JPH04348515A - ウェーハ保持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板であるウェ
ーハに不純物を注入するイオン注入装置におけるウェー
ハを保持するウェーハ保持機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】図２は従来の一例を示すウェーハ保持機
構の断面図である。従来、この種のイオン注入装置にお
けるウェーハ保持機構は、例えば、図２に示すように、
回転するとともに内部に冷却水用経路３が形成された円
形状の本体２と、この本体２に載置されるとともにウェ
ーハ１を搭載する載置台５と、この載置台５と本体２と
を貫通する穴内を上下摺動してウェーハ１を突き上げる
エジェクタピン１３と、本体２の穴を摺動し、先端に引
掛け部をもち、ウェーハ１を押さえるフック７と、この
フック７に押圧力を与えるコイルスプリング８とを有し
ていた。

【０００３】このウェーハ保持機構の動作は、まず、フ
ック７を押し上げ、フック７の引掛け部と載置台５の間
を拡げ、この間にウェーハ１を挿入してウェーハ１を載
置台５に乗せる。次に、フック７の上昇機構を下し、コ
イルスプリング８の反揆力でウェーハ１を載置台５に押
しつけ保持する。次に、イオンをウェーハに照射すると
と同時に本体２を回転させる。そして本体２に取付けら
れた多数のウェーハにイオンを注入する。注入后、チャ
ンバを大気に戻し、フック７を上昇させると同時にエジ
ェクタピン１３を突き上げウェーハ１を載置台５より上
に上げる。次に、フォークにてウェーハ１を取外す。

【０００４】このように本体２に載置台５を取付け、複
数のウェーハ１を載置台５に乗せフック７で押さえ保持
してから本体２を回転させ、多数のウェーハにイオンを
走査することによりイオン注入を行っていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】この従来のイオン注入
装置では、本体の高速回転による遠心力がウェーハを外
周方向に押し出す力として作用し、ウェーハ裏面と載置
台との密着する力を弱め、ウェーハへの熱伝達効率が下
がり、イオン注入によるウェーハの温度が上昇するとい
った問題がある。この問題は所要の不純物注入不良をも
たらし、歩留りを低下させていた。

【０００６】本発明の目的は、かかる問題を解消すべて
、密着力をより確保し、ウェーハの温度上昇を抑制する
ウェーハ保持機構を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のウェーハ保持機
構は、ウェーハを載置する載置台と、このウェーハを載
置台と恊動して挾み保持するフックと、このフックと載
置台の複数対を円周上に配置する回転円板とを有するウ
ェーハ保持機構において、前記円板の回転に伴う遠心力
により移動する板カムと、この板カムで従動することに
よって前記載置台を前記フック側に移動させるアームと
を備えている。

【０００８】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。

【０００９】図１は本発明の一実施例を示すウェーハ保
持機構の断面図である。このウェーハ保持機構は、図１
に示すように、載置台５ａの下部に取付けられるアーム
９と、このアーム９をローラ１１を介して上下動させる
板カム１４と、板カム１４を移動させる移動軸１０の一
端に取付けられるおもり１２と、アーム９に反揆力を与
えるスプリング６と、板カム１４に遠心力に抗する力を
与えるスプリング１４ａと、載置台５ａの経水路と本体
２ａの冷却水用経路３とを接続するベローズ４とを設け
たことである。すなわち、回転により発生する遠心力を
利用してウェーハを自己保持する機構を設けたことであ
る。次に、このウェーハ保持機構の動作を説明する。ま
ず、フック７を押し上げ、フック７の引掛け部と載置台
５ａとの間にウェーハ１を挿入し、ウェーハ１を載置台
５ａのに乗せる。次に、フック７のディスク２停止時に
ウェーハ１と受け台５上昇機構より取外し、コイルスプ
リング８の反揆力で引掛部でウェーハ１を押さえる。次
に、複数枚のウェーハ１を載置する本体２ａを高速回転
する。このことにより回転時に発生する遠心力によって
、おもり１２は本体２ａの外周方向へ移動する。おもり
１２と接続された移動軸１０及び板カム１４も本体２ａ
の外周方向へ移動する。この板カム１４の移動によりロ
ーラ１１は上昇し、本体２ａを垂直方向に押し上げ、ア
ーム９介して載置台５ａをスプリング６を抗して上昇さ
せる。そして押し上げられた載置台５ａのウェーハ１は
フックの引掛部に押し付けられる。

【００１０】このように、回転速度が増加するにつれて
、ウェーハを押さえる力を増大させることによって、よ
り密着力を大きくし、温度伝達率を向上させ、ウェーハ
１のイオン注入による温度上昇を防ぐことが出来る。

【００１１】また、本体２ａの回転停止時には、おもり
１２には遠心力が働かないので、スプリング１４ａの復
元力により、板カム１４は本体２ａの中心方向へ移動し
、同時に載置台５ａ及びウェーハも本体２ａの垂直方向
に下がり、フック７を上昇させることにより、ウェーハ
１を載置台５ａより取外すことが出来る。

【００１２】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、本体の回
転による遠心力により移動する板カムと、この板カムに
接触して載置台を移動させるアームと、載置台の移動に
伴ってウェーハを挾み保持する力を増大させるフック部
とを設けることによって、本体の回転に伴い、ウェーハ
の保持力の増大を図れるので、ウェーハの温度上昇を抑
制するウェーハ保持機構が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すウェーハ保持機構の断
面図である。

【図２】従来の一例を示すウェーハ保持機構の断面図で
ある。

【符号の説明】

１　　　　ウェーハ ２，２ａ　　　　本体 ３　　　　冷却水用経路 ４　　　　ベローズ ５，５ａ　　　　載置台 ６，１４ａ　　　　スプリング ７　　　　フック ８　　　　コイルスプリング ９　　　　アーム １０　　　　移動軸 １１　　　　ローラ １２　　　　おもり １３　　　　エジェクタピン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　ウェーハを載置する載置台と、このウ
   ェーハを載置台と恊動して挾み保持するフックと、この
   フックと載置台の複数対を円周上に配置する回転円板と
   を有するウェーハ保持機構において、前記円板の回転に
   伴う遠心力により移動する板カムと、この板カムで従動
   することによって前記載置台を前記フック側に移動させ
   るアームとを備えることを特徴とするウェーハ保持機構
   。