JP2014085435A - ペリクルフレーム及びこのペリクルフレームで構成されたペリクル - Google Patents
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Abstract
本発明は、金属材料を使用するも製作コストが極めて安価であり、かつ十分な剛性を有するとともに、露光環境中での劣化の恐れも無いペリクルフレーム及びこのフレームで構成されたペリクルを提供する。
【解決手段】
本発明のペリクルフレームは、一枚の金属平板からプレス加工により製作されたものであって、その断面はL字形状を成すとともに、ペリクルフレーム内壁面から外側に向かって直角に折り曲げた外面にはペリクル膜接着面を有し、内壁面に接する端面(切断面)にはマスク粘着面をそれぞれ有することを特徴とする。
また、上記断面はコの字形状でもよく、この場合は上記ペリクル膜接着面はペリクルフレーム内壁面から外側に向かって直角に折り曲げた一方の外面に有し、上記マスク粘着面はその反対の外面に有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
以上の理由から、アルミニウム合金のダイカスト法や樹脂材料による製造方法は、ほとんど実用上採用されておらず、劇的なコスト低下は望めない状況であった。
また、フォトマスクに接するマスク粘着面については、機械切削により平面化することで貼り付け後の粘着層浮き上がりなどを防止することができる。
図1乃至図3は、本発明のペリクルフレームの一実施形態を示したものである。本発明のペリクルフレーム11は、一枚の金属板から、その中央部をプレス刃によって切断除去した後に、中央部が切断された金属板の内縁部をL字形状に曲げ加工して製作される。その断面は、図2及び図3に示すように、L字形状を成し、そのL字形状の11aはペリクル内壁面であり、11dはペリクル外壁面である。また、11bはペリクル膜接着面として使用され、切断面11cはマスク粘着面として使用される。必要に応じて、通気孔12、ハンドリング用の治具孔や溝(図示しない)を外壁面11dに設けても良い。
ペリクル膜接着面11bは、内壁面から直角に外側に折り返して成形され、このペリクル膜接着面11b上にアクリル系接着剤、エポキシ系接着剤、フッ素系接着剤、シリコーン接着剤などを塗布してペリクル膜接着剤層82が形成され、ペリクル膜81が所定の張力を掛けて接着される。
冷間圧延鋼板SPCD、厚さ2.0mmを用いて、図1乃至図3に示すペリクルフレーム11を製作した。その大きさは、外寸782x474mm、内寸768x456mm、高さ5.1mmである。
はじめに、このペリクルフレーム11の11bの面にペリクル膜接着層82としてシリコーン粘着剤(信越化学工業(株)製;商品名KR3700)を厚さ0.1mmとなるように塗布し、11cの面にマスク粘着層83としてシリコーン粘着剤(信越化学工業(株)製;商品名KR3700)を厚さ0.8mmとなるよう塗布し、乾燥、硬化させた。
次に、通気孔12にはPTFE製の膜材を用いたフィルタ84を取り付け、さらに、フッ素系樹脂からなる厚さ約2μmのペリクル膜81をペリクル膜接着層82上に貼り付け、その後、外側の余剰膜をカッターにより切除してペリクル80を完成させた。
そこで、さらに、このペリクル80を520x800mmの石英ガラス基板(図示しない)に貼付け試験を行ったところ、マスク粘着層83の潰れ幅は一定を維持しており、浮き上がりや幅の不均一な部分は観察されなかった。また、貼付け時に加圧したペリクル膜接着層82やペリクルフレーム11の外観についても、特に異常は見られなかった。
11a 内壁面
11b ペリクル膜接着面
11c マスク粘着面
11d 外壁面
12 通気孔
41 ペリクルフレーム
41a 内壁面
41b ペリクル膜接着面
41c マスク粘着面
41d 外壁面
42 通気孔
71 金属板
72 プレス刃
73 メス金型
74 オス金型
75 プレス刃
76 切削刃
80 ペリクル
81 ペリクル膜
82 ペリクル膜接着層
83 マスク粘着層
84 フィルタ
Claims (5)
- 一枚の金属平板からプレス加工により製作されたペリクルフレームであって、その断面はL字形状を成し、ペリクルフレーム内壁面から外側に向かって直角に折り曲げた外面にペリクル膜接着面を有し、内壁面に接する端面にマスク粘着面を有することを特徴とするペリクルフレーム。
- 一枚の金属平板からプレス加工により製作されたペリクルフレームであって、その断面はコの字形状を成し、ペリクルフレーム内壁面から外側に向かって直角に折り曲げた一方の外面にペリクル膜接着面を有し、その反対の外面にマスク粘着面を有することを特徴とするペリクルフレーム。
- 上記マスク粘着面は、機械切削により平面加工されていることを特徴とする請求項1または2に記載のペリクルフレーム。
- 上記ペリクルフレームを構成する金属は、炭素鋼、ステンレス鋼、アルミニウム合金からなる群から選択されることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のペリクルフレーム。
- 上記請求項1乃至4の何れかに記載のペリクルフレームで構成されたことを特徴とするペリクル。
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JP2012232773A JP2014085435A (ja) | 2012-10-22 | 2012-10-22 | ペリクルフレーム及びこのペリクルフレームで構成されたペリクル |
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