JPWO2018159748A1

JPWO2018159748A1 - Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法およびＦｅ−Ｎｉ系合金薄板

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Publication number: JPWO2018159748A1
Application number: JP2019503103A
Authority: JP
Inventors: 章博大森; 信隆安田
Original assignee: Hitachi Metals Ltd
Current assignee: Proterial Ltd
Priority date: 2017-03-01
Filing date: 2018-03-01
Publication date: 2019-12-26
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Abstract

少ないトリミング量で良好な平坦度を得ることができるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびその製造方法を提供する。Ｆｅ−Ｎｉ系合金熱間圧延材を用いた冷間圧延用素材に冷間圧延を施して厚さ０．４ｍｍ以下の中間冷延素材を作製する中間冷間圧延工程と、前記中間冷延素材を冷間圧延して厚さ０．２ｍｍ以下の薄板とする仕上冷間圧延工程と、前記薄板に形状矯正を行う形状矯正工程とを含み、前記仕上冷間圧延工程では、中間ロールシフト機構を有する多段圧延機を用い、中間ロール端部と中間冷延素材端部との間の平行距離である中間ロールシフト量を０〜＋９ｍｍに調整して冷間圧延が行われ、前記形状矯正工程では、伸び率０．３〜０．７の形状矯正が行われることを特徴とする、Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法。

Description

本発明は、例えば、リードフレームやメタルマスク等に使用されるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板及びその製造方法に関するものである。

リードフレームやメタルマスク等に使用されるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板は、性能向上のために従来より様々な検討がなされている。このＦｅ−Ｎｉ系合金薄板は様々な要求に対応するために薄型化が進んでいるが、それに伴う形状不良の発生増加が懸念されている。この形状不良として代表的なものに、薄板の圧延直角方向（以下、幅方向とも記載する。）両端部に形成される耳波が知られている。耳波とは薄板の幅方向両端部に発生する波形状であり、薄板端部の圧延方向長さが薄板中央部の圧延方向長さよりも長い場合に形成される。過大な耳波は薄板の巻取り時に板の曲がりや蛇行等の不具合を発生させたり、薄板にフィルムを接着する場合に薄板とフィルム等との密着性を低下させる原因となる。

このような耳波を低減させるために、従来より様々な検討が行われている。耳波を抑制する技術としては、中間ロールシフト機能を有した多段圧延機が一般的に知られている。特許文献１には、中間ロールシフト機能により中間ロールの端部を、金属帯の側端部付近あるいは側端部よりも内側に変位させることで、金属帯の側端部付近のワークロールの押圧力を減少させ、耳波を抑制する方法について記載されている。

特許文献２には、微視的には規則的な凹凸を有し、その凹凸によって構成される巨視的なパターンがロールの軸方向に異なることを特徴とする圧延用ワークロールを用いて、ロールクロス圧延により耳波の発生を抑制する冷間圧延方法について記載されている。

特開平８−０１０８１６号公報特開平７−２５６３１３号公報

平坦な薄板を得るためには、上述した薄板の両端部に発生する耳波の幅方向長さを抑えることが重要である。この耳波の幅方向長さが大きいと、ある程度平坦な薄板を得るために、薄板の両端部を大きく切断（トリミング）する必要があり、歩留り低下を招く。特許文献１の発明は耳波を抑制する方法としては有用ではあるが、側端部のロール押圧力を減少させたことにより、薄板の幅方向中央部のロール押圧力が上昇するため、中伸び（薄板の幅方向中央部に形成される波形状）といった別の形状不良が発生する可能性が高い。また特許文献２の発明も、両端部における耳波の急峻度を小さくすることができる発明であるが、材質や形状不良の形態によって公差角やロールの種類を変更する必要が生じるため、生産性が低下する傾向にある。また、耳波の幅方向長さを小さくすることに関しては、記載されていない。
本発明の目的は、耳波の形成範囲を制御することで、少ないトリミング量で良好な平坦度を得ることができるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびその製造方法を提供することである。

本発明の一態様は、Ｆｅ−Ｎｉ系合金熱間圧延材を用いた冷間圧延用素材に冷間圧延を施して厚さ０．４ｍｍ以下の中間冷延素材を作製する中間冷間圧延工程と、
前記中間冷延素材を冷間圧延して厚さ０．２ｍｍ以下の薄板とする仕上冷間圧延工程と、
前記薄板に形状矯正を行う形状矯正工程とを含み、
前記仕上冷間圧延工程では、中間ロールシフト機構を有する多段圧延機を用い、中間ロール端部と中間冷延素材端部との間の平行距離である中間ロールシフト量を０〜＋９ｍｍに調整して冷間圧延が行われ、
前記形状矯正工程では、伸び率０．３〜０．７の形状矯正が行われることを特徴とする、Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法である。
好ましくは、仕上冷間圧延工程での冷間圧延率は、１５〜５０％である。
好ましくは、前記薄板の板幅が５００〜１２００ｍｍである。

本発明の他の一態様は、厚さが０．２ｍｍ以下のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板において、
前記薄板の圧延直角方向両端部には、前記圧延直角方向の最大長さが前記薄板幅の１０％以内である耳波を有し、
前記耳波が、前記薄板の圧延方向長さ８００ｍｍあたりで、薄板の圧延直角方向両端部にそれぞれ１０個以上形成されているＦｅ−Ｎｉ系合金薄板である。
好ましくは、薄板幅の１０％を超える最大幅を有する耳波が、薄板の圧延直角方向両端部に８００ｍｍあたりそれぞれ３個以下である。
好ましくは、前記薄板の板幅が５００〜１２００ｍｍである。

本発明によれば、薄板の両端に微小な耳波を意図的に形成させることで、過大な耳波や中伸び等の発生を抑制することができる。これにより、少ないトリミング量で良好な平坦度を有するＦｅ−Ｎｉ系合金薄板を得ることが出来る。

本発明のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板の形状を説明するための模式図である。（ａ）は上面図、（ｂ）は端部近辺の斜視図である。比較例のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板の形状を説明するための上面模式図である。本実施形態で使用した仕上圧延機の概略図である。本発明例１と比較例１１の薄板の急峻度を表したグラフである。本発明例２と比較例１２，１３の薄板の急峻度を表したグラフである。

まず本発明のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法について一実施形態を説明する。
＜熱間圧延材組成＞
本実施形態では、例えば、質量％でＮｉ＋Ｃｏ：３５．０〜４３．０％（但し、Ｃｏは０〜６．０％）、Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下、残部はＦｅ及び不純物からなる組成を有する熱間圧延材に適用することができる。上記の組成を有することで、低熱膨張性を有するＦｅ−Ｎｉ系合金薄板を得ることができる。
[Ｎｉ＋Ｃｏ：３５．０〜４３．０％（但し、Ｃｏは０〜６．０％）]
Ｎｉ及びＣｏは、低熱膨張性を得るために３５．０〜４３．０％の範囲に調整することが好ましい。なお、Ｃｏは必ずしも添加の必要はないが、ＣｏにはＦｅ−Ｎｉ系合金を高強度とする作用があるため、特に厳しいハンドリング性を求められるような、薄い板厚では６．０％までの範囲で、Ｎｉの一部をＣｏで置換することができる。

[Ｓｉ：０．５％以下、Ｍｎ：１．０％以下]
Ｓｉ、Ｍｎは通常Ｆｅ−Ｎｉ系合金では、脱酸を目的に微量含有されているが、過剰に含有すれば偏析を起こし易くなるため、Ｓｉは０．５％以下とし、Ｍｎは１．０％以下とすることが好ましい。なお、ＳｉとＭｎの下限は特に限定しないが、前述のように脱酸元素として添加されることから、Ｓｉは０．０５％、Ｍｎは０．０５％は少なからず残留する。
[残部はＦｅ及び不純物]
上記の元素以外は実質的にＦｅであれば良いが、製造上不可避的な不純物は含まれる。特に制限の必要な不純物元素にはＣがあり、例えば、エッチングを行う用途に使用するのであれば、その上限を０．０５％とすると良い。
また、プレス打抜き性を向上させる場合はＳ等の快削性元素を０．０２０％以下で含有させても良い。熱間加工性を向上させるようなＢ等の元素を０．００５０％以下で含有させても良い。

＜冷間圧延用素材＞
本発明では、前述の熱間圧延材を用いて冷間圧延用素材とすることができる。熱間圧延材には酸化層が形成されていることから、その酸化層を、例えば、機械的、或いは化学的に除去することがよい。また、冷間圧延中の冷間圧延材のエッジから割れ等の不良が発生しないように、エッジをトリミングしてもよい。このような加工を行って冷間圧延用素材とすることができる。

次に、冷間圧延工程について、詳しく説明する。
＜中間冷間圧延＞
本実施形態における中間冷間圧延工程では、冷間圧延用素材に冷間圧延を施して厚さ０．４ｍｍ以下の中間冷延素材を作製する。この中間冷延素材の厚さが０．４ｍｍを超える場合、後述する仕上冷間圧延の圧下率が高くなりすぎ、仕上冷間圧延後の薄板に過大な耳波や中伸びが多く発生する傾向にある。この中間冷間圧延工程では、冷間圧延を１回以上行うことができ、圧下率も目的に合わせて適宜設定することができる。より低コストかつ機械特性を向上させるためには、圧下率を８５％以上として１回のみ冷間圧延を行う中間冷間圧延工程とすることが好ましい。圧下率の上限は特に定めないが、圧下率が９９％を超えると過大な圧延時間によるコストの増大を招く可能性があるため、９９％に上限を設定することができる。なお圧下率を８５％以上に設定する場合は、上述した熱間圧延材の厚さを２ｍｍ以上とすることが好ましい。また熱間圧延材が厚すぎると冷間圧延工程中のパス回数が増えたり、圧延中のＦｅ−Ｎｉ系合金の形状の調整が困難になる可能性があるため、用いる熱間圧延材の厚さの上限を５ｍｍとすることが好ましい。

＜軟化焼鈍＞
本実施形態では、前述した中間冷間圧延で加工硬化した中間冷延素材の歪を除去して軟化させるために、軟化焼鈍を行ってもよい。これにより、後述する仕上冷間圧延において所望の板厚に調整し易くなる傾向にある。中間冷間圧延工程にて複数回の冷間圧延を行う場合は、その冷間圧延の間に軟化焼鈍を行ってもよい。本実施形態では、薄板の結晶粒の形状を整えるために８００℃以上の温度で軟化焼鈍を行うことが好ましい。また温度が高すぎると所望の特性が得られなくなる可能性があるため、上限を１１００℃に設定することが好ましい。なおこの軟化焼鈍は、所望の温度に設定された加熱炉に中間冷延素材を連続的に通して行うことができる。例えば、中間冷延素材がロール状に巻かれた状態から引き出し、加熱炉に通板させ、コイル状に巻き取る方法で行うことができる。

＜仕上冷間圧延＞
本実施形態の製造方法では、前述した中間冷間圧延工程の後、または前述した軟化焼鈍の後の中間冷延素材に仕上冷間圧延を施す。この仕上冷間圧延工程の際に使用する圧延機には、図３に示すような中間ロールシフト機構を有する多段圧延機を用い、中間ロールシフト量が０〜＋９ｍｍとなるように調整する。このように調整することで、薄板の端部に荷重を集中させ、最大幅方向長さが前記薄板幅の１０％以下である耳波（以下、微小耳波とも記載する。）を薄板端部に意図的に集中して形成させることが可能である。この中間ロールシフト量が０ｍｍ未満（負値）の場合、薄板に形成される耳波の幅方向長さが過大となったり、幅方向中央部に波形状（中伸び）が発生する傾向にあるため、好ましくない。中間ロールシフト量が＋９ｍｍを超える場合、薄板の端部にかかる荷重が大きくなりすぎるため、極端な端部板厚の減少や、端部割れの原因となる傾向にある。より好ましい中間ロールシフト量の上限は、＋６ｍｍである。なお本実施形態での中間ロールシフト量とは、図３に示すように中間ロールの端部（テーパー端部）Ｑ１、Ｑ２と中間冷延素材の端部Ｐ１、Ｐ２との距離Ｄ１、Ｄ２を示す。中間ロールシフト量が「＋」の場合、中間ロールのテーパ端部Ｑ１、Ｑ２が薄板の端部Ｐ１、Ｐ２よりもロール軸方向外側に位置していることを示し、中間ロールシフト量が「−」の場合、中間ロールのテーパ端部Ｑ１、Ｑ２が薄板の端部Ｐ１、Ｐ２よりもロール軸方向内側に位置している（Ｑ１がＰ１よりも図３における左方向に位置している、またはＱ２がＰ２よりも図３における右方向に位置している）ことを示す。

本実施形態の製造方法は、仕上冷間圧延時の圧延前方張力を２０〜４０ｋｇｆ／ｍｍ^２、圧延荷重を８０〜１２０ｔｏｎに調整することが好ましい。これにより、前述した微小耳波をより形成させやすくなる傾向にある。圧延前方張力および圧延荷重が上記の値の範囲外になった場合、過大な耳波等の形状不良が発生しやすくなるため、好ましくない。また、仕上冷間圧延時の圧下率は、５０％以下と設定することができる。５０％を超えると薄板の幅方向中央部にも大きな荷重がかかりやすくなるため、中伸び不良が発生しやすくなる傾向にある。好ましい圧下率の上限は、４５％であり、さらに好ましくは４０％である。なお圧下率の下限は特に限定しないが、圧下率が小さすぎると所望の微小耳波が形成できない可能性があるため、１５％と設定することができる。好ましい圧下率の下限は、２０％である。なお仕上冷間圧延は、薄板表面疵を抑制しつつ低コストで圧延するために、１パスで圧延することが好ましい。

本実施形態の圧延形態を最適に発揮するためには、仕上冷間圧延後の厚さは０．２ｍｍ以下とする。好ましくは、０．１５ｍｍ以下である。なお下限は特に限定しないが、材料が薄すぎると形状変化が生じやすくなる傾向にあるため、０．０２ｍｍと設定することができる。本発明のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板は、広幅な薄板に適用することが好ましく、具体的には板幅が５００〜１２００ｍｍであることが好ましい。より好ましい板幅の下限は６００ｍｍであり、さらに好ましい板幅の下限は７００ｍｍである。また好ましい板幅の上限は１１００ｍｍであり、さらに好ましくは１０００ｍｍである。

＜形状矯正工程＞
本実施形態の製造方法では、仕上冷間圧延を終えた薄板に形状矯正を行う。これにより薄板に残存している耳波や中伸びを矯正し、平坦度を大幅に向上させることが可能となる。この形状矯正に用いる装置は、ローラレベラーやテンションレベラー等、従来から用いられている形状矯正装置を使用することができる（本実施形態ではテンションレベラーを使用する）。ここで形状矯正は、伸び率を０．３〜０．７に設定する。伸び率が０．７を超える場合、新たな中伸びや耳波は薄板に発生する可能性があるため、好ましくない。また伸び率が０．３未満となる場合、波形状を矯正しきれない可能性があるため、好ましくない。好ましい伸び率の下限は０．４であり、好ましい伸び率の上限は０．６である。本実施形態の製造方法で得られたＦｅ−Ｎｉ系薄板は、巻取り機によってコイル状に巻きとって薄板コイルとし、次工程に供給することができる。

本実施形態の製造方法で得られた薄板は、過大な耳波や中伸びの発生が抑制され、良好な平坦度を有するため、低コスト化のためにトリミングを行わずに使用することも可能である。但し、より平坦度を向上させたい場合は、形状矯正を終えた薄板の幅方向両端部をトリミングすることが好ましい。本実施形態の製造方法で得られる薄板は、従来よりも少ないトリミングで微小耳波の大部分を除去できるため、非常に平坦度が高い（急峻度が低い）薄板を得ることが可能である。例えば本実施形態では形状矯正後の薄板両端部を、薄板幅の１〜９％トリミングすることで、トリミング量を抑えて歩留まりの低下を抑制しつつ、最大急峻度が０．５％以下である平坦度が高い薄板を得ることが可能である。より好ましいトリミング量の下限は、４％である。なお、平坦度の向上を重視する場合は、薄板両端部を薄板幅の１０〜２０％（より好ましくは１０〜１６％）トリミングする。これにより、得られる薄板の最大急峻度を０．３％以下にすることが可能となる。

続いて本発明のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板の一実施形態について説明する。図１に本発明の一実施形態の薄板の波形状を示す。図２に比較例の本発明の薄板の模式図を示す（圧延方向長さＬは８００ｍｍを想定）。上述した製造方法によって作製された本発明のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板（トリミングする前）は薄板の圧延直角方向（幅方向）両端部に、最大長さＷｍが薄板幅Ｗの１０％以下である耳波２（微小耳波）が形成されており、前記薄板の圧延方向の８００ｍｍ長さにおける微小耳波が、薄板両端部にそれぞれ１０個以上形成されていることを特徴とする。一般的に圧延率が同じ場合、耳波と中伸びの発生量はトレードオフの関係にある。本実施形態では、幅方向最大長さが短い耳波（微小耳波）を薄板端部の狭い領域に意図的に多数形成させることで、幅方向最大長さが薄板幅の１０％を超える耳波（過大耳波）や、中伸びの発生を抑制することができる。その効果により、薄板両端部に対して大きなトリミングを必要とせずに、良好な平坦性を有する薄板を得ることが可能である。好ましい耳波の幅方向最大長さＷｍは、薄板幅の８％以下である。この微小耳波が形成されなかった場合、過大な耳波や中伸びが形成されやすくなる傾向にある。そのため平坦度の良い薄板を得るために薄板両端部を大きくトリミングして耳波を除去しなければならないため、歩留りの低下に繋がる。なお、微小耳波の幅方向最大長さは小さいほど好ましいが、０％にすることが製造上困難なため、薄板幅の１％を下限と設定してもよい。また本実施形態の微小耳波の最大浮上がり高さは、大きすぎると耳波の幅方向最大長さが大きくなる傾向にあるため、１．０ｍｍ以下であることが好ましい。より好ましい高さは、０．７ｍｍ以下である。浮上がり高さの値も小さいほど好ましいが、０ｍｍは製造上困難ため、０．０１ｍｍと下限を設定してもよい。このような浮上り高さは、試料を水平定盤上に載置し、レーザー変位計（三次元形状測定機）装置等を用いることで測定することができる。

上述したように、本実施形態における微小耳波の個数は、８００ｍｍ長さの薄板において、幅方向両端部にそれぞれ１０個以上形成させることが必要である。微小耳波が１０個未満の場合、耳波の幅方向最大長さが薄板幅の１０％を超えるような過大な耳波が発生しやすくなる。微小耳波が増加するほど過大耳波の形成が抑制され、薄板の平坦度が向上する傾向にあるので、好ましい微小耳波個数の下限は１２個とすることができる。個数の上限は特に設定しないが、製造の容易さを考慮すると、耳波の個数上限は３０個と設定することもできる。一方で薄板幅の１０％を超える過大耳波は、薄板の幅方向両端部にそれぞれ３個以下であることが好ましい。これにより、薄板の平坦度をより向上させることが可能である。ここで本実施形態の耳波個数は、例えば、薄板を８００ｍｍの長さに切断して水平定盤上に載置し、レーザー変位計（三次元形状測定機）装置を用いて計測することができる。その際本実施形態では、図１（ｂ）に示すように、薄板上面に向かって凸形状であり、高さが０．２ｍｍ以上の部分を耳波として、その耳波２ａの個数を計測する（薄板下面に向かって凸形状である耳波２ｂは計測しない。）。この他にも、光学顕微鏡等の既存の測定装置等を用いて、目視で耳波を計測してもよい。なお幅方向最大長さとは図１（ａ）に示すように、薄板の端部から板幅垂直方向の耳波最大長さＷｍを示す。図１（ａ）の点線で示す部分が、薄板両端部における０．２ｍｍ以上の浮き上がりを有する部分であり、その幅方向の長さを耳波最大長さＷｍとしている。

表１の組成を有するＦｅ−Ｎｉ系合金に熱間プレス及び熱間圧延を行って厚さ３．０ｍｍの熱間圧延材を準備した。前述の熱間圧延材を化学研摩、機械研磨にて熱間圧延材表面の酸化層を除去し、トリム加工で素材幅方向の両端部にある熱間圧延時の亀裂を除去して厚さ１．５５ｍｍの冷間圧延用素材を準備した。なお、冷間圧延用素材の幅は８５０ｍｍ、７３０ｍｍの２種類を準備した。次に、前述の冷間圧延用素材を本発明例と比較例に分け、中間冷間圧延、軟化焼鈍、仕上冷間圧延を施してＦｅ−Ｎｉ系合金薄板とした。本発明例および比較例の中間冷間圧延は、前述した冷間圧延用素材を用いて、圧下率８５％、パス数を１０パスとし、厚さ０．１２５ｍｍの中間冷延素材を作製した。その後、本発明例および比較例ともに、温度９００℃、保持時間０．３６分で軟化焼鈍を行い、本発明例と比較例の試料を作成した。本発明例Ｎｏ．１と比較例Ｎｏ．１１の試料が薄板幅８５０ｍｍであり、本発明例Ｎｏ．２と比較例Ｎｏ．１２、Ｎｏ．１３の試料が薄板幅７３０ｍｍである。本発明例Ｎｏ．１は圧延前方張力３５ｋｇｆ／ｍｍ^２、圧延荷重１００〜１１５ｔｏｎ、中間ロールシフト量＋５ｍｍの条件で仕上冷間圧延を行い、本発明例２は圧延前方張力３６ｋｇｆ／ｍｍ^２、圧延荷重８０〜９５ｔｏｎ、中間ロールシフト＋２ｍｍの条件で仕上冷間圧延を行った。比較例Ｎｏ．１１は中間ロールシフト量を＋１０ｍｍに変更し、圧延前方張力と圧延荷重は本発明例１と同じ条件とした。比較例Ｎｏ．１２、Ｎｏ．１３も中間ロールシフト量を＋１０ｍｍに設定し、圧延前方張力と圧延荷重は本発明例２と同じ条件とした。仕上冷間圧延時の圧下率は本発明例、比較例ともに３６％であり、パス数も１パスとし、厚さ０．０８ｍｍの薄板とした。その後、本発明例、比較例ともに、仕上冷間圧延後に伸び率０．６、張力（ユニットテンション）６０ｋｇｆ／ｍｍ^２の条件でテンションレベラーによる形状矯正を行い。仕上げ冷間圧延後に熱処理は行わなかった。形状矯正後の薄板については、長さ方向を圧延方向として、長さ８００ｍｍに切断して、長さ８００ｍｍ、幅８５０ｍｍまたは７３０ｍｍ、厚さ０．０８ｍｍの試験片を作製し、微小耳波（幅方向最大長さが薄板幅の１０％以内）個数、過大耳波（幅方向最大長さが薄板幅の１０％を超える）個数、最大急峻度を測定した。この時の耳波個数は三次元形状測定器で計測し、急峻度も三次元形状測定器を用いて、その試験片を水平定盤に置いた状態の浮上り高さから導出した。その結果を表２に示す。なお表２における最大急峻度（全体）とは、薄板全体における急峻度の最大値であり、最大急峻度（４％除外）と最大急峻度（１０％除外）とは、それぞれ薄板端部から薄板幅の４％の位置までの急峻度を除外した最大急峻度の値と、薄板端部から薄板幅の１０％の位置までの急峻度を除外した最大急峻度の値を示す。

表２（表２において、一端側を端部ａ、他端側を端部ｂとした）に示すように本発明の試料Ｎｏ．１は、幅方向長さが８５ｍｍ（薄板幅の１０％）以下である耳波（微小耳波）が、両端部にそれぞれ１５個程度形成されており、本発明例の試料Ｎｏ．２は幅方向長さが７３ｍｍ（薄板幅の１０％）以下の耳波（微小耳波）が両端部に１１個程度形成されていることを確認した。幅方向最大長さが薄板幅の１０％を超える過大耳波も試料Ｎｏ．１では端部ｂ側で１個確認されたのみであり、試料Ｎｏ．２では両端部に１個ずつ確認されたのみであった。端部における最大急峻度はＮｏ．１が０．３％、Ｎｏ．２が０．６％であり、さらに端部から幅４％までの範囲を除外した急峻度の値はＮｏ．１、Ｎｏ．２ともに０．３％、端部から幅１０％までの範囲を除外した急峻度の値はＮｏ．１、Ｎｏ．２ともに最大急峻度の値が０．１％と非常に良好な値を示した。Ｎｏ．１がＮｏ．２よりも急峻度の値が良かった理由としては、Ｎｏ．１のほうが微小耳波の個数が多いため、微小耳波１個あたりの浮上がり高さが減少しているものと考えられる。対して比較例Ｎｏ．１１〜Ｎｏ．１３は、微小耳波の個数が少なく、過大耳波も本発明例より多く形成されている。そのため、最大急峻度が本発明例よりも悪化した値であることを確認した。図４、図５にも示すように、比較例の最大急峻度を０．１以下にするためには、比較例１１は２００ｍｍ程度、比較例１２は１２０ｍｍ程度、比較例１３は２３０ｍｍ程度両端部をトリミングする必要があることが確認できる。このため比較例の試料は、大幅な歩留りの低下が懸念される。
以上のことから、本発明によれば、厚さが０．２ｍｍ以下の薄いＦｅ−Ｎｉ系合金薄板において、広幅化となっても非常に良好な平坦性を付与することができる。そのため密着性やエッチング性も良く、様々な用途に適用することができる。

続いて、形状矯正におけるテンションレベラーの条件を変更し、その影響を確認した。まず幅が７３０ｍｍの冷間圧延用素材を準備し、仕上冷間圧延まで実施例１の本発明例２と同じ条件で、Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板を作製した。続いて仕上冷間圧延後の試料に、伸び率の条件を変更し、本発明例の試料および比較例の試料を作製した。ここで、本発明例３の試料は伸び率０．５、比較例１４の試料は伸び率０．２、比較例１５の試料は伸び率０．８とした。張力（ユニットテンション）は本発明例、比較例ともに６０ｋｇｆ／ｍｍ^２の条件として形状矯正を行った。なお実施例１と同様、仕上げ冷間圧延後に熱処理は行わなかった。

表３に示すように、伸び率が０．５である本発明例は、微小耳波が多く形成されており過大耳波個数が少ない値を示した。対して比較例１４は微小耳波個数が少なく、急峻度も本発明例より高い値となっていた。一方で比較例１５は、微小耳波個数や急峻度が同程度であるものの、試料の幅方向中央部において凹凸形状が発生しており、本発明より形状的に劣る結果となった。また比較例１５の形状矯正条件は伸び率が高すぎるため、同条件で試料を複数形状矯正した際に、破断する試料があることも確認した。

１薄板
２耳波
２ａ薄板上面に向かって凸の耳波
２ｂ薄板上面に向かって凹の耳波
１１ａ、１１ｂワークロール
１２ａ、１２ｂ中間ロール
１３ａ、１３ｂバックアップロール
Ｄ１、Ｄ２中間ロールシフト量
Ｌ圧延方向長さ
Ｐ１、Ｐ２中間ロール端部（テーパ端部）
Ｑ１、Ｑ２薄板端部
Ｗ薄板幅
Ｗｍ耳波の圧延直角方向最大長さ

Claims

Ｆｅ−Ｎｉ系合金熱間圧延材を用いた冷間圧延用素材に冷間圧延を施して厚さ０．４ｍｍ以下の中間冷延素材を作製する中間冷間圧延工程と、
前記中間冷延素材を冷間圧延して厚さ０．２ｍｍ以下の薄板とする仕上冷間圧延工程と、
前記薄板に形状矯正を行う形状矯正工程とを含み、
前記仕上冷間圧延工程では、中間ロールシフト機構を有する多段圧延機を用い、中間ロール端部と中間冷延素材端部との間の平行距離である中間ロールシフト量を０〜＋９ｍｍに調整して冷間圧延が行われ、
前記形状矯正工程では、伸び率０．３〜０．７の形状矯正が行われることを特徴とする、Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法。
前記仕上冷間圧延工程での冷間圧延率は、１５〜５０％であることを特徴とする、請求項１に記載のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法。
前記薄板の板幅が５００〜１２００ｍｍであることを特徴とする、請求項１または２に記載のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法。
厚さが０．２ｍｍ以下のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板において、
前記薄板の圧延直角方向両端部には、前記圧延直角方向の最大長さが前記薄板幅の１０％以内である耳波を有し、
前記耳波が、前記薄板の圧延方向長さ８００ｍｍあたりで、薄板の圧延直角方向両端部にそれぞれ１０個以上形成されていることを特徴とする、Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板。
前記薄板幅の１０％を超える最大幅を有する耳波が、薄板の圧延直角方向両端部に８００ｍｍあたりそれぞれ３個以下であることを特徴とする、請求項４に記載のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板。
前記薄板の板幅が５００〜１２００ｍｍであることを特徴とする、請求項４または５に記載のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板。