JPWO2019087691A1 - 構造体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本開示の項目1に係る構造体は、
第1の誘電体層と、
前記第1の誘電体層に接し、前記第1の誘電体層とは異なる屈折率を有する第2の誘電体層と、
を備える。
項目1に記載の構造体において、
前記少なくとも2つの誘電体膜の各々の厚さは互いに異なっていてもよい。
項目1または2に記載の構造体において、
前記第2の誘電体層は、前記第1の誘電体層よりも高い屈折率を有していてもよい。
項目1から3のいずれかに記載の構造体において、
前記少なくとも2つの誘電体膜の各々の屈折率は互いに等しくてもよい。
項目1から4のいずれかに記載の構造体において、
前記少なくとも2つの誘電体膜の各々は、シリコン窒化膜であってもよい。
項目5に記載の構造体において、
前記少なくとも2つの誘電体膜は、第1のシリコン窒化膜と、前記第1のシリコン窒化膜よりも薄い第2のシリコン窒化膜とを含み、
前記第2のシリコン窒化膜は、前記第1のシリコン窒化膜と比較して、Si−H結合濃度が高いか、または水素濃度が高くてもよい。
項目5に記載の構造体において、
前記シリコン窒化膜の屈折率は、1.90以上2.20以下であってもよい。
項目1から7のいずれかに記載の構造体において、
前記第1の誘電体層は、シリコン酸化膜であってもよい。
項目8に記載の構造体において、
前記シリコン酸化膜の屈折率は、1.44以上1.47以下であってもよい。
項目1に記載の構造体において、
第3の誘電体層と、
前記第3の誘電体層に接する第4の誘電体層と、をさらに備え、
前記第2の誘電体層は、前記第4の誘電体層上に配置されており、
前記第3の誘電体層と前記第4の誘電体層との界面には周期的な第2の凹凸があり、
前記第2の凹凸は、底部が平坦な第2の凹部、及び前記第2の凹部に隣接する第2の凸部を含み、
前記第2の凹部の前記底部から前記第2の凸部の頂部までの間には斜面がなく、
前記第4の誘電体層と前記第2の誘電体層との界面には周期的な第3の凹凸があり、
前記第3の凹凸は、底部が部分的に平坦な第3の凹部、及び前記第3の凹部に隣接する第3の凸部を含み、
前記第3の凹部の前記底部から前記第3の凸部の頂部までの間には斜面があってもよい。
項目1に記載の構造体において、
前記第1の凹凸は、第1の凹部、及び前記第1の凹部に隣接する第1の凸部を含み、
前記第1の凹部の底部から前記第1の凸部の頂部までの間に斜面があってもよい。
本開示の項目12に係る構造体は、
第1の単位構造体と、
前記第1の単位構造体上に積層された第2の単位構造体と、
を備える。
第1の誘電体層と、
前記第1の誘電体層に接し、前記第1の誘電体層とは異なる屈折率を有する第2の誘電体層と、
を含む。
前記第1の単位構造体と前記第2の単位構造体との界面には、周期的な第4の凹凸がある。
項目12に記載の構造体は、
前記第1の単位構造体における前記第2の誘電体層に含まれる前記少なくとも2つの誘電体膜の数は、前記第2の単位構造体における前記第2の誘電体層に含まれる前記少なくとも2つの誘電体膜の数とは異なっていてもよい。
本開示の項目14に係る撮像装置は、
項目1から13のいずれかに記載の構造体と、
固体撮像素子と、
を備える。
項目14に記載の撮像装置において、
前記構造体は、チェッカーパターンまたはストライプパターンで配列された複数の遮光部を含む遮光膜を含んでいてもよい。
項目15に記載の撮像装置において、
前記固体撮像素子は、
複数の受光部と、
前記複数の受光部に対向する複数のマイクロレンズと、
を含んでいてもよい。
項目16に記載の撮像装置において、
前記固体撮像素子は、前記複数の受光部と前記複数のマイクロレンズとの間に、第1の平坦化層を含んでいてもよい。
項目14から17のいずれかに記載の撮像装置は、
前記固体撮像素子と前記構造体との間に、第2の平坦化層をさらに備えていてもよい。
項目14から18のいずれかに記載の撮像装置において、
前記固体撮像素子は、
複数の電荷蓄積部と、
前記複数の電荷蓄積部上の配線層と、
前記配線層上の光電変換膜と、
を含んでいてもよい。
本開示の項目20に係る構造体の製造方法は、
主面上に周期的な凹凸を有する基板を用意する工程と、
化学気相成長法を用いて、前記主面上に第1の誘電体層を形成する工程と、
前記化学気相成長法を用いて、前記主面上に前記第1の誘電体層とは異なる屈折率を有する第2の誘電体層を形成する工程と、
を含む。
前記基板にバイアスパワーを印加した状態で第1の誘電体膜を形成する工程と、
前記基板に前記バイアスパワーを印加しない状態で前記第1の誘電体膜の上に第2の誘電体膜を形成する工程と、
を含む。
項目20に記載の構造体の製造方法において、
前記化学気相成長法は、高密度プラズマ化学気相成長法であり、
前記第1の誘電体膜を形成する工程では、モノシランとアンモニアとを含む原料ガスを用い、
前記第2の誘電体膜を形成する工程では、モノシランとアンモニアとアルゴンとを含む原料ガスを用いてもよい。
項目20または21に記載の構造体の製造方法において、
前記第1の誘電体層および前記第2の誘電体層を形成するときの前記化学気相成長法の処理温度は、200℃以下であってもよい。
・周期的な凹凸を有する基板を用意する工程
・前記基板上に第1の誘電体層を形成する工程
・前記基板上に前記第1の誘電体層とは異なる屈折率を有する第2の誘電体層を形成する工程
第2の誘電体層を形成する工程は、例えば以下の工程を含む。
・前記基板にバイアスパワーを印加した状態で第1の誘電体膜を形成する工程
・前記基板に前記バイアスパワーを印加しない状態で前記第1の誘電体膜の上に第2の誘電体膜を形成する工程
このような方法により、品質の高い構造体を作製することができる。バイアスパワーを印加しない工程により、イオン成分によって第1の誘電体層の表面の複数の凸部の膜厚の減少が生じることを抑制できる。バイアスパワーを印加した工程では、無バイアスで形成された第1の誘電体膜の半円形状の斜面部が面取りされる。これにより、良好な鋸形状の周期的な凹凸が形成可能である。また、無バイアスの工程で形成された膜よりも水素濃度が高い膜が表面に形成されるため、応力が抑制されて膜剥がれが抑制される。
まず、第1の実施形態による構造体およびその製造方法を説明する。本実施形態の構造体は、高密度プラズマ化学気相成長法(HDP−CVD)などの化学気相成長法によって製造され得る。以下、HDP−CVD法による構造体の製造方法および成膜条件の一例を説明する。
CHF3は、シリコン酸化膜101をエッチングする際に、トレンチパターンの溝の側壁をポリマーCXHYFZで被覆し、溝の側壁の保護の役割を果たす。これにより、ラインおよびスペースのピッチが例えば0.5μm以下のトレンチパターンを形成することができる。
・単位面積あたりのSi−H結合濃度=(ピーク面積)×1.36×1017(文献LanfordのTable III内の式)
・単位体積あたりのSi−H結合濃度=単位面積あたりのSi−H結合濃度/膜厚(cm)
図4に示す例において、波数2200cm−1近傍の単位体積あたりのSi−H結合の濃度は、バイアスパワーを印加した場合には2.9×1022atoms/cm3であり、バイアスパワーを印加しない場合には4.1×1021atoms/cm3であった。Si−H結合の濃度にこのような違いが生じる理由は、以下の通りである。シリコン基板側に高周波のバイアスパワーを印加した場合、プラズマ中で発生した電子がシリコン基板側に引き寄せられ、負の電位を形成する。その結果、プラズマ中で発生したイオンが、シリコン基板側に引き寄せられ、シリコン窒化膜中に打ち込まれる。より具体的には、原料ガスとして使用されるモノシラン(SiH4)ガス中に含まれる水素がプラズマ反応過程で励起され、励起された水素を含むラジカルおよびイオン種がシリコン基板側に引き込まれてシリコン窒化膜中に打ち込まれる。これに対し、バイアスパワーを印加しない場合は、シリコン基板への水素の引き込みが少ない。このため、バイアスパワーを印加した場合の方が、バイアスパワーを印加しない場合に比べて、単位体積あたりのSi−H結合の濃度が高くなる。
反応式(1)から、SiH4/NH3の化学当量比は、0.75になる。このことから、SiH4/NH3の流量比を0.75に決定した。
・構造体の加工要件:
(1)アルゴン(Ar)ガスの追加およびバイアスパワーの印加によって半円形状の部分を先鋭に成形すること
(2)膜剥がれが発生しないこと
(3)パーティクルを発生させないこと
(4)屈折率が1.90から2.20であること
これらの要件を満足する成膜条件を決定する実験を行った。膜質を変えるために、表2に示すように、SiH4およびNH3の流量と、バイアスパワー印加量とを様々に変化させてシリコン窒化膜を形成した。これらのシリコン窒化膜について、パーティクル、成膜レート、応力、および屈折率の4項目の評価を実施した。
次に、本開示の一態様に係る構造体と固体撮像素子とを備えた撮像装置の実施形態を説明する。
次に、配線上に光電変換膜を含む積層型固体撮像素子と、本開示の一態様に係る構造体とを備える撮像装置の実施形態を説明する。
2 真空容器
3 原料ガス供給ノズル
4A、4B 高周波電源
5 高周波アンテナ
6 プラズマ
7 基板
8 下部電極
9 排気口
10 真空装置
100、200、300 シリコン基板
101、104、106、108、214、215、217、219、221、223、224、307、310 シリコン酸化膜
102 レジストパターン
105a、105b、107a、107b、107c、107d、216、218、220、222 シリコン窒化膜
110 導電性金属膜
201、301 ゲート絶縁膜
202、302a、302b、302c ゲート電極
203 受光部
204 検出部
205 素子分離領域
206 コンタクト部
207 第1配線層
208 第2配線層
209 第3配線層
210、306、313 保護膜
211、213、314、316 平坦化層
212、315 マイクロレンズ
225 遮光膜
303a、303b、303c、303d N型不純物領域
304 コンタクトプラグ
305 配線
308 銅孔
309 画素電極
311 光電変換膜
312 上部電極
400 単位画素セル
401 垂直信号線
402 電源配線
403 光電変換膜制御線
404 水平信号読み出し回路
405 垂直走査回路
406 カラム信号処理回路
412a リセットトランジスタ
412b 増幅トランジスタ
412c アドレストランジスタ
Claims (22)
- 第1の誘電体層と、
前記第1の誘電体層に接し、前記第1の誘電体層とは異なる屈折率を有する第2の誘電体層と、
を備え、
前記第2の誘電体層は、水素濃度が互いに異なる少なくとも2つの誘電体膜を含み、
前記第1の誘電体層と前記第2の誘電体層との界面には周期的な第1の凹凸がある、
構造体。 - 前記少なくとも2つの誘電体膜の各々の厚さは互いに異なる、
請求項1に記載の構造体。 - 前記第2の誘電体層は、前記第1の誘電体層よりも高い屈折率を有する、
請求項1または2に記載の構造体。 - 前記少なくとも2つの誘電体膜の各々の屈折率は互いに等しい、
請求項1から3のいずれかに記載の構造体。 - 前記少なくとも2つの誘電体膜の各々は、シリコン窒化膜である、
請求項1から4のいずれかに記載の構造体。 - 前記少なくとも2つの誘電体膜は、第1のシリコン窒化膜と、前記第1のシリコン窒化膜よりも薄い第2のシリコン窒化膜とを含み、
前記第2のシリコン窒化膜は、前記第1のシリコン窒化膜よりも、Si−H結合濃度が高いか、または水素濃度が高い、
請求項5に記載の構造体。 - 前記シリコン窒化膜の屈折率は、1.90以上2.20以下である、
請求項5に記載の構造体。 - 前記第1の誘電体層は、シリコン酸化膜である、
請求項1から7のいずれかに記載の構造体。 - 前記シリコン酸化膜の屈折率は、1.44以上1.47以下である、
請求項8に記載の構造体。 - 第3の誘電体層と、
前記第3の誘電体層に接する第4の誘電体層と、をさらに備え、
前記第2の誘電体層は、前記第4の誘電体層上に配置されており、
前記第3の誘電体層と前記第4の誘電体層との界面には周期的な第2の凹凸があり、
前記第2の凹凸は、底部が平坦な第2の凹部、及び前記第2の凹部に隣接する第2の凸部を含み、
前記第2の凹部の前記底部から前記第2の凸部の頂部までの間には斜面がなく、
前記第4の誘電体層と前記第2の誘電体層との界面には周期的な第3の凹凸があり、
前記第3の凹凸は、底部が部分的に平坦な第3の凹部、及び前記第3の凹部に隣接する第3の凸部を含み、
前記第3の凹部の前記底部から前記第3の凸部の頂部までの間には斜面がある、
請求項1に記載の構造体。 - 前記第1の凹凸は、第1の凹部、及び前記第1の凹部に隣接する第1の凸部を含み、
前記第1の凹部の底部から前記第1の凸部の頂部までの間に斜面がある、
請求項1に記載の構造体。 - 第1の単位構造体と、
前記第1の単位構造体上に積層された第2の単位構造体と、
を備え、
前記第1の単位構造体および前記第2の単位構造体の各々は、
第1の誘電体層と、
前記第1の誘電体層に接し、前記第1の誘電体層とは異なる屈折率を有する第2の誘電体層と、
を含み、
前記第2の誘電体層は、水素濃度が互いに異なる少なくとも2つの誘電体膜を含み、
前記第1の単位構造体における前記第1の誘電体層と前記第2の誘電体層との界面および前記第2の単位構造体における前記第1の誘電体層と前記第2の誘電体層との界面には周期的な第1の凹凸があり、
前記第1の単位構造体と前記第2の単位構造体との界面には、周期的な第4の凹凸があり、
前記第1の凹凸および前記第4の凹凸は、同じ周期を有する、
構造体。 - 前記第1の単位構造体における前記第2の誘電体層に含まれる前記少なくとも2つの誘電体膜の数は、前記第2の単位構造体における前記第2の誘電体層に含まれる前記少なくとも2つの誘電体膜の数とは異なる、
請求項12に記載の構造体。 - 請求項1から13のいずれかに記載の構造体と、
固体撮像素子と、
を備え、
前記構造体は、前記固体撮像素子と一体化されている、
撮像装置。 - 前期構造体は、チェッカーパターンまたはストライプパターンで配列された複数の遮光部を含む遮光膜を含む、
請求項14に記載の撮像装置。 - 前記固体撮像素子は、
複数の受光部と、
前記複数の受光部に対向する複数のマイクロレンズと、
を含む、
請求項15に記載の撮像装置。 - 前記固体撮像素子は、前記複数の受光部と前記複数のマイクロレンズとの間に、第1の平坦化層を含む、
請求項16に記載の撮像装置。 - 前記固体撮像素子と前記構造体との間に、第2の平坦化層をさらに備える、
請求項14から17のいずれかに記載の撮像装置。 - 前記固体撮像素子は、
複数の電荷蓄積部と、
前記複数の電荷蓄積部上の配線層と、
前記配線層上の光電変換膜と、
を含む、
請求項14から18のいずれかに記載の撮像装置。 - 主面上に周期的な凹凸を有する基板を用意する工程と、
化学気相成長法を用いて、前記主面上に第1の誘電体層を形成する工程と、
前記化学気相成長法を用いて、前記主面上に前記第1の誘電体層とは異なる屈折率を有する第2の誘電体層を形成する工程と、
を含み、
前記第2の誘電体層を形成する工程は、
前記基板にバイアスパワーを印加した状態で第1の誘電体膜を形成する工程と、
前記基板に前記バイアスパワーを印加しない状態で前記第1の誘電体膜の上に第2の誘電体膜を形成する工程と、
を含む、
構造体の製造方法。 - 前記化学気相成長法は、高密度プラズマ化学気相成長法であり、
前記第1の誘電体膜を形成する工程では、モノシランとアンモニアとを含む原料ガスを用い、
前記第2の誘電体膜を形成する工程では、モノシランとアンモニアとアルゴンとを含む原料ガスを用いる、
請求項20に記載の構造体の製造方法。 - 前記第1の誘電体層および前記第2の誘電体層を形成するときの前記化学気相成長法の処理温度は、200℃以下である、
請求項20または21に記載の構造体の製造方法。
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