JP5560142B2 - 光電変換素子及び固体撮像素子 - Google Patents
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Description
ガラス転移温度が200℃以上の有機化合物としては、特に限定はされないが、分子サイズが大きい化合物が好ましい。また、分岐アルキル基を有することが好ましく、t−Bu基(三級ブチル基)を有する有機化合物であることがより好ましい。分子サイズを大きくしたり、分岐アルキル基等の嵩高い置換基を有したりすることで、所望のガラス転移温度を有する有機化合物とすることができる。ガラス転移温度が200℃以上の有機化合物は昇華精製により不純物を除去することが好ましい。
ガラス転移温度が200℃以上の有機化合物としては、ガラス転移温度が200℃以上でかつ下記一般式(1)で表される化合物が好ましい。一般式(1)で表される化合物はカルバゾール骨格又はフルオレン骨格を含むため分子サイズが大きく、ガラス転移温度が高く、中間層に用いると耐熱性に優れた光電変換素子を作製することができる。
また、ヘテロ環基に置換してもよいアルキル基としては、炭素数1〜6のアルキル基であることが好ましく、直鎖状・分岐状のアルキル基でもよいし、環状のアルキル基(シクロアルキル基)でもよいが、好ましくは分岐アルキル基である。該アルキル基として具体的にはメチル基、エチル基、イソプロピル基、t−ブチル基、ネオペンチル基を挙げることができ、t−ブチル基が好ましい。
一般式(2)
一般式(3)
Ar2、Ar3が表すアリール基としては、それぞれ独立に、好ましくは炭素数6〜30のアリール基であり、より好ましくは炭素数6〜18のアリール基である。該アリール基は、置換基を有していてもよく、好ましくは炭素数1〜4のアルキル基又は炭素数6〜18のアリール基を有していてもよい炭素数6〜18のアリール基である。例えば、フェニル基、ナフチル基、アントラセニル基、メチルフェニル基、ジメチルフェニル基、ビフェニル基等が挙げられ、フェニル基又はナフチル基が好ましく、ナフチル基がより好ましい。
nは0又は1が好ましい。
ガラス等の基板上に、画素電極、電子ブロッキング層、中間層、光電変換層、及び対向電極をこの順に形成して有機光電変換素子を作製した。画素電極はTiN(窒化チタン)で形成した。電子ブロッキング層は化合物1で示される有機化合物(昇華精製済み)を真空蒸着法で50nmの膜厚で形成した。中間層は、化合物2で示される有機化合物(昇華精製済み)を真空蒸着法で3nmの膜厚で形成した。光電変換層は、化合物3で示される有機化合物(昇華精製済み)とC60(昇華精製済み)の混合膜(化合物3:C60=1:2(体積比))を、真空中で共蒸着により400nmの膜厚で形成した。対向電極は、ITOを高周波マグネトロンスパッタにより、10nmの膜厚で形成した。
中間層の材料を化合物4で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の材料を化合物5で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
光電変換層の材料を、化合物6で示される有機化合物(昇華精製済み)とC60(昇華精製済み)の混合膜(化合物6:C60=1:3(体積比))に変更した以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の材料を化合物5で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、実施例4と同様に有機光電変換素子を作製した。
電子ブロッキング層の材料を化合物7で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の材料を化合物5で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、実施例6と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の材料を化合物9で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の材料を化合物9で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、実施例6と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の材料を化合物10で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の材料を化合物11で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の膜厚を5nmにした以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の膜厚を8nmにした以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の膜厚を12nmにした以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の膜厚を5nmにした以外は、実施例3と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の膜厚を8nmにした以外は、実施例3と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の膜厚を12nmにした以外は、実施例3と同様に有機光電変換素子を作製した。
ガラス等の基板上に、画素電極、電子ブロッキング層、光電変換層、及び対向電極をこの順に形成して有機光電変換素子を作製した。画素電極はTiN(窒化チタン)で形成した。電子ブロッキング層は化合物1で示される有機化合物(昇華精製済み)を真空蒸着法で50nmの膜厚で形成した。光電変換層は、化合物3で示される有機化合物(昇華精製済み)とC60(昇華精製済み)の混合膜(化合物3:C60=1:2(体積比))を、真空中で共蒸着により400nmの膜厚で形成した。対向電極は、ITOを高周波マグネトロンスパッタにより、10nmの膜厚で形成した。
電子ブロッキング層を、化合物7で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、比較例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
電子ブロッキング層を、化合物2で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、比較例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
光電変換層を、化合物6で示される有機化合物(昇華精製済み)とC60(昇華精製済み)の混合膜(化合物6:C60=1:3(体積比))に変更した以外は、比較例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
電子ブロッキング層を化合物7で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、比較例4と同様に有機光電変換素子を作製した。
中間層の材料を化合物8で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、実施例1と同様に有機光電変換素子を作製した。
電子ブロッキング層を化合物7で示される有機化合物(昇華精製済み)に変更した以外は、比較例6と同様に有機光電変換素子を作製した。
6 画素電極
7 電荷ブロッキング層
8 中間層
9 光電変換層
10 対向電極
Claims (14)
- 一対の電極と、前記一対の電極の間に設けられた有機材料を含んで構成された光電変換層と、前記光電変換層と前記一対の電極の一方との間に設けられた電荷ブロッキング層とを有する光電変換素子であって、
前記光電変換層と前記電荷ブロッキング層との間に設けられ、ガラス転移温度が200℃以上の有機化合物で構成された中間層を備え、
前記有機化合物は、下記一般式(1)で表される化合物である光電変換素子。
(一般式(1)中、R 1 及びR 2 はそれぞれ独立に、アルキル基で置換されていてもよい
、ヘテロ環基を表す。X 1 は−CR 3 R 4 −又は−NR 5 −を表し、R 3 及びR 4 はそれぞれ独立にアルキル基を表し、R 5 はアルキル基で置換されていてもよいアリール基を表す。また、R 2 を単結合として2量化してもよい。n 1 及びn 2 はそれぞれ独立に、1〜4の整数を表す。) - 請求項1記載の光電変換素子であって、
前記中間層の厚みが、10nm以下である光電変換素子。 - 請求項2記載の光電変換素子であって、
前記中間層の厚みが、5nm以下である光電変換素子。 - 請求項3記載の光電変換素子であって、
前記中間層の厚みが、3nmである光電変換素子。 - 請求項1〜4のいずれか1項記載の光電変換素子であって、
前記光電変換層と前記電荷ブロッキング層が、前記中間層よりもガラス転移温度の低い材料を含む光電変換素子。 - 請求項1〜5のいずれか1項記載の光電変換素子であって、
前記電荷ブロッキング層が、隣接する電極からの電子注入を抑制する、電子ブロッキング層である光電変換素子。 - 請求項1〜6のいずれか1項記載の光電変換素子であって、
前記中間層が、t−Bu基(三級ブチル基)を有する有機化合物で構成されている光電変換素子。 - 請求項1〜7のいずれか1項記載の光電変換素子であって、
前記電荷ブロッキング層が1層又は複数層で構成され、
前記中間層と隣接する前記電荷ブロッキング層が、ガラス転移温度が150℃以上の有機化合物で構成されている光電変換素子。 - 請求項1〜8のいずれか1項記載の光電変換素子であって、
前記光電変換層が、フラーレン又はフラーレン誘導体とp型有機材料が混合されたバルクへテロ構造であり、
前記中間層のイオン化ポテンシャルIpと前記フラーレン又はフラーレン誘導体の電子親和力Eaとの差が1eV以上である光電変換素子。 - 請求項9記載の光電変換素子であって、
前記中間層のイオン化ポテンシャルIpと前記フラーレン又はフラーレン誘導体の電子親和力Eaとの差が1.2eV以上である光電変換素子。 - 請求項1〜10のいずれか1項記載の光電変換素子であって、
前記光電変換層が、フラーレン又はフラーレン誘導体とp型有機材料が混合されたバルクへテロ構造であり、
前記光電変換層における前記フラーレン又はフラーレン誘導体の含有割合が、40%から85%である光電変換素子。 - 請求項1〜11のいずれか1項記載の光電変換素子であって、
前記電荷ブロッキング層と前記中間層との総厚が20nm以上である光電変換素子。 - 請求項12記載の光電変換素子であって、
前記電荷ブロッキング層と前記中間層との総厚が50nm以上である光電変換素子。 - 複数の、請求項1〜13のいずれか1項記載の光電変換素子と、
前記複数の光電変換素子の各々の上方に設けられたカラーフィルタと、
前記光電変換素子の前記光電変換層で発生した電荷に応じた信号を読み出す信号読み出し部とを備える固体撮像素子。
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