JPWO2017126339A1 - エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 181
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims abstract description 56
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 6
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 13
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000001934 delay Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/3473—Circular or rotary encoders
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/02—Sensing devices
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/24428—Error prevention
- G01D5/24447—Error prevention by energy backup
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34707—Scales; Discs, e.g. fixation, fabrication, compensation
- G01D5/34715—Scale reading or illumination devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D2205/00—Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
- G01D2205/20—Detecting rotary movement
- G01D2205/26—Details of encoders or position sensors specially adapted to detect rotation beyond a full turn of 360°, e.g. multi-rotation
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/54—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using means specified in two or more of groups G01D5/02, G01D5/12, G01D5/26, G01D5/42, and G01D5/48
- G01D5/56—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using means specified in two or more of groups G01D5/02, G01D5/12, G01D5/26, G01D5/42, and G01D5/48 using electric or magnetic means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/54—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using means specified in two or more of groups G01D5/02, G01D5/12, G01D5/26, G01D5/42, and G01D5/48
- G01D5/58—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using means specified in two or more of groups G01D5/02, G01D5/12, G01D5/26, G01D5/42, and G01D5/48 using optical means, i.e. using infrared, visible or ultraviolet light
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Abstract
Description
第1実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係るエンコーダ装置ECを示す図である。このエンコーダ装置ECは、モータM(動力供給部)の回転軸SF(移動部)の回転位置情報を検出する。回転軸SFは、例えばモータMのシャフト(回転子)であるが、モータMのシャフトに変速機などの動力伝達部を介して接続されるとともに負荷に接続される作用軸(出力軸)であってもよい。エンコーダ装置ECが検出した回転位置情報は、モータ制御部MCに供給される。モータ制御部MCは、エンコーダ装置ECから供給された回転位置情報を使って、モータMの回転を制御する。モータ制御部MCは、回転軸SFの回転を制御する。
第2実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図7は、本実施形態に係るエンコーダ装置ECの回路構成を示す図である。このエンコーダ装置ECは、光量補償部61を備える。光量補償部61は、発光素子11から照射される光の光量を調整する。例えば、光量補償部61は、発光素子11に供給される電力を調整することにより、発光素子11の発光量を調整する。
第3実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図8は、本実施形態に係るエンコーダ装置ECを示す図である。本実施形態において、バッテリー32は、一次電池66および二次電池67を含む。モータ制御部MCは電源部MC2を備え、二次電池67は、電源部MC2から供給される電力により充電される。電源部MC2は、例えば、回転軸SF(移動部)の駆動に使われる電力を供給する電源であり、モータMに対して電力を供給する。二次電池67は、電源部MC2がモータMに対して電力を供給可能な状態(例、主電源がオンの状態)において、電源部MC2から電力の供給を受けて充電される。また、二次電池67への充電の少なくとも一部は、電気信号発生部(電気信号発生ユニット31)で発生する電気信号の電力を用いて行われる。この場合、エンコーダ装置ECに対して外部からの電力の供給が絶たれた状態(例、主電源のオフ状態、停電)などにおいても、二次電池67を充電することができる。
次に、駆動装置について説明する。図11は、駆動装置MTRの一例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。この駆動装置MTRは、電動モータを含むモータ装置である。駆動装置MTRは、回転軸SFと、回転軸SFを回転駆動する本体部(駆動部)BDと、回転軸SFの回転位置情報を検出するエンコーダ装置ECとを有している。
次に、ステージ装置について説明する。図12は、ステージ装置STGの一例を示す図である。このステージ装置STGは、図11に示した駆動装置MTRの回転軸SFのうち負荷側端部SFaに、回転テーブル(移動物体)TBを取り付けた構成である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。
次に、ロボット装置について説明する。図13は、ロボット装置RBTの一例を示す斜視図である。なお、図13には、ロボット装置RBTの一部(関節部分)を模式的に示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。このロボット装置RBTは、第1アームAR1と、第2アームAR2と、関節部JTとを有している。第1アームAR1は、関節部JTを介して、第2アームAR2と接続されている。
Claims (22)
- スケールと、前記スケールへ光を照射する発光部と、移動部の移動によって前記スケールとの相対位置が変化する光検出部と、前記光検出部の検出結果に基づいて前記移動部の位置情報を検出する検出部とを含む位置検出系と、
前記移動部の移動によって電気信号が発生する電気信号発生部と、
前記電気信号に基づいて、前記発光部からの光の照射を調整する発光調整部と、を備えるエンコーダ装置。 - 前記発光調整部は、前記発光部から照射される光の強度を変化させるタイミングを調整する、請求項1に記載のエンコーダ装置。
- 前記発光調整部は、前記発光部から照射される光の点灯状態と消灯状態とを切り替えるタイミングを調整する、請求項1又は請求項2に記載のエンコーダ装置。
- 前記電気信号は、前記位置検出系に含まれる回路における導通と遮断との切替に用いられる、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記発光調整部は、前記電気信号に基づいて、前記発光部からの光の照射を開始させる、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記発光調整部は、前記発光部からの光の照射を開始させてから所定の時間が経過した時点で、前記発光部からの光の照射を停止させる、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記発光調整部は、前記光検出部が前記スケールからの光を検出した後に、前記発光部からの光の照射を停止させる、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記発光調整部は、前記発光部へ電力を供給するか否かを切り替える、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記移動部は、回転軸を含み、
前記位置検出系は、前記光検出部の検出結果に基づいて前記回転軸の多回転情報を検出する多回転情報検出部を備え、
前記発光調整部は、前記多回転情報検出部が動作する期間の少なくとも一部において前記発光部からの光の照射を停止させる、請求項1から請求項8のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記移動部は、回転軸を含み、
前記位置検出系は、
前記光検出部の検出結果に基づいて前記回転軸の多回転情報を検出する多回転情報検出部と、
前記回転軸の多回転情報を記憶する記憶部と、を備え、
前記発光調整部は、前記記憶部が前記多回転情報を書き込む期間の少なくとも一部において前記発光部からの光の照射を停止させる、請求項1から請求項9のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記電気信号発生部で発生する電気信号に応じて、前記位置検出系で消費される電力の少なくとも一部を供給するバッテリーを備える、請求項1から請求項10のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記電気信号発生部で発生する電気信号に応じて、前記バッテリーから前記検出部への電力の供給の有無を切り替える切替部を備え、
前記発光調整部は、前記切替部と前記発光部との間の電力の供給経路に設けられる、請求項11に記載のエンコーダ装置。 - 前記発光調整部は前記発光部から照射される光の光量を調整する光量補償部を備える、請求項1から請求項12のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記光量補償部は、前記光検出部の検出結果に基づいて、前記発光部から照射される光の光量が所定値に近づくように前記発光部へ供給される電力を調整する、請求項13に記載のエンコーダ装置。
- 前記電気信号発生部は、
前記移動部と連動して移動する磁石と、
前記磁石の移動に伴う磁界の変化によって大バルクハウゼンジャンプを生じる感磁性部と、を含む、請求項1から請求項14のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - スケールの位置情報を光学的に検出するとともに、移動部の移動によって前記スケールとの相対位置が変化する検出系と、
前記移動部の移動によって信号を出力する信号発生部と、
前記信号に基づいて前記検出系の動作を制御する調整部と、を備えるエンコーダ装置。 - 前記調整部は光の照射又は光の受光を制御する、請求項16に記載のエンコーダ装置。
- 前記信号に基づいて発光部又は受光センサへの電力供給の有無を切り替える切替部を備える、請求項16又は請求項17に記載のエンコーダ装置。
- 前記調整部は、前記スケールに光が照射されるタイミングを制御する、請求項16から請求項18のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 請求項1から請求項19のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
前記移動部に動力を供給する動力供給部と、を備える駆動装置。 - 移動物体と、
前記移動物体を移動させる請求項20に記載の駆動装置と、を備えるステージ装置。 - 請求項20に記載の駆動装置と、
前記駆動装置によって相対移動する第1アームおよび第2アームと、を備えるロボット装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016007469 | 2016-01-18 | ||
JP2016007469 | 2016-01-18 | ||
PCT/JP2017/000285 WO2017126339A1 (ja) | 2016-01-18 | 2017-01-06 | エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020180189A Division JP2021012212A (ja) | 2016-01-18 | 2020-10-28 | エンコーダ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2017126339A1 true JPWO2017126339A1 (ja) | 2018-11-08 |
JP6787345B2 JP6787345B2 (ja) | 2020-11-18 |
Family
ID=59361961
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017562509A Active JP6787345B2 (ja) | 2016-01-18 | 2017-01-06 | エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 |
JP2020180189A Pending JP2021012212A (ja) | 2016-01-18 | 2020-10-28 | エンコーダ装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020180189A Pending JP2021012212A (ja) | 2016-01-18 | 2020-10-28 | エンコーダ装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11385081B2 (ja) |
EP (1) | EP3407026B1 (ja) |
JP (2) | JP6787345B2 (ja) |
CN (2) | CN116952284A (ja) |
WO (1) | WO2017126339A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6870372B2 (ja) * | 2017-02-20 | 2021-05-12 | 株式会社ニコン | エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 |
IT201700055080A1 (it) * | 2017-05-22 | 2018-11-22 | Teko Telecom S R L | Sistema di comunicazione wireless e relativo metodo per il trattamento di dati fronthaul di uplink |
CN110165311B (zh) * | 2018-02-14 | 2020-11-27 | 车王电子股份有限公司 | 电池包 |
US11181396B2 (en) * | 2018-04-10 | 2021-11-23 | Hemy8 Sa | Noise-resistant intermittently operating incremental position sensor |
US11609106B2 (en) * | 2018-07-17 | 2023-03-21 | Mitsubishi Electric Corporation | Reflective optical encoder comprising a hub with an adhesive surface with a step structure |
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2017
- 2017-01-06 JP JP2017562509A patent/JP6787345B2/ja active Active
- 2017-01-06 WO PCT/JP2017/000285 patent/WO2017126339A1/ja active Application Filing
- 2017-01-06 EP EP17741219.4A patent/EP3407026B1/en active Active
- 2017-01-06 CN CN202310923520.9A patent/CN116952284A/zh active Pending
- 2017-01-06 CN CN201780007728.9A patent/CN108496061A/zh active Pending
-
2018
- 2018-07-16 US US16/036,115 patent/US11385081B2/en active Active
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- 2020-10-28 JP JP2020180189A patent/JP2021012212A/ja active Pending
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CN116952284A (zh) | 2023-10-27 |
EP3407026A1 (en) | 2018-11-28 |
CN108496061A (zh) | 2018-09-04 |
WO2017126339A1 (ja) | 2017-07-27 |
EP3407026A4 (en) | 2019-08-07 |
JP6787345B2 (ja) | 2020-11-18 |
JP2021012212A (ja) | 2021-02-04 |
US20180340799A1 (en) | 2018-11-29 |
EP3407026B1 (en) | 2023-09-27 |
US11385081B2 (en) | 2022-07-12 |
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