JPWO2020045589A1 - 表面形状計測装置および表面形状計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1乃至図4を参照して、第1の実施形態に係る表面形状計測方法を説明する。図1、図2に示すように、本表面形状計測方法は、物体4の被測定面の形状をホログラフィを用いて計測する方法であって、光学系設定工程(#1)から表面形状計測工程(#8)までの工程を備えている。
図2に示す試料台7および光学系の最初の設定は、例えば、次のように行われる。なお、試料台7の位置と姿勢の設定は、仮想平面VPの位置と姿勢の設定と同じ意味になる。イメージセンサ5の光軸上にインライン球面波参照光Lの集光点である参照光集光点PLを配置し、光軸から外れた位置に球面波照明光Qの集光点である照明光集光点PQを配置する。これらの、各光源(PQ,PL)とイメージセンサ5の配置設定は、以後、固定される。
ホログラムデータとその処理を数式表現に基づいて説明する。ホログラムには、オフアクシス参照光R、インライン球面波参照光L、物体光Oなどが関与する。ここで、xyz右手系直交座標系の原点がホログラム面50(イメージセンサ5の受光面)の中央に設定される(仮想平面VPに関する座標系はx’y’z’、図2参照)。ホログラム面50から物体光Oの光源に向かう向きがz軸の正の向きである。位置座標(x,y)を用いて、物体光O(x,y,t)、オフアクシス参照光R(x,y,t)、およびインライン球面波参照光L(x,y,t)を、それぞれ一般的な形で、下式(1)(2)(3)で表す。これらの光は互いにコヒーレントな角周波数ωの光である。各式中の係数、引数、添え字などは、一般的な表現と意味に解釈される。以下の各式において、位置座標(x,y,z)、空間周波数(u,v,w)の明示などは、適宜省略される。
次に、式(8)において、両辺に乗算因子L0(x,y)exp(i(φL(x,y))を乗じることにより、振幅因子L0(x,y)による振幅変調と、位相因子exp(i(φL(x,y))によるヘテロダイン変調が実行され、イメージセンサ5の表面(ホログラム面、xy平面、または面z=0)における物体光Oの光波を表す物体光ホログラムg(x,y)が下式(9)のように得られる。物体光ホログラムg(x,y)を生成する工程は、物体光Oを再生する工程である。物体光ホログラムg(x,y)の絶対値の2乗|g(x,y)|2をディスプレイに表示して、ホログラム面50における物体光Oの光強度分布を画像として見ることができる。
表面形状を測定するには被測定面における反射光を、被測定面すなわち仮想平面に平行な位置で、再生する必要がある。従って、複素振幅インラインホログラムを使って反射光を再生するには、イメージセンサ5すなわちホログラム面50から被測定面すなわち仮想平面VPまでの距離zOと、ホログラム面50に対する仮想平面VPの傾角αO、およびホログラム面50からインライン球面波参照光Lの集光点である参照光集光点PLまでの距離ρが必要になる。これらの値は他の測定手段によっても測定できるが、ホログラフィを使ったターゲット画像の記録と再生によって高い精度で求めることができる。
電磁波に関するヘルムホルツ方程式の厳密解として平面波がある。この厳密解である平面波を用いて物体光Oの光波を展開することができる。この平面波展開は、上式(9)の物体光ホログラムg(x,y)をフーリエ変換することにより実行される。すなわち、フーリエ変換が平面波展開である。平面波展開の結果、物体光Oについての空間周波数スペクトルG(u,v)が、下式(10)のように得られる。空間周波数スペクトルG(u,v)は、波数ベクトル(u,v)を有する平面波の複素振幅であり、複素振幅G(u,v)とも称される。ホログラム面50から距離zO平行移動した位置における物体光Oの空間周波数スペクトルH(u,v)は下式(11)となり、物体光h(x,y,zO)は下式(12)によって得られる。
傾角αOによる回転変換後の空間周波数スペクトルHV(u’,v’)は下式(13)となり、回転変換のヤコビアンJ(u’,v’)は下式(14)となる。したがって、回転変換後の再生物体光hV(x’,y’,zO)は下式(15)となる。
次に、仮想平面VPの高精度な決定を説明する。ここで距離と測定精度について述べる。インライン球面波参照光Lは、ホログラムを再生するためだけに用いられる光であり、参照光集光点PLまでの距離ρはmm単位で測定される距離である。形状計測には、参照光集光点PLは用いず、参照光集光点PLの近傍で探索されて新たに設定される形状計測用の参照点およびそこに設定される参照点光源を用いる。この参照点は、照明光集光点PQの本来の鏡像点である。参照点は、実質的に照明光集光点PQの本来の鏡像点の位置に来るように、相関関数計算を用いた、計算機上の後処理によって設定される。
図4、図5を参照して、第2の実施形態に係る表面形状計測装置1を説明する。表面形状計測装置1は、物体4の被測定面の形状をホログラフィを用いて計測する装置であり、物体4の被測定面のホログラムを取得するデータ取得部10と、データ取得部10によって取得されたホログラムから被測定面における画像を再生する画像再生部12と、を備えている。
ホログラム面50において、複素振幅ホログラムJOLから、物体光ホログラムgを生成するには、ビーム結合器3を通過してホログラム面50に到達したインライン球面波参照光Lの光波(インライン参照光ホログラムjL)が必要である。インライン参照光ホログラムjLは、ビーム結合器3を通過したことにより、球面波ではない。そこで、インライン球面波参照光Lの集光点PLの位置からイメージセンサ5の入射面であるホログラム面50に至る光波の光伝播計算を行って、ホログラム面50におけるインライン球面波参照光L、すなわちインライン参照光ホログラムjLを生成する。
上述の手順で得られる、上式(19)のインライン参照光ホログラムjLは、ビーム結合器3を通過してホログラム面50に到達したインライン球面波参照光Lの光波である。このホログラムjLから成る乗算因子jL=L0(x,y)exp(i(φL(x,y))を上式(8)に乗じることにより、イメージセンサ5の表面(ホログラム面、xy平面、または面z=0)における物体光Oの光波を表す物体光ホログラムg(x,y)が上式(9)と同様に得られる。
ホログラム面における物体光ホログラムg(x,y)をフーリエ変換する平面波展開の結果、物体光Oについての空間周波数スペクトルG(u,v)が下式(20)のように得られる。表現上、上式(10)と同じになる。平面波の光伝播計算により、物体4の被測定面の位置z=z0において、ホログラム面50に平行な面における物体光h(x,y)が、下式(21)によって得られる。
図6を参照して、第3の実施形態に係る表面形状計測装置1を説明する。本実施形態の表面形状計測装置1は、第2の実施形態の表面形状計測装置1において、光学系2が、物体光Oとインライン球面波参照光Lとを集光する集光レンズ27と、集光レンズ27による集光位置に配置されて通過光量を制限する瞳孔板27aと、瞳孔板27aに組み合わせて配置された結像レンズ27bと、を備えているものである。瞳孔板27aの前後に備えられた2つのレンズは、物体光Oとインライン球面波参照光Lとをイメージセンサ5に結像させるレンズである。
図7を参照して、第4の実施形態に係る表面形状計測装置1を説明する。本実施形態の表面形状計測装置1は、第3の実施形態の表面形状計測装置1における集光レンズ27と、瞳孔板27aと、結像レンズ27bとに替えて、凹面鏡28と、瞳孔板28aと、結像レンズ28bとを備えるものである。凹面鏡28は、たとえば、集光用楕円面ミラーが用いられる。本表面形状計測装置1においても、凹面鏡28と結像レンズ28bとが、物体光Oとインライン球面波参照光Lとをイメージセンサ5に結像させる。
図8を参照して、第5の実施形態に係る表面形状計測装置1および表面形状計測方法を説明する。本実施形態の装置および方法は、測定可能な高さの範囲を拡張するものであり、その拡張を実現するために、異なる波長(λj,j=1,2)の光を用いる。本実施形態の表面形状計測装置1の光学系2は、上述の第2の実施形態(図4)の光学系2において、ビーム結合器3とイメージセンサ5との間に波長フィルタを挿入し、そのような波長フィルタとイメージセンサの組を2対備えたものである。
本実施形態の表面形状計測方法において、以下の処理が行われる。異なる波長λj,j=1,2の光によって、物体光Oおよびインライン球面波参照光Lのデータが各波長λ1,λ2毎に、2種類のオフアクシスホログラムIj OR,Ij LR,j=1,2として取得される。次に、各波長λ1,λ2毎に、計測用ホログラムJj V OS=hj V/sj V,j=1,2が生成され、生成された2つの計測用ホログラムJj V OS,j=1,2の比を求めるヘテロダイン変換が実行される。ヘテロダイン変換の結果、変調波HW=J1 V OS/J2 V OSが生成される。この変調波(HW)に含まれる変調波長λB=λ1λ2/(λ2−λ1)および変調位相分布θB(x’,y’)=θ1−θ2を用いて、物体の被測定面における高さ分布が求められる。
図9を参照して、第6の実施形態に係る表面形状計測装置1を説明する。本実施形態の表面形状計測装置1は、例えば、図5、図6に示した表面形状計測装置1によって具現化できるため、これらの図も併せて参照する。表面形状計測装置1は、被測定面のホログラムを取得するデータ取得部10と、データ取得部10によって取得されたホログラムから被測定面における画像を再生する画像再生部12と、を備えている。表面形状計測装置1は、さらに、データ取得部10および画像再生部12を制御するコンピュータから成る制御部11と、FFT等の計算用プログラム、制御用データ等を記憶するメモリ11aとを備えている。
図10、図11、図12を参照して、実施例1の平面度測定を説明する。平面度仕様が4λ〜5λのフロートガラス基板の平面ミラーを平面度測定の試料として、図4、図5に示す光学系を用いて形状計測用の複素振幅インラインホログラムを得た。光源は緑色半導体励起固体レーザ(波長532nm,出力50mW)を用い、イメージセンサはモノクロカメラリンクCCDカメラ(画素数6600×4400、画素ピッチ5.5μm)を用いた。インライン球面波参照光および球面波照明光に用いる各球面波光は、開口数NA=0.1の対物レンズと開口径3μmのピンホールを使って発生させた。イメージセンサ面から567mm離れた位置にピンホールを置き、13.9mm離れた位置に被測定面を設置した。記録ホログラム(画素数4096×4096)の開口数はNA=0.02である。
図13、図14を参照して、実施例2の平面度測定を説明する。平面度仕様がλ/4の平面ミラーを平面度測定の試料として、実施例1で用いた装置を用いて形状計測用の複素振幅インラインホログラムを得た。図13は平面度仕様λ/4の平面ミラーの表面高さの2次元分布を示す。表面高さの最大値と最低値の差PV=81.3nm、高さの標準偏差RMS=15.3nmが得られた。測定範囲においてPV値はλ/4より小さく、平面度の仕様λ/4を満たしている。図14は、図13に示したx軸方向およびy軸方向の直線上の高さ分布を示す。図14(b)に示すy軸方向の曲率半径として、およそ750mが得られた。表面形状計測の分解能は、再生物体光に対して行った空間周波数フィルタリングの帯域幅から決まる。実施例2,3における画像の分解能はおよそ78μmである。
図15、図16を参照して、実施例3の平面度測定を説明する。平面度仕様がλ/20の精密オプティカルフラットミラーを平面度測定の試料として、実施例1で用いた装置を用いて、形状計測用の複素振幅インラインホログラムを得た。図15は平面度仕様λ/4の平面ミラーの表面高さの2次元分布を示す。表面高さの最大値と最低値の差PV=19.6nm、高さの標準偏差RMS=2.5nmが得られた。測定範囲においてPV値はλ/20より小さく、平面度の仕様λ/20を満たしている。図16(a)(b)は、図15に示すx軸方向およびy軸方向それぞれの直線上の高さ分布を示す。
図17、図18を参照して、実施例4の平面度測定を説明する。ネガパターンUSAFテストターゲットを表面形状計測の試料として、実施例1で用いた装置を用いて、形状計測用の複素振幅インラインホログラムを得た。図17は、ターゲット表面における高さの2次元分布を示す。測定範囲は15mm×15mmであり、高さの高い部分がクロム表面を表し、低い部分がガラス基板の面を表す。表面形状計測の分解能は再生物体光に対して行った空間周波数フィルタリングの帯域幅から決まる。図17に示す画像の分解能はおよそ24μmである。
図19乃至図23を参照して、実施例5の平面度測定を説明する。本実施例5は、第5の実施形態に係る表面形状計測装置1を用いて、液晶ディスプレイ用カラーフィルタの表面形状計測を行った。この表面形状計測装置1は、単一波長光および2波長光によるワンショット記録と計測が可能な装置である。計測対象のカラーフィルタは、ブラックマトリクスにRGBフィルタを取り付けた構造となっており、カラーフィルタ上には高さ約4μm、直径約16μmの柱状のフォトスペーサが等間隔に千鳥配置されている。
10 データ取得部
12 画像再生部
13 複素振幅ホログラム生成部
14 計算参照光ホログラム生成部
15 物体光ホログラム生成部
16 再生物体光ホログラム生成部
17 参照点検出部
18 解析光ホログラム生成部
19 形状計測部
2 光学系
27 集光レンズ
27a 瞳孔板
27b 結像レンズ
28 凹面鏡
28a 瞳孔板
28b 結像レンズ
3 ビーム結合器(キューブ型ビームスプリッタ)
4 物体
5 イメージセンサ
50 ホログラム面
6 データ保存部
7 試料台
C 相関関数
HW 変調波
ILR,Ij LR 参照光オフアクシスホログラム
IOR,Ij OR 物体光オフアクシスホログラム
JOL 物体光の複素振幅インラインホログラム
JV OS,Jj V OS 計測用ホログラム(計測用の複素振幅インラインホログラム)
L インライン球面波参照光
O 物体光
PL インライン球面波参照光の集光点
PO 基準点
PR オフアクシス参照光の集光点
Q 照明光
R オフアクシス参照光
S1 形状計測用の参照点(参照点光源)
VP 仮想平面
fp 仮想点光源(プローブ関数)
g 物体光ホログラム
h0 評価ホログラム
hV 再生物体光ホログラム
jL インライン参照光ホログラム
sV 球面波光ホログラム
αO 傾角
ρ イメージセンサからインライン球面波参照光の集光点までの距離
λB 変調波長
λj,λ1,λ2 波長
θB 変調位相
Claims (8)
- ホログラフィを用いる表面形状計測装置において、
被測定面を照明する球面波照明光(Q)の反射光である物体光(O)と前記物体光(O)に対してインラインとなるインライン球面波参照光(L)の2つの光のデータをそれぞれ物体光オフアクシスホログラム(IOR)および参照光オフアクシスホログラム(ILR)としてイメージセンサを用いて取得するデータ取得部と、
前記データ取得部によって取得されたデータから前記被測定面の画像を再生して表面形状のデータを取得する画像再生部と、を備え、
前記データ取得部は、
前記被測定面に接するように仮想的に設定した仮想平面(VP)に対して前記球面波照明光(Q)の集光点である照明光集光点(PQ)と前記インライン球面波参照光(L)の集光点である参照光集光点(PL)とが互いに鏡像配置となり、前記インライン球面波参照光(L)が前記仮想平面(VP)を斜めに通過して前記イメージセンサに入射するように構成された光学系を備え、
前記画像再生部は、
前記2種類のオフアクシスホログラム(IOR,ILR)のデータ、前記参照光集光点(PL)の位置情報、および前記参照光集光点(PL)から放たれる光が球面波であることを用いる計算処理によって、前記物体光(O)の光波を表す物体光ホログラム(g)を生成する物体光ホログラム生成部と、
前記物体光ホログラム(g)を光伝播変換および回転変換して、前記仮想平面(VP)における再生物体光ホログラム(hV)を生成する再生物体光ホログラム生成部と、
計算処理によって、前記物体光ホログラム(g)に光伝搬変換を行って前記物体光(O)が集光する位置を検出してその位置を、前記参照光集光点(PL)の位置情報を高精度化した情報を有する、形状計測用の参照点(S1)として設定する参照点検出部と、
前記参照点(S1)から放たれた球面波光の前記仮想平面(VP)におけるホログラムである球面波光ホログラム(sV)を解析的に生成する解析光ホログラム生成部と、
前記再生物体光ホログラム(hV)を前記球面波光ホログラム(sV)で除算して計測用ホログラム(JV OS=hV/sV)を生成し、前記計測用ホログラム(JV OS)の位相分布から前記物体の被測定面における高さ分布を求める形状計測部と、を備えることを特徴とする表面形状計測装置。 - 前記データ取得部は、前記イメージセンサの直前に配置され、前記物体光(O)または前記インライン球面波参照光(L)と、前記2種類のオフアクシスホログラム(IOR,ILR)を取得するために用いられるオフアクシス参照光(R)と、を合波して前記イメージセンサに入射させるための、キューブ型ビームスプリッタから成るビーム結合器を備え、
前記画像再生部は、前記ビーム結合器の屈折率を考慮した平面波展開法によって前記ビーム結合器を通過する光の光伝播計算を行うことにより、前記参照光集光点(PL)から放たれて前記ビーム結合器を通過し、前記イメージセンサの受光面であるホログラム面に至る光波であって、前記インライン球面波参照光(L)に相当する光波を表すインライン参照光ホログラム(jL)を計算処理によって生成する、ことを特徴とする請求項1に記載の表面形状計測装置。 - 前記光学系は、前記物体光(O)と前記インライン球面波参照光(L)とを集光する集光レンズと、前記集光レンズによる集光位置に配置されて通過光量を制限する瞳孔板と、前記瞳孔板に組み合わせて配置された結像レンズと、を備えて、前記物体光(O)と前記インライン球面波参照光(L)とを前記イメージセンサに結像させる、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の表面形状計測装置。
- 前記光学系は、前記物体光(O)と前記インライン球面波参照光(L)とを集光する凹面鏡と、前記凹面鏡による集光位置に配置されて通過光量を制限する瞳孔板と、前記瞳孔板に組み合わせて配置された結像レンズと、を備えて、前記物体光(O)と前記インライン球面波参照光(L)とを前記イメージセンサに結像させる、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の表面形状計測装置。
- 物体の被測定面の形状をホログラフィを用いて計測する表面形状計測方法において、
イメージセンサの光軸上にインライン球面波参照光(L)の集光点である参照光集光点(PL)を配置し、前記光軸から外れた位置に球面波照明光(Q)の集光点である照明光集光点(PQ)を配置し、前記参照光集光点(PL)と照明光集光点(PQ)とを結ぶ線分を垂直に2等分する平面である仮想平面(VP)を設定し、
前記被測定面が前記仮想平面(VP)に接するように前記物体を配置し、前記被測定面から反射される前記球面波照明光(Q)の反射光である物体光(O)のデータを、前記イメージセンサを用いて物体光オフアクシスホログラム(IOR)として取得し、
前記物体が配置されていない状態で、前記仮想平面(VP)を通過して前記イメージセンサに入射する前記インライン球面波参照光(L)のデータを、前記イメージセンサを用いて参照光オフアクシスホログラム(ILR)として取得し、
前記2種類のオフアクシスホログラム(IOR,ILR)のデータから、前記物体光(O)と前記インライン球面波参照光(L)の両方の情報を含む複素振幅インラインホログラム(JOL)を生成し、
前記インライン球面波参照光(L)が球面波光であることを用いる計算処理によって、前記イメージセンサの受光面であるホログラム面における前記インライン球面波参照光(L)の光波を表すインライン参照光ホログラム(jL)を生成し、
前記複素振幅インラインホログラム(JOL)と前記インライン参照光ホログラム(jL)とを用いて、前記物体光(O)の光波を表す物体光ホログラム(g)を生成し、
前記物体光ホログラム(g)を光伝播変換および回転変換して、前記仮想平面(VP)における再生物体光ホログラム(hV)を生成し、
計算処理によって、前記物体光ホログラム(g)に光伝搬変換を行って前記物体光(O)が集光する位置を検出してその位置を、前記参照光集光点(PL)の位置情報を高精度化した情報を有する、形状計測用の参照点(S1)として設定し、
前記参照点(S1)から放たれた球面波光の前記仮想平面(VP)におけるホログラムである球面波光ホログラム(sV)を解析的に生成し、
前記再生物体光ホログラム(hV)を前記球面波光ホログラム(sV)で除算して計測用ホログラム(JV OS=hV/sV)を生成し、前記計測用ホログラム(JV OS)の位相分布から前記物体の被測定面における高さ分布を求める、ことを特徴とする表面形状計測方法。 - 異なる波長(λj,j=1,2)の光によって、前記物体光(O)および前記インライン球面波参照光(L)のデータを前記各波長(λ1,λ2)毎に、前記2種類のオフアクシスホログラム(Ij OR,Ij LR,j=1,2)として取得し、
前記各波長(λ1,λ2)毎に、前記計測用ホログラム(Jj V OS=hj V/sj V,j=1,2)を生成し、
前記2つの計測用ホログラム(Jj V OS,j=1,2)の比を求めるヘテロダイン変換の結果である変調波(HW=J1 V OS/J2 V OS)を生成し、前記変調波(HW)に含まれる変調波長(λB=λ1λ2/(λ2−λ1))および変調位相分布(θB(x’,y’)=θ1−θ2)を用いて、前記物体の被測定面における高さ分布を求める、ことを特徴とする請求項5に記載の表面形状計測方法。 - 前記被測定面が前記仮想平面(VP)に接するように前記物体を配置するために試料台が用いられ、
前記試料台の調整は、
前記試料台に、参照平面を有する参照平面基板を固定して前記参照平面基板からの反射光のデータを前記物体光オフアクシスホログラム(IOR)として取得し、
前記物体光オフアクシスホログラム(IOR)と前記参照光オフアクシスホログラム(ILR)とを用いて前記複素振幅インラインホログラム(JOL)を生成し、
前記複素振幅インラインホログラム(JOL)の位相分布の変化が低減するように前記試料台の位置と傾きを変えることによって行う、ことを特徴とする請求項5または請求項6に記載の表面形状計測方法。 - 光伝播計算により、前記物体光ホログラム(g)を前記参照光集光点(PL)の位置(z=ρ)に伝播させて成る評価ホログラム(h0)を生成し、
点光源を表すプローブ関数(fp)と前記評価ホログラム(h0)との相関関数計算により、前記評価ホログラム(h0)の面内において、前記物体光(O)が集光した位置(x1,y1,ρ)を検出して仮集光点(P1)とし、
前記評価ホログラム(h0)を光伝播計算により前記光軸方向に試験伝播させ、前記評価ホログラム(h0)の面内における前記仮集光点(P1)の位置を固定して前記相関関数計算を行い、前記光軸方向において前記物体光(O)が集光した位置(x1,y1,z1)を検出してその位置を、前記形状計測用の参照点(S1)に設定する、ことを特徴とする請求項5乃至請求項7のいずれか一項に記載の表面形状計測方法。
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