JPWO2017150568A1 - 光学素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学素子は、3次元空間x、y、zにおいて、xy面に形成され、z軸方向に積層されたフォトニック結晶の半波長板を備える。フォトニック結晶の溝方向は、曲線であり、かつ、y軸方向に対する角度が0°から180°の範囲で連続的に変化する。光学素子は、軸方向に入射する光を、z軸からある角度だけx軸に向かう方向の右回り円偏光と、z軸からある角度だけ−x軸に向かう方向の左回り円偏光とに、分離および変換して出射する。さらに、片面もしくは両面にフォトニック結晶からなる1/4波長板を積層または配置することで、光学素子のz軸方向から入射する光を直交する2つの直線偏光に分離することができる。
【代表図】図12
Description
それを軽減する方法として次の手段が知られている(非特許文献1)。
即ち
(A)領域ごとに種々な方位をもつ微小な1/2波長板を基板表面に隙間なく配置する。
(B)円偏光がその領域を通過するとき受ける位相推移はある基準方向に対して主軸のなす角θの2倍に等しいという性質を利用する。
詳しく云えば、図1において入射する光の電界が、例えば
Ex=E0cos(ωt), Ey=E0sin(ωt)
で与えられる円偏光であるとき、図1のようにξη軸をとり、ξη軸方向に主軸を持つ1/2波長板を挿入すれば透過後の光は逆回りの円偏光となり相対位相は2θだけ変化することが知られている(非特許文献1)。
その効果をあらかじめ要約すると、
第1に、サブ領域境界におけるパタン不整合や間引きにおける不連続性が、光に及ぼす影響を、Z方向の伝搬に伴う回折により、平均化、平滑化できること(図6、図9)。
第2に、曲線形状や間引きにより線間ピッチに不均一、非一様性が生じても偏光間の位相差は一様性が保たれること(図3)。
第3に、後述する実施例4のごとくフォトニック結晶プリズムとフォトニック結晶レンズとを一体化する(図14)ことにより偏光純度が保たれることなどである。
自由空間内におかれ、z軸に平行に進む波がプリズムに入射し、xz平面内で角度αだけ屈折させるためには、光ビームに次のような位相の変化を与えればよい。図1のx=Dのところでx=0のところと位相差 2πsinα/λ を持つようにすればよく、前述の原理で半波長板の主軸がx軸に対し πsinα/λ の傾きを持つようにすればよい(λは光の波長)。
フォトニック結晶の諸元は、
高屈折率材料 Nb2O5 厚さ120nm
低屈折率材料 SiO2 厚さ120nm
x方向の周期 500nm
遅軸屈折率 1.886
速軸屈折率 1.837
1/2波長板においては積層全体の厚さ 15.8μm
である。
フォトニック結晶の寸法は、
高屈折率材料 Nb2O5 厚さ60nm
低屈折率材料 SiO2 厚さ60nm
x方向の周期 250nm
であり、図2(b)の半分となっており、
遅軸屈折率 1.878
速軸屈折率 1.841
1/2波長板においては積層全体の厚さ 20.9μm
である。
・x方向の1周期内のサブ領域の数(主軸方位の階調数)がより多く、目標の位相分布をよりただしく再現できる。
・サブ領域の幅とフォトニック結晶の溝同士の間隔(図では黒い太線同志、白い太線同志の間隔)のなす比が大きく、従って異方性がより正確に実現される。
以上の意味で高精細化される。
実施例1ではサブ領域に分割されたフォトニック結晶型偏光分離素子の優位性について示した。しかしながらサブ領域に分割することで生じる位相誤差が避けられない本質的な問題がある。また、サブ領域の数を増やすと、サブ領域内で十分な異方性が得られず、リターダンスが小さくなる問題がある。したがって大きな偏光分離角度を得るために周期を小さくするとサブ領域の数を少なくしなければならず、量子化誤差が大きくなり、偏光分離特性が悪化する問題がある。本実施例ではこの問題を解決できる方法について説明する。
実施例1、実施例2のプリズムは所定の円偏光に対して動作し、出力も円偏光である。しかし通常の光学系で利用価値が高いのは直線偏光である。(たとえば光通信では、レーザ光源もPLC導波路もLN変調器もシリコンフォトニクス素子も、みな固有状態、安定動作の状態は直線偏光である。)直線偏光と円偏光とは1/4波長板に光を通すことによって相互に変換できる。故に、1/4波長板・・・図7のプリズム・・・1/4波長板という3部構成にすれば、直線偏光入力、直線偏光出力のプリズムが得られ、利用価値が高まる。
(1−1)基板の上に、ナノインプリント法などで一様な溝列を形成
(1−2)その上に自己クローニング法により均一な1/4波長板を形成
(1−3)スパッタリング法などでその表面を平坦化
(2−1)その上に、ナノインプリント法などにより所望のパタンを形成
(2−2)その上に自己クローニング法により実施例2で示した曲線型の主軸方位分布をもつ1/2波長板を形成
(2−3)スパッタリング法などでその表面を平坦化
(3−1)その上に、ナノインプリント法などで一様な溝列を形成
(3−2)その上に自己クローニング法により均一な1/4波長板を形成
という順序を踏む。
実施例2の曲線型の偏光分離素子と1/4波長板とレンズを組み合わせることで、不要偏光成分を除去しながら所望の偏光成分を集光することができる。なお、偏光分離素子は、分割型の偏光分離素子に置き換えることもできる。
計算条件は以下の通りである。
・波長1.55μm
・入射光 半径2.5μmのガウスビーム(市販されている高屈折率差単一モード光ファイバのビーム半径)
・右回り円偏光
・材料(PBSとQWP) a-Si/SiO2
・PBS周期 3μm
・PBS厚さ 3.4μm
・QWP厚さ 1.7μm
・石英厚さ 50μm
BPM解析の結果、
・出力光 半径3.68μm
・波面の曲率半径 25.4μm
・ビームの分離幅 8.2μm
が得られた。
・レンズ厚さ 4.8μm
パタンが切り替わる半径
2.6μm、3.61μm
実効屈折率は中央部から、
2.713、2.600、2.486
とした。石英伝搬層内で集光されており、図15右図にシリコンフォトニクスのデバイス等を想定した損失見積もりを行った。一例として、接続先のデバイスが半径1.5μmのモードフィールドを持つとき、レンズドプリズムでの接続損失は0.95dB程度と見積もられる。
レンズは、レーザ光源の光をファイバや平面光回路(PLC)に導く部分や、平面光回路(PLC)内の光を変調器・スイッチに結合する部分などに、
プリズムは、ファイバや光回路を伝わる2種類の直線偏光(たとえば電界が基準平面に平行であるか垂直であるか)に分離する部分や、その逆に2種類の直線偏光を1本の伝送路(光ファイバなど)に束ねる部分などにおいて用いられる重要な光学素子である。
また、偏光依存性のある回路を使う際に、偏光を2つの成分に分けてそれぞれの光を2つの同じ回路に所望の光ビームの直径、所定の偏光方向にそろえて入力する、偏光ダイバーシティおよび光結合モジュールに用いられる。
なお、光の伝搬方向は可逆であるから、例えば図13の偏光分離プリズムを逆向きに用いて偏光合成プリズムに用いることができる。図14のレンズドプリズムにおいて、右端の2つのポートから所定の直線偏光を入射させ左端で合成された出力を得ることができる。
ゆえに、実施例1,2,3,4はその意味で偏光分離素子でもあり、偏光合成素子でもある。どちらの形態でも産業上の利用を行うことができる。
Claims (7)
- 3次元空間x、y、zにおいて、xy面に形成され、z軸方向に積層されたフォトニック結晶の半波長板を備え、
x軸方向に単一、もしくは、繰り返される一又は複数の領域を有し、
前記領域は、x軸方向に、複数の帯状のサブ領域に区分され、
フォトニック結晶の溝方向は、
前記領域の中では、y軸方向に対する角度が0°から180°の範囲で段階的に変化し、かつ、
前記サブ領域の中では、y軸方向に対する角度が一様であり、
z軸方向に入射する光を、
z軸からある角度だけx軸に向かう方向の右回り円偏光と、
z軸から同一の角度だけ−x軸に向かう方向の左回り円偏光とに、
分離および変換して出射する
光学素子。 - 3次元空間x、y、zにおいて、xy面に形成され、z軸方向に積層されたフォトニック結晶の半波長板を備え、
x軸方向に単一、もしくは、繰り返される一又は複数の領域を有し、
フォトニック結晶の溝方向は、
曲線であり、かつ、
y軸方向に対する角度が0°から180°の範囲で連続的に変化し、
z軸方向に入射する光を、
z軸からある角度だけx軸に向かう方向の右回り円偏光と、
z軸から同一の角度だけ−x軸に向かう方向の左回り円偏光とに、
分離および変換して出射する
光学素子。 - 請求項2に記載の光学素子であって、
隣り合う凸部と凹部の一方の間隔の前記領域の内部における最大値と最小値の比が4倍以内になるように、他方が分岐・合流するよう幾何学的に配置されている
光学素子。 - 請求項3に記載の光学素子であって、
前記領域の幅をDとした場合に、
前記曲線が、y=(D/π)log(cos(πx/D))+定数で表される
光学素子。 - 請求項1又は請求項2に記載の光学素子であって、
フォトニック結晶の溝間単位周期が、40nm以上、かつ入射する光の波長の1/4以下であり、
厚さ方向の周期が、入射する光の波長の1/4以下である
光学素子。 - 請求項1又は請求項2に記載の光学素子であって、
片面もしくは両面にフォトニック結晶からなる1/4波長板を積層または配置し、
光学素子のz軸方向から入射する光を直交する2つの直線偏光に分離する
光学素子。 - 請求項1又は請求項2に記載の光学素子を二つ有し、
第一の光学素子および第二の光学素子がある伝搬長の間隔を設けて配置され、
第二の光学素子の後段に設けられた1/4波長板と、
前記1/4波長板の後段に設けられ、直線偏光を集光し、かつ、それと直交する直線偏光を発散する機能を有する一対のレンズと、を有し、
第一の光学素子側から入射した光を2つの直線偏光成分に分離して集光する
複合光学素子
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