JPH0618281A - 多回転アブソリュートエンコーダ - Google Patents

多回転アブソリュートエンコーダ

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JPH0618281A
JPH0618281A JP4194681A JP19468192A JPH0618281A JP H0618281 A JPH0618281 A JP H0618281A JP 4194681 A JP4194681 A JP 4194681A JP 19468192 A JP19468192 A JP 19468192A JP H0618281 A JPH0618281 A JP H0618281A
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JP
Japan
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absolute
track
signal
incremental
rotation
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Pending
Application number
JP4194681A
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English (en)
Inventor
Yasushi Ono
康 大野
Motomasa Imai
基勝 今井
Yuji Yamazaki
雄二 山崎
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電源OFF時にエンコーダ検出部へ供給され
る電源を小型化する。 【構成】 アブソリュートパターンの形成された第1ト
ラック2とインクリメンタルパターンの形成された第2
トラック3と回転数計測用の第3トラック4とを有する
符号板1を設ける。符号板1のアブソリュート信号S1
とインクリメンタル信号S2を検出する検出素子7、8
と回転数検出信号S3を検出するMRセンサ9と、検出
部7、8、9から入力された検出信号S1,S2,S3
を切り替えて処理する信号処理部10とを備える。そし
て主電源停止時に信号処理部10に設けられた電池電源
17によりMRセンサ9を動作状態におく。MRセンサ
9により回転移動が検出された場合にのみ電池電源17
によりの検出素子7、8を動作させ、所定の検出信号を
信号処理部10に出力させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は多回転アブソリュートエ
ンコーダに係り、特に電源OFF時に消費電力を抑える
とともに、エンコーダ本体の小型化を図った多回転アブ
ソリュートエンコーダに関する。
【0002】
【従来の技術】従来この種の多回転アブソリュートエン
コーダは、ロボット腕等の回転軸に取着され、その回転
軸の回転数カウントあるいはロボットアーム等の位置検
出に多く使用されている。公知技術としては、本出願人
による特開平3−287014号公報に開示された多回
転アブソリュートエンコーダ等がある。この多回転アブ
ソリュートエンコーダは、図12に示したように符号板
50の表面に1回転ロータリーアブソリュートエンコー
ダ51と1回転ロータリインクリメンタルエンコーダ5
2とが同心円状に形成されており、その内側には1回転
1パルスの回転数計測用磁気エンコーダ53が同軸的に
取り付けられている。また、この回転数計測用磁気エン
コーダ53の回転を検出するための検出器として2個の
磁気抵抗素子(MRセンサ)57がエンコーダパターン
の所定の対向位置に配置されている。
【0003】ところで、この種のロータリエンコーダを
組み込んだロボット等では作業を行わない場合には、装
置主電源をOFFにしておくため、エンコーダ各部への
電源供給も停止する。しかしながら、前述のMRセンサ
57は磁界がセンサの感度範囲を横切った時に抵抗値が
小さくなり、対象の状態を検知できるようになっている
ため、電源OFF時においても内蔵の電池電源やコンデ
ンサによる放電によって動作状態におかれる。これによ
りいつでも回転数計測用磁気エンコーダの回転数量をカ
ウントできる状態にしている。
【0004】そして、作業開始に際し、電源が再投入さ
れ制御部からの絶対位置要求を受けると、まず回転数量
を2相矩形波にて送信し、1回転内位置を2相矩形波の
数に変換して送信し、送信後はインクリメンタルエンコ
ーダとして動作する。その結果、受信信号をカウントす
ることで絶対位置が検出できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ような従来の技術においては、電源OFF時においてエ
ンコーダが停止しているか動いているかにかかわらず、
1回転ロータリーエンコーダを常に動作状態におく必要
がある。またMRセンサは回転方向を検出するため常に
2個を配置し、それぞれを通電状態におかなければなら
ない。そのため電源OFF時における消費電力が大きく
なる。このためエンコーダに内蔵される電池電源やコン
デンサの容量を大きくする必要があり、電池やコンデン
サのサイズも大きくなり、エンコーダの小型化の要請に
応えられないという問題がある。
【0006】そこで、本発明の目的は、前述のような従
来の技術の有する問題点を解消し、電源OFF時の消費
電力を減少させ、エンコーダの小型化を可能にした多回
転アブソリュートエンコーダを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明はアブソリュートパターンが形成された第1
トラックとインクリメンタルパターンが形成された第2
トラックと回転数計測用の第3トラックとを有する符号
板と、前記アブソリュートパターンに対して相対移動可
能で、前記アブソリュートパターンを読み取るアブソリ
ュート用検出器と、前記インクリメンタルパターンに対
して相対移動可能で、前記インクリメンタルパターンを
読み取るインクリメンタル用検出器と、前記回転数計測
用の第3トラックに対して相対移動可能で、前記回転数
計測用の第3トラックから回転数を計測する回転数計測
器と、エンコーダ本体に供給される主電源が停止した時
に、給電可能な補助電源と、前記主電源が停止した時、
前記補助電源により、前記回転数計測器を動作状態に
し、前記回転数計測器が前記符号板の回転移動を検出し
た時にのみ、前記アブソリュート用検出器と前記インク
リメンタル用検出器とを前記補助電源で動作させ、前記
符号板の前記回転移動量の検出信号を出力させる信号処
理部とを備えたことを特徴とするものである。
【0008】この場合、主電源停止時に前記回転数計測
器により回転移動が検出された場合に前記アブソリュー
ト用検出部あるいはインクリメンタル用検出器を前記補
助電源により動作状態を保持させ、所定の設定時間にわ
たり前記アブソリュート用検出部が回転動作を検知しな
い場合には再び前記回転数計測器のみを動作状態におく
ようにすることが好ましい。
【0009】また、前記インクリメンタル用検出器から
の検出信号は前記アブソリュート用検出器からの検出信
号のシリアル信号列と合わせて1本の信号線を介して前
記信号処理部に出力することが好ましい。
【0010】さらに、前記信号処理部はエンコーダ本体
と別体に構成し、配置されることが好ましい。
【0011】加えて、前記回転数計測器はコイル素子と
することが好ましい。
【0012】
【作用】本発明によれば、符号板にアブソリュートパタ
ーンが形成された第1トラックとインクリメンタルパタ
ーンが形成された第2トラックと回転数計測用の第3ト
ラックとを設け、前記アブソリュートパターンに対して
相対移動可能に配置されたアブソリュート用検出器で前
記アブソリュートパターンを読み取り、前記インクリメ
ンタルパターンに対して相対移動可能に配置されたイン
クリメンタル用検出器で前記インクリメンタルパターン
を読み取り、前記回転数計測用の第3トラックに対して
相対移動可能に配置された回転数計測器で前記回転数計
測用の第3トラックの回転数を計測するようにし、エン
コーダ本体に供給される主電源が停止した時に、補助電
源からの給電により、前記回転数計測器を動作状態に
し、前記回転数計測器が前記符号板の回転移動を検出し
た時にのみ、前記アブソリュート用検出器と前記インク
リメンタル用検出器とを前記補助電源で動作させ、前記
符号板の前記回転移動量の検出信号を出力させる信号処
理部とを備えたので、主電源停止時においては前記回転
数計測器のみに通電して、その動作状態を保持すれば良
く、消費される電力を小さくすることができる。
【0013】この場合、主電源停止時に前記回転数計測
器により回転移動が検出された場合に前記アブソリュー
ト用検出部あるいはインクリメンタル用検出器を前記補
助電源により動作状態を保持させ、所定の設定時間にわ
たり前記アブソリュート用検出部が回転動作を検知しな
い場合には再び前記回転数計測器のみを動作状態におく
ようにすることにより、さらに最小消費電力状態に自動
的に戻すことができ、電池の消費を最小限にとどめるこ
とができる。搭載する電池のサイズを小さくし、またエ
ンコーダ本体のサイズを小さくすることも可能になる。
【0014】また、前記インクリメンタル用検出器から
の検出信号は前記アブソリュート用検出器からの検出信
号の信号列と一体として1本の信号線を介して前記信号
処理部に出力することにより信号線の本数を減らすこと
ができ、エンコーダと信号処理回路とを別体とした場合
にも接続等の簡便化が図れる。
【0015】さらに、前記回転数計測器をコイル素子と
することにより電磁誘導により発生する起電力を回路中
に流し、所定の電気信号として認識させ回転移動検出を
行うことができ、この場合には電源停止時においても、
電池等の内部供給電源を省略することができる。
【0016】
【実施例】以下本発明による多回転アブソリュートエン
コーダの一実施例の構成について図1及び図2を参照し
て説明する。図1は本発明の一実施例である符号板1に
形成されたパターンを示したものである。同図におい
て、符号2は8ビット256パルスのM系列のアブソリ
ュートパターンが形成された第1トラックを示してお
り、この第1トラック2の内周部分には第1のインクリ
メンタルパターンが形成された第2トラック3が形成さ
れ、さらにその内周には1回転で4パルスを発生させる
第2のインクリメンタルパターンが形成された第3のト
ラック4が設けられている。これらの3本のトラックの
うち第1及び第2トラック2、3は、光学読み取り式の
黒白縞パターンで形成されている。また、第3のトラッ
ク4は、SN極を交互に配置した着磁パターンで形成さ
れている。さらにこの着磁パターンは1個のMRセンサ
9で読み取られる。なお、第3のトラック4には1回転
で4パルスが2相出力できるように2列のSN反転した
着磁パターンが形成されている。
【0017】図2は、本発明による多回転アブソリュー
トエンコーダの符号板1と、光源6および前述の第1〜
第3のトラック2、3、4からの位置情報等を検出する
検出素子7、8、9と、検出素子7、8、9からの信号
(S1、S2、S3)を処理する信号処理回路10内の
回路モジュールのブロック構成図とを示している。同図
において、光源6としてはLEDが用いられ、前述の第
1トラック2と第2トラック3とを上方から照射するよ
うに設置されている。また符号板1を挟んで光源6の対
向位置には第1トラック2からの情報を読み取るアブソ
リュート信号検出素子7と第2トラック3からの情報を
読み取るインクリメンタル信号検出素子8とが並設され
ている。本実施例ではこれらの検出素子としてホトダイ
オードが使用され、これらの検出素子7、8でエンコー
ダを通過した光が光電変換され、所定の電気信号(S
1、S2)として信号処理回路10に入力される。一
方、第3のトラック4の上方にはMRセンサ9が配置さ
れ、このMRセンサ9からの電気信号(S3)も信号処
理回路10に入力される。
【0018】ここで、信号処理回路10の各回路モジュ
ールの構成について各トラックからの信号の経路をもと
に説明する。第1トラック2を構成するアブソリュート
パターンのスリットを通過した透過光は検出素子7で光
電変換されたアブソリュートパターンの明暗を電気信号
(S1)として信号処理回路10に入力される。そして
まず、信号処理回路10内のROM11に入力される。
このROM11にはコード参照テーブルが書き込まれて
おり、このROM11によりアブソリュートパターンを
直接読み取ったランダムな16進数コード信号(S1)
が絶対位置に倣った単調増加する2進数値信号に変換さ
れる。次いで所定の2進数に変換された信号は、回転判
断回路12に送られる。この回転判断回路12では、前
回読み取ったアブソリュートパターンの絶対位置の読み
との比較を行い、その結果により多回転カウンタ13の
up・down動作を行い、所定の絶対位置を読み取る
ことができる。
【0019】一方、第1トラック2の内周部分に形成さ
れた第2トラック3を形成するインクリメンタルパター
ンは検出素子8で読み取られ、光電変換され、信号S1
として信号処理回路10のカウンタ14に送られる。こ
のカウンタ14では一回転内回転数をカウントするとと
もに、得られた最上位ビット(MSB)を用いて前述の
多回転カウンタ13のup・down動作を行い、所定
の絶対位置を読み取ることができる。
【0020】さらに、第3トラック4に形成された着磁
パターンを電気的に読み取るMRセンサ9には補助電源
である電池電源17からの図示しない供給ラインが接続
されており、装置の主電源OFF時にもMRセンサ9が
動作状態にあるようにしている。このMRセンサ9は信
号処理回路10内のスピード検出回路15に接続されて
いる。このスピード検出回路15はMRセンサ9から入
力されたモニタ信号(S3)によりMRセンサ9の取り
付けられた回転軸Aの回転を検知するようになってい
る。
【0021】以上の回路を動作可能状態にするために所
定の電源を供給する電源制御回路16が設けられてい
る。この電源制御回路16は、主電源OFF時に信号処
理回路10内に内蔵された電池電源17からMRセンサ
9への電源供給の制御を行うとともに、この状態で回転
軸Aが回転したことを検知した場合には光源6のLED
を点灯させ、通常ON時に使用される電源ライン(Bat
L )を介して検出素子7、8に電源を供給し、この検出
素子7、8により回転数に応じて第1トラック2あるい
は第2トラック3のエンコーダパターンを読み取る状態
を作ることができる。
【0022】ここで、以上述べたアブソリュートエンコ
ーダの信号処理回路10の電源OFF時及び電源ON時
の動作状態について図3〜図7を参照して説明する。図
3〜図5は電源OFFの状態での本発明によるアブソリ
ュートエンコーダの各回路モジュールの接続状態を示し
ており、各回路モジュールはエンコーダ回転状態に応じ
て図3〜図5に示したように設定される。同様に図6及
び図7は電源ONの状態の信号処理部の各回路モジュー
ルの接続状態を示しており、低速及び高速状態での各回
路モジュールの接続状態を示している。各図において、
実線で示したライン及び回路モジュールは動作中を意味
し、破線は休止中を示している。
【0023】(電源OFF停止時)図3は電源OFF時
で回転軸Aが停止状態にあるときを示している。電池電
源17は、MRセンサ9の磁気抵抗素子駆動用、スピー
ド検出回路15と多回転カウンタ13内のデータ保持用
に所定電源を供給するように設定されている。このとき
MRセンサ9の磁気抵抗素子は1個のみ搭載されている
ので、消費電力を十分抑えることができる。
【0024】この停止状態から回転軸Aが僅かに回転す
ると、まずMRセンサ9が第3トラック4の交番磁極の
変化を検出し、モニタ信号(S3)が信号処理回路10
に出力される。そして回路内のスピード検出回路15で
回転軸Aの回転動作をすると、電源制御回路16が光源
6のLEDを点灯させ、検出素子7、8による読み取り
が可能になる。第1トラック3のアブソリュートパター
ン(図中ABSと略記する。)を検出素子7でスキャン
しながら読み取るタイミングは図8及び図9に示したよ
うにMRセンサ9による第3トラック4の磁極の初動検
出時(図8)、または第2トラック3のインクリメンタ
ルパターン(図中INCと略記する。)の検出信号(S
2)の立ち上がり(図9(a))や、一定時間(Δt)
ごと(図9(b))に設定することができる。
【0025】(電源OFF低速時)前述のように図4の
電源OFFの状態で回転軸Aが低速回転した場合に、信
号処理回路10には第2トラック3のアブソリュートパ
ターンの信号(S1)が入力される。ここで、低速状態
とは、本発明では第2トラック3のアブソリュートパタ
ーンのスキャンがインクリメンタル信号の1ピッチ以内
にて終了できるような臨界回転速度:8ビット256パ
ルスでスキャンクロックが200kHzの場合、60s
/5μs×8bit×2×256パルス=3000rp
m以下の状態と定義する。
【0026】入力信号(S1)は、まず信号処理回路1
0でROM11にて絶対位置に対応する2進数信号に変
換され、さらに回転判断回路12において前回読みとっ
た絶対位置と比較され、引き続き多回転カウンタ13に
よりup・down動作が行われ、絶対位置が求められ
る。この状態で第3トラック4を読みMRセンサ9から
のモニタ信号(S3)の変化が一定時間(例えば10秒
以上)ない場合、信号処理回路10内の各回路モジュー
ルは図3に示した電源OFFの停止状態に再び戻る。
【0027】(電源OFF高速時)通常、電源OFF時
の状態で回転軸Aが高速で回転することは稀であり、例
えばエンコーダの取り付けられたロボットアーム等が衝
突等により大きく振れたような場合に回転軸Aは高速状
態(例えば3000rpm以上)におかれることがあ
る。
【0028】このような場合の信号処理部10の回路構
成を図5に示した。電源OFF時の高速状態において
は、検出素子8は第1トラック2のアブソリュートパタ
ーンをスキャンすることができず、その位置を見失って
しまう。そこで、電池17を電源にして第2トラック3
のインクリメンタル信号(S2)を検出し、カウンタ1
4を動作させ、多回転カウンタ13をup・downさ
せ絶対位置を検出する。またこの高速状態から低速ない
し停止状態に移った場合には回路はそれぞれ図3、図4
で示した構成をとる。この時の信号のタイミングチャー
トを示すと図10のようになる。
【0029】(電源ON低速時)次に、ロボット等が動
作している電源ON状態について説明する。図6の電源
ONで低速回転状態においては、第1トラック2のアブ
ソリュートパターンを第2トラック3のインクリメンタ
ル信号(S2)の立ち上がり、または一定時間ごとのタ
イミングにて検出素子8で繰り返し読み、回転判断回路
12にて前回読みとった位置と比較し、多回転カウンタ
13のup・downを行う。
【0030】なお、ROM11で変換された絶対位置に
対応する2進数値と、カウンタ14の値とは、読み取り
タイミングが一致していれば、等しくなるはずだが、信
号(S1)にノイズ等が混入して一致しない場合があ
る。この場合にはROM11で変換したデータをライン
20を介してカウンタ14にセットする。このようにイ
ンクリメンタル信号(S2)をアブソリュート信号(S
1)と併用して使うことで位置検出精度向上を図ること
ができる。
【0031】また、回転軸Aの回転速度の検出には、通
常第2トラック3のインクリメンタル信号(S2)を用
いて検出するが、第3トラック4のMRセンサ9からの
信号(S3)を用い、MRセンサの着磁パターンを横切
る回数を計測することでも求めることができる。このと
き本実施例では1回転4パルス発生させるようになって
いるが、インクリメンタル信号(S2)との兼ね合いに
より適当なパルス数を発生させるように着磁パターンを
設定することができる。低速状態での信号出力状態は図
11(a)のタイミングチャートに示したように第1ト
ラック2のアブソリュートパターン(ABS)のスキャ
ン時間より第2トラック3のインクリメンタル信号のA
相の1周期の方が長いため、A相の立ち上がりに同期し
たABS出力が安定的に出力される。
【0032】(電源ON高速時)通常ロボットアームが
大きく運動する場合には、回転軸Aは高速回転する。こ
のような電源ONの高速回転状態においては、図7に示
したようにカウンタ14の最上位ビット(MSB)によ
りの多回転カウンタ13を正逆回転させup・down
動作させることで絶対位置を検出する。この場合にも電
源OFF時と同様に第1トラック2のアブソリュートパ
ターン(ABS)のスキャン間隔よりエンコーダの回転
数が高くなるので、第2トラック3のインクリメンタル
信号(S2)でないと位置は検出できない。これはこの
時の信号出力状態は図11(b)のタイミングチャート
に示したようにABS信号スキャン時間よりINC信号
のA相(またはB相)の1周期が短いためにABS出力
が不定になるためである。
【0033】なお、以上で説明した実施例は検出素子で
あるMRセンサ9に磁気抵抗素子を使用した例を示した
が、この検出素子をコイルで構成した場合は磁極の変化
部分で発生する電流を信号処理回路10で検出すること
ができる。この場合には磁気抵抗素子に流す電流を供給
する配線が不要になるとともに、供給電源用の電池の小
型化も図ることができる。
【0034】また、従来例における外部機器と多回転ア
ブソリュートエンコーダとの間の接続線は、通常11本
を必要としたが、本発明ではエンコーダ本体と信号処理
回路10とを分離して信号線はVcc、0V、Bat
(電池)、MR(磁気センサ出力)、M、N M(絶対位
置パターン出力、ここにN:逆位相表示( ̄)の代用表
示)、A、N A、B、N B(インクリメンタルパターン
出力)の10本で済む。
【0035】また、インクリメンタル信号A、NA、
B、NBの信号を2ビット表示し、M、N M信号を構成
する8ビットシリアル信号に付加して10ビットのシリ
アル信号列として出力するようにすれば、信号線数をさ
らに減少させることができる。また、前述の信号処理回
路全体をエンコーダ及び検出部と別体に構成し、信号線
で接続することによりエンコーダ本体のサイズを更に小
さくでき、また電池のみや多回転カウンタのデータ保持
機能等をエンコーダのハウジング外に出すことも可能で
ある。
【0036】
【発明の効果】以上の様に本発明によれば、電源OFF
時において1個の回転数計測器によってのみ回転の有無
を検出を行え、この検出部の消費電力のみを考慮すれば
良く、消費電力の低減が図れるので、電池等の電源を小
型化でき、エンコーダ全体をコンパクトにできるという
効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による多回転アブソリュートエンコーダ
の一実施例を示した平面図。
【図2】図1に示した多回転アブソリュートエンコーダ
と信号処理部の一例を示した概略ブロック図。
【図3】電源OFF(停止時)の信号処理部の回路モジ
ュールの構成を示したブロック構成図。
【図4】電源OFF(低速時)の信号処理部の回路モジ
ュールの構成を示したブロック構成図。
【図5】電源OFF(高速時)の信号処理部の回路モジ
ュールの構成を示したブロック構成図。
【図6】電源ON(停止時)の信号処理部の回路モジュ
ールの構成を示したブロック構成図。
【図7】電源ON(停止時)の信号処理部の回路モジュ
ールの構成を示したブロック構成図。
【図8】電源OFF(停止時)に信号処理部に入力され
る検出信号の一例を示したタイミングチャート。
【図9】電源OFF(低速時)に信号処理部に入力され
る検出信号の一例を示したタイミングチャート。
【図10】電源OFF(高速時)に信号処理部に入力さ
れる検出信号の一例を示したタイミングチャート。
【図11】電源ON時に信号処理部に入力される検出信
号の一例を示したタイミングチャート。
【図12】従来の多回転アブソリュートエンコーダの一
例を示した平面図。
【符号の説明】
1 符号板 2 第1トラック 3 第2トラック 4 第3トラック 6 光源 7、8 検出素子 9 MRセンサ 10 信号処理部 13 多回転カウンタ 14 カウンタ 16 電源制御回路 17 電池電源

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】アブソリュートパターンが形成された第1
    トラックとインクリメンタルパターンが形成された第2
    トラックと回転数計測用の第3トラックとを有する符号
    板と、 前記アブソリュートパターンに対して相対移動可能で、
    前記アブソリュートパターンを読み取るアブソリュート
    用検出器と、 前記インクリメンタルパターンに対して相対移動可能
    で、前記インクリメンタルパターンを読み取るインクリ
    メンタル用検出器と、 前記回転数計測用の第3トラックに対して相対移動可能
    で、前記回転数計測用の第3トラックから回転数を計測
    する回転数計測器と、 エンコーダ本体に供給される主電源が停止した時に、給
    電可能な補助電源と、 前記主電源が停止した時、前記補助電源により、前記回
    転数計測器を動作状態にし、前記回転数計測器が前記符
    号板の回転移動を検出した時にのみ、前記アブソリュー
    ト用検出器と前記インクリメンタル用検出器とを前記補
    助電源で動作させ、前記符号板の前記回転移動量の検出
    信号を出力させる信号処理部と、を備えたことを特徴と
    する多回転アブソリュートエンコーダ。
  2. 【請求項2】主電源停止時に前記回転数計測器により回
    転移動が検出された場合に前記アブソリュート用検出部
    あるいはインクリメンタル用検出器を前記補助電源によ
    り動作状態を保持させ、所定の設定時間にわたり前記ア
    ブソリュート用検出部が回転動作を検知しない場合には
    再び前記回転数計測器のみを動作状態におくようにした
    ことを特徴とする請求項1記載の多回転アブソリュート
    エンコーダ。
  3. 【請求項3】前記インクリメンタル用検出器からの検出
    信号は前記アブソリュート用検出器からの検出信号のシ
    リアル信号列と合わせて1本の信号線を介して前記信号
    処理部に出力されることを特徴とする請求項1記載の多
    回転アブソリュートエンコーダ。
  4. 【請求項4】前記信号処理部はエンコーダ本体と別体に
    構成されたことを特徴とする請求項1記載の多回転アブ
    ソリュートエンコーダ。
  5. 【請求項5】前記回転数計測器はコイル素子から構成さ
    れたことを特徴とする請求項1記載の多回転アブソリュ
    ートエンコーダ。
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