CN115190221A - 致动器、致动器组件、电子模组以及电子设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种致动器、致动器组件、电子模组以及电子设备。该致动器包括基板、驱动器和挠曲件组，驱动器包括梳齿交错相对且平行的的固定梳齿部件和活动梳齿部件，挠曲件组包括依次连接的第一挠曲件、保持部件和第二挠曲件。第一挠曲件和第二挠曲件通过凸起固定于基板；第一挠曲件和第二挠曲件分别与活动梳齿部件连接。当活动梳齿部件沿第一方向运动时，第一挠曲件和第二挠曲件形变，保持部件保持固定梳齿部件的梳齿与活动梳齿部件的梳齿之间具有间隙，以避免活动梳齿部件的梳齿与固定梳齿部件的梳齿接触，使活动梳齿部件能够运动较长的距离，从而增大致动器的运动行程，使得应用该致动器用于防抖的电子设备可以实现较佳的抖动补偿功能。

Description

致动器、致动器组件、电子模组以及电子设备

技术领域

本申请涉及电子设备技术领域，尤其涉及一种致动器、致动器组件、电子模组以及电子设备。

背景技术

随着移动终端等电子设备的技术发展，用户对电子设备的拍摄质量要求越来越高。用户在利用电子设备进行拍摄时，由于手或电子设备的抖动，容易使被拍摄的对象在图像传感器上所呈现的图像发生偏移，导致拍摄的图像呈现模糊的情况。为了改善这种情况，可以在电子设备中引入光学防抖技术。

在目前的光学防抖技术中，通常采用光学图像稳定技术，也就是通过反运动补偿的方式来实现拍摄时的防抖功能。例如，在电子设备的摄像模组中引入具有致动器的致动器组件，该致动器包括活动梳齿和固定梳齿。具体的，在利用电子设备进行拍摄时，当电子设备意外抖动时，电子设备的处理器可以检测到该抖动，并且根据抖动的参数(例如抖动的方向、角度、距离等)向上述致动器输入电信号，使致动器的活动梳齿朝向固定梳齿运动，从而带动与活动梳齿连接的图像传感器朝抖动的反方向位移运动，以实现抖动补偿。然而，这种方式在拍摄设备抖动较大时，补偿效果不佳。

发明内容

本申请提供了一种致动器、致动器组件、电子模组以及电子设备，以增大电子设备的致动器的运动行程，从而实现良好的防抖补偿功能。

第一方面，本申请提供了一种致动器。该致动器包括基板以及设置于基板的驱动器和挠曲件组，其中：该驱动器包括固定梳齿部件和活动梳齿部件，固定梳齿部件固定于基板，活动梳齿部件悬空于基板，固定梳齿部件的梳齿与活动梳齿部件的梳齿平行且交错相对，活动梳齿部件能够沿朝向固定梳齿部件的第一方向运动；该挠曲件组包括凸起以及沿第二方向依次连接的第一挠曲件、保持部件和第二挠曲件，其中，第二方向垂直于第一方向，第一挠曲件和第二挠曲件通过凸起固定于基板，且第一挠曲件和第二挠曲件分别与基板之间具有缝隙，第一挠曲件和第二挠曲件分别与活动梳齿部件固定连接。当活动梳齿部件沿第一方向运动时，第一挠曲件和第二挠曲件沿第一方向形变，并且保持部件保持固定梳齿部件的梳齿与活动梳齿部件的梳齿之间具有间隙，以避免活动梳齿部件的梳齿与固定梳齿部件的梳齿发生贴合的情况，这样可以防止由于第一挠曲件和第二挠曲件沿第一方向相错运动而使活动梳齿部件发生侧向偏转，从而使活动梳齿部件在其梳齿插入固定梳齿部件的梳齿后可以继续沿第一方向运动较长的距离，以增大致动器的行程。该致动器用于防抖的电子设备可以实现较佳的抖动补偿功能。

在具体的方案中，上述保持部件包括第一弹性件和第二弹性件，第一弹性件和第二弹性件刚性连接，第一弹性件与第一挠曲件连接，第二弹性件与第二挠曲件连接。当上述活动梳齿部件沿第一方向运动时，第一弹性件和第二弹性件沿第二方向形变，使得第一挠曲件和第二挠曲件沿第二方向相对的端部彼此远离；同时，第一弹性件和第二弹性件阻止第一挠曲件与第二挠曲件沿第一方向相错，从而可以避免由于第一挠曲件和第二挠曲件的相错运动而引起活动梳齿部件的侧向偏转。

为了在阻止第一挠曲件与第二挠曲件沿第一方向相错的同时较为牢固地连接第一弹性件和第二弹性件，上述保持部件还包括刚性连接件，第一弹性件和第二弹性件分别与该刚性连接件固定连接。

在具体的技术方案中，上述第一弹性件包括两个第一弹簧片，上述第二弹性件包括两个第二弹簧片，该两个第一弹簧片和该两个第二弹簧片分别与刚性连接件固定连接，第一弹簧片和第二弹簧片所在的平面垂直于基板，因此上述弹簧片的厚度方向为第二方向。在活动梳齿部件的运动过程中，第一挠曲件带动第一弹簧片沿第二方向形变，第二挠曲件带动第二弹簧片沿第二方向形变，而在弹簧片的长度方向和宽度方向上，弹簧片是坚硬的或刚性的，不易产生形变，从而阻止第一挠曲件与第二挠曲件沿第一方向相错。

在具体的技术方案中，上述刚性连接件的沿平行于基板的截面形状可为工字形或I形。

在具体的技术方案中，上述保持部件的沿平行于基板的截面形状可为H形。

为了增强致动器的抗扭转刚度，上述致动器还可以进一步包括活动框架，活动梳齿部件和挠曲件组分别与该活动框架连接，活动框架悬空于基板，固定梳齿部件、活动梳齿部件和挠曲件组设置于所述活动框架内。

在具体的技术方案中，上述挠曲件组可以包括两个挠曲件组，该两个挠曲件组可沿第一方向对称设置于驱动器两侧，相对于在驱动器一侧设置挠曲件组的布置，该技术方案可以减小活动梳齿部件的摆动。

为了简化致动器的结构，在具体的技术方案中，上述基板可以是电路板，固定梳齿部件和活动梳齿部件分别与基板电连接。

在具体的技术方案中，上述第一方向可以是活动梳齿部件的梳齿所延伸的直线方向，或者也可以是绕活动梳齿部件的旋转轴线的圆周方向。

第二方面，本申请提供了一种致动器组件，包括承载台以及上述任一技术方案中的致动器，该承载台与每个致动器的活动梳齿部件连接。在活动梳齿部件沿第一方向运动时，活动梳齿部件带动承载台进行抖动补偿运动；在该过程中，保持部件保持固定梳齿部件的梳齿与活动梳齿部件的梳齿之间具有间隙，以避免活动梳齿部件的梳齿与固定梳齿部件的梳齿发生贴合的情况，这样可以防止第一挠曲件和第二挠曲件沿第一方向相错运动而使活动梳齿部件发生侧向偏转，这样可以避免活动梳齿部件的梳齿与固定梳齿部件的梳齿发生贴合的情况，从而使活动梳齿部件在其梳齿插入固定梳齿部件的梳齿后可以继续沿第一方向运动较长的距离，以增大致动器的行程。该致动器组件用于具有防抖功能的电子设备可以实现较佳的抖动补偿功能。

在具体的技术方案中，上述承载台通过悬臂连接件连接于活动梳齿部件，该悬臂连接件悬空设置，使得承载台可以悬空设置，以避免其他部件阻碍承载台的运动。

第三方面，本申请提供了一种电子模组，包括电子器件以及上述任一技术方案中的致动器组件，该电子器件设置于承载台。在活动梳齿部件沿第一方向运动时，活动梳齿部件带动承载台以及电子器件进行抖动补偿运动；在该过程中，保持部件保持固定梳齿部件的梳齿与活动梳齿部件的梳齿之间具有间隙，以避免活动梳齿部件的梳齿与固定梳齿部件的梳齿发生贴合的情况，这样可以防止第一挠曲件和第二挠曲件沿第一方向相错运动而使活动梳齿部件发生侧向偏转，这样可以避免活动梳齿部件的梳齿与固定梳齿部件的梳齿发生贴合的情况，从而使活动梳齿部件在其梳齿插入固定梳齿部件的梳齿后可以继续沿第一方向运动较长的距离，以增大致动器的行程。该电子模组用于防抖的电子设备可以实现较佳的抖动补偿功能。

在具体的技术方案中，上述电子模组可为摄像模组，上述电子器件可为图像传感器或镜片组。该电子模组可以应用于摄像模组，这样致动器组件可以带动图像传感器或镜片组朝向抖动的反方向运动，从而补偿抖动，以实现在拍摄时的光学防抖。

上述电子模组还包括固定于承载台的连接柱，上述电子器件与连接柱固定连接。电子器件通过连接柱固定于承载台，使得电子电器可以架设于致动器组件上方，以避免电子器件与致动器组件的其他部件之间的接触，使电子器件的运动不会受到阻碍。

第四方面，本申请提供了一种电子设备，包括电源以及上述任一技术方案中的电子模组，其中，固定梳齿部件和活动梳齿部件分别与电源电连接。如此，电源向固定梳齿部件和活动梳齿部件通电后，固定梳齿部件和活动梳齿部件带有异种电荷，使活动梳齿部件在静电引力的作用下沿第一方向运动。在该过程中，保持部件保持固定梳齿部件的梳齿与活动梳齿部件的梳齿之间具有间隙，以避免活动梳齿部件的梳齿与固定梳齿部件的梳齿发生贴合的情况，这样可以防止由于第一挠曲件和第二挠曲件沿第一方向相错运动而使活动梳齿部件发生侧向偏转，从而使活动梳齿部件沿第一方向可以运动较长的距离，进而增大致动器的行程，以实现电子设备较佳的防抖功能。

应理解，电子设备还可以包括其他部件，比如处理器、摄像装置和收发器等，本申请这里不做具体限定。

附图说明

图1为现有技术中驱动器的一种结构示意图；

图2为现有技术中驱动器发生侧向失稳的示意图；

图3为本申请实施例中致动器的一种结构示意图；

图4为图3的致动器在驱动器通电的情况下的一种运动状态示意图；

图5为图3中致动器沿A-A方向的截面示意图；

图6为本申请实施例中致动器的另一种结构示意图；

图7为本申请实施例中第一挠曲件和第二挠曲件的一种结构示意图；

图8为图7的第一挠曲件和第二挠曲件的一种运动状态示意图；

图9为本申请实施例中保持部件的一种结构示意图；

图10为本申请实施例中挠曲件组的一种结构示意图；

图11为本申请实施例中保持部件的一种结构示意图；

图12为本申请实施例中挠曲组件的另一种结构示意图；

图13为本申请实施例中挠曲组件的另一种结构示意图；

图14为本申请实施例中挠曲组件的另一种结构示意图；

图15为本申请实施例中致动器的另一种结构示意图；

图16为图15中致动器沿B-B方向的截面示意图；

图17为本申请实施例中致动器的另一种结构示意图；

图18为图7的致动器的一种运动状态示意图；

图19为本申请实施例中致动器组件的一种结构示意图；

图20为本申请实施例中致动器组件的另一种结构示意图；

图21为本申请实施例中致动器组件的另一种结构示意图；

图22为本申请实施例中致动器组件的另一种结构示意图；

图23a-23c为本申请实施例中致动器组件的多方向位移示意图；

图24为本申请实施例中电子模组的一种结构示意图；

图25为本申请实施例中电子模组的另一种结构示意图；

图26为本申请实施例中电子设备的一种结构示意图。

附图标记：

背景技术部分：

01-固定梳齿部件； 02-活动梳齿部件；

本申请实施例部分：

10-致动器； 20-致动器组件；

30-电子模组； 11-基板；

12-驱动器； 13-挠曲件组；

14-活动框架； 15-凸起；

21-固定基底； 22-承载台；

23-悬臂连接件； 24-电子器件；

25-连接柱； 26-电路板；

27-连接线； 31-镜片组；

32-滤光片； 33-图像传感器；

34-第一壳体； 35-第二壳体；

40-电子设备； 10a-第一致动器；

10b-第二致动器； 10c-第三致动器；

10d-第四致动器； 121-固定梳齿部件；

121a-第一固定梳齿部件； 121b-第二固定梳齿部件；

122-活动梳齿部件； 122a-脊状连接部；

122b-第一梳齿； 122c-第二梳齿；

122d-第二本体； 131-第一挠曲件；

131a-第一端部件； 132-第二挠曲件；

132a-第二端部件； 133-保持部件；

134-第一弹性件； 135-第二弹性件；

136-刚性连接件； 401-电源；

402-处理器。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请作进一步地详细描述。

随着拍摄技术的不断发展，诸如智能手机、平板电脑、行车记录仪或无人机等电子设备都具备拍摄功能。在应用中，电子设备拍摄时可能处于抖动状态，导致拍摄的图像容易出现重影或者失真的情况，导致拍摄效果较差。为了改善这种情况，通常会在电子设备的摄像模组中引入致动器组件。具体的，将图像传感器或透镜组件安装于致动器组件，其中，致动器组件包括致动器，该致动器利用静电致动原理产生运动来实现补偿，以改善拍摄效果。如图1和图2所示的一种现有致动器，主要包括固定梳齿部件01、活动梳齿部件02以及与活动梳齿部件02连接的挠曲件(图中未示出)，挠曲件用于复位活动梳齿部件02，活动梳齿部件02与图像传感器连接。当给致动器通电时，固定梳齿部件01和活动梳齿部件02会分别带有异种电荷，使固定梳齿部件01和活动梳齿部件02之间产生静电引力，活动梳齿部件02在该静电引力的作用下朝向固定梳齿部件01运动(如图1的箭头所示)，从而带动图像传感器朝向抖动的反方向运动，以实现对抖动的补偿。

请继续参考图1，在活动梳齿部件02朝向固定梳齿部件01运动的过程中，活动梳齿部件02的梳齿逐渐交错插入固定梳齿部件01的梳齿之间。然而，随着活动梳齿部件02的梳齿插入固定梳齿部件01的梳齿的长度越大，换句话说，随着活动梳齿部件02的行程逐渐增大，在垂直于活动梳齿部件02的运动方向的侧向方向(如图1中的竖直方向)上，活动梳齿部件02的梳齿与固定梳齿部件01的梳齿之间的静电力也会逐渐增大。通常，活动梳齿部件02的梳齿两侧所受到的侧向静电力方向相反且大小相等，因此该梳齿的两侧受力平衡，这样活动梳齿部件02就不会在侧向方向上发生位移。

但是，当致动器受到外界的扰动时，例如撞击、振动等，活动梳齿部件02在侧向方向上可能会发生较小偏移，而这种较小的偏移将会导致活动梳齿部件02的梳齿的受力平衡被打破，梳齿的一侧受力大于另一侧受力，导致活动梳齿部件02将在较大的侧向静电力的作用下发生侧向偏转(即侧向失稳现象)，使活动梳齿部件02的梳齿与固定梳齿部件01的梳齿贴合，如图2所示。这种侧向失稳现象是用户所不期望的，因为在贴合之后，活动梳齿部件02的梳齿与固定梳齿部件01的梳齿之间的侧向静电力会非常大，导致活动梳齿部件02无法继续朝向固定梳齿部件01运动，从而限制了活动梳齿部件02的运动行程，使得抖动补偿效果欠佳。甚至，固定梳齿部件01与活动梳齿部件02接触并电导通，使得致动器组件的驱动电路发生电气短路，从而损坏致动器组件，导致电子设备的整个摄像模组失效。

此外，随着活动梳齿部件02的运动，挠曲件会发生弹性形变，并且，随着活动梳齿部件02的行程增大，挠曲件形变增大，挠曲件的侧向刚度降低，这也使得当活动梳齿部件02受到外界侧向扰动时容易发生侧向失稳现象。

为此，本申请提供了一种致动器、致动器组件、电子模组以及电子设备，以减少活动梳齿部件的侧向偏转，避免活动梳齿部件的梳齿与固定梳齿部件的梳齿接触，使得活动梳齿部件能够运动较长的距离，从而增大了致动器的运动行程。

图3和图4为本申请实施例中致动器的一种结构示意图，图5为图3中致动器10沿A-A方向的截面示意图。如图3至图5所示，致动器10包括基板11、驱动器12和挠曲件组13。具体的，驱动器12包括固定梳齿部件121和活动梳齿部件122，固定梳齿部件121的梳齿与活动梳齿部件122的梳齿交错相对且沿第一方向M平行，固定梳齿部件121固定安装于基板11，活动梳齿部件122悬空于基板11。需要说明的是，在本申请实施例中，“第一方向”是指梳齿的延伸方向，例如，可以是图3中水平双向箭头所示的向左方向，或者也可以是向右方向。挠曲件组13包括第一挠曲件131、第二挠曲件132、保持部件133和凸起15，其中，第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第二方向N相对设置，保持部件133位于第一挠曲件131和第二挠曲件132之间，并第一挠曲件131和第二挠曲件132分别与保持部件133连接。需要说明的是，在本申请实施例中，“第二方向”是指在基板的平面内垂直于第一方向M的方向，例如，可以是图3中竖直双向箭头N所示的向上方向，或者也可以是向下方向。对于第一挠曲件131和第二挠曲件132，每个挠曲件的一端通过凸起15与基板11固定连接，另一端与活动梳齿部件122固定连接，从而通过第一挠曲件131和第二挠曲件132实现活动梳齿部件122相对于基板11的悬空设置，并且第一挠曲件131和第二挠曲件132各自与基板11之间也具有缝隙，换句话说，第一挠曲件131和第二挠曲件132不接触基板11。需要说明的是，图3和图4中的保持部件133仅是示意图，并不用于限定其数量、结构和与其他部件之间的位置。

需要说明的是，在上述实施例中，挠曲件131和132分别与活动梳齿部件122固定连接可以是指直接地固定连接，也可以是通过其他部件固定连接。例如，在图4所示的一种具体实施例中，活动梳齿部件122包括脊状连接部122a、第一梳齿122b和第二梳齿122c，其中，脊状连接部122a沿第二方向N延伸，第一梳齿122b和第二梳齿122c平行于第一方向M，且各自沿第二方向N均匀分布于脊状连接部122a。在该实施例中，挠曲件131和132分别通过连接部件(例如活动框架14，下文中将对其进行详细描述)与脊状连接部122a固定连接。或者，在本申请的另一个具体实施例中，如图6所示，活动梳齿部件122包括第一本体和第二本体122d，其中，第一本体包括沿第二方向N延伸的脊状连接部122a，脊状连接部122a设置有平行于第一方向M的梳齿。脊状连接部122a与第二本体122d可以是一体成型，或者也可以是通过焊接、铆接、螺纹联接等方式固定在一起。梳齿可以包括沿第一方向M相背延伸的第一梳齿122b和第二梳齿122c。在该实施例中，挠曲件131和132分别与第二本体122d直接固定连接，例如通过焊接、铆接、螺纹联接等方式。

请继续参考图3，在致动器10的初始状态下，活动梳齿部件122通过挠曲件组13保持在初始位置，也就是活动梳齿部件122与固定梳齿部件121在第一方向M上保持一定距离。需要说明的是，本申请实施例中的初始状态是指驱动器12不通电的状态，在该状态下，第一挠曲件131、第二挠曲件132以及保持部件133保持自由状态，即受力平衡的状态。

图4为图3的致动器在驱动器通电的情况下的一种运动状态示意图。当电子设备的处理器检测到抖动信号后，对驱动器12进行通电，使固定梳齿部件121和活动梳齿部件122带有异种电荷，从而固定梳齿部件121和活动梳齿部件122之间产生静电引力。在该静电引力的作用下，活动梳齿部件122沿着第一方向M运动，活动梳齿部件122的梳齿交错插入固定梳齿部件121的梳齿之间。在活动梳齿部件122的运动过程中，第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第一方向M形变，保持部件13阻止第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第一方向M相错(或者说交错，即在第一方向M上两者的位移明显不一致，从而形成交错)。换句话说，保持部件13保持第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第二方向N相对，从而使保持固定梳齿部件121的梳齿与活动梳齿部件122的梳齿之间具有间隙，也就是说保持活动梳齿部件122的梳齿与固定梳齿部件121的梳齿不接触，或者说活动梳齿部件122的梳齿与固定梳齿部件121的梳齿保持分离，这样可以避免活动梳齿部件122的梳齿与固定梳齿部件121的梳齿发生贴合的情况，从而较好改善活动梳齿部件122的侧向偏转现象，从而使活动梳齿部件122可以继续沿着第一方向M运动，增大致动器10的行程，进而增强抖动补偿功能。该致动器10用于防抖的电子设备可以实现较佳的抖动补偿功能，即使在抖动较大时也能得到较佳的拍摄效果。

上述驱动器12的活动梳齿部件122朝向固定梳齿部件121的运动可以为直线运动，如图3中的水平双向箭头M所示，在这种情况下，第一方向为直线方向；或者也可以为旋转运动(未示出)，此时，第一方向为绕活动梳齿部件122的旋转轴线的圆周方向。在本申请的实施例中，将采用第一方向M为如图3的水平双向箭头方向作为示例来对致动器10进行描述。

下面，将参考图7至图14对挠曲件组13进行说明。

图7为本申请实施例中第一挠曲件和第二挠曲件的一种结构示意图。如图7所示，挠曲件组13包括分别固定于基板11的第一挠曲件131和第二挠曲件132，请结合图3，其中，第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第二方向N相对设置，即沿第二方向N上两者对齐或基本对齐；在图7中所示的平面内，第一方向M为水平方向，第二方向N为竖直方向。需要说明的是，在本申请实施例中，侧向方向为第二方向N。第一挠曲件131包括四条平行于第二方向N的条形弹簧片，条形弹簧片的靠近第二挠曲件132的一端通过第一端部件131a连接在一起，内侧的两个条形弹簧片与凸起15固定连接，外侧的两个条形弹簧片与活动梳齿部件122连接；同样的，第二挠曲件132包括四条平行于第二方向N的条形弹簧片，条形弹簧片的靠近第一挠曲件131的一端通过第二端部件132a连接在一起，内侧的两个条形弹簧片与凸起15固定连接，外侧的两个条形弹簧片与活动梳齿部件122连接。为了避免第一挠曲件131和第二挠曲件132随活动梳齿部件122移动时受到基板11的阻挡，凸起15可以具有一定高度，从而使第一挠曲件131和第二挠曲件132平行且悬空于基板11，而不与基板11接触。在一个具体的实施例中，当挠曲件组13处于自由状态时，第一端部件131a和第二端部件132a沿第二方向N相对并列设置，以使挠曲件组13的抗扭转刚度最大。

图8为图7的第一挠曲件和第二挠曲件的运动示意图，其中虚线为图7所示的初始状态。请结合图4和图8，当活动梳齿部件122沿第一方向M(如图8的箭头所示的向左方向)运动时，由于第一挠曲件131和第二挠曲件132分别与活动梳齿部件122连接，因此，第一挠曲件131的与活动梳齿部件122连接的一端以及第二挠曲件132的与活动梳齿部件122连接的一端均随之运动，从而第一挠曲件131和第二挠曲件132发生弹性形变。在此过程中，当受到外界侧向扰动时，由于形变后的第一挠曲件131和第二挠曲件132能提供的侧向弹性阻力变小，第一挠曲件131和第二挠曲件132可能受到外界侧向扰动而在侧向方向上发生不同的位移。

下面针对第一挠曲件131和第二挠曲件132的上述位移来进行详细说明。当活动梳齿部件122沿第一方向M运动时，带动第一挠曲件131和第二挠曲件132相背运动。需要说明的是，“相背运动”是指在活动梳齿部件122沿第一方向M运动的过程中，第一挠曲件131和第二挠曲件132随活动梳齿部件122运动而发生形变，导致第一端部件131a与第二端部件132a彼此远离的现象。具体的，以图8中所示的第一挠曲件131和第二挠曲件132为示例进行说明。请结合图4和图8，第一挠曲件131的一端固定于基板11，当第一挠曲件131的另一端随活动梳齿部件122的运动而运动时，第一挠曲件131发生形变，第一端部件131a的运动轨迹在第一方向M上为沿活动梳齿部件122的运动方向(图8中的向左方向)，在第二方向N上为沿远离第二端部件132a的方向(图8中的向上方向)的移动，该运动轨迹最终呈现为如图8中所示的弧线m；类似的，第二挠曲件132的一端固定于基板11，当第二挠曲件132的另一端随活动梳齿部件122的运动而运动时，第二挠曲件132发生形变，第二端部件132a的运动轨迹在第一方向M上为沿活动梳齿部件122的运动方向(图8中的向左方向)，在第二方向N上为沿远离第一端部件131a的方向(图8中的向下方向)的移动，该运动轨迹最终呈现为如图8中所示的弧线n。需要说明的是，本申请实施例中的“相错运动”是指第一挠曲件131和第二挠曲件132在第一方向M上具有相对位移，具体的是指第一端部件131a和第二端部件132a在第一方向M上具有相对位移，该相对位移可以是由于第一端部件131a和第二端部件132a沿第一方向M同向但运动速度不同造成的，也可以是由于第一端部件131a和第二端部件132a沿第一方向M反向运动造成的。

图9为本申请实施例中保持部件的一种结构示意图。如图9所示，保持部件133包括第一弹性件134和第二弹性件135，其中，第一弹性件134与第一挠曲件131的第一端部件131a连接，第二弹性件135与第二挠曲件132的第二端部件132a连接，第一弹性件134和第二弹性件135刚性连接；需要说明的是，本申请实施例的“刚性连接”是指使第一弹性件134和第二弹性件135在受力运动时沿运动方向上不发生或基本不发生相错运动的连接方式，或者换句话说，是指第一弹性件134和第二弹性件135在受力运动时沿第一方向M上的移动距离相同或基本相同的连接方式。

需要说明的是，虽然图9中示出的第一弹性件134和第二弹性件135分别为一个，但第一弹性件134和第二弹性件135的具体数量均不限，例如，可以为两个第一弹性件134和一个第二弹性件135，或者两个第一弹性件134和两个第二弹性件135，或者三个第一弹性件134和两个第二弹性件135等。

图10为本申请实施例中挠曲件组的一种结构示意图。如图10所示，以保持部件133包括两个第一弹性件134和两个第二弹性件135为例，当第一挠曲件131和第二挠曲件132随着活动梳齿部件122发生相背运动时，第一弹性件134在第一挠曲件131的运动作用下可以发生形变，第二弹性件135在第二挠曲件132的运动作用下可以发生形变，使第一端部件131a与第二端部件132a可以沿第二方向N(图10中的竖直方向)彼此逐渐远离，而在第一方向M(图10中的箭头所示)上，第一弹性件134和第二弹性件135阻止第一挠曲件131和第二挠曲件132的相错运动。

具体的，可以将第一弹性件134和第二弹性件135的柔性方向沿第二方向N设置，换句话说，当第一弹性件134和第二弹性件135受到沿第二方向N的作用力、或者受到的作用力具有沿第二方向N的分量时，第一弹性件134和第二弹性件135可以发生形变。例如，在一个具体的实施例中，第一弹性件134和第二弹性件135可以选择弹簧片，需要说明的是，在本申请实施例中，由于弹簧片的厚度较薄，为了方便描述，将弹簧片的长度方向和宽度方向所构成的表面作为弹簧片所在的平面。在本申请实施例中，弹簧片被设置成其所在平面垂直于基板11，换句话说，第一方向M为弹簧片所在平面的法向。请继续参考图10，第一弹性件134和第二弹性件135的形变方向为沿其厚度方向，也就是第二方向N(图10中的竖直方向)；而在弹簧片的长度方向和宽度方向上，弹簧片是坚硬的或刚性的，不易产生形变。因此，第一弹性件134和第二弹性件135受到沿第二方向N的力时发生形变，以允许第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第二方向N移动；而在第一方向M上，第一弹性件134和第二弹性件135阻止第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第一方向M的相错运动，或者说，第一弹性件134和第二弹性件135使第一挠曲件131和第二挠曲件132在第一方向M上的运动是一致或基本一致的，从第二方向N上看，第一挠曲件131和第二挠曲件132保持相对(即不交错)，以减小活动梳齿部件122发生侧向偏转的现象，同时也增大了致动器10的抗扭转刚度。此外，第一弹性件134和第二弹性件135在形变过程中也会对第一挠曲件131和第二挠曲件132产生抵抗的作用力，该作用力可以减缓相背运动并且减小相背运动的变化量，从而减缓第一挠曲件131和第二挠曲件132的侧向刚度的降低。

第一弹性件134和第二弹性件135的具体类型在本申请实施例中也不作具体限制，只要满足上述在第二方向N上可以弹性形变并且在第一方向M上不易产生形变即可。

上述第一弹性件134和第二弹性件135刚性连接，具体可以是第一弹性件134和第二弹性件135直接固定连接，例如通过胶粘、焊接等方式，或者第一弹性件134和第二弹性件135通过连接件刚性连接，例如通过螺栓连接。或者，采用在同一块制作材料上通过挖孔的方式形成第一弹性件134和第二弹性件135，使得第一弹性件134和第二弹性件135一体成型。

在本申请的一些实施例中，保持部件133还包括刚性连接件136，第一弹性件134和第二弹性件135分别与刚性连接件136固定连接。设置刚性连接件136一方面可以较为牢固地连接第一弹性件134和第二弹性件135，另一方面在第一方向M上也可以进一步限制第一挠曲件131和第二挠曲件132的相错运动。

图11为本申请实施例中保持部件的一种结构示意图。如图11所示，保持部件133包括两个第一弹性件134、两个第二弹性件135以及I字形的刚性连接件136，其中，两个第一弹性件134沿第一方向M设置并分别与第一端部件131a连接，刚性连接件136的一端位于两个第一弹性件134之间且与两个第一弹性件134相连；两个第二弹性件135沿第一方向M设置并分别与第二端部件132a连接，刚性连接件136的另一端位于两个第二弹性件135之间且与两个第二弹性件135相连。第一弹性件134和第二弹性件135在其各自的自由状态下，保持部件133的沿平行于基板11的截面形状具体整体上呈H形。当第一挠曲件131和第二挠曲件132随着活动梳齿部件122的运动而发生相背运动时，第一挠曲件131带动两个第一弹性件134发生形变，第二挠曲件132带动两个第二弹性件135发生形变，在第一弹性件134和第二弹性件135的弹性形变的作用下，第一挠曲件131和第二挠曲件132可以沿第二方向N移动而彼此远离，而在第一方向M上的相错运动被阻止(或者说限制)，从而减小活动梳齿部件122发生侧向偏转的现象。

图12为本申请实施例中挠曲组件的另一种结构示意图。如图12所示，保持部件133包括一个第一弹性件134、一个第二弹性件135以及I字形的刚性连接件136，其中，第一弹性件134的两端固定于刚性连接件136的一侧，第一端部件131a与第一弹性件134的中间部分连接；第二弹性件135的两端固定于刚性连接件136的另一侧，第二端部件132a与第二弹性件135的中间部分连接。当第一挠曲件131和第二挠曲件132发生相背运动时，第一弹性件134的中间部分受到第一挠曲件131的作用力而产生形变，第二弹性件135的中间部分受到第二挠曲件132的作用力而产生形变，而在第一方向M上，第一挠曲件131和第二挠曲件132的相错运动被限制。

上述刚性连接件136沿平行于基板11的截面形状具体不限，例如可以为如图11和图12所示的I字形，或者如图13所示的工字形，或者如图14所示的日字形。

此外，在本申请的一些实施例中，保持部件133位于第一挠曲件131和第二挠曲件132之间，而不另外占据致动器10的其他空间，从而可以实现较为紧凑的空间设计。

图15为本申请实施例中致动器的另一种结构示意图，图16为图15中致动器沿B-B方向的截面示意图。如图15和图16所示，在本申请的一些实施例中，致动器10还包括悬空于基板11的活动框架14，以增强致动器10的抗扭转刚度。活动梳齿部件122和挠曲件组13分别与活动框架14连接在一起，活动梳齿部件122、固定梳齿部件121和挠曲件组13均位于活动框架14内，进而通过活动框架14和挠曲件组13来实现活动梳齿部件122的悬空安装。由于活动框架14随着活动梳齿部件122朝向固定梳齿部件121运动，因此，在一些实施例中，挠曲件组13与活动框架14可以设置在同一平面，以减小活动框架14受到外界扰动时受到的扭转作用力。例如，如图16所示，挠曲件组13的第一挠曲件131和第二挠曲件132通过凸起15固定于基板11，这样挠曲件组13也可以悬空于基板11，以避免活动框架14随着活动梳齿部件122运动时受到基板11的阻挡。在一个具体实施例中，为了便于制造，第一挠曲件131和第二挠曲件132可以直接焊接到凸起15。

根据上述实施例的仿真与实验结果显示，当活动梳齿部件122沿第一方向M运动时，在保持部件133的作用下，活动框架14的位移与第一端部件131a和第二端部件132a的位移之比为2:1，可以看出该结构明显减缓了第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第一方向M的形变，以减缓第一挠曲件131和第二挠曲件132的侧向刚度的降低。

在本申请实施例中，活动梳齿部件122和固定梳齿部件121的数量和位置设置不做具体限制，例如可以为图15中所示的两个固定梳齿部件121，以及位于这两个固定梳齿部件121之间的活动梳齿部件122，以实现双向长行程运动；或者，也可以为一个固定梳齿部件121和一个活动梳齿部件122。

以图15所示的致动器结构为示例，为了实现活动梳齿部件122沿图中箭头所示的两个方向的双向移动，相应的，固定梳齿部件121包括相对且平行设置的第一固定梳齿部件121a和第二固定梳齿部件121b，活动梳齿部件122位于两个固定梳齿部件121之间，活动梳齿部件122包括脊状连接部122a，脊状连接部122a的面对第一固定梳齿部件121a的一侧设置有第一梳齿122b阵列，脊状连接部122a的面对第二固定梳齿部件121b的一侧设置有第二梳齿122c，其中，第一固定梳齿部件121a的梳齿与活动梳齿部件122的第一梳齿122b平行且交错相对，第二固定梳齿部件121b的梳齿与活动梳齿部件122的第二梳齿122c平行且交错相对。活动梳齿部件122通过挠曲件组13与凸起15处的金属焊盘接地，该接地的电势作为固定梳齿部件121的参考电势。当通过第一固定梳齿部件121a的焊盘向第一固定梳齿部件121a施加一定幅值的正电压或负电压时，活动梳齿部件122朝向第一固定梳齿部件121a移动，同时通过带动活动框架14沿相同方向运动；当通过第二固定梳齿部件121b的焊盘向第二固定梳齿部件121b施加一定幅值的正电压或负电压，活动梳齿部件122朝向第二固定梳齿部件121b移动，同时通过带动活动框架14沿相同方向运动。这样，可以实现驱动器12带动活动框架14沿着运动方向的双向运动。

图17和图18为本申请实施例中致动器的另一种结构示意图。如图17和图18所示，挠曲件组13可以包括两个，两个挠曲件组13沿第一方向M(图中箭头所示方向)分别设置于驱动器12两侧。在驱动器12两侧对称设置挠曲件组13，相对于在驱动器12一侧设置挠曲件组13的布置，该对称设置可以减小活动框架14和活动梳齿部件122的摆动，还使得活动梳齿部件122沿第一方向M的双向运动都可以减少侧向失稳的现象，进一步增大了致动器10的运动行程。

对上述实施例进行的仿真与实验结果显示，设置保持部件133能够将活动梳齿部件122的行程提升260％，设置活动框架14能够使活动梳齿部件122的行程提升20％。综合使用保持部件133和活动框架14的结构，使得本发明提供的致动器10相比现有技术的致动器的行程提高约3倍，该致动器10用于防抖的电子设备可以实现更佳的抖动补偿功能。

为了实现致动器10的小型化，以减少致动器10在摄像模组中占用的空间，可以采用MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)制造技术进行加工，其中，MEMS制造技术是在半导体制造技术基础上发展起来的，能够加工出尺寸一般在微米甚至亚微米量级的高精密结构的一种技术。因此，将MEMS制造技术应用在致动器10上，加工出的致动器10(被称为MEMS致动器)的尺寸更小，功耗更低，更加适合于应用在诸如便携式电子设备这种对空间尺寸和功耗要求高的领域。

上述基板11可以与电路板固定连接，驱动器12等部件与该电路板电连接；或者，上述基板11本身也可以是电路板，并与驱动器12等部件电连接。

图19为本申请实施例中致动器组件的一种结构示意图。如图19所示，本申请还提供了一种致动器组件20，致动器组件20包括固定基底21、设置于固定基底21的承载台22以及至少一个上述任一实施例的致动器10。其中，致动器10的基板11可以安装于固定基底21，或者也可以将固定基底21作为致动器10的基板11。致动器10的具体数量不做限定，可以根据具体需求来确定，例如，为了增大致动器10的输出驱动力，可以设置两个以上的致动器10。承载台22与每个致动器10的活动梳齿部件122连接。在活动梳齿部件122沿第一方向M运动时，活动梳齿部件122带动承载台22进行抖动补偿运动；在该过程中，保持部件133保持固定梳齿部件121的梳齿与活动梳齿部件122的梳齿之间具有间隙而因此不接触，以防止第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第一方向M相错运动而使活动梳齿部件122发生侧向偏转、导致活动梳齿部件122的梳齿与固定梳齿部件121的梳齿发生贴合的情况，从而使活动梳齿部件122在其梳齿插入固定梳齿部件121的梳齿后可以继续沿第一方向M运动较长的距离，以增大致动器10的行程。该致动器组件20用于防抖的电子设备可以实现较佳的抖动补偿功能。

在一个具体的实施例中，承载台22可以通过悬臂连接件23连接到活动梳齿部件122，悬臂连接件23悬空于固定基底21，这样可以实现承载台22悬空于固定基底21，避免固定基底21妨碍承载台22的补偿运动。

承载台22用于承载电子器件，例如在摄像模组中可以支撑图像传感器。图像传感器可以是CCD(Charge Couple Device，光电荷耦合器件)器件，也可以是CMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor，互补金属氧化物半导体)器件。

如图20所示，在本申请的一些实施例中，致动器组件20包括安装于同一个固定基底21的至少两个致动器10，多个致动器10通过悬臂连接件23分别与承载台22相连。除了连接承载台22和致动器10的功能以外，悬臂连接件23还能将致动器10的驱动力传递到承载台22，使承载台22进行相应的运动。悬臂连接件23的一端与承载台22的顶点或顶点附近的某处位置连接，另一端与致动器10的活动框架14连接。每个悬臂连接件23长度方向与对应的致动器10运动方向一致，因此可以在致动器10的运动方向上提供较高的刚度，用于传递推力。而沿垂直于致动器10运动方向的竖直方向上提供较低的刚度，避免干扰承载台22在该竖直方向上的运动。

当致动器10的数量为多个时，为了使作用于承载台22的驱动力更均匀，这些致动器10可以均匀分布在固定基底21上。上述在本申请的一个实施例中，致动器10包括三个，且呈正三角形的形状分布，如图20所示，在该实施例中，承载台22的形状可以为三角形，三个致动器10分别与承载台22的三个顶点通过悬臂连接件23固定，从而形成围绕承载台22的三角形区域。在本申请的另一个实施例中，致动器10包括四个，且呈四边形的形状分布，如图21所示，四个致动器10分布在承载台22的四周，承载台22的四个顶点分别通过悬臂连接件23悬空固定于每个致动器10。在本申请的又一个实施例中，承载台22也可以是边框，围绕在致动器10四周。承载台22的边框内边靠近顶点的位置通过悬臂连接件23悬空固定于每个致动器10，如图22所示，其中承载台22的边框也可以是不连续的。需要说明的是，致动器10和承载台22的其他配置也是可能的，例如，承载台22呈五边形、六边形等，致动器10对应于承载台22的形状的顶点设置，以获得致动器组件20更多的自由度。

上述致动器组件20可以实现平面内的多方向运动。下面，以图21所示的致动器组件20为示例，对致动器组件20实现多方向位移进行说明。

承载台22实现沿x轴平移的过程是：如图23a所示，第一致动器10a通电向x轴正方向运动，第三致动器10c通电向x轴正方向运动，第二致动器10b和第四致动器10d不通电，即可实现如图23a所示的承载台22朝向x轴正方向移动，图23a中箭头表示移动方向。第一致动器10a通电向x轴负方向运动，第三致动器10c通电向x轴负方向运动，第二致动器10b和第四致动器10d不通电，即可实现承载台22朝向x轴负方向移动(即与图23a中箭头相反的方向)。

承载台22实现沿y轴平移的过程是：如图23b所示，第二致动器10b通电向y轴正方向运动，第四致动器10d通电向y轴正方向运动，第一致动器10a和第三致动器10c不通电，即可实现如图23b所示的承载台22朝向y轴正方向移动，图23b中箭头表示移动方向。第二致动器10b通电向y轴负方向运动，第四致动器10d通电向y轴负方向运动，第一致动器10a和第三致动器10c不通电，即可实现承载台22朝向y轴负方向移动(即与图23b中箭头相反的方向)。

承载台22实现roll轴旋转的过程是：如图23c所示，第一致动器10a通电向x轴正方向运动，第二致动器10b通电向y轴正方向运动，第三致动器10c通电向x轴负方向运动，第四致动器10d通电向y轴负方向运动。这样，根据承载台22的受力情况，实现如图23c所示承载台22roll轴逆时针旋转，图23c中箭头表示旋转方向。参考上述过程，控制致动器10的向相反方运动即可实现承载台22roll轴顺时针旋转。

承载台22可以同时执行以上三种运动的任意一种、两种或三种组合的运动。需要说明的是，承载台22与致动器10的活动框架14之间通过悬臂连接件23相连。以在x轴上的移动为示例，承载台22在x轴方向上移动时，y轴方向上的悬臂连接件23会发生变形，以顺应承载台22在x轴方向上的移动。由于承载台22的位移由y轴方向的悬臂连接件23变形提供，第一致动器10a和第三致动器10c并没有受到较大的侧向拉力。因此不同轴之间的运动组合不会增大致动器10的侧向失稳的风险，从而保证了致动器10的长行程运动，以提供致动器组件20的长行程运动。

在应用致动器组件20时，通常将抖动补偿对象(例如电子器件)固定于致动器组件20中的承载台22。图24为本申请实施例中电子模组的一种结构示意图。如图24所示，电子模组30包括电子器件24和上述任一实施例中的致动器组件，电子器件24设置于承载台22。在活动梳齿部件122沿第一方向M运动时，活动梳齿部件122带动承载台22以及电子器件24进行抖动补偿运动；在该过程中，保持部件133保持固定梳齿部件121的梳齿与活动梳齿部件122的梳齿之间具有间隙而因此不接触，以防止第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第一方向M相错运动而使活动梳齿部件122发生侧向偏转、导致活动梳齿部件122的梳齿与固定梳齿部件121的梳齿发生贴合的情况，从而使活动梳齿部件122在其梳齿插入固定梳齿部件121的梳齿后可以继续沿第一方向M运动较长的距离，以增大致动器10的行程。该电子模组30用于防抖的电子设备可以实现较佳的抖动补偿功能。

请继续参考图24，电子器件24可以通过连接柱25固定于致动器组件20中的承载台，连接柱25凸出于承载台22，也就是说，连接柱25具有一定的高度，使得电子器件24架设于固定基底21、电路板26和致动器组件20的上方，以实现电子器件24与致动器组件20和电路板26不接触，使致动器组件20和电路板26不会阻碍电子器件24的运动。

上述连接柱25可以是尺寸与承载台22相对应的板状结构，例如，连接柱25可以是与承载台22尺寸相同或者略小于承载台22尺寸的板状结构，该板状结构具有一定的厚度；或者，连接柱25也可以包括多个高度相等的柱状结构，电子器件24通过这些柱状结构支撑在承载台22上。本申请实施例对连接柱25的结构不做具体限定。

固定基底21可以设置于电路板26的凹陷部内，如图24所示，这样可以减小整个组件的高度。上述固定基底21也可以是电路板26的一部分。

为了节约空间，可以使整个致动器组件20的外周尺寸与电子器件24的外周尺寸相对应。由于致动器组件20的外周尺寸和固定基底21的周长尺寸一致，因此固定基底21的尺寸与电子器件24的尺寸也可以相对应。例如，固定基底21的尺寸可以与电子器件24的尺寸相同，或者，固定基底21的尺寸略小于电子器件24的尺寸，又或者，固定基底21的尺寸略大于电子器件24的尺寸等，本申请实施例对此不做具体限定，可以根据实际情况而设置不同的尺寸间的对应关系。

请继续参考图24，电路板26的表面、致动器组件20的表面和电子器件24的表面可以设置电性连接端子，电路板26的电性连接端子与致动器组件20表面的电性连接端子通过柔性连接线27连接，电路板26的电性连接端子与电子器件24的电性连接端子通过柔性连接线27连接。其中，电性连接端子可以是焊垫，柔性连接线27处于松弛状态或者屈曲临界状态，以避免干涉电子器件24的运动。在本申请的另一个实施例中，电路板26的电性连接端子与电子器件24的电性连接端子通过柔性连接线27连接，电路板26的电性连接端子设置于靠近致动器组件20的一侧，致动器组件20表面的电性连接端子通过倒装芯片绑定(flip-chipbonding)或者硅穿孔(Through Silicon Via，TSV)技术与电路板26的电性连接端子连接。这样可以进一步减小整个组件的尺寸。

图25为本申请实施例中电子模组的另一种结构示意图，其中，电子模组可以为摄像模组。如图25所示，该电子模组30可以应用在具有拍摄功能的电子设备上，例如手机、平板电脑、数码相机、医疗设备等，以实现图像传感器的光学图像防抖功能。

请继续参考图25，电子模组30为摄像模组时，包括壳体、镜片组31、滤光片32、图像传感器33以及上述任一实施例的致动器组件20，其中，图像传感器33安装于致动器组20件的承载台22，可以实现多方向长行程运动。壳体可以包括容纳图像传感器33和致动器组件20的第一壳体34，以及容纳镜片组31和滤光片32的第二壳体35，其中，滤光片32位于镜片组31与图像传感器33之间。

在应用中，被拍摄物体的成像光束经过镜头组件后在电子模组30的图像传感器33上成像。其中，图像传感器33与致动器组件20通过上述实施例中的组装方法进行组装。由此可以实现图像传感器33在平面内的多方向(x、y轴移动以及roll轴)长行程运动以及图像传感器33与外界的电学连接。在该摄像模组应用于具有摄像功能的电子设备时，图像传感器33和致动器组件20分别与电子设备的处理器电连接。当电子设备感测到拍摄时的抖动时，处理器产生电压控制信号，控制致动器10运动，从而控制图像传感器33沿抖动反方向运动，以达到补偿抖动的作用。

图像传感器33和致动器组件20分别与上述处理器电连接。例如，图像传感器33和致动器组件20可以通过导线分别与处理器电连接，或者，图像传感器33和致动器组件20可以通过电路板26分别与处理器电连接。处理器与图像传感器33电连接，以实现处理器可以接收图像传感器33发送的图像信号，并对图像信号进行处理，执行电子设备的图像采集功能。

上述处理器还可以用于解析电子设备的抖动情况，然后基于电子设备的抖动情况，控制致动器组件20带动图像传感器33进行运动。例如，电子设备中可以包括用于检测抖动信息的惯性传感器。例如在用户手持电子设备进行拍摄的期间发生抖动时，惯性传感器可以检测到电子设备的抖动信息(可以包括抖动位移和抖动角度)，并可以将检测到的抖动信息发送给处理器。处理器可以基于电子设备的抖动信息，分别确定在x轴上、y轴上和roll轴上的补偿量，并基于在x轴上和y轴上的补偿量，控制每个致动器10的通电量/电压值，以使致动器组件20驱动承载台22进行运动，进而，承载台22带动图像传感器33进行运动，以提高图像传感器33的成像稳定性。

图26为本申请实施例中电子设备的一种结构示意图。如图26所示，电子设备40包括电源401以及上述任一实施例中的电子模组30，固定梳齿部件121和活动梳齿部件122分别与电源401电连接。电源401向固定梳齿部件121和活动梳齿部件122通电后，固定梳齿部件121和活动梳齿部件122带有异种电荷，使活动梳齿部件122在静电引力的作用下沿第一方向M运动。在该过程中，保持部件133保持固定梳齿部件121的梳齿与活动梳齿部件122的梳齿之间具有间隙而因此不接触，以防止第一挠曲件131和第二挠曲件132沿第一方向M相错运动而使活动梳齿部件122发生侧向偏转、导致活动梳齿部件122的梳齿与固定梳齿部件121的梳齿发生贴合的情况，从而使活动梳齿部件122沿第一方向M可以运动较长的距离，增大了致动器10的行程，以实现电子设备40较佳的防抖功能。

上述电子设备40还包括处理器402，该处理器402可以是电子设备40的中央处理器，或者也可以是设置在电子模组30内部或外部、负责与防抖功能相关的计算和控制的独立的中央处理器，本申请实施例对处理器402的类型不做具体限定。

在本申请的实施例中，电子设备40可以是具有拍摄功能的设备，例如手机、平板电脑、数码相机、医疗设备等，以实现图像传感器的光学图像防抖功能；或者也可以是需要防抖功能的设备，例如对准装置等；或者，也可以为其它需要调整电子器件的位置的电子设备，本申请不做限制。

以上实施例中所使用的术语只是为了描述特定实施例的目的，而并非旨在作为对本申请的限制。如在本申请的说明书和所附权利要求书中所使用的那样，单数表达形式“一个”、“一种”、“所述”、“上述”、“该”和“这一”旨在也包括例如“一个或多个”这种表达形式，除非其上下文中明确地有相反指示。

在本说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在另一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。

以上，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (15)

1.一种致动器，其特征在于，包括基板以及设置于所述基板的驱动器和挠曲件组，其中：

所述驱动器包括固定梳齿部件和活动梳齿部件，所述固定梳齿部件固定于所述基板，所述活动梳齿部件悬空于所述基板，所述固定梳齿部件的梳齿与所述活动梳齿部件的梳齿平行且交错相对，所述活动梳齿部件能够沿朝向所述固定梳齿部件的第一方向运动；

所述挠曲件组包括凸起以及沿第二方向依次连接的第一挠曲件、保持部件和第二挠曲件，所述第二方向垂直于所述第一方向；所述第一挠曲件和所述第二挠曲件通过所述凸起固定于所述基板，所述第一挠曲件与所述基板之间、所述第二挠曲件与所述基板之间分别具有缝隙，所述第一挠曲件和所述第二挠曲件分别与所述活动梳齿部件固定连接；

所述活动梳齿部件沿所述第一方向运动时，所述第一挠曲件和所述第二挠曲件沿所述第一方向形变，所述保持部件保持所述固定梳齿部件的梳齿与所述活动梳齿部件的梳齿之间具有间隙。

2.如权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述保持部件包括刚性连接的第一弹性件和第二弹性件，所述第一弹性件与所述第一挠曲件连接，所述第二弹性件与所述第二挠曲件连接；

所述活动梳齿部件沿所述第一方向运动时，所述第一弹性件和所述第二弹性件沿所述第二方向形变，并且所述第一弹性件和所述第二弹性件阻止所述第一挠曲件与所述第二挠曲件沿所述第一方向相错。

3.如权利要求2所述的致动器，其特征在于，所述保持部件还包括刚性连接件，所述第一弹性件和所述第二弹性件分别与所述刚性连接件固定连接。

4.如权利要求3所述的致动器，其特征在于，所述第一弹性件包括两个第一弹簧片，所述第二弹性件包括两个第二弹簧片，所述两个第一弹簧片和所述两个第二弹簧片分别与所述刚性连接件固定连接，所述第一弹簧片和所述第二弹簧片所在的平面垂直于所述基板。

5.如权利要求3或4所述的致动器，其特征在于，所述刚性连接件沿平行于所述基板的截面形状为工字形或I形。

6.如权利要求1至4中任一项所述的致动器，其特征在于，所述保持部件沿平行于所述基板的截面形状为H形。

7.如权利要求1至6中任一项所述的致动器，其特征在于，还包括活动框架，所述活动梳齿部件和所述挠曲件组分别与所述活动框架连接，并且所述活动框架悬空于所述基板，所述固定梳齿部件、所述活动梳齿部件和所述挠曲件组设置于所述活动框架内。

8.如权利要求1至7中任一项所述的致动器，其特征在于，所述挠曲件组包括两个挠曲件组，所述两个挠曲件组沿所述第一方向对称设置于所述驱动器两侧。

9.如权利要求1至8中任一项所述的致动器，其特征在于，所述基板为电路板，所述固定梳齿部件和所述活动梳齿部件分别与所述基板电连接。

10.一种致动器组件，其特征在于，包括承载台以及至少一个如权利要求1至9中任一项所述的致动器，所述承载台与每个致动器的活动梳齿部件连接。

11.如权利要求10所述的致动器组件，其特征在于，还包括悬空于所述基板的悬臂连接件，所述悬臂连接件连接所述承载台和所述活动梳齿部件。

12.一种电子模组，其特征在于，包括电子器件以及如权利要求10或11所述的致动器组件，所述电子器件设置于所述承载台。

13.如权利要求12所述的电子模组，其特征在于，所述电子模组为摄像模组，所述电子器件为图像传感器或镜片组。

14.如权利要求12或13所述的电子模组，其特征在于，还包括固定于所述承载台的连接柱，所述电子器件与所述连接柱固定连接。

15.一种电子设备，其特征在于，包括电源以及如权利要求12至14中任一项所述的电子模组，所述固定梳齿部件和所述活动梳齿部件分别与所述电源电连接。

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