 제1 영역에 대응되는 제1 부분 이미지 및 상기 제2 영역에 대응되는 제2 부분 이미지를 구분하는 영역 구분부;
    상기 제1 부분 이미지를 근거로 상기 마스크의 상기 제1 영역의 결함 여부를 검사하는 제1 검사부; 및
    상기 제2 부분 이미지를 근거로 상기 마스크의 상기 제2 영역의 결함 여부를 검사하는 제2 검사부를 포함하는 마스크 검사 장치.
  18. 제17 항에 있어서,
    상기 제1 검사부는 상기 제1 부분 이미지에 포함된 상기 복수의 제1 개구들에 대응하는 복수의 제1 패턴들을 비교하고,
    상기 제2 검사부는 상기 제2 부분 이미지에 포함된 상기 복수의 제2 개구들에 대응하는 복수의 제2 패턴들을 비교하는 마스크 검사 장치.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 영역 구분부는 상기 이미지의 패턴 사이의 피치가 상기 복수의 제1 패턴들 사이의 제1 피치에서 상기 제1 피치와 상이한 상기 복수의 제2 패턴들 사이의 제2 피치로 변환되는 영역을 경계로 설정하는 마스크 검사 장치.
  20. 제18 항에 있어서,
    상기 영역 구분부는 상기 이미지의 패턴의 형상이 상기 복수의 제1 패턴들 각각의 제1 형상에서 상기 제1 형상과 상이한 상기 복수의 제2 패턴들 각각의 제2 형상으로 변환되는 영역을 경계로 설정하는 마스크 검사 장치.
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