JPWO2019004359A1 - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2017年6月29日に日本に出願された特願2017−127092号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
一般的なスパッタリング装置では、チャンバ内にスパッタリング用のカソードが設けられ、減圧したチャンバ内において、カソードに取り付けられたターゲットと所定の間隔を空けて対向するように被処理体(基板)が配置される。
そして、ターゲットから飛び出す粒子を被処理体に付着させることにより、成膜処理が行われる。
1.成膜量が増大した場合でも、パーティクル発生を低減可能とすること。
2.成膜処理における基板アライメントの正確性を維持可能とすること。
本発明の一態様に係る成膜装置においては、前記保持装置において、前記位置設定部が、互いに反対の位置にある前記被処理基板の縁部のそれぞれに当接する位置に設けられてもよい。
本発明の一態様に係る成膜装置においては、前記防着板と前記保持部とが前記被処理基板を挟持して保持する際に、前記防着板と前記保持部とを互いに離間および近接させる駆動装置が、前記チャンバの外側に設けられてもよい。
本発明の一態様に係る成膜装置においては、前記ローラが前記防着板に設けられてもよい。
本発明の一態様に係る成膜装置においては、前記ローラが前記保持部に設けられてもよい。
本発明の一態様に係る成膜装置においては、前記保持装置が前記被処理基板の周縁端面部に当接する支持部材を有してもよい。
本発明の一態様に係る成膜装置においては、前記支持部材が前記防着板に設けられてもよい。
本発明の一態様に係る成膜装置においては、前記支持部材が、前記被処理基板の少なくとも周縁端面部に接する基板支持部を有し、前記基板支持部が、前記被処理基板の表面に沿った方向で前記周縁端面部の法線方向に移動可能とされるとともに、前記被処理基板の中心に向けて付勢してもよい。
図1は、本実施形態に係る成膜装置を示す模式平面図である。図2は、本実施形態に係る成膜装置のロード・アンロード室を示す模式側面図である。図3は、本実施形態に係る成膜装置の成膜室を示す模式側面図である。図4は、本実施形態に係る成膜装置の保持装置を示す斜視図である。図において、符号1は、成膜装置である。
ロード・アンロード室2には、また、このロード・アンロード室2内を粗真空引きするロータリーポンプ等の粗引き排気装置2b(低真空排気装置)が設けられる。
搬送装置3aは、回転軸と、この回転軸に取り付けられたロボットアームと、ロボットアームの一端に形成されたロボットハンドと、ロボットハンドを上下動させる上下動装置とを有している。ロボットアームは、互いに屈曲可能な第一、第二の能動アームと、第一、第二の従動アームとから構成されている。搬送装置3aは、被搬送物であるガラス基板11を、チャンバ2、4の各々と、搬送室3との間で移動させることができる。
保持装置10は、図3〜図5に示すように、ガラス基板11の裏面11Lを保持する保持部13と、ガラス基板11の縁部11Eおよび保持装置10における成膜材料が付着する領域Rを覆う防着板15と、防着板15と保持部13とがガラス基板11を挟持して保持する際にガラス基板11の位置を設定するローラ16(位置設定部)と、ガラス基板11の周縁端面部11bに当接してガラス基板11を支持する基板ガイド100(支持部材)と、を備える。
支持凸部19は、後述するローラ16と同様に、スパッタ等の処理に対して耐熱性および耐真空性を有するとともに、ガラス基板11を支持可能な強度を有する樹脂で形成されている。このような樹脂としては、例えば、べスペル(デュポン社製、登録商標)等のポリイミド樹脂が挙げられる。
ベース110および基板支持部120は、スパッタ等の処理に対して耐熱性および耐真空性を有するとともに、ガラス基板11を支持可能な強度を有する樹脂で形成されている。このような樹脂としては、例えば、べスペル(デュポン社製、登録商標)等のポリイミド樹脂が挙げられる。
基板支持部120は、支持平面部121がベース110の中央からガラス基板11の周縁端面部11bの法線方向に突出するようにベース110に収納される。基板支持部120の支持平面部121は、保持装置10に保持されたガラス基板11の周縁端面部11bと略平行に接触する。基板支持部120は、ガラス基板11の表面11a及び裏面11Lに沿った面内方向、すなわち、周縁端面部11bの法線方向に移動可能としてベース110に取り付けられている。
ベース110の内部空間111は、開口111a、111bを有する。開口111aは、防着板15の裏面側15Lに取り付けられる背面110aにおいて開口している。開口111bは、防着板15の開口部15aの内側に開口している。ベース110の背面110aには、背面110aの延在方向に沿って延長するように形成された板状の当接部112が立設されている。
ベース110の内部空間111には、図6の左右方向に伸縮軸線を有するコイルバネ140が収納される。ベース110は、当接部112をのぞき、基板支持部120の支持平面部121より載置されたガラス基板11から離間した輪郭形状を有する。
収納部122の移動位置規制摺動面と移動位置規制摺動面116とが摺動することで、基板支持部120のベース110に対する移動方向が図6の左右方向に規制可能とされている。
この基板支持部120の移動により、基板支持部120に印加された荷重に起因するガラス基板11の周縁端面部11bに対する反力、および、ガラス基板11の周縁端面部11bへの衝撃を緩和することができる。
なお、支持凸部19は、基板ガイド100の設けられていない位置となる保持部13にも配置されることができる。特に、ローラ16の両サイドとなる位置に支持凸部19を配置することが好ましい。
この状態で、成膜室4に到達したガラス基板11が、搬送装置3a(搬送ロボット)によって保持装置10の保持部13上に載置される。
このとき、保持部13の面上におけるガラス基板11のX方向及びY方向における位置(面内位置)は、位置決め部材2aおよび搬送装置3a(搬送ロボット)の移動によって規定された状態として設定される。しかしながら、この状態では、X方向及びY方向の位置において数ミリ程度のずれが生じている可能性がある。
このとき、ガラス基板11の移動にともなって、ガラス基板11の周縁端面部11bが、近接するローラ16に当接する。ガラス基板11の周縁端面部11bが当接したローラ16は、移動するガラス基板11の動きによって回転し、ガラス基板11のX方向及びY方向における位置をアライメントする。
同時に、互いに直交する直線部13X、13Yに設けられたローラ16によって、X方向及びY方向におけるガラス基板11の位置を正確に規定することができる。
このとき、ガラス基板11の周縁端面部11bが、近接する基板ガイド100の基板支持部120に設けられた傾斜面123aおよび支持平面部121に当接する。支持平面部121に周縁端面部11bが当接したガラス基板11は、防着板15に対して、成膜処理中に必要な位置に保持される。
傾斜面123aは、支持平面部121から開口部15aが拡大する方向に向けて傾斜するように形成されている。このため、図6に矢印Dで示すように、傾斜面123aに当接した周縁端面部11bは、支持平面部121へ向けてガイドされて、ガラス基板11の最終位置設定が行われる。
防着板15の移動が停止することにより、図5に示すように、当接部112と支持凸部19とでガラス基板11の表面11a及び裏面11Lが挟持される。この状態で、ガラス基板11が成膜処理位置に配置され、保持装置10に保持され、アライメントが終了する。
これに対し、成膜装置1においては、クランプKを備えた構造に起因するパーティクル発生の不具合をほぼなくすことが可能となる。
図7において、このクランプKは、基板Wの外周部分を挟持して載置部52上に基板Wを保持する部材である。
これに対し、本実施形態に係る保持装置10では、搬送装置3a(搬送ロボット)によって処理後の防着板15を取り出すことが可能となり、処理室4を大気解放する必要がない。
図8は、本実施形態に係る成膜装置の保持装置を示す斜視図であり、第2実施形態は、ローラ配置に関する点で、上述した第1実施形態と異なる。図8において、第1実施形態と同一部材には同一符号を付して、その説明は省略または簡略化する。
なお、この場合、ローラ16と基板ガイド100との配置および設置数も第1実施形態と同様にすることができる。
Claims (8)
- 被処理基板に成膜する成膜装置であって、
真空排気可能なチャンバ内に配置され、成膜材料を供給する供給装置と、
成膜時に前記被処理基板を保持する保持装置と、
を備え、
前記保持装置は、
前記保持装置における前記成膜材料が付着する領域を覆う防着板と、
前記被処理基板を保持する保持部と、
前記防着板と前記保持部とが前記被処理基板を挟持して保持する際に前記被処理基板の位置を設定する位置設定部と、を有し、
前記位置設定部が前記被処理基板の周縁端面部に当接するローラを有する、
成膜装置。 - 前記保持装置において、前記位置設定部が、互いに反対の位置にある前記被処理基板の縁部のそれぞれに当接する位置に設けられる、
請求項1に記載の成膜装置。 - 前記防着板と前記保持部とが前記被処理基板を挟持して保持する際に、前記防着板と前記保持部とを互いに離間および近接させる駆動装置が、前記チャンバの外側に設けられる、
請求項1または請求項2に記載の成膜装置。 - 前記ローラが前記防着板に設けられる、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の成膜装置。 - 前記ローラが前記保持部に設けられる、
請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の成膜装置。 - 前記保持装置が前記被処理基板の周縁端面部に当接する支持部材を有する、
請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の成膜装置。 - 前記支持部材が前記防着板に設けられる、
請求項6に記載の成膜装置。 - 前記支持部材が、前記被処理基板の少なくとも周縁端面部に接する基板支持部を有し、前記基板支持部が、前記被処理基板の表面に沿った方向で前記周縁端面部の法線方向に移動可能とされるとともに、前記被処理基板の中心に向けて付勢する、
請求項6または請求項7に記載の成膜装置。
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