JPWO2018055674A1 - 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム - Google Patents
半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2018055674A1 JPWO2018055674A1 JP2018540517A JP2018540517A JPWO2018055674A1 JP WO2018055674 A1 JPWO2018055674 A1 JP WO2018055674A1 JP 2018540517 A JP2018540517 A JP 2018540517A JP 2018540517 A JP2018540517 A JP 2018540517A JP WO2018055674 A1 JPWO2018055674 A1 JP WO2018055674A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seed layer
- gas
- substrate
- layer
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02299—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment
- H01L21/02304—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer pre-treatment formation of intermediate layers, e.g. buffer layers, layers to improve adhesion, lattice match or diffusion barriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02205—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition
- H01L21/02208—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si
- H01L21/02211—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound being a silane, e.g. disilane, methylsilane or chlorosilane
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C16/0272—Deposition of sub-layers, e.g. to promote the adhesion of the main coating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/40—Oxides
- C23C16/401—Oxides containing silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
- C23C16/45544—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus
- C23C16/45546—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus specially adapted for a substrate stack in the ALD reactor
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
- C23C16/45553—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the use of precursors specially adapted for ALD
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45563—Gas nozzles
- C23C16/45578—Elongated nozzles, tubes with holes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
- C23C16/4582—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs
- C23C16/4583—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs the substrate being supported substantially horizontally
- C23C16/4584—Rigid and flat substrates, e.g. plates or discs the substrate being supported substantially horizontally the substrate being rotated
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02164—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material being a silicon oxide, e.g. SiO2
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02271—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition
- H01L21/0228—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by decomposition or reaction of gaseous or vapour phase compounds, i.e. chemical vapour deposition deposition by cyclic CVD, e.g. ALD, ALE, pulsed CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02587—Structure
- H01L21/0259—Microstructure
- H01L21/02592—Microstructure amorphous
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02656—Special treatments
- H01L21/02664—Aftertreatments
- H01L21/02667—Crystallisation or recrystallisation of non-monocrystalline semiconductor materials, e.g. regrowth
Abstract
Description
基板に対して原料ガスを供給することで、前記基板上にアモルファス状態のシード層を形成する工程と、
前記シード層を熱処理することで、前記シード層を多結晶化させる工程と、
前記基板に対して前記原料ガスを供給する工程と、前記基板に対して酸素含有ガスおよび水素含有ガスを供給する工程と、を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、多結晶化させた前記シード層上に酸化膜を形成するとともに、多結晶化させた前記シード層を酸化する工程と、
を有する技術が提供される。
以下、本発明の一実施形態について、図1〜図3を用いて説明する。
図1に示すように、処理炉202は加熱手段(加熱機構)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、ガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
上述の基板処理装置を用い、半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、基板としてのウエハ200上に膜を形成するシーケンス例について、図4及び図5を用いて説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
処理容器内のウエハ200に対してHCDSガスを供給することで、ウエハ200上にアモルファス状態のシード層を形成する工程と、
前記シード層を熱処理することで、前記シード層を多結晶化させる工程と、
処理容器内のウエハ200に対してHCDSガスを供給する工程と、処理容器内のウエハ200に対してO2ガスおよびH2ガスを供給する工程と、を非同時に行うサイクルを所定回数(n回以上)行うことで、多結晶化させた前記シード層上に、O含有膜としてシリコン酸化膜(SiO2膜、以下、単にSiO膜、SiO層ともいう)を形成するとともに、多結晶化させた前記シード層を酸化する。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、シャッタ開閉機構115sによりシャッタ219sが移動させられて、マニホールド209の下端開口が開放される(シャッタオープン)。その後、図1に示すように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内へ搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220bを介してマニホールド209の下端をシールした状態となる。
処理室201内、すなわち、ウエハ200が存在する空間が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気(減圧排気)される。真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内のウエハ200が所望の成膜温度となるようにヒータ207によって加熱される。ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。また、回転機構267によるボート217およびウエハ200の回転を開始する。回転機構267によるボート217およびウエハ200の回転は、少なくとも、ウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。
その後、以下のシード層形成工程、アニール(多結晶化)工程及びSiO膜形成工程を順次実行する。
処理室201内のウエハ200に対してHCDSガスを供給する。具体的には、バルブ243aを開き、ガス供給管232a内へHCDSガスを流す。HCDSガスは、MFC241aにより流量調整され、ノズル249aを介して処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。このとき同時にバルブ243cを開き、ガス供給管232c内へN2ガスを流す。N2ガスは、MFC241cにより流量調整され、HCDSガスと一緒に処理室201内へ供給され、排気管231から排気される。
その後、処理室201内の温度が、上述したシード層形成工程における温度よりも高い温度となるように昇温する。このとき、ウエハ200に対してN2ガスの供給が維持される。このように、N2ガス雰囲気中にて、処理室201内の温度をシード層形成工程における温度よりも高い温度に保った状態でアニール処理(熱処理)を施す。処理室201内の温度は、例えば600〜900℃、好ましくは600〜750℃の範囲内の例えば600℃となるような温度に設定する。
その後、以下のステップ1,2を順次実行し、SiO層を形成する。
このステップでは、処理室201内のウエハ200に対してHCDSガスを供給する。このステップでは、バルブ243a〜243dの開閉制御を、シード層形成工程におけるバルブ243a〜243dの開閉制御と同様の手順で行う。
ステップ1が終了した後、処理室201内へO2ガスとH2ガスとを別々に供給し、これらのガスを処理室201内で混合させて反応させる。
上述したステップ1,2を非同時に、すなわち、同期させることなく行うサイクルを所定回数(1回以上)行うことにより、図5(C)に示すように、所定膜厚のSiO膜14を形成することができる。上述のサイクルは複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、上述のサイクルを1回行う際に形成されるSiO層の厚さを所望の膜厚よりも小さくし、SiO層を積層することで形成されるSiO膜の厚さとPoly−Si層が複数回酸化されることで形成されるSiO膜の厚さとの合計の膜厚が所望の膜厚になるまで、上述のサイクルを複数回繰り返すのが好ましい。
SiO膜の形成が完了した後、ガス供給管232c,232dのそれぞれからN2ガスを処理室201内へ供給し、排気管231から排気する。N2ガスはパージガスとして作用する。これにより、処理室201内がパージされ、処理室201内に残留するガスや反応副生成物が処理室201内から除去される(パージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、マニホールド209の下端が開口される。そして、処理済のウエハ200が、ボート217に支持された状態で、マニホールド209の下端から反応管203の外部に搬出される(ボートアンロード)。処理済のウエハ200は、ボート217より取出される(ウエハディスチャージ)。
本実施形態によれば、以下に示す一つ又は複数の効果が得られる。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。しかしながら、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
図1に示す基板処理装置を用いて、上述したシード層形成工程により、図5(A)に示すように、下地膜として例えばSiO層が形成されたウエハ200上に炉内温度を450℃、500℃、550℃、600℃にしてHCDSガスを供給してSiシード層10を形成し、サンプル1〜4を作製した。
本実施例では、図1に示す基板処理装置を用いて、上述したシード層形成工程と、アニール工程を行った後に、希フッ酸(DHF)によりエッチング処理を行った。エッチング処理では、DHFをN2ガスの供給量の1%程度1分間供給した。ここで、供給量等の処理条件は、上述の実施形態と同様な処理条件とした。
一方、比較例では、上述したシード層形成工程の後に、アニール工程を行わずに、本実施例と同様のエッチング処理を行った。ここで、上述同様、供給量等の処理条件は、上述の実施形態と同様な処理条件とした。
本実施例では、図1に示す基板処理装置を用い、下地膜として例えばSiO膜が形成されたウエハ200上に、上述したシード層形成工程によりSiシード層10を形成し(図9(A))、上述したアニール工程によりSiシード層を多結晶化させてPoly−Si層12を形成した(図9(B))。このときのPoly−Si層の膜厚T5は、29.42Åであった。成膜処理の処理条件は、上述の実施形態に記載の処理条件範囲内の条件とした。
比較例では、原料ガスとしてHCDSガスの代わりにモノシラン(SiH4)ガスを用いてPoly−Si層を形成した。具体的には、700℃でSiH4ガスを供給して膜厚が1000ÅのPoly−Si層を形成した。そして、このPoly−Si層の上に炉内温度を450℃〜700℃に変化させてSiO膜を40Å形成した。そして、DHFによりエッチング処理を行ってSiO膜を完全に除去し、SiO膜除去後のPoly−Si層の膜厚を測定した。
201 処理室
203 反応管
207 ヒータ
209 マニホールド
232a〜232d ガス供給管
249a,249b ノズル
121 コントローラ
Claims (12)
- 基板に対して原料ガスを供給することで、前記基板上にアモルファス状態のシード層を形成する工程と、
前記シード層を熱処理することで、前記シード層を多結晶化させる工程と、
前記基板に対して前記原料ガスを供給する工程と、前記基板に対して酸素含有ガスおよび水素含有ガスを供給する工程と、を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、多結晶化させた前記シード層上に酸化膜を形成するとともに、多結晶化させた前記シード層を酸化する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 前記原料ガスは、ハロゲン元素を含む請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記原料ガスは、ハロゲン元素と、半金属元素または金属元素と、を含む請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記原料ガスは、ハロゲン元素と、シリコンと、を含む請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シード層を形成する工程における前記原料ガスの供給時間を、前記酸化膜を形成する工程における1サイクルあたりの前記原料ガスの供給時間よりも長くする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シード層を形成する工程における前記基板の温度を、前記酸化膜を形成する工程における前記基板の温度よりも低くする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化膜を形成する工程における前記基板の温度を、前記シード層を多結晶化させる工程における前記基板の温度以上の温度とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記多結晶化させる工程では、前記処理室内の前記基板に対してN2ガスを供給する請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シード層を形成する工程において形成する前記シード層の厚さを、前記酸化膜を形成する工程において、少なくとも多結晶化された前記シード層が全て酸化される厚さ以上とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シード層を形成する工程において形成する前記シード層の厚さを、前記酸化膜を形成する工程において、多結晶化させていない前記シード層が全て酸化される厚さよりも薄くする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 基板に対する処理が行われる処理室と、
前記処理室内の基板に対して原料ガスを供給する原料ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して酸素含有ガスを供給する酸素含有ガス供給系と、
前記処理室内の基板に対して水素含有ガスを供給する水素含有ガス供給系と、
前記処理室内の基板を加熱するヒータと、
前記処理室内において、基板に対して前記原料ガスを供給することで、前記基板上にアモルファス状態のシード層を形成する処理と、前記シード層を熱処理することで、前記シード層を多結晶化させる処理と、前記基板に対して前記原料ガスを供給する処理と、前記基板に対して酸素含有ガスおよび水素含有ガスを供給する処理と、を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、多結晶化させた前記シード層上に酸化膜を形成するとともに、多結晶化させた前記シード層を酸化する処理を行わせるように前記原料ガス供給系、前記酸素含有ガス供給系、前記水素含有ガス供給系、および前記ヒータを制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板処理装置の処理室内の基板に対して原料ガスを供給することで、前記基板上にアモルファス状態のシード層を形成する手順と、
前記処理室内で、前記シード層を熱処理することで、前記シード層を多結晶化させる手順と、
前記処理室内の前記基板に対して前記原料ガスを供給する手順と、前記基板に対して酸素含有ガスおよび水素含有ガスを供給する手順と、を非同時に行うサイクルを所定回数行うことで、多結晶化させた前記シード層上に酸化膜を形成するとともに、多結晶化させた前記シード層を酸化する手順と、
をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2016/077698 WO2018055674A1 (ja) | 2016-09-20 | 2016-09-20 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018055674A1 true JPWO2018055674A1 (ja) | 2019-01-24 |
JP6559902B2 JP6559902B2 (ja) | 2019-08-14 |
Family
ID=61690268
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018540517A Active JP6559902B2 (ja) | 2016-09-20 | 2016-09-20 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10714336B2 (ja) |
JP (1) | JP6559902B2 (ja) |
CN (1) | CN109155254B (ja) |
WO (1) | WO2018055674A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7213726B2 (ja) * | 2019-03-13 | 2023-01-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法及び熱処理装置 |
WO2022064586A1 (ja) | 2020-09-24 | 2022-03-31 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04357838A (ja) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2014154652A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6042656B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2016-12-14 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム |
JP6039996B2 (ja) * | 2011-12-09 | 2016-12-07 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム |
JP5886381B2 (ja) * | 2014-07-23 | 2016-03-16 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラムおよび記録媒体 |
CN105609406B (zh) * | 2014-11-19 | 2018-09-28 | 株式会社日立国际电气 | 半导体器件的制造方法、衬底处理装置、气体供给系统 |
JP6573578B2 (ja) * | 2016-05-31 | 2019-09-11 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
-
2016
- 2016-09-20 WO PCT/JP2016/077698 patent/WO2018055674A1/ja active Application Filing
- 2016-09-20 CN CN201680085630.0A patent/CN109155254B/zh active Active
- 2016-09-20 JP JP2018540517A patent/JP6559902B2/ja active Active
-
2019
- 2019-03-19 US US16/358,369 patent/US10714336B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04357838A (ja) * | 1991-06-04 | 1992-12-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2014154652A (ja) * | 2013-02-07 | 2014-08-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109155254A (zh) | 2019-01-04 |
US20190214250A1 (en) | 2019-07-11 |
WO2018055674A1 (ja) | 2018-03-29 |
US10714336B2 (en) | 2020-07-14 |
JP6559902B2 (ja) | 2019-08-14 |
CN109155254B (zh) | 2024-03-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6568508B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
US9934960B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
US10910214B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and recording medium | |
JP2017112145A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、ガス供給システムおよびプログラム | |
JP2023054057A (ja) | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
JP2018087370A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
JP2017005016A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
WO2018055724A1 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP2018137356A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP2021027227A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム | |
JP2021193748A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | |
JP7149407B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム | |
JP6470468B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
US10714336B2 (en) | Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus and non-transitory computer-readable recording medium | |
WO2018193538A1 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置および記録媒体 | |
JP7166431B2 (ja) | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
TW202111850A (zh) | 基板處理裝置、基板支撐具、半導體裝置的製造方法及程式 | |
US20190127848A1 (en) | Processing Method, Method of Manufacturing Semiconductor Device and Non-transitory Computer-readable Recording Medium | |
JP2024047208A (ja) | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理システム、およびプログラム | |
JP2020053468A (ja) | クリーニング方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
WO2024038602A1 (ja) | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
JP7313402B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラム及びエッチング方法 | |
JP7273168B2 (ja) | 基板処理方法、半導体装置の製造方法、プログラム及び基板処理装置 | |
JP6843298B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
JP2019195106A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180920 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190522 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190624 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190704 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190717 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6559902 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |