JPWO2019009394A1 - 光学デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
[光モジュールの構成]
[光学デバイスの構成]
[変形例]
Claims (10)
- ベースと、
光学機能部を有する可動部と、
前記ベースと前記可動部との間に接続され、前記可動部が第1方向に沿って移動可能となるように前記可動部を支持する弾性支持部と、
前記ベースに設けられ、複数の第1櫛歯を有する第1櫛歯電極と、
前記可動部及び前記弾性支持部の少なくとも一方に設けられ、前記複数の第1櫛歯と互い違いに配置された複数の第2櫛歯を有する第2櫛歯電極と、を備え、
前記弾性支持部は、前記第1方向に垂直な第2方向に沿って延在するトーションバーと、前記トーションバーと前記可動部との間に接続された非線形性緩和バネと、を有し、
前記非線形性緩和バネは、前記可動部が前記第1方向に移動した状態において、前記第2方向周りにおける前記非線形性緩和バネの変形量が前記第2方向周りにおける前記トーションバーの変形量よりも小さくなり、且つ、前記第1方向及び前記第2方向に垂直な第3方向における前記非線形性緩和バネの変形量が前記第3方向における前記トーションバーの変形量よりも大きくなるように、構成されており、
隣り合う前記第1櫛歯と前記第2櫛歯とは、前記第2方向において互いに向かい合っている、光学デバイス。 - 前記非線形性緩和バネは、板状部を有し、前記第2方向における前記板状部の長さは、前記トーションバーの長さよりも長い、請求項1に記載の光学デバイス。
- 前記非線形性緩和バネは、一対の板状部を有し、
前記一対の板状部は、前記第3方向において互いに向かい合っている、請求項1に記載の光学デバイス。 - 前記弾性支持部は、一端部において前記トーションバーを介して前記非線形性緩和バネに接続されたレバーと、前記第1方向から見た場合に前記レバーと前記可動部との間に延在する電極支持部材と、を更に有し、
前記第2櫛歯電極は、前記電極支持部材に設けられている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記弾性支持部は、一端部において前記トーションバーを介して前記非線形性緩和バネに接続されたレバーを更に有し、
前記第2櫛歯電極は、前記レバーに設けられている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記弾性支持部は、前記レバーを一対有すると共に、前記一対のレバー間に掛け渡されたリンクを更に有し、
前記第2櫛歯電極は、前記一対のレバー及び前記リンクにわたって配置されている、請求項5に記載の光学デバイス。 - 前記弾性支持部は、前記レバーの他端部と前記ベースとの間に接続されたトーションバーを更に有する、請求項5又は6に記載の光学デバイス。
- 前記弾性支持部は、一端部において前記トーションバーを介して前記非線形性緩和バネに接続されたレバーと、前記レバーの他端部と前記ベースとの間に接続されたトーションバーと、を更に有している、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学デバイス。
- 前記弾性支持部は、一端部において前記トーションバーを介して前記非線形性緩和バネに接続されたレバーと、前記レバーから延在する電極支持部材と、を更に有し、
前記第2櫛歯電極は、前記電極支持部材に設けられている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記非線形性緩和バネは、前記第1方向から見た場合に蛇行して延在する蛇行部を有している、請求項1〜9のいずれか一項に記載の光学デバイス。
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