JP6843298B2 - 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム - Google Patents
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Description
(a)基板に対して擬似触媒を供給し、前記基板の表面に吸着させる工程と、
(b)前記基板に対して水素化ケイ素を供給し、前記基板の表面に吸着させた前記擬似触媒の作用により、前記基板の表面に、前記水素化ケイ素に含まれるシリコンを吸着させる工程と、
(c)前記基板に対して、原子状酸素を発生させない条件下で、酸化剤を供給し、前記基板の表面に吸着させたシリコンを酸化させる工程と、
を非同時に行うサイクルを複数回繰り返すことで、前記基板上に、非化学量論組成のシリコン酸化膜を形成する技術が提供される。
以下、本発明の一実施形態について図1〜図4を参照しながら説明する。
図1に示すように、処理炉202は加熱機構(温度調整部)としてのヒータ207を有する。ヒータ207は円筒形状であり、保持板に支持されることにより垂直に据え付けられている。ヒータ207は、ガスを熱で活性化(励起)させる活性化機構(励起部)としても機能する。
上述の基板処理装置を用い、半導体装置の製造工程の一工程として、基板としてのウエハ200上に膜を形成する基板処理シーケンス例、すなわち、成膜シーケンス例について、図4を用いて説明する。以下の説明において、基板処理装置を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
(a)ウエハ200に対して擬似触媒としてBCl3ガスを供給し、ウエハ200の表面に吸着させるステップ(ステップ1)と、
(b)ウエハ200に対して水素化ケイ素としてDSガスを供給し、ウエハ200の表面に吸着させた擬似触媒、すなわち、BClxの作用により、ウエハ200の表面に、DSガスに含まれるSiを吸着させるステップ(ステップ2)と、
(c)ウエハ200に対して、原子状酸素を発生させない条件下で、酸化剤としてO2ガスを供給し、ウエハ200の表面に吸着させたSiを酸化させるステップ(ステップ3)と、
を非同時に行うサイクルを複数回繰り返すことで、ウエハ200上に、SiおよびOを含む膜として、非化学量論組成のシリコン酸化膜(SiO膜)を形成する。
複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、シャッタ開閉機構115sによりシャッタ219sが移動させられて、マニホールド209の下端開口が開放される(シャッタオープン)。その後、図1に示すように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内へ搬入(ボートロード)される。この状態で、シールキャップ219は、Oリング220bを介してマニホールド209の下端をシールした状態となる。これらの動作により処理室201内にウエハ200が準備される。
上述のようにウエハ200を処理室201内に準備した後、処理室201内、すなわち、ウエハ200が存在する空間が所望の圧力(真空度)となるように、真空ポンプ246によって真空排気(減圧排気)される。この際、処理室201内の圧力は圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づきAPCバルブ244がフィードバック制御される。また、処理室201内のウエハ200が所望の成膜温度となるように、ヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電具合がフィードバック制御される。また、回転機構267によるウエハ200の回転を開始する。処理室201内の排気、ウエハ200の加熱および回転は、いずれも、少なくともウエハ200に対する処理が終了するまでの間は継続して行われる。
その後、以下のステップ1〜3を順次実施する。
このステップでは、処理室201内のウエハ200に対してBCl3ガスを供給する。具体的には、バルブ243aを開き、ガス供給管232a内へBCl3ガスを流す。BCl3ガスは、MFC241aにより流量調整され、ノズル249aを介して処理室201内へ供給され、排気口231aより排気される。このとき、ウエハ200に対してBCl3ガスが供給される。このときバルブ243d〜243fを開き、ガス供給管232d〜232f内へN2ガスをそれぞれ流すようにしてもよい。
BCl3ガス供給流量:50〜1000sccm
N2ガス供給流量(各ガス供給管):0〜10000sccm
各ガス供給時間:1〜100秒
処理温度:350〜550℃、好ましくは350〜500℃
処理圧力:1〜933Pa
が例示される。
このステップでは、処理室201内にBCl3ガスが浮遊していない状態で、処理室201内のウエハ200、すなわち、ウエハ200上に形成された第1層に対してDSガスを供給する。具体的には、バルブ243b,243d〜243fの開閉制御を、ステップ1におけるバルブ243a,243d〜243fの開閉制御と同様の手順で行う。DSガスは、MFC241bにより流量制御され、ノズル249bを介して処理室201内へ供給され、排気口231aより排気される。このとき、ウエハ200に対してDSガスが供給される。
DSガス供給流量:1〜1000sccm、好ましくは1〜500sccm
DSガス供給時間:1〜60秒
処理圧力:1〜533Pa
が例示される。他の処理条件は、ステップ1における処理条件と同様とする。
このステップでは、処理室201内のウエハ200、すなわち、ウエハ200上に形成された第2層に対して、原子状酸素を発生させない条件下で、O2ガスを供給する。すなわち、O2ガスをプラズマ励起させることなく、ノンプラズマの雰囲気下でウエハ200に対して供給する。具体的には、バルブ243c,243d〜243fの開閉制御を、ステップ1におけるバルブ243a,243d〜243fの開閉制御と同様の手順で行う。O2ガスは、MFC241cにより流量制御され、ノズル249cを介して処理室201内へ供給され、排気口231aより排気される。このとき、ウエハ200に対してプラズマ非励起状態の(熱励起状態の)O2ガスが供給される。
O2ガス供給流量:1〜10000sccm
O2ガス供給時間:1〜120秒
処理圧力:1〜4000Pa、好ましくは1〜3000Pa
が例示される。他の処理条件は、ステップ1における処理条件と同様とする。
上述したステップ1〜3を非同時に、すなわち、同期させることなく行うサイクルを所定回数(n回、nは1以上の整数)行うことにより、ウエハ200上に、所定膜厚、所定組成のSiO膜を形成することができる。上述のサイクルは複数回繰り返すのが好ましい。すなわち、上述のサイクルを1回行う際に形成される第3層の厚さを所望の膜厚よりも小さくし、第3層を積層することで形成されるSiO膜の膜厚が所望の膜厚になるまで、上述のサイクルを複数回繰り返すのが好ましい。
ウエハ200上へのSiO膜の形成が完了した後、ヒータ207の温度を適正に調整し、後処理として、ウエハ200上に形成されたSiO膜を熱処理(アニール処理)する。このステップは、バルブ243d〜243fを開き、処理室201内へN2ガスを供給しながら行ってもよく、また、バルブ243d〜243fを閉じ、処理室201内へのN2ガスの供給を停止した状態で行ってもよい。いずれの場合も、このステップは、バルブ243a〜243cを閉じ、処理室201内への擬似触媒、水素化ケイ素、酸化剤の供給をそれぞれ停止した状態で行う。
N2ガス供給流量(各ガス供給管):0〜20000sccm
処理温度:600〜1000℃
処理圧力:0.1〜100000Pa
処理時間:1〜300分
が例示される。
成膜ステップおよびポストトリートメントステップが終了した後、ノズル249a〜249cのそれぞれからパージガスとしてのN2ガスを処理室201内へ供給し、排気口231aより排気する。これにより、処理室201内がパージされ、処理室201内に残留するガスや反応副生成物等が処理室201内から除去される(アフターパージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降され、マニホールド209の下端が開口される。そして、処理済のウエハ200が、ボート217に支持された状態で、マニホールド209の下端から反応管203の外部に搬出される(ボートアンロード)。ボートアンロードの後は、シャッタ219sが移動させられ、マニホールド209の下端開口がOリング220cを介してシャッタ219sによりシールされる(シャッタクローズ)。処理済のウエハ200は、反応管203の外部に搬出された後、ボート217より取り出される(ウエハディスチャージ)。
本実施形態によれば、以下に示す1つ又は複数の効果が得られる。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明した。しかしながら、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
249a ノズル(第1供給部)
249b ノズル(第2供給部)
249c ノズル(第3供給部)
Claims (20)
- (a)基板に対して擬似触媒を供給し、前記基板の表面に吸着させる工程と、
(b)前記基板に対して水素化ケイ素を供給し、前記基板の表面に吸着させた前記擬似触媒の作用により、前記基板の表面に、前記水素化ケイ素に含まれるシリコンを吸着させる工程と、
(c)前記基板に対して、原子状酸素を発生させない条件下で、酸化剤を供給し、前記基板の表面に吸着させたシリコンを酸化させる工程と、
を非同時に行うサイクルを複数回繰り返すことで、前記基板上に、非化学量論組成のシリコン酸化膜を形成する工程を有する半導体装置の製造方法。 - 前記シリコン酸化膜における酸素原子の数に対するシリコン原子の数の割合は、化学量論組成のシリコン酸化膜における酸素原子の数に対するシリコン原子の数の割合よりも大きい請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン酸化膜は、一般式SiOx(1.5≦x≦1.9)で表される物質である請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン酸化膜は、一般式SiOx(1.6≦x≦1.8)で表される物質である請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)、(b)、および(c)を前記擬似触媒が気相分解しない条件下で行う請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記擬似触媒はハロゲンを含み、(a)では前記基板の表面をハロゲンで終端させる請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記擬似触媒は、ハロゲン化ホウ素である請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記サイクルは、(a)を行った後、(b)を行う前に、前記基板が存在する空間に浮遊する前記擬似触媒を除去する工程を更に含む請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- (b)を、前記基板の表面に前記擬似触媒が吸着し、前記基板が存在する空間に前記触媒が浮遊していない状態で行う請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- (a)では、前記基板の表面に吸着させた前記擬似触媒の作用により、前記水素化ケイ素が分解することで生成される中間体に含まれるシリコンを、前記基板の表面に吸着させる請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記水素化ケイ素は、一般式SinH2n+2(nは1以上の整数)で表される化合物である請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記水素化ケイ素は、SiH4およびSi2H6のうち少なくともいずれか1つである請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化剤は、酸素含有ガスをプラズマで活性化させることで得られる酸素含有物質非含有である請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記酸化剤は、O2である請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- (c)における前記酸化剤の供給時間を、(b)における前記水素化ケイ素の供給時間よりも長くする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- (c)における前記酸化剤の供給時間を、(a)における前記擬似触媒の供給時間よりも長くするとともに、(a)における前記擬似触媒の供給時間を、(b)における前記水素化ケイ素の供給時間よりも長くする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- (c)における前記基板が存在する空間の圧力を、(b)における前記基板が存在する空間の圧力よりも大きくする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- (c)における前記基板が存在する空間の圧力を、(a)における前記基板が存在する空間の圧力よりも大きくするとともに、(a)における前記基板が存在する空間の圧力を、(b)における前記基板が存在する空間の圧力よりも大きくする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板に対する処理が行われる処理室と、
前記処理室内の基板に対して擬似触媒を供給する擬似触媒供給系と、
前記処理室内の基板に対して水素化ケイ素を供給する水素化ケイ素供給系と、
前記処理室内の基板に対して酸化剤を供給する酸化剤供給系と、
前記処理室内において、(a)基板に対して前記擬似触媒を供給し、前記基板の表面に吸着させる処理と、(b)前記基板に対して前記水素化ケイ素を供給し、前記基板の表面に吸着させた前記擬似触媒の作用により、前記基板の表面に、前記水素化ケイ素に含まれるシリコンを吸着させる処理と、(c)前記基板に対して、原子状酸素を発生させない条件下で、前記酸化剤を供給し、前記基板の表面に吸着させたシリコンを酸化させる処理と、を非同時に行うサイクルを複数回繰り返すことで、前記基板上に、非化学量論組成のシリコン酸化膜を形成する処理を行わせるように、前記擬似触媒供給系、前記水素化ケイ素供給系、および前記酸化剤供給系を制御するよう構成される制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板処理装置の処理室内において、
(a)基板に対して擬似触媒を供給し、前記基板の表面に吸着させる手順と、
(b)前記基板に対して水素化ケイ素を供給し、前記基板の表面に吸着させた前記擬似触媒の作用により、前記基板の表面に、前記水素化ケイ素に含まれるシリコンを吸着させる手順と、
(c)前記基板に対して、原子状酸素を発生させない条件下で、酸化剤を供給し、前記基板の表面に吸着させたシリコンを酸化させる手順と、
を非同時に行うサイクルを複数回繰り返すことで、前記基板上に、非化学量論組成のシリコン酸化膜を形成する手順をコンピュータによって前記基板処理装置に実行させるプログラム。
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