JPWO2012067080A1 - 光源ユニットおよびそれを備えた投射型表示装置 - Google Patents

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Abstract

光源ユニットは、発光面を備えたLED1と、LED1の発光面と対向する位置に設けられた、透過軸の方向が面内位置によって異なる偏光子2と、を有する。偏光子2は、LED1側から入射した光のうち、偏光方向が透過軸と平行な光を透過し、偏光方向が透過軸と直交する光を反射および回折する凹凸構造を有する。凹凸構造は、回折格子3を含む。

Description

本発明は、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)などに代表される面発光型発光素子を備える光源ユニットに関し、特に、偏光させた光を出力することができる光源ユニットに関する。
最近の液晶プロジェクタには、液晶パネルを照明するための光源としてLEDを用いたものがある。
一般に、液晶プロジェクタにおいては、偏光させた光を液晶パネルに照射する必要がある。LEDの出力光は非偏光光であるため、液晶パネルを照明するための光源としてLEDを用いる場合は、LEDからの光の偏光方向を一方の偏光方向に揃える必要がある。
図1に、LEDからの光の偏光方向を一方の偏光方向に揃えることが可能な光源ユニットを示す。
図1を参照すると、光源ユニットは、LED100と、LED100の発光面と対向する位置に設けられた偏光子101とを有する。
偏光子101として面内で一次元の周期的な凹凸パターンを有するものやポリマーを用いているものなどがあるが、ここでは凹凸パターンを有しているものを使用するものとして説明する。
偏光子101は透過軸を有し、透過軸に平行な偏光成分を有する光を透過させ、透過軸と直交する偏光成分を有する光を反射する。凹凸パターンを有する偏光子101では、透過軸は凹凸パターンの周期方向と一致するものが一般的である。この時、偏光子101に入射した光のうち、凹凸パターンの周期方向に平行な偏光成分はTM波(またはTM偏光)と呼び、凹凸パターンの長手方向(周期方向と直交する方向)に平行な偏光成分の光はTE波(またはTE偏光)と呼ぶ。つまり、LED100の発光面から出射した光のうち、TM波は偏光子101を透過し、TE波は偏光子101でLED100側に反射される。
LED100の発光面では、偏光子101からのTE波は正反射され、その反射光は偏光子101側の方向へ向かう。この発光面でのTE波の正反射において、入射光と反射光の偏光方向は同じである。すなわち、正反射の前後で、偏光方向は維持される。
上記の光源ユニットによれば、LED100の発光面から出射した光のうちのTM波のみが偏光子101を透過する。これにより、光源ユニットの出力光の偏光方向を一方の偏光方向に揃えることができる。
しかし、図2に示すように、LED100の発光面から出射した光のうち、TE波は、LED100の発光面と偏光子101の間を、反射を繰り返しながら伝播する。このTE波は、光源ユニットの出力光として利用できない。
TE波をTM波に偏光変換する手段、例えば、1/4波長板をLEDと偏光子の間に設けることで、光源ユニットからの出射光強度を高めることができる。図3に、1/4波長板を備える光源ユニットを示す。
図3を参照すると、1/4波長板102は、LED100と偏光子101の間に設けられている。1/4波長板102は、熱源であるLED100の発光面に近接して配置されるため、耐熱性に優れた材料を使用する必要がある。現状では、1/4波長板102として、耐熱性の高い水晶や雲母等の結晶を用いたものが使用されており、その厚さは、加工精度等を考慮すると、数百μmである。
図4に示すように、偏光子101で反射されたTE波は、1/4波長板102にて円偏光に変換された後、LED100の発光面に入射する。
LED100の発光面では、入射した円偏光は正反射され、その正反射された光は円偏光の状態を維持したまま1/4波長板102に入射する。LED100の発光面からの円偏光は、1/4波長板102にてTM波に変換される。1/4波長板102からのTM波は、偏光子101を透過する。
上記のように、偏光子101で反射されたTE波は、偏光子101からLED10側へ向かう過程と、LED100の発光面で正反射されて偏光子101側へ向かう過程とで1/4波長板102を2度通過することでTM波に変換される。このようにTE波をTM波に偏光変換することで、光源ユニットからの出射光強度を高めることができる。
特許文献1には、LEDと偏光子からなる光源ユニットに関する技術が開示されており、特許文献2には、LEDと偏光子の間に1/4波長板を設けた光源ユニットに関する技術が開示されている。
特開2008−60534号公報 特開2005−79104号公報
しかし、図3に示した光源ユニットにおいては、以下のような問題がある。
偏光子101がLED100の発光面と対向して設けられた光源ユニットにおいて、LED100の発光面と偏光子101との間を伝播する光の一部が、光源ユニットの側面から外部へ漏れる。この側面から漏れた光は出射角度が大きく、プロジェクタの光学系に結合できないため、光を効率よく利用できない。更に、この漏れた光は偏光子101を透過しないため、偏光方向が揃っていない。このため、この光を液晶パネルに照射しても、光量の約半分しか利用することができない。
図5に、LEDと偏光子からなる光源ユニット(図1参照)における、出力光量(出射光量)と、LEDの発光面と偏光子の間隔との関係を示す。縦軸は出射光量を示し、横軸はLEDの発光面と偏光子との距離(mm)を示す。なお、縦軸の目盛は、LEDの発光面と偏光子との距離が0mmである場合の出射光量を1として規格化されている。
図5に示す例では、LEDの発光面の大きさは3mm×4mmとし、偏光子の大きさは3mm×4mmとし、LEDの発光面の反射率は100%とし、反射条件は正反射とし、偏光子のTM波の光に対する透過率および反射率をそれぞれ100%、0%とし、偏光子のTE波の光に対する透過率および反射率をそれぞれ0%、100%として計算を行っている。
図5に示すように、LEDの発光面と偏光子との距離dが0である場合の出射光量を100%とすると、距離dが0.5mmである場合は、出射光量は約45%低下し、距離dが1.0mmである場合には、出射光量は約60%低下する。これはLEDと偏光子の隙間(光源ユニットの側面)から光が漏れ出すためである。LEDの発光面と偏光子との間隔が大きいほど、光源ユニットの側面から漏れる光の量が多くなって、光源ユニットの出射光量が減少する。
図3に示した光源ユニットでは、1/4波長板102として、水晶や雲母等の結晶を用いたものが用いられており、その厚さは数百μmである。LED100と偏光子101の間に、厚さが数百μmの1/4波長板102を設けると、LED100の発光面と偏光子101の間隔が大きくなってしまい、その結果、光源ユニットの出射光量が減少する。
なお、1/4波長板には、厚さが数百nm程度のフィルムよりなるものもある。しかし、そのようなフィルムは、耐熱性が低いため、図3に示したような光源ユニットに用いた場合は、熱の影響により、正確な位相差を与えることが困難である。
本発明の目的は、発光面と偏光子との間隔を小さくすることができ、かつ、出射光強度を高めることができる光源ユニット、およびそれを用いた投射型表示装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明の光源ユニットは、
発光面を備えた発光素子と、
前記発光素子の前記発光面と対向する位置に設けられた、透過軸の方向が面内位置によって異なる偏光子と、を有し、
前記偏光子は、前記発光面から出射し、前記発光素子側から入射した光のうち、偏光方向が前記透過軸と平行な光を透過させ、偏光方向が前記透過軸と直交する光を反射および回折する凹凸構造を有する。
本発明の投射型表示装置は、
上記の光源ユニットと、
前記光源ユニットからの光を空間的に変調する表示素子と、
前記表示素子で形成された画像光を投射する投射光学系と、を有する。
LEDからの光の偏光方向を一方の偏光方向に揃えることが可能な光源ユニットの一般的な構成を示す斜視図である。 図1に示す光源ユニットの動作を説明するための模式図である。 LEDからの光の偏光方向を一方の偏光方向に揃えることが可能な別の光源ユニットの構成を示す斜視図である。 図3に示す光源ユニットの動作を説明するための模式図である。 図1に示す光源ユニットにおける、出射光量と、LEDの発光面と偏光子の間隔との関係を示す特性図である。 本発明の第1の実施形態である光源ユニットの構成を示す斜視図である。 図6に示す光源ユニットの断面図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の具体的な構成を示す模式図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子の凹凸パターンを示す模式図である。 図6に示す光源ユニットの回折格子の凹凸パターンを示す模式図である。 図9に示す同心円状の凹凸パターンを有する偏光子の作用を説明するための模式図である。 図9に示す同心円状の凹凸パターンを備え、これら凹凸パターン上に、図10に示す放射状の凹凸パターンよりなる回折格子が形成された偏光子の作用を説明するための模式図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子の一部におけるTE偏光の反射光および回折光を示す模式図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子全体におけるTE偏光の回折光を示す模式図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 本発明の第2の実施形態である光源ユニットの構成を示す斜視図である。 図17に示す光源ユニットの断面図である。 図17に示す光源ユニットの偏光子の透過軸の方向を示す模式図である。 図17に示す光源ユニットの波長板の光学軸の方向を示す模式図である。 図17に示す光源ユニットの波長板を透過した光の偏光方向を示す模式図である。 図17に示す光源ユニットにおける、波長板の光学軸、偏光子の透過軸、および出射光の偏光方向の関係を説明するための図である。 図17に示す光源ユニットにおける、波長板の斜視図である。 図17に示す光源ユニットの偏光子の透過軸の方向を示す模式図である。 図17に示す光源ユニットの波長板4の光学軸の方向を示す模式図である。 図17に示す光源ユニットの出射光の偏光方向を示す模式図である。 本発明の第3の実施形態の光源ユニットに用いられる偏光子および回折格子の構成を示す斜視図である。 図22に示す偏光子および回折格子の作製手法の一手順を示す工程図である。 図22に示す偏光子および回折格子の作製手法の一手順を示す工程図である。 図22に示す偏光子および回折格子の作製手法の一手順を示す工程図である。 図22に示す偏光子および回折格子の作製手法の一手順を示す工程図である。 図22に示す偏光子および回折格子の作製手法の一手順を示す工程図である。 本発明の光源ユニットの偏光子および回折格子の別の構成を示す斜視図である。 本発明の光源ユニットの偏光子および回折格子の他の構成を示す斜視図である。 本発明の光源ユニットに用いられる偏光子の凹凸パターンの一例を示す模式図である。 本発明の光源ユニットに用いられる偏光子の凹凸パターンの別の例を示す模式図である。 本発明の光源ユニットに用いられる偏光子の凹凸パターンの他の例を示す模式図である。
1 LED
2 偏光子
3 回折格子
次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
(第1の実施形態)
図6は、本発明の第1の実施形態である光源ユニットの構成を示す斜視図であり、図7は、図6に示す光源ユニットの断面図である。
図6および図7を参照すると、光源ユニットは、発光面1aを備えたLED1と、発光面1aと対向するように設けられた偏光子2とを有する。
LED1は、例えば、n型層とp型層とが活性層を挟んで積層された積層部を備え、この積層部のn型層側またはp型層側の面が発光面1aとされ、活性層にて発生した光が発光面1aから出射される。LED1として、半導体レーザなどの面発光型の固体光源を用いてもよい。
偏光子2側からLED1に入射した光は、LED1の発光面1aまたはLED1の内部で正反射される。正反射の前後で、光の偏光状態は維持される。
偏光子2の発光面1a側の面には、回折格子3を含む凹凸構造が設けられている。この凹凸構造により、透過軸の方向が面内位置によって異なるようになっており、入射した光のうち、偏光方向が透過軸と平行な光(TM偏光)は透過し、偏光方向が透過軸と直交する光(TE偏光)は反射および回折される。ここで、透過軸の方向は、透過する光の偏光方向と平行な方向に一致する。
一般に、偏光子2において、透過率および反射率は材料や凹凸周期、膜厚の組み合わせにより制御可能である。また凹凸構造の周期方向を変化させることにより、所望の方向に透過軸を形成でき、また、同一の偏光子2の面内位置によって透過軸の方向を変化させることができる。
回折格子3は、偏光方向が透過軸と直交する光が偏光子2で反射される際に、その反射光が回折されるように作用する。
図8は、偏光子2および回折格子3の具体的な構成を示す模式図である。図9は、偏光子2の凹凸パターンを示す模式図、図10は回折格子3の凹凸パターンを示す模式図である。
図8および図9に示すように、偏光子2は、同心円状の複数の凹凸パターン2bが石英などの基板2a上の径方向に周期的に形成されたものであり、各凹凸パターン2bに垂直な方向(TM方向)に透過軸を有する。すなわち、偏光子2は、放射状の透過軸を有する。
偏光子2の凹凸パターン2b及び回折格子3は、アルミニウム、銀、金のいずれかの金属、またはこれらの金属のいずれかを含む化合物により形成される。図8および図10に示すように、回折格子3の凹凸パターンは、偏光子2の各凹凸パターン2b上に放射状に形成されている。これら回折格子3の凹凸パターンのそれぞれは、偏光子2の各凹凸パターン2bの接線と直交する。
図10に示した例では、回折格子3は、同心円状の4つの環状領域3a〜3dを有する。環状領域3a〜3dのそれぞれに放射状の複数の凹凸パターンが形成されており、各領域の凹凸パターンの周方向の間隔が概ね同じになるように凹凸パターンの数が設定されている。
偏光子2の凹凸パターン2bのピッチP1は、例えば140nmである。偏光子2の凹凸パターン2bの深さH1は、例えば100nmである。
回折格子3の凹凸パターンのピッチP2は、λ<P2<2λ(λはLED1の発光波長)で与えられ、例えば、λが530nmである場合は、ピッチP2は600nmである。回折格子3の凹凸パターンの深さH2は例えば600nmである。
次に、本実施形態の光源ユニットの動作を具体的に説明する。
まず、偏光子2単独(回折格子3を除いたもの)の作用について説明する。
図11は、図9に示した同心円状の凹凸パターン2bを有する偏光子2の作用を説明するための模式図である。
図11に示すように、偏光子2では、入射光(無偏光)のうち、偏光方向が透過軸と平行であるTM偏光は透過し、偏光方向が透過軸と直交するTE偏光は反射される。
偏光子2の透過軸は放射状に形成されているので、偏光子2全体を透過したTM偏光は、それぞれの透過軸に平行な偏光方向を有するラジアル偏光となる。一方、偏光子2全体で反射されたTE偏光は、それぞれの透過軸と直交する偏光方向を有するタンジェンシャル偏光となる。
次に、回折格子3を備えた偏光子2の作用について説明する。
図12は、図9に示した同心円状の凹凸パターン2bを備え、これら凹凸パターン2b上に、図10に示した放射状の凹凸パターンよりなる回折格子3が形成された偏光子2の作用を説明するための模式図である。
図12に示すように、偏光子2の回折格子3が形成された側の面が入射面であり、入射光のうちTM偏光は、偏光子2および回折格子3を透過し、TE偏光は入射面で反射および回折される。
入射面で反射および回折されたTE偏光(タンジェンシャル偏光)は、反射光と回折光を含む拡散光である。偏光子2および回折格子3を透過したTM偏光(ラジアル偏光)は、透過光と回折光を含む拡散光である。ただし、条件によってはTM偏光の回折光(透過光)は生じない場合がある。
図13に、回折格子3を備えた偏光子2の一部におけるTE偏光の反射光および回折光を模式的に示し、図14に、回折格子3を備えた偏光子2全体におけるTE偏光の回折光を模式的に示す。なお、図14において、便宜上、回折格子3の凹凸パターンは省略されている。
図13に示すように、偏光子2に入射したTE偏光は、反射および回折され、回折光は、回折格子3の凹凸パターンの周期方向に回折される。図14に示すように、偏光子2全体で見た場合、TE偏光の反射光は回折格子3によって周方向に回折される。すなわち、回折格子3は、偏光子2で反射されたTE偏光(タンジェンシャル偏光)を拡散するように作用する。
本実施形態の光源ユニットでは、図11〜図14を用いて説明した偏光子2および回折格子3の作用により、出射光強度を高めることが可能である。以下、光源ユニット全体の動作を説明する。
LED1の発光面1aから出射した光(無偏光)は、偏光子2の回折格子3が形成された入射面に入射する。
偏光子2の入射面では、入射光のうちTM偏光は透過し、TE偏光は反射および回折される。偏光子2の入射面で反射および回折されたTE偏光(タンジェンシャル偏光)は拡散光であり、LED1に入射する。
LED1の発光面1aまたはLED1内部では、偏光子2からのTE偏光(タンジェンシャル偏光)の拡散光は、偏光子2側の方向に正反射される。LED1で正反射された拡散光は、偏光子2の入射面に再び入射する。
上記の、TE偏光が偏光子2の入射面で反射および回折され、その反射および回折されたTE偏光の拡散光が、LED1の発光面1aで正反射されて、偏光子2の入射面に再び入射する過程において、LED1の発光面1aで正反射された拡散光の一部(主に、回折光)は、偏光子2の入射面でのTE偏光が反射および回折された領域とは異なる領域に入射する。
例えば、偏光子2の入射面の、第1の方向に透過軸が形成された領域A1で反射および回折されたTE偏光(偏光方向は第1の方向と直交する)の拡散光の一部は、LED1の発光面1aで正反射された後、偏光子2の入射面の領域A1とは異なる領域A2に入射する。領域A2が第1の方向と直交する第2の方向に透過軸が形成された領域である場合、領域A1からのTE偏光の偏光方向は、領域A2の透過軸と平行であるので、領域A1からのTE偏光のうち、領域A2に入射した光は、TM偏光として偏光子2を透過する。
本実施形態の光源ユニットは、以下の第1および第2の特徴を有する。
第1の特徴は、偏光子2をその透過軸が面内位置によって異なるように構成したことである。これにより、偏光子2で反射されたTE偏光はタンジェンシャル偏光とされる。
第2の特徴は、偏光子2のLED1側の面に回折格子3を設けたことである。これにより、偏光子2で反射されたTE偏光(タンジェンシャル偏光)を拡散することができる。
上記の第1および第2の特徴によれば、偏光子2の入射面とLED1の発光面1aとの間でTE偏光が反射および回折を繰り返しながら伝播する過程で、TE偏光(拡散光)の一部がTM偏光として偏光子2を透過する。このTE偏光からTM偏光への偏光変換により出射光強度を高めることができる。
また、本実施形態の光源ユニットによれば、回折格子3は、アルミニウム、銀、金のいずれかの金属、またはこれらの金属のいずれかを含む化合物により形成される。このような金属よりなる回折格子3の耐熱性は高く、よって、回折格子3をLED1の近傍に設けてもその性能が劣化することはない。
加えて、回折格子3の厚さは、LED1の発光波長にもよるが、通常、数百nm程度であり、図3に示した光源ユニットで用いられているような、水晶や雲母等の結晶を用いた1/4波長板102の厚さに比較して十分に薄い。したがって、本実施形態の光源ユニットの側面から漏れる光の量は、図3に示した光源ユニットに比較して、十分に小さい。
次に、本実施形態の光源ユニットの偏光子2および回折格子3の作製方法について説明する。
図15A〜図15Hに、回折格子3を備えた偏光子2の作製工程の一手順を示す。
まず、図15Aに示すように、石英などよりなる基板10上にレジストを塗布してレジスト層11を形成する。次に、図15Bに示すように、フォトリソグラフィーを利用して、レジストパターン12を形成する。
次に、図15Cに示すように、レジストパターン12が形成された基板10上に、金属蒸着を利用して、アルミニウム層13を形成する。次に、図15Dに示すように、レジストパターン12およびレジストパターン12上のアルミニウム層をリフトオフして、基板10上に偏光子2となる凹凸パターン14を形成する。
次に、図15Eに示すように、凹凸パターン14が形成された基板10上にレジストを塗布してレジスト層15を形成する。次に、図15Fに示すように、フォトリソグラフィーを利用して、レジストパターン16を形成する。
次に、図15Gに示すように、レジストパターン16が形成された基板10上に、金属蒸着を利用して、アルミニウム層18を形成する。
最後に、図15Hに示すように、レジストパターン16およびレジストパターン16上のアルミニウム層をリフトオフして、回折格子3となる凹凸パターン18を凹凸パターン14上に形成する。
図16A〜図16Hに、回折格子3を備えた偏光子2の別の作製工程の一手順を示す。
まず、図16Aに示すように、石英などよりなる基板20上にレジストを塗布してレジスト層21を形成する。次に、図16Bに示すように、フォトリソグラフィーを利用して、レジストパターン22を形成する。
次に、図16Cに示すように、レジストパターン22が形成された基板20上に、金属蒸着を利用して、アルミニウム層23を形成する。次に、図16Dに示すように、レジストパターン22およびレジストパターン22上のアルミニウム層をリフトオフして、基板20上に偏光子2となる凹凸パターン24を形成する。
次に、図16Eに示すように、凹凸パターン24が形成された基板20上にレジストを塗布してレジスト層25を形成する。次に、図16Fに示すように、フォトリソグラフィーを利用して、レジストパターン26を形成する。
次に、図16Gに示すように、レジストパターン26が形成された基板20上に、金属蒸着を利用して、アルミニウム層28を形成する。ここで、金属蒸着は、レジストパターン26が形成された基板20の面に対して斜め方向から行う。これにより、基板20の表面の、凹凸パターン24が形成された領域以外の領域は、凹凸パターン24の影になるため、この領域にはアルミニウムは蒸着されない。
最後に、図16Hに示すように、レジストパターン26およびレジストパターン26上のアルミニウム層をリフトオフして、凹凸パターン24上に回折格子3となる凹凸パターン28を形成する。
上述した本実施形態の光源ユニットにおいて、回折格子3の凹凸パターンは放射状のもの以外であってもよい。回折格子3は、偏光子2で反射されたTE偏光またはTM偏光を回折することができるのであれば、どのようなパターンにしてもよい。
また、偏光子2の凹凸パターンも、透過軸の方向が面内位置によって異なり、かつ、TE偏光およびTM偏光を分離することができるのであれば、どのようなパターンにしてもよい。
例えば、偏光子2を放射状の凹凸パターンにより構成し、回折格子3を同心円状の凹凸パターンにより構成してもよい。この場合は、偏光子2を透過したTM偏光はタンジェンシャル偏光となり、偏光子2で反射および回折されたTE偏光はラジアル偏光となる。
(第2の実施形態)
図17は、本発明の第2の実施形態である光源ユニットの構成を示す斜視図であり、図18は、図17に示す光源ユニットの断面図である。
図17および図18に示す光源ユニットは、偏光子2のLED1側とは反対側の面と対向する位置に波長板4を備えており、この点が、第1の実施形態と異なる。LED1、偏光子2および回折格子3は第1の実施形態と同じである。
波長板4は、偏光子2を透過した光の偏光方向を一定の方向に揃えるものであり、例えば1/2λ板よりなる。
波長板4の光学軸の方向は、面内位置によって異なっており、それぞれの光学軸は、偏光子2の透過軸と対応している。
図19Aに、図9に示した同心円状の複数の凹凸パターンを有する偏光子2の透過軸の方向を模式的に示し、図19Bに、波長板4の光学軸の方向を模式的に示し、図19Cに、波長板4を透過した光(出射光)の偏光方向を模式的に示す。
図19Aに示すように、偏光子2の透過軸が放射状に形成されている場合、図19Bに示すように、波長板4の光学軸も放射状に形成され、それぞれの光学軸は、偏光子2の透過軸と対応している。
波長板4の光学軸の方向は、図19Cに示すように出射光の偏光方向が一定の方向になるように、偏光子2の透過軸に対して設定される。具体的には、波長板4の光学軸の方向は、θH=(θP+θO)/2の式を満たすように設定される。ここで、θHは、波長板4の光学軸の方向を示し、θPは偏光子3の透過軸の方向を示し、θOは出射光の偏光方向を示す。
具体的には、図20Aに示すように、偏光子2の入射面に垂直な方向から見た場合の、偏光子3の透過軸の方向、波長板4の光学軸の方向、および出射光の偏光方向をそれぞれ、出射光と直交するX2Y2平面上に投影した場合において、θHは、波長板4の光学軸とX2軸とのなす角度であり、θPは、偏光子2の透過軸とX2軸とのなす角度であり、θOは、出射光の偏光方向とX2軸とのなす角度である。
図19Aに示した透過軸を備えた偏光子2では、偏光子2を透過したTM偏光はラジアル偏光となる。このラジアル偏光は、図19Bに示した光学軸を備えた波長板4を透過すると、透過領域の光学軸に対応する偏光方向の回転が生じ、その結果、図19Cに示した、偏光方向が一定の方向の出射光を得る。
偏光子2の透過軸は、放射状以外のものであってもよい。例えば、偏光子2の凹凸パターンを図10に示した放射状のパターンにした場合は、偏光子2の透過軸は同心円状に形成される。この場合も、波長板4の光学軸は、上記の式を満たすように設定される。
図20Bに、波長板4の構成を示す。波長板4は、屈折率が周期的に変化する多層膜構造41および凹凸パターン42を備える。
波長板4の光学軸は、凹凸パターンの周期方向を変えることにより制御することができるので、偏光子2の透過軸と同様、凹凸パターンにより光学軸を所望の方向に形成することができる。
図21Aに、図10に示した放射状のパターンを有する偏光子2の透過軸の方向を模式的に示し、図21Bに、波長板4の光学軸の方向を模式的に示し、図21Cに、波長板4を透過した光(出射光)の偏光方向を模式的に示す。
図21Aに示すように、偏光子2の透過軸が同心円状に形成されている場合、図21Bに示すように、波長板4の光学軸は放射状に形成され、それぞれの光学軸は、偏光子2の透過軸と対応している。波長板4の光学軸の方向は、図21Cに示すように出射光の偏光方向が一定の方向になるように設定される。
図21Aに示した透過軸を備えた偏光子2では、偏光子2を透過したTM偏光はタンジェンシャル偏光となる。このタンジェンシャル偏光は、図21Bに示した光学軸を備えた波長板4を透過すると、透過領域の光学軸に対応する偏光方向の回転が生じ、その結果、図21Cに示した、偏光方向が一定の方向の出射光を得る。
本実施形態の光源ユニットによれば、第1の実施形態で説明した作用効果に加えて、以下のような作用効果を奏する。
第1の実施形態では、光源ユニットの出射光として例えばTM偏光を得られるが、そのTM偏光はラジアル偏光またはタンジェンシャル偏光であり、そのままでは、液晶パネルなどを照明する光として用いることはできない。本実施形態の光源ユニットによれば、偏光子2を透過したTM偏光(ラジアル偏光またはタンジェンシャル偏光)は、波長板4を透過する際にその偏光方向が回転し、これにより、光源ユニットの出射光の偏光方向を一定方向に揃えることができる。よって、本実施形態の光源ユニットは、液晶パネルなどを照明する光源ユニットに適用することができる。
(第3の実施形態)
上述した第1および第2の実施形態の光源ユニットでは、偏光子2および回折格子3の凹凸構造はアルミニウムなどの金属により形成されているが、その凹凸構造は、フォトニック結晶を用いた手法により形成してもよい。
図22に、本発明の第3の実施形態の光源ユニットに用いられる偏光子および回折格子の構成を示す。
図22に示すように、偏光子5は、屈折率が周期的に変化する多層膜構造51および凹凸パターン52を備え、この凹凸パターン52上に、フォトニック結晶によりなる回折格子6が形成されている。回折格子6は、放射状の凹凸パターンよりなる。
本実施形態の光源ユニットでは、図22に示した回折格子6を備える偏光子5が、LEDの発光面と対向する位置に設けられる。具体的には、第1または第2の実施形態の光源ユニットにおいて、偏光子2および回折格子3を偏光子5および回折格子6で置き換えたものが、本実施形態の光源ユニットである。偏光子の凹凸パターンのピッチP1および深さH1、回折格子の凹凸パターンのピッチP2および深さH2は、第1および第2の実施形態で説明した構成と基本的に同じである。
本実施形態の光源ユニットにおいても、フォトニック結晶よりなる凹凸構造は、水晶や雲母等の結晶を用いた1/4波長板よりも薄く、また、フィルムよりなる1/4波長板のような耐熱性の問題は生じない。よって、第1の実施形態や第2の実施形態と同様の作用効果を奏する。
なお、本実施形態の光源ユニットにおいて、偏光子5の凹凸パターンおよび回折格子6の凹凸パターンは、第1および第2の実施形態で説明したものと同じであってもよい。
次に、本実施形態の光源ユニットの偏光子5および回折格子6の作製方法について説明する。
図23A〜図23Eに、回折格子6を備えた偏光子5の作製工程の一手順を示す。
まず、図23Aに示すように、石英などよりなる基板10の表面に所望の凹凸パターンを形成し、その凹凸パターンが形成された表面上に、高屈折率の透明な第1層と低屈折率の透明な第2層とを交互に積層して周期構造31を形成する。
次に、図23Bに示すように、周期構造31上にレジストを塗布してレジスト層32を形成する。次に、図23Cに示すように、フォトリソグラフィーを利用して、レジストパターン33を形成する。このレジストパターン33は、回折格子6の凹凸パターンを形成するためのものである。
次に、図23Dに示すように、レジストパターン33が形成された面上に、高屈折率の透明な第1層と低屈折率の透明な第2層とを交互に積層して周期構造34を形成する。
最後に、図23Eに示すように、レジストパターン33およびレジストパターン33上の周期構造34をリフトオフして、図22に示した偏光子5および回折格子6を得る。
例えば、周期構造31、34において、第1層として五酸化ニオブ(Nb25)を用い、第2層として二酸化珪素(SiO2)を用いることができる。
上述した各実施形態の光源ユニットは本発明の一例であり、その構成は、発明の趣旨を逸脱しない範囲で当業者が理解し得る変更を適用することができる。
例えば、第1および第2の実施形態で説明した偏光子2は、図24に示すように、基板2aの一方の面に凹凸パターン2bが形成され、基板2aの他方の面に、回折格子3の凹凸パターンが形成された構造を有していてもよい。この場合、偏光子2は、回折格子3が形成された面がLED1の発光面1aと対向するように配置される。
また、第3の実施形態で説明した偏光子5は、図25に示すように、高屈折率の透明な第1層と低屈折率の透明な第2層とを交互に積層してなる周期構造31上に、第1および第2の実施形態で説明したような凹凸パターンよりなる回折格子6が形成された構造を有してもよい。回折格子6の凹凸パターンは、第1および第2の実施形態で説明した回折格子3の凹凸パターンの作製手法により形成することができる。
さらに、図25に示した構成において、周期構造31が透明基板の一方の面に形成され、回折格子6の凹凸パターンが透明基板の他方の面に形成されてもよい。
さらに、回折格子6をフォトニック結晶により形成し、偏光子5を第1および第2の実施形態で説明した凹凸パターンで形成してもよい。この場合は、例えば、第1および第2の実施形態で説明した手法で偏光子5の凹凸パターンを形成し、その上に透明層を形成し、この透明層上に、フォトニック結晶よりなる回折格子6の凹凸パターンを形成する。
また、第1から第3の実施形態において、偏光子は、透過軸の方向が面内位置によって異なるような凹凸パターンを有していればよく、その凹凸パターンとしては、様々なパターンを適用することができる。
図26A〜図26Cに、偏光子の凹凸パターンの一例を示す。
図26Aに示す例では、偏光子は、図面左下の角を中心として放射状に形成された複数の凹凸パターンを有する。この偏光子においては、水平方向を0°、垂直方向を90°とすると、透過軸の方向は0°〜90°の範囲で連続的に変化する。
図26Bに示す例では、偏光子は、図面左下の角を中心として同心円状に形成された複数の凹凸パターンを有する。この偏光子においても、図26Aに示したものと同様、透過軸の方向は0°〜90°の範囲で連続的に変化する。
図26Cに示す例では、偏光子は、凹凸パターンが水平方向に等間隔で形成された第1領域、水平方向に対して約90°の角度を有する凹凸パターンが等間隔で形成された第2領域、および凹凸パターンが垂直方向に等間隔で形成された第3領域を有し、これら第1乃至第3領域が所定の順番でマトリクス状に形成されている。この偏光子においては、透過軸の方向が面内位置によって異なる。
以上説明した本発明の光源ユニットによれば、凹凸構造にて反射および回折された光は拡散し、しかも、偏光子の透過軸は面内位置によって異なっているため、その拡散光は、各透過軸の方向に対応した複数の異なる偏光方向を有する。したがって、凹凸構造にて反射および回折された拡散光が、発光素子の発光面と偏光子との間を、反射および回折を繰り返しながら伝播する過程において、拡散光の一部が偏光子を透過する。これにより、LEDの発光面上部に偏光子を配置しただけの構成に比べて、光源ユニットからの出射光強度を高めることができる。
また、偏光子の凹凸構造の厚さは、水晶や雲母等の結晶を用いた1/4波長板の厚さに比べて十分に薄いので、1/4波長板を備える光源ユニット(図3参照)に比較して、発光素子の発光面と偏光子との間隔を小さくすることができる。これにより、光源ユニットの側面から漏れる光の量を少なくすることができ、出射光強度を高めることができる。
また、凹凸構造は、金属の凹凸パターンやフォトニック結晶により形成することができる。金属やフォトニック結晶の耐熱性は高いため、この凹凸構造には、フィルムよりなる1/4波長板のような耐熱性の問題は生じない。したがって、凹凸構造の反射および回折に対する性能が発光素子からの熱により劣化する問題は生じない。
本発明の光源ユニットは、液晶プロジェクタの他、偏光させた光を用いる装置全般に適用することができる。
本発明が適用されたプロジェクタの主要部は、上述した第1から第3の実施形態で説明した光源ユニットのいずれかと、この光源ユニットからの光を空間的に変調する表示素子と、表示素子で形成された画像光を投射する投射光学系と、を有する。光源ユニットが波長板を有する場合は、表示素子として液晶パネルを用いてもよい。また、光源ユニットが波長板を有していない場合は、表示素子として入射面に波長板を設けた液晶パネルを用いてもよい。
以上、実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。本発明の構成および動作については、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、当業者が理解し得る様々な変更を行うことができる。
この出願は、2010年11月18日に出願された日本出願特願2010−257997を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
上記のように、偏光子101で反射されたTE波は、偏光子101からLED10側へ向かう過程と、LED100の発光面で正反射されて偏光子101側へ向かう過程とで1/4波長板102を2度通過することでTM波に変換される。このようにTE波をTM波に偏光変換することで、光源ユニットからの出射光強度を高めることができる。
LEDからの光の偏光方向を一方の偏光方向に揃えることが可能な光源ユニットの一般的な構成を示す斜視図である。 図1に示す光源ユニットの動作を説明するための模式図である。 LEDからの光の偏光方向を一方の偏光方向に揃えることが可能な別の光源ユニットの構成を示す斜視図である。 図3に示す光源ユニットの動作を説明するための模式図である。 図1に示す光源ユニットにおける、出射光量と、LEDの発光面と偏光子の間隔との関係を示す特性図である。 本発明の第1の実施形態である光源ユニットの構成を示す斜視図である。 図6に示す光源ユニットの断面図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の具体的な構成を示す模式図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子の凹凸パターンを示す模式図である。 図6に示す光源ユニットの回折格子の凹凸パターンを示す模式図である。 図9に示す同心円状の凹凸パターンを有する偏光子の作用を説明するための模式図である。 図9に示す同心円状の凹凸パターンを備え、これら凹凸パターン上に、図10に示す放射状の凹凸パターンよりなる回折格子が形成された偏光子の作用を説明するための模式図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子の一部におけるTE偏光の反射光および回折光を示す模式図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子全体におけるTE偏光の回折光を示す模式図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の一手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 図6に示す光源ユニットの偏光子および回折格子の作製手法の別の手順を説明するための工程図である。 本発明の第2の実施形態である光源ユニットの構成を示す斜視図である。 図17に示す光源ユニットの断面図である。 図17に示す光源ユニットの偏光子の透過軸の方向を示す模式図である。 図17に示す光源ユニットの波長板の光学軸の方向を示す模式図である。 図17に示す光源ユニットの波長板を透過した光の偏光方向を示す模式図である。 図17に示す光源ユニットにおける、波長板の光学軸、偏光子の透過軸、および出射光の偏光方向の関係を説明するための図である。 図17に示す光源ユニットにおける、波長板の斜視図である。 図17に示す光源ユニットの偏光子の透過軸の方向を示す模式図である。 図17に示す光源ユニットの波長板の光学軸の方向を示す模式図である。 図17に示す光源ユニットの出射光の偏光方向を示す模式図である。 本発明の第3の実施形態の光源ユニットに用いられる偏光子および回折格子の構成を示す斜視図である。 図22に示す偏光子および回折格子の作製手法の一手順を示す工程図である。 図22に示す偏光子および回折格子の作製手法の一手順を示す工程図である。 図22に示す偏光子および回折格子の作製手法の一手順を示す工程図である。 図22に示す偏光子および回折格子の作製手法の一手順を示す工程図である。 図22に示す偏光子および回折格子の作製手法の一手順を示す工程図である。 本発明の光源ユニットの偏光子および回折格子の別の構成を示す斜視図である。 本発明の光源ユニットの偏光子および回折格子の他の構成を示す斜視図である。 本発明の光源ユニットに用いられる偏光子の凹凸パターンの一例を示す模式図である。 本発明の光源ユニットに用いられる偏光子の凹凸パターンの別の例を示す模式図である。 本発明の光源ユニットに用いられる偏光子の凹凸パターンの他の例を示す模式図である。
具体的には、図20Aに示すように、偏光子2の入射面に垂直な方向から見た場合の、偏光子の透過軸の方向、波長板4の光学軸の方向、および出射光の偏光方向をそれぞれ、出射光と直交するX2Y2平面上に投影した場合において、θHは、波長板4の光学軸とX2軸とのなす角度であり、θPは、偏光子2の透過軸とX2軸とのなす角度であり、θOは、出射光の偏光方向とX2軸とのなす角度である。
図26Cに示す例では、偏光子は、凹凸パターンが水平方向に等間隔で形成された第1領域、水平方向に対して約45°の角度を有する凹凸パターンが等間隔で形成された第2領域、および凹凸パターンが垂直方向に等間隔で形成された第3領域を有し、これら第1乃至第3領域が所定の順番でマトリクス状に形成されている。この偏光子においては、透過軸の方向が面内位置によって異なる。

Claims (12)

  1. 発光面を備えた発光素子と、
    前記発光素子の前記発光面と対向する位置に設けられた、透過軸の方向が面内位置によって異なる偏光子と、を有し、
    前記偏光子は、前記発光面から出射し、前記発光素子側から入射した光のうち、偏光方向が前記透過軸と平行な光を透過させ、偏光方向が前記透過軸と直交する光を反射および回折する凹凸構造を有する、光源ユニット。
  2. 前記凹凸構造は、
    複数の第1の周期的な凹凸パターンよりなり、該第1の凹凸パターンの周期方向に前記透過軸が形成される第1の層と、
    入射した光のうち、少なくとも偏光方向が前記透過軸と直交する光を反射及び回折する複数の第2の周期的な凹凸パターンからなる第2の層と、を有し、
    前記偏光子は、前記第2の層が形成された面が前記発光素子の前記発光面と対向するように設けられている、請求項1に記載の光源ユニット。
  3. 前記第2の層は、前記第1の層上に形成されている、請求項2に記載の光源ユニット。
  4. 前記第1の層は、基板の一方の面上に形成されており、前記第2の層は、前記基板の他方の面上に形成されている、請求項2に記載の光源ユニット。
  5. 前記複数の第1の層の透過軸が、前記偏光子の光軸を中心として放射状に設けられ、
    前記複数の第2の凹凸パターンは、前記光軸を中心とした同心円の接線方向に周期的に形成されている、請求項2から4のいずれか1項に記載の光源ユニット。
  6. 前記複数の第1の層の透過軸が、前記偏光子の光軸を中心とした同心円状に設けられ、
    前記複数の第2の凹凸パターンは、前記光軸を中心として動径方向に周期的に形成されている、請求項2から4のいずれか1項に記載の光源ユニット。
  7. 前記偏光子は、それぞれの透過軸の方向が異なる複数の領域を有し、該領域毎に、前記第1および第2の層が形成されている、請求項2に記載の光源ユニット。
  8. 前記複数の第1の凹凸パターンは金属よりなる、請求項2から6のいずれか1項に記載の光源ユニット。
  9. 前記第1の層は、屈折率が異なる2つ以上の層を交互に積層した周期構造よりなる、請求項2に記載の光源ユニット。
  10. 前記偏光子の前記発光素子側とは反対側の面と対向する位置に設けられた、光学軸の方向が面内位置によって異なる波長板を、さらに有し、
    前記波長板の光学軸は、前記偏光子の透過軸と対応しており、前記偏光子から前記波長板を介して出射される出射光の偏光方向が一定の方向となるように、前記波長板の光学軸が形成されている、請求項1から9のいずれか1項に記載の光源ユニット。
  11. 前記偏光子の前記発光素子側の面に垂直な方向から見た場合の、前記偏光子の透過軸の方向、前記波長板の光学軸の方向、および前記出射光の偏光方向をそれぞれ、前記出射光と直交する平面上に投影した場合において、前記波長板の光学軸、前記偏光子の透過軸、および前記出射光の偏光方向のそれぞれの、前記平面の面内方向における特定の方向とのなす角度をそれぞれθH、θP、θOとするとき、前記θH
    θH=(θP+θO)/2
    を満たす、請求項10に記載の光源ユニット。
  12. 請求項1から11のいずれか1項に記載の光源ユニットと、
    前記光源ユニットからの光を空間的に変調する表示素子と、
    前記表示素子で形成された画像光を投射する投射光学系と、を有する、投射型表示装置。
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