JPWO2020045293A1 - 光学部材及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
チタン又はチタン合金からなる基材と、
前記基材の表面に形成された炭素ドープ酸化チタン層と、を有すること、
を特徴とする光学部材、を提供する。
チタン又はチタン合金からなる基材を光学部材の形状に加工する基材作製工程と、
前記基材の表面に炭化水素を主成分とするガスの燃焼炎を当接させ、前記表面の温度が700〜1500℃となるように加熱処理するか、又は前記表面の温度が700〜1500℃となるように炭化水素を主成分とするガスの燃焼ガス雰囲気中で加熱処理して、前記表面に炭素ドープ酸化チタン層を形成させる炭素ドープ処理工程と、を有すること、
を特徴とする光学部材の製造方法、も提供する。
図1及び図2に示すように、ペリクルフレーム1は、炭素ドープ酸化チタン層2を表面に有するチタン又はチタン合金製の枠体4で構成されている。
図3に示すように、本実施形態のペリクルフレームの製造方法は、チタン又はチタン合金からなる基材をペリクルフレームの形状に加工する基材作製工程(S01)と、基材の表面に炭素ドープ酸化チタン層を形成させる炭素ドープ処理工程(S02)と、を含んでいる。以下、任意の工程も含めて各工程等について詳細に説明する。
基材作製工程(S01)は枠体4を得るための工程であり、必要に応じてチタン又はチタン合金材に対して接合及び切削等を施し、ペリクルフレーム1の枠体4を高い寸法精度で得るための工程である。
炭素ドープ処理工程(S02)は、基材作製工程(S01)で得られた枠体4の表面に炭素ドープ酸化チタン層2を形成させるための工程である。炭素ドープ処理工程(S02)によって、ペリクルフレーム1の外観色を決定することができる(黒色化することができる)。
本実施形態のペリクルフレームの製造方法は、炭素ドープ酸化チタン層2の最表面を研磨する研磨処理工程(SO3)を含むことが好ましい。炭素ドープ処理工程(S02)にて形成された炭素ドープ酸化チタン層2の最表面には微小な空孔やクラック等の欠陥が生じている可能性があるが、最表面を研磨することで、欠陥が存在しない良好な炭素ドープ酸化チタン層2のみを使用することができる。
上述した実施形態では、光学部材としてペリクルフレーム1を例示して説明したが、光学部材はこれに限定されない。光学部材としては、例えば、ペリクルフレーム、レンズホルダー、バレル、シェード、リフレクター等が挙げられる。
純チタンからなる厚さ0.8mmのチタン材を切り出して、板状のチタン基材を作製した。このチタン基材に対して、アセチレンの燃焼炎を用いて、表面温度が800℃となるように加熱処理することにより炭素ドープ処理を行った。これにより、実施例1の光学部材を作製した。
炭素ドープ処理の条件を、チタン基材の表面温度が740℃となるように加熱処理すること以外は実施例1と同様にして、実施例2の光学部材を作製した。
実施例1と同様にしてチタン基材を作製した後に炭素ドープ処理を行わないことで、表面層として炭素ドープ酸化チタン層を有しない、比較例1の光学部材を作製した。
2・・・炭素ドープ酸化チタン層、
4・・・枠体。
Claims (9)
- チタン又はチタン合金からなる基材と、
前記基材の表面に形成された炭素ドープ酸化チタン層と、を有すること、
を特徴とする光学部材。 - 前記炭素ドープ酸化チタン層における炭素の含有量が0.1〜15at%であること、
を特徴とする請求項1に記載の光学部材。 - 前記炭素がTi−C結合の状態でドープされていること、
を特徴とする請求項1又は2に記載の光学部材。 - 表面の明度指数L*値が40以下であること、
を特徴とする請求項1〜3のうちの何れかに記載の光学部材。 - 反射率が25%以下であること、
を特徴とする請求項1〜4のうちの何れかに記載の光学部材。 - 前記基材の線膨張係数が6×10-6〜11×10-6/Kであること、
を特徴とする請求項1〜5のうちの何れかに記載の光学部材。 - 前記基材がα+β型チタン合金であること、
を特徴とする請求項1〜6のうちの何れかに記載の光学部材。 - チタン又はチタン合金からなる基材を光学部材の形状に加工する基材作製工程と、
前記基材の表面に炭化水素を主成分とするガスの燃焼炎を当接させ、前記表面の温度が700〜1500℃となるように加熱処理するか、又は前記表面の温度が700〜1500℃となるように炭化水素を主成分とするガスの燃焼ガス雰囲気中で加熱処理して、前記表面に炭素ドープ酸化チタン層を形成させる炭素ドープ処理工程と、を有すること、
を特徴とする光学部材の製造方法。 - 前記炭素ドープ酸化チタン層の最表面を研磨する研磨処理工程をさらに有すること、
を特徴とする請求項8に記載の光学部材の製造方法。
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