JP2018044859A - エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 - Google Patents

Abstract

【課題】メンテナンスの頻度を減らすことが可能なエンコーダ装置を提供する。【解決手段】エンコーダ装置（ＥＣ）は、移動部（ＳＦ）の位置情報を検出する位置検出部（１）と、移動部の移動に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する信号発生部（５）と、第１電源（７）からの電力の供給が遮断された状態において、位置検出部へ電力を供給する電力供給部（２）と、位置検出部の動作の終了を示すトリガー信号に基づき、電力供給部から位置検出部への電力の供給を遮断する遮断部（６）と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置に関する。

回転軸の回転の数を区別する多回転型のエンコーダ装置は、ロボット装置などの各種装置に搭載されている（例えば、下記の特許文献１参照）。ロボット装置の動作中において、エンコーダ装置は、例えばロボット装置の主電源から電力供給を受けて、回転の数を示す多回転情報と１回転未満の角度位置を示す角度位置情報とを含む回転位置情報を検出する。

ロボット装置が所定の処理を終了すると、その主電源がオフにされることがある。この場合に、ロボット装置の主電源からエンコーダ装置への電力供給も停止される。ロボット装置には、主電源が次にオンに切り替えられた際（例、次回の動作を開始する際）に、初期の姿勢などの情報が必要とされることがある。そのため、エンコーダ装置には、外部から電力が供給されない状態においても、多回転情報を保持することが求められる。そこで、エンコーダ装置として、主電源からの電力供給が得られない状態において、バッテリーから供給される電力によって多回転情報を保持するものが用いられる。

特開平８−５００３４号公報

本発明の第１の態様に従えば、移動部の位置情報を検出する位置検出部と、移動部の移動に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する信号発生部と、第１電源からの電力の供給が遮断された状態において、位置検出部へ電力を供給する電力供給部と、位置検出部の動作の終了を示すトリガー信号に基づき、電力供給部から位置検出部への電力の供給を遮断する遮断部と、を備えるエンコーダ装置が提供される。

本発明の第２の態様に従えば、第１の態様のエンコーダ装置と、移動部に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置が提供される。

本発明の第３の態様に従えば、第２の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置が提供される。

本発明の第４の態様に従えば、第２の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置が提供される。

実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。 実施形態に係る信号発生部、及びセンサを示す図である。 実施形態に係るエンコーダ装置の回路構成を示す図である。 実施形態に係る遮断部およびその動作を示す図である。 実施形態に係る遮断部およびその動作を示す図である。 実施形態に係る遮断部およびその動作を示す図である。 実施形態に係るエンコーダ装置の動作を示す図である。 実施形態に係る検出信号、イネーブル信号、遅延信号、及び放電制御信号の例を示す図である。 実施形態に係る遮断部の変形例を示す図である。 実施形態に係る駆動装置を示す図である。 実施形態に係るステージ装置を示す図である。 実施形態に係るロボット装置を示す図である。

図１は、本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣを示す図である。このエンコーダ装置ＥＣは、移動部の位置情報（移動位置情報）を検出する。エンコーダ装置ＥＣは、例えばロータリーエンコーダであり、移動部は、例えばモータＭ（動力供給部）の回転軸ＳＦであり、移動部の移動は、例えば所定の軸まわりの回転である。また、移動部の位置情報は、例えば、回転軸ＳＦの回転位置情報である。

回転軸ＳＦは、例えばモータＭのシャフト（回転子）であるが、モータＭのシャフトに変速機などの動力伝達部を介して接続されるとともに負荷に接続される作用軸（出力軸）であってもよい。エンコーダ装置ＥＣが検出した回転位置情報は、モータ制御部ＭＣに供給される。モータ制御部ＭＣは、エンコーダ装置ＥＣから供給された回転位置情報を使って、モータＭの回転を制御する。モータ制御部ＭＣは、回転軸ＳＦの回転を制御する。なお、エンコーダ装置ＥＣは、例えばリニアエンコーダでもよく、リニアモータ、平面モータなどの動力駆動部の移動部の位置情報（移動位置情報）を検出してもよい。

エンコーダ装置ＥＣは、位置検出部（位置検出系）１、電力供給部２、信号発生部５、及び遮断部６を備える。信号発生部５は、回転軸ＳＦの回転に伴って、間欠的（断続的に）に電気信号（検出信号）が発生する。電力供給部２は、信号発生部５における検出信号の発生に応じて、位置検出部１で消費される電力（使用される電力）の供給を開始する。位置検出部１は、常時又は検出信号の発生に応じて、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。位置検出部１は、検出信号が間欠的に発生することで、回転軸ＳＦの回転位置情報を間欠的に検出する。例えば、電力供給部２は、検出信号を受けて位置検出部１に電力の供給を開始し、位置検出部１は、電力供給部２から電力の供給を受けて回転軸ＳＦの回転位置情報の検出を開始する。遮断部６は、位置検出部１の動作（一連の動作、検出動作）の終了を示すトリガー信号を受けて、電力供給部２から位置検出部１への電力の供給を遮断する。

以下、エンコーダ装置ＥＣの各部について説明する。位置検出部１は、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。本実施形態におけるエンコーダ装置ＥＣは、多回転アブソリュートエンコーダであり、回転軸ＳＦの回転の数を示す多回転情報、および１回転未満の角度位置（回転角）を示す角度位置情報を含む回転位置情報を検出する。エンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの多回転情報を検出する多回転情報検出部３、及び回転軸ＳＦの角度位置を検出する角度検出部４を備える。

位置検出部１の少なくとも一部（例、角度検出部４）は、例えば、通常状態において、第１電源７から供給される電力によって回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。第１電源７は、例えば、エンコーダ装置ＥＣが搭載される装置（例、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置）の主電源であり、回転軸ＳＦの駆動に消費される電力を供給する。例えば、モータ制御部ＭＣは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果に基づいて、第１電源７からの電力を調整してモータＭに供給することで、回転軸ＳＦの回転を制御する。位置検出部１は、第１電源７が投入されている状態（第１電源７がオンになっている状態、通常状態）で、第１電源７から電力の供給を受けて動作する。また、第１電源７が位置検出部１に投入されている状態において、角度検出部４（又はその回路）は動作できる。例えば、第１電源７が位置検出部１に投入された通常状態になった場合に、角度検出部４は角度位置情報の検出（例、演算）を開始し、同様に多回転情報検出部３も多回転情報の検出（例、演算）を開始する。

また、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部３）は、例えば、第１電源７からの電力の供給が遮断された状態（例、第１電源からの電力供給が停止している状態、第１電源７が投入されていない状態、第１電源７がオフになっている状態、バックアップ状態）において、第１電源７とは異なる第２電源（例、電力供給部２、電力供給部２のバッテリー３３）から供給される電力によって動作する。例えば、位置検出部１に対して第１電源７からの電力の供給が断たれた状態において、電力供給部２は、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部３）に対して検出信号をもとに断続的（間欠的、選択的）に電力を供給し、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部３）を間欠動作させる。位置検出部１は、電力供給部２から電力が供給された際に回転軸ＳＦの回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を検出する。また、第１電源７が投入されていない状態において、多回転情報検出部３（又はその回路）は動作できる。例えば、第１電源７が投入されていなく第２電源から電力が供給されたバックアップ状態になった場合に、多回転情報検出部３は多回転情報の検出を継続するが、角度検出部４は角度位置情報の検出を停止する。このように、多回転情報検出３は、検出信号に基づき、電源（第１電源７、バッテリー３３等の第２電源など）のオンオフ状態（通常状態およびバックアップ状態）に関係なく、多回転情報の検出を行う。

多回転情報検出部３は、例えば、磁気式の検出部であり、磁気によって多回転情報を検出する。多回転情報検出部３は、例えば、磁石１１、磁気センサ１２、処理部１３、及び記憶部１４を備える。磁石１１は、回転軸ＳＦに固定された円板（第１の回転体、第１の移動体）１５に設けられる。円板１５は回転軸ＳＦとともに回転するため、磁石１１は回転軸ＳＦと連動して回転（移動）する。磁石１１は回転軸ＳＦの外部に固定され、磁石１１および磁気センサ１２は、回転軸ＳＦの回転によって互いの相対位置が変化する。磁石１１が形成する磁気センサ１２上の磁界の強さおよび向きは、回転軸ＳＦの回転によって変化する。磁気センサ１２は、磁石１１が形成する磁界を検出し、処理部１３は、磁石が形成する磁界を磁気センサ１２が検出した結果に基づいて、回転軸ＳＦの位置情報（例、多回転情報）を検出（算出）する。記憶部１４は、処理部１３からの位置情報（例、多回転情報）の記憶指示（データの書き込み指令）に基づいて、処理部１３が検出して処理した位置情報を記憶する。なお、磁石１１は磁気センサ１２又は信号発生部５に対して相対的な移動が可能であればよく、磁石１１ではなく磁気センサ１２が円板１５に設けられる構成でもよい。また、例えば、処理部１３は、多回転情報を処理する多回転処理部である。

角度検出部４は、光学式または磁気式のエンコーダであり、スケール（第２の回転体、第２の移動体）Ｓの一回転内の位置情報（角度位置情報、絶対又は相対位置情報）を検出する。例えば、角度検出部４は、光学式エンコーダである場合、スケールＳのパターンニング情報を受光素子で読み取ることにより、回転軸ＳＦの１回転以内の角度位置情報を検出する。スケールＳのパターンニング情報とは、例えばスケールＳ上のスリット（透過パターン）又は反射パターン等による明暗のパターンである。角度検出部４は、多回転情報検出部３の検出対象と同じ回転軸ＳＦの角度位置情報を検出する。角度検出部４は、発光素子２１、スケールＳ、受光センサ２２、及び処理部２３を備える。例えば、処理部２３は、スケールＳの一回転内の位置情報を処理する角度位置処理部である。

スケールＳは、回転軸ＳＦに固定されて設けられている。スケールＳは、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳを含む。なお、スケールＳは、円板１５に設けられてもよいし、円板１５と一体化された部材であってもよい。この場合、例えば、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳの一方または双方は、円板１５において磁石１１と同じ側の面又は反対側の面に設けられていてもよい。また、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳの一方または双方は、磁石１１の位置に対して内側と外側との少なくとも一方に設けられていてもよい。

発光素子２１（照射部、発光部）は、スケールＳのインクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳに光を照射する。受光センサ２２（光検出部）は、発光素子２１から照射されインクリメンタルパターンＩＮＣを経由した光、及び発光素子２１から照射されアブソリュートパターンＡＢＳを経由した光を検出する。図１において、角度検出部４は透過型であり、受光センサ２２は、スケールＳを透過した光を検出する。角度検出部４は反射型であってもよく、この場合、受光センサ２２は、スケールＳで反射した光を検出する。受光センサ２２は、検出結果を示す信号を処理部２３へ供給する。処理部２３は、受光センサ２２の検出結果を使って、回転軸ＳＦの角度位置を検出する。例えば、処理部２３は、アブソリュートパターンＡＢＳからの光を検出した結果を使って第１分解能の角度位置情報を検出する。また、処理部２３は、インクリメンタルパターンＩＮＣからの光を検出した結果を使って、第１分解能の角度位置情報に内挿演算を行うことにより、第１分解能よりも高い第２分解能の角度位置情報を検出する。

本実施形態において、エンコーダ装置ＥＣは、信号処理部２５を備える。信号処理部２５は、位置検出部１による検出結果を処理する。信号処理部２５は、合成部２６および外部通信部２７を備える。合成部２６は、処理部２３が検出した第２分解能の角度位置情報を取得する。また、合成部２６は、多回転情報検出部３の記憶部１４から回転軸ＳＦの多回転情報を取得する。合成部２６は、処理部２３からの角度位置情報、及び多回転情報検出部３からの多回転情報を合成し、回転軸ＳＦの回転位置情報を算出する。例えば、処理部２３の検出結果がθ［ｒａｄ］であり、多回転情報検出部３の検出結果がｎ回転である場合に、合成部２６は、回転位置情報として（２π×ｎ＋θ）［ｒａｄ］を算出する。回転位置情報は、多回転情報と、１回転未満の角度位置情報とを組にした情報でもよい。

そして、合成部２６は、算出した回転位置情報を外部通信部２７に送信する。外部通信部２７は、有線または無線によって、モータ制御部ＭＣの通信部ＭＣ１と通信可能に接続されている。外部通信部２７は、デジタル形式の回転位置情報を、モータ制御部ＭＣの通信部ＭＣ１に供給する。モータ制御部ＭＣは、角度検出部４の外部通信部２７からの回転位置情報を適宜復号する。モータ制御部ＭＣは、回転位置情報を使ってモータＭへ供給される電力（駆動電力）を制御することにより、モータＭの回転を制御する。

電力供給部２は、信号発生部５、切替部３２、及びバッテリー（電池）３３を備える。信号発生部５は、移動部（例、回転軸ＳＦ）の移動（例、回転）に伴う磁界の変化によって電気信号（検出信号）が発生する。この電気信号は、例えば、電力（電流、電圧）が時間変化する波形を含む。信号発生部５には、例えば、回転軸ＳＦの回転に伴って変化する磁界によって、電気信号として検出信号が発生する。例えば、信号発生部５には、多回転情報検出部３が回転軸ＳＦの多回転情報の検出に用いる磁石１１が形成する磁界（磁場）の変化（例、磁場の切り替わり）によって、検出信号が発生する。信号発生部５は、回転軸ＳＦの回転によって、磁石１１との相対的な角度位置が変化するように、配置される。信号発生部５には、例えば、信号発生部５と磁石１１との相対位置が所定の位置になった際に、パルス状の電気信号が発生する。

バッテリー３３は、信号発生部５で発生する検出信号に応じて、位置検出部１で消費される電力の少なくとも一部を供給する。バッテリー３３は、例えばボタン型電池、乾電池などの一次電池であるが、リチウムイオン二次電池などの二次電池でもよい。本実施形態のバッテリー３３は、例えばボタン型電池であり、保持部３５に保持される。保持部３５は、例えば、位置検出部１の少なくとも一部が設けられる回路基板などである。保持部３５は、例えば、遮断部６、処理部１３、切替部３２、及び記憶部１４を保持する。保持部３５には、例えば、バッテリー３３を収容可能な電池ケース、及びバッテリー３３と接続される電極、配線などが設けられる。電力供給部２は、バッテリー３３を備えなくてもよい。例えば、電力供給部２は、バッテリー３３を取り付け可能な電極、ケースなどを備え、ユーザは、エンコーダ装置ＥＣを使用する際にバッテリー３３をエンコーダ装置ＥＣに取り付けてもよい。

切替部３２は、信号発生部５で発生した検出信号を制御信号に用いてバッテリー３３から位置検出部１への電力の供給の有無を切り替える。例えば、切替部３２は、信号発生部５で発生する電気信号のレベルが閾値以上になることでバッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を開始させる。例えば、切替部３２は、信号発生部５で閾値以上の検出信号が発生することでバッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を開始させる。

また、切替部３２は、信号発生部５で発生する電気信号のレベルが閾値未満になることでバッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を停止させる。例えば、切替部３２は、信号発生部５で発生する検出信号が閾値未満になることでバッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を停止させる。例えば、信号発生部５にパルス状の電気信号が発生する場合、切替部３２は、この電気信号のレベル（電位）がローレベルからハイレベルに立ち上がった際に、バッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を開始させ、この電気信号のレベル（電位）がローレベルへ変化してから所定の時間経過後に、バッテリー３３から位置検出部１への電力の供給を停止させる。

ここで、例えば、第１電源７からの電力の供給が遮断された状態（バックアップ状態）において、切替部３２によって位置検出部１へ電力が供給される時間（電力供給時間）は、信号検出部５から生じるパルス状の検出信号の大きさによって変化する。例えば、信号発生部５で今回発生した検出信号が信号発生部５で前回発生した検出信号よりも電力あるいはレベルが高い場合、今回の検出信号に応じて位置検出部１へ電力が供給される時間は、前回の検出信号に応じて位置検出部１へ電力が供給される時間よりも長い。このように、信号検出部５から生じるパルス状の検出信号の大きさにばらつきがある場合、バッテリー３３等の電力供給部２から位置検出部１（例、多回転情報検出部３の処理部１３）へ電力が供給される電力供給時間にもばらつきが生じる。例えば、検出信号が小さい（検出信号の電力又はレベルが低い）場合に合わせて電力供給時間を設定すると、次に生じる検出信号が大きい場合に電力供給時間が長くなり余分な電力が消費される。しかしながら、本実施形態における遮断部６は、位置検出部１の動作の終了を示すトリガー信号を受けて、電力供給部２から位置検出部１への電力供給を遮断して停止するので、例えば、今回の検出信号に応じて位置検出部１へ電力が供給される時間を短縮し、バッテリー３３等の電力供給部（第２電源）の消耗を抑えることができる。エンコーダ装置ＥＣは、位置検出部１の動作の終了を示すトリガー信号を受けて、電力供給部２から位置検出部１への電力の供給を遮断するので、リアルタイムに（又は検出信号ごとに）電力供給時間を変更できる。

なお、電力供給部２は、バッテリー３３を備えなくてもよい。例えば、電力供給部２は、バッテリー３３を取り付け可能な電極、ケースなどを備え、ユーザは、エンコーダ装置ＥＣを使用する際にバッテリー３３をエンコーダ装置ＥＣに取り付けてもよい。また、電力供給部２は、バッテリー３３および切替部３２を備えなくてもよい。例えば、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで調整した電力を位置検出部１に供給してもよい。また、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで調整した電力と、バッテリー３３からの電力とを併用してあるいは切り替えて、位置検出部１に供給してもよい。

図２は、本実施形態に係る磁石１１、磁気センサ１２、及び信号発生部５を示す図である。図２（Ａ）には磁石１１、磁気センサ１２、及び信号発生部５の斜視図を示し、図２（Ｂ）には回転軸ＳＦの方向から見た磁石１１、磁気センサ１２、及び信号発生部５の平面図を示した。また、図２（Ｃ）には、第１磁気センサ１２ａの回路構成を示した。

磁石１１は、回転によって回転軸ＳＦに対する放射方向（径方向）における磁界の向きおよび強さが変化するように構成される。磁石１１は、例えば回転軸ＳＦと同軸の円環状の部材である。磁石１１の主面（表面および裏面）は、それぞれ、回転軸ＳＦとほぼ垂直である。図２（Ｂ）に示すように、磁石１１は、４極に着磁した永久磁石である。磁石１１は、その内周側と外周側のそれぞれにおいて周方向にＮ極とＳ極が並んでおり、内周側と外周側とで位相が１８０°ずれている。磁石１１において、内周側におけるＮ極とＳ極との境界は、外周側におけるＮ極とＳ極との境界と、周方向の位置（角度位置）がほぼ一致している。

以下の説明において、回転軸ＳＦの先端側（図１のモータＭと反対側）から見た場合の、反時計回りの回転を順回転、時計回りの回転を逆回転という。また、順回転の角度を正の値で表し、逆回転の角度を負の値で表す。なお、回転軸ＳＦの基端側（図１のモータＭ側）から見た場合の、反時計回りの回転を順回転、時計回りの回転を逆回転と定義してもよい。

ここで、磁石１１に固定した座標系において、周方向におけるＮ極とＳ極との１つの境界の角度位置を位置１１ａで表し、位置１１ａから９０°回転した角度位置を位置１１ｂで表す。また、位置１１ｂから９０°回転した角度位置を位置１１ｃで表し、位置１１ｃから９０°回転した位置を位置１１ｄで表す。位置１１ｃは、周方向におけるＮ極とＳ極とのもう一つの境界の角度位置である。

位置１１ａから反時計回りに１８０°の第１区間において、磁石１１の外周側にＮ極が配置されており、磁石１１の内周側にＳ極が配置されている。この第１区間において、磁界の径方向の向きは、概ね磁石１１の外周側から内周側へ向かう向きである。第１区間において、磁界の強さは、位置１１ｂにおいて最大となり、位置１１ａの近傍および位置１１ｃの近傍で最小となる。

位置１１ｃから反時計回りに１８０°の第２区間において、磁石１１の内周側にＮ極が配置されており、磁石１１の外周側にＳ極が配置されている。この第２区間において、磁界の径方向の向きは、磁石１１の内周側から外周側へ向かう向きである。第２区間において、磁界の強さは、位置１１ｄにおいて最大となり、位置１１ａの近傍および位置１１ｃの近傍で最小となる。

このように、磁石１１が形成する磁界の径方向の向きは、位置１１ａにおいて反転し、位置１１ｃにおいて反転する。磁石１１は、磁石１１の外部に固定された座標系に対し、磁石１１の回転に伴って径方向の磁界の向きが反転する交流磁界を形成する。信号発生部５は、磁石１１の主面の法線方向から見て磁石１１と重なる位置に配置されている。

本実施形態において、信号発生部５は、第１信号発生部５ａおよび第２信号発生部５ｂを備える。第１信号発生部５ａおよび第２信号発生部５ｂは、それぞれ、電気信号を発生するユニットであり、磁石１１と非接触に設けられる。第１信号発生部５ａは、第１感磁性部４１および第１発電部４２を備える。第１感磁性部４１および第１発電部４２は、磁石１１の外部に固定されており、磁石１１の回転に伴って磁石１１上の各位置との相対位置が変化する。例えば、図２（Ｂ）では、第１信号発生部５ａから反時計回りに４５°の位置に、磁石１１の位置１１ｂが配置されており、この状態から磁石１１が順方向（反時計回り）に１回転すると、信号発生部５の近傍を位置１１ｂ、位置１１ｃ、位置１１ｄ、位置１１ａが、この順に通過する。

第１感磁性部４１は、ウィーガントワイヤなどの感磁性ワイヤ（磁性体）である。第１感磁性部４１には、磁石１１の回転に伴う磁界の変化によって大バルクハウゼンジャンプ（ウィーガンド効果）が生じる。第１感磁性部４１は、円柱状の部材であり、その軸方向が磁石１１の径方向に設定されている。第１感磁性部４１は、その軸方向に交流磁界が印加され磁界が反転する際に、軸方向の一端から他端に向かう磁壁が発生する。

第１発電部４２は、第１感磁性部４１に巻き付けられて配置される高密度コイルなどである。第１発電部４２には、第１感磁性部４１における磁壁の発生に伴って電磁誘導が生じ、誘導電流が流れる。図２（Ｂ）に示した磁石１１の位置１１ａまたは位置１１ｃが信号発生部５の近傍を通過する際に、第１発電部４２にパルス状の電流（電気信号）が発生する。また、第１発電部４２は、大バルクハウゼンジャンプを利用して正パルスや負パルス等の検出パルスを含む検出信号を出力可能であり、外部（例、図１の第１電源７）からの電力供給がなくても動作可能である。

第１発電部４２に発生する電流の向きは、磁界の反転前後の向きに応じて変化する。例えば、磁石１１の外側を向く磁界から内側を向く磁界へ反転時に発生する電流の向きは、磁石１１の内側を向く磁界から外側を向く磁界へ反転時に発生する電流の向きの反対になる。第１発電部４２に発生する電力（誘導電流）は、例えば高密度コイルの巻き数により設定できる。

図２（Ａ）に示すように、第１感磁性部４１および第１発電部４２は、ケース４３に収納されている。ケース４３には端子４３ａおよび端子４３ｂが設けられている。第１発電部４２の高密度コイルは、その一端が端子４３ａと接続され、その他端が端子４３ｂと接続されている。第１発電部４２で発生した電力は、端子４３ａおよび端子４３ｂを介して、第１信号発生部５ａの外部へ取り出し可能である。

第２信号発生部５ｂは、第１信号発生部５ａが配置される角度位置から０°より大きく１８０°よりも小さい角度をなす角度位置に、配置される。第１信号発生部５ａの角度位置と第２信号発生部５ｂの角度位置との角度は、４５°以上１３５°以下の範囲から選択され、図２（Ｂ）では約９０°である。第２信号発生部５ｂは、第１信号発生部５ａと同様の構成である。第２信号発生部５ｂは、第２感磁性部４５および第２発電部４６を備える。第２感磁性部４５および第２発電部４６は、それぞれ、第１感磁性部４１および第１発電部４２と同様であり、その説明を省略する。第２感磁性部４５および第２発電部４６は、ケース４７に収納されている。ケース４７には端子４７ａおよび端子４７ｂが設けられている。第２発電部４６で発生した電力は、端子４７ａおよび端子４７ｂを介して、第２信号発生部５ｂの外部へ取り出し可能である。

なお、上述の信号発生部５の構成は一例であり、その構成は適宜変更可能である。例えば、信号発生部５は、大バルクハウゼンジャンプ（ウィーガンド効果）を利用しない電磁誘導によって電力を発生してもよい。また、信号発生部５が備える発電ユニットの数は、適宜変更可能であり、例えば、１つでもよいし、３つ以上でもよい。また、信号発生部５の配置についても適宜変更可能である。

磁気センサ１２は、第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂを含む。第１磁気センサ１２ａは、回転軸ＳＦの回転方向において、第１感磁性部４１（第１信号発生部５ａ）に対して０°より大きく９０°未満の角度位置で配置される。第２磁気センサ１２ｂは、回転軸ＳＦの回転方向において、第１感磁性部４１（第１信号発生部５ａ）に対して９０°より大きく１８０°未満の角度位置で配置される。

図２（Ｃ）に示すように、第１磁気センサ１２ａは、磁気抵抗素子５１と、磁気抵抗素子５１に一定の強さの磁界を与えるバイアス磁石（図示せず）と、磁気抵抗素子５１からの波形を整形する波形整形回路（図示せず）とを備える。磁気抵抗素子５１は、エレメント５２ａ、エレメント５２ｂ、エレメント５２ｃ、及びエレメント５２ｄを直列に結線したフルブリッジ形状である。エレメント５２ａとエレメント５２ｃとの間の信号線は、電源端子５１ｐに接続されている。エレメント５２ｂとエレメント５２ｄとの間の信号線は、接地端子５１ｇに接続されている。エレメント５２ａとエレメント５２ｂとの間の信号線は、第１出力端子５１ａに接続されている。エレメント５２ｃとエレメント５２ｄとの間の信号線は、第２出力端子５１ｂに接続されている。第２磁気センサ１２ｂは、第１磁気センサ１２ａと同様の構成である。

図３は、本実施形態に係る電力供給部２および多回転情報検出部３の回路構成を示す図である。電力供給部２は、第１信号発生部５ａ、整流スタック６１、第２信号発生部５ｂ、整流スタック６２、バッテリー３３、及び遮断部６を備える。また、電力供給部２は、図１の切替部３２としてレギュレータ６３を備える。

整流スタック６１は、第１信号発生部５ａから流れる電流を整流する整流器である。整流スタック６１の第１入力端子６１ａは、第１信号発生部５ａの端子４３ａと接続されている。整流スタック６１の第２入力端子６１ｂは、第１信号発生部５ａの端子４３ｂと接続されている。整流スタック６１の接地端子６１ｇは、シグナルグランドＳＧと同電位が供給される接地線ＧＬに接続されている。多回転情報検出部３の動作時に、接地線ＧＬの電位は、回路６０の基準電位になる。整流スタック６１の出力端子６１ｃは、レギュレータ６３の制御端子６３ｃに接続されている。

整流スタック６２は、第２信号発生部５ｂから流れる電流を整流する整流器である。整流スタック６２の第１入力端子６２ａは、第２信号発生部５ｂの端子４７ａと接続されている。整流スタック６２の第２入力端子６２ｂは、第２信号発生部５ｂの端子４７ｂと接続されている。整流スタック６２の接地端子６２ｇは、接地線ＧＬに接続されている。整流スタック６２の出力端子６２ｃは、レギュレータ６３の制御端子６３ｃに接続されている。

レギュレータ６３は、このレギュレータ６３のオン状態及びオフ状態に応じて、バッテリー３３から位置検出部１へ供給される電力を調整する。レギュレータ６３は、バッテリー３３と位置検出部１との間の電力の供給経路に設けられる第１スイッチング素子６４を含む。レギュレータ６３は、信号発生部５で発生する電気信号（検出信号）を制御信号（例、イネーブル信号）に用いて第１スイッチング素子６４の動作を制御する。

レギュレータ６３の入力端子６３ａは、バッテリー３３に接続されている。レギュレータ６３の出力端子６３ｂは、電源線ＰＬに接続されている。レギュレータ６３の接地端子６３ｇは、接地線ＧＬに接続されている。レギュレータ６３の制御端子６３ｃはイネーブル端子であり、レギュレータ６３は、制御端子６３ｃに閾値以上の電圧が印加された状態で、出力端子６３ｂの電位を所定電圧に維持する。レギュレータ６３の出力電圧（上記の所定電圧）は、計数部６７がＣＭＯＳなどで構成される場合に例えば３Ｖである。記憶部１４の動作電圧は、例えば、所定電圧と同じ電圧に設定される。なお、所定電圧は、電力供給に必要な電圧であり、一定の電圧値でもよいし、段階的に変化する電圧でもよい。

第１スイッチング素子（第１スイッチ）６４は、位置検出部１に電力を供給する回路６０の導通と遮断とを切替える。回路６０は、例えば、第２電源（例、バッテリー３３）の第１電極（正極）と第２電極（負極）とを結ぶ電力の供給経路を構成し、電源線ＰＬおよび接地線ＧＬを含む。接地線ＧＬは、例えば、バッテリー３３の負極と接続され、その電位が回路６０の基準電位となる。第１スイッチング素子６４は、例えば、バッテリー３３から回路６０を介した位置検出部１への電力の供給の有無を切替える。

レギュレータ６３は、信号発生部５から制御端子６３ｃに供給される電気信号を制御信号（イネーブル信号）に用いて、第１スイッチング素子６４の第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間の導通状態（オン状態）と絶縁状態（オフ状態）とを切り替える。例えば、第１スイッチング素子６４は、ＭＯＳ、ＴＦＴなどを含み、第１端子６４ａと第２端子６４ｂとはソース電極とドレイン電極であり、第１制御端子６４ｃがゲート電極である。

第１制御端子６４ｃは、信号発生部５で発生する電気信号（検出信号）によって充電される。第１スイッチング素子６４は、第１制御端子６４ｃの電圧に応じて回路６０を導通へ切替える。例えば、第１スイッチング素子６４は、第１制御端子６４ｃの電位が回路６０の基準電位である状態で回路６０を遮断している。また、第１スイッチング素子６４は、第１制御端子６４ｃの電圧が所定値以上になることで、第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間が導通状態（オン状態）になる。回路６０を導通へ切替える。第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間がオン状態になると、バッテリー３３から、電源線ＰＬおよび接地線ＧＬを介して回路６０に電力が供給される。なお、電力供給部２は、レギュレータ６３のオン状態及びオフ状態を取得する手段を備えてもよい。

また、多回転情報検出部３は、第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂを含む。例えば、多回転情報検出部３は、図１に示した処理部１３として、アナログコンパレータ６５、アナログコンパレータ６６、及び計数部６７を含む。第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂは、それぞれ、回転軸ＳＦを検出するセンサである。第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂは、回転軸ＳＦに取り付けられた磁石１１が形成する磁界を検出することで、回転軸ＳＦを検出する。第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂは、それぞれ、バッテリー３３から供給される電力を用いて、磁石１１が形成する磁界を検出する。

第１磁気センサ１２ａの電源端子５５ｐは、電源線ＰＬに接続されている。第１磁気センサ１２ａの接地端子５５ｇは、接地線ＧＬに接続されている。第１磁気センサ１２ａの出力端子５５ｃは、アナログコンパレータ６５の入力端子６５ａに接続されている。出力端子５５ｃは、例えば、図２（Ｃ）に示した第２出力端子５１ｂの電位と基準電位との差に相当する電圧を出力する。

アナログコンパレータ６５は、第１磁気センサ１２ａから出力される電圧を二値化する二値化部である。アナログコンパレータ６５は、例えば比較器であり、第１磁気センサ１２ａから出力される電圧を所定電圧と比較する。アナログコンパレータ６５の電源端子６５ｐは、電源線ＰＬに接続されている。アナログコンパレータ６５の接地端子６５ｇは、接地線ＧＬに接続されている。アナログコンパレータ６５の出力端子６５ｂは、計数部６７の第１入力端子６７ａに接続されている。アナログコンパレータ６５は、第１磁気センサ１２ａの出力電圧が閾値以上である場合に出力端子からＨレベルの信号を出力し、閾値未満である場合に出力端子からＬレベルの信号を出力する。

第２磁気センサ１２ｂおよびアナログコンパレータ６６は、第１磁気センサ１２ａおよびアナログコンパレータ６５と同様の構成である。第２磁気センサ１２ｂの電源端子５６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。第２磁気センサ１２ｂの接地端子５６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。第２磁気センサ１２ｂの出力端子５６ｃは、アナログコンパレータ６６の入力端子６６ａに接続されている。アナログコンパレータ６６の電源端子６６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。アナログコンパレータ６６の接地端子６６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。アナログコンパレータ６６の出力端子６６ｂは、計数部６７の第２入力端子６７ｂに接続されている。アナログコンパレータ６６は、第２磁気センサ１２ｂの出力電圧が閾値以上である場合に出力端子からＨレベルの信号を出力し、閾値未満である場合に出力端子６６ｂからＬレベルの信号を出力する。

計数部６７は、回転軸ＳＦの多回転情報を、バッテリー３３から供給される電力を用いて計数する。計数部６７は、例えばＣＭＯＳ論理回路などを含む。計数部６７は、電源端子６７ｐおよび接地端子６７ｇを介して供給される電力を用いて動作する。計数部６７の電源端子６７ｐは、電源線ＰＬに接続されている。計数部６７の接地端子６７ｇは、接地線ＧＬに接続されている。計数部６７は、第１入力端子６７ａを介して供給される電圧、及び第２入力端子６７ｂを介して供給される電圧を制御信号として、計数処理を行う。

記憶部１４は、処理部１３が検出した回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を、バッテリー３３から供給される電力を用いて記憶する（書き込み動作を行う）。記憶部１４は、処理部１３が検出した回転位置情報として、計数部６７による計数の結果（多回転情報）を記憶する。記憶部１４の電源端子１４ｐは、電源線ＰＬに接続されている。記憶部１４の接地端子１４ｇは、接地線ＧＬに接続されている。記憶部１４は、例えば不揮発性メモリを含み、電力が供給されている間に書き込まれた情報を、電力が供給されない状態においても保持可能である。なお、多回転情報検出部３は、レギュレータ６３のオン状態及びオフ状態を取得する手段を備えてもよい。

本実施形態において、整流スタック６１、整流スタック６２とレギュレータ６３との間には、キャパシタ６９が設けられている。キャパシタ６９の第１電極６９ａは、整流スタック６１、整流スタック６２とレギュレータ６３の制御端子６３ｃとを接続する信号線に接続されている。キャパシタ６９の第２電極６９ｂは、接地線ＧＬに接続されている。このキャパシタ６９は、例えば平滑キャパシタであり、脈動を低減してレギュレータの負荷を低減する。キャパシタ６９の定数は、例えば、処理部１３により回転位置情報を検出して記憶部１４に回転位置情報を書き込むまでの期間に、バッテリー３３から処理部１３および記憶部１４への電力供給が維持されるように設定される。

また、多回転情報検出部３は、遅延部７０を備える。遅延部７０は、電力供給部２から位置検出部１への電力の供給の開始に対して所定時間遅延させた遅延信号（例、多回転情報検出部３の処理部１３への電力供給の開始時間から所定時間を遅延した遅延信号）を生成する。遅延部７０の電源端子７０ｐは、電源線ＰＬと接続される。遅延部７０の接地端子７０ｇは、接地線ＧＬと接続される。遅延部７０は、例えば、抵抗要素およびキャパシタ要素を含む遅延回路である。遅延部７０の時定数は、処理部１３が処理を行う上で必要とされる時間以上に設定される。

遅延部７０は、後に図４から図６などで説明するが、遅延信号を処理部１３と遮断部６とのそれぞれに出力する。遅延信号は、例えば、位置検出部１（多回転情報検出部３の処理部１３）において、非同期リセットのリセット信号であり、処理部１３のリセット（例、データのリセット、処理手順のリセット等）に用いられる。この場合、位置検出部１の処理部１３は、遅延信号を受けて処理部１３をリセットして動作を開始する。そして、処理部１３は、動作を終了する際にトリガー信号（例、動作終了信号、アクセス終了信号）を遮断部６（例、論理回路７９）に出力する。例えば、処理部１３（例、計数部６７）は、記憶部１４へのアクセス（例、メモリアクセス）を完了した際にトリガー信号を遮断部６へ出力する。このような構成で遅延信号を用いることによって、遮断部６の論理回路７９において処理部１３への電力供給開始直後（例、処理部１３への電力供給がオンになったと同時）に生じやすいトリガー信号の誤った出力を判別することができる。

遮断部６は、位置検出部１（例、多回転情報検出部３）の動作の終了を示すトリガー信号及び遅延信号を受けて、電力供給部２から位置検出部１（例、多回転情報検出部３）への電力の供給を遮断する。遮断部６は、例えば、電力供給部２の一部であるが、電力供給部２以外の部分に設けられてもよい。遮断部６は、例えば、信号線７１上のノードｎ１と、接地線ＧＬ上のノードｎ２とに接続される。信号線７１は、信号発生部５とレギュレータ６３との間の信号線である。信号線７１は、例えば、その第１端が整流スタック６１の出力端子６１ｃと接続され、その第２端がレギュレータ６３の制御端子６３ｃと接続される。なお、遮断部６は、トリガー信号を受けて位置検出部１（この場合、多回転情報検出部３）への電力供給を遮断してもよい。

遮断部６は、トリガー信号及び遅延信号を受けて第１スイッチング素子６４を制御する。例えば、遮断部６は、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃが充電された状態において、トリガー信号及び遅延信号を受けて第１制御端子６４ｃを放電させる。例えば、遮断部６は、トリガー信号及び遅延信号を受けた場合に、放電制御信号に基づき第１制御端子６４ｃの電荷を接地線ＧＬに逃がすことによって、第１制御端子６４ｃの電荷を放電する。第１スイッチング素子６４は、第１制御端子６４ｃが放電されることで、第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間が絶縁状態（オフ状態）となる。第１スイッチング素子６４は、第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間がオフ状態となることで、バッテリー３３から位置検出部１（多回転情報検出部３）への電力の供給を遮断する。

図４から図６は、実施形態に係る遮断部およびその動作を示す図である。遮断部６は、例えば、処理部１３からのトリガー信号および遅延部７０からの遅延信号を受けて、電力供給部２（例、バッテリー３３）から位置検出部１（例、処理部１３）への電力の供給を遮断する。例えば、電力供給部２は、検出信号の発生に応じて位置検出部１へ電力を供給し、遮断部６は、検出信号を放電する放電回路７４を備える。放電回路７４は、検出信号によって充電された導電部材（例、キャパシタ６９の電極、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃ）を放電する。本実施形態における放電回路７４は、第２スイッチング素子７５と、信号生成部７６と、電荷保持部７７とを備える。

第２スイッチング素子７５は、回路６０の基準電位になる接地線ＧＬと、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃとの間の導通と遮断とを切替える。第２スイッチング素子７５は、例えばＭＯＳあるいはＦＥＴなどを含み、第１端子７５ａおよび第２端子７５ｂ（ソース電極、ドレイン電極）、及び第２制御端子７５ｃ（ゲート電極）を備える。第２スイッチング素子７５の第１端子７５ａは、信号発生部５とレギュレータ６３との間の信号線７１と接続される。第２端子７５ｂは、接地線ＧＬと接続される。第２制御端子７５ｃは、信号生成部７６と接続される。第２制御端子７５ｃは、信号生成部７６が生成した制御信号によって充電される。第２スイッチング素子７５は、第２制御端子７５ｃが充電されることで、接地線ＧＬとレギュレータ６３の制御端子６３ｃと間を導通へ切替え、第１スイッチング素子６４（図３参照）の第１制御端子６４ｃと接地線ＧＬの間を導通へ切替える。

信号生成部７６は、トリガー信号を受けて、第２スイッチング素子７５を制御する制御信号を生成する。信号生成部７６は、第３スイッチング素子７８と、論理回路７９とを備える。論理回路７９は、トリガー信号を受けて第３スイッチング素子７８を制御する制御信号を生成する。論理回路７９は、第１入力端子７９ａ、第２入力端子７９ｂ、及び出力端子７９ｃを備える。第１入力端子７９ａは、遅延部７０の端子７０ａと接続される。第１入力端子７９ａには、遅延部７０から遅延信号が入力される。第２入力端子７９ｂは、処理部１３の端子１３ａと接続される。第２入力端子７９ｂには、処理部１３からトリガー信号が入力される。出力端子７９ｃは、第３スイッチング素子７８の第３制御端子７８ｃと接続される。論理回路７９は、例えばＡＮＤ回路であり、トリガー信号および遅延信号を受けた場合にハイレベルになる制御信号を生成する。例えば、論理回路７９は、第１入力端子７９ａがハイレベル（Ｈ）となり、かつ第２入力端子７９ｂがハイレベル（Ｈ）となった場合に、出力端子７９ｃがハイレベル（Ｈ）に切替わる。

第３スイッチング素子７８は、第２スイッチング素子７５の第２制御端子７５ｃと検出信号が伝わる信号線７１との間の導通と遮断とを切替える。第３スイッチング素子７８は、例えばＭＯＳあるいはＦＥＴなどを含み、第１端子７８ａおよび第２端子７８ｂ（ソース電極、ドレイン電極）、及び第３制御端子７８ｃ（ゲート電極）を備える。第３スイッチング素子７８の第１端子７８ａは、信号線７１と接続される。第２端子７８ｂは、電荷保持部７７を介して接地線ＧＬと接続される。第３制御端子７８ｃは、論理回路７９の出力端子７９ｃと接続される。第３制御端子７８ｃは、論理回路７９が生成した制御信号によって充電される。例えば、第３制御端子７８ｃは、論理回路７９の出力端子７９ｃがハイレベルになることで、充電される。

電荷保持部７７は、第２スイッチング素子７５の第２制御端子７５ｃと接地線ＧＬとの間の信号線８０に設けられ、第２制御端子７５ｃを充電する電荷を保持する。電荷保持部７７は、例えば遅延回路を含み、抵抗要素８１およびキャパシタ要素８２を備える。抵抗要素８１は、第１端が信号線８０と接続され、第２端が接地線ＧＬと接続される。キャパシタ要素８２は、第１電極が信号線８０と接続され、第２電極が接地線ＧＬと接続される。

次に、一例として、バックアップ状態における遮断部６の動作について説明する。図４（Ａ）において、信号線７１には、図１および図２に示した信号発生部５で発生した検出信号ＳＧ１が供給される。図４（Ａ）の検出信号ＳＧ１は、例えば、図３の整流スタック６１によって整流された検出信号である。レギュレータ６３の制御端子６３ｃ（図３の第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃ）は、検出信号ＳＧ１によって充電される。制御端子６３ｃの電圧が閾値以上になることによって、図３の第１スイッチング素子６４がオン状態となる。第１スイッチング素子６４がオン状態になると、図４（Ｂ）に示すように、多回転情報検出部３には、バッテリー３３からレギュレータ６３を介して電力ＰＷが供給される。

多回転情報検出部３に電力ＰＷが供給されると、遅延部７０は、図４（Ｃ）に示すように、電力ＰＷの供給の開始に対して遅延する遅延信号ＤＳを、処理部１３および遮断部６のそれぞれに出力する。処理部１３は、遅延信号ＤＳを受けて、多回転情報の１回の検出に関する動作を開始する。多回転情報検出部３に電力ＰＷが供給されて処理部１３が遅延信号ＤＳを受信すると、磁気センサ１２（図３参照）は、電力ＰＷを用いて検出を実行し、その検出結果を処理部１３に出力する。そして、処理部１３は、電力ＰＷを用いて磁気センサ１２の検出結果を処理し、その処理結果として多回転情報Ｄ１（図５（Ａ）参照）を記憶部１４に出力する。また、記憶部１４は、電力ＰＷを用いて多回転情報Ｄ１の書き込み動作を行う。処理部１３は、記憶部１４へのアクセスを完了した際に、図５（Ｂ）に示すように、位置検出部１（例、多回転情報検出部３）の動作（例、１回の検出に関する多回転情報の記憶部１４への記憶）の終了を示すトリガー信号ＴＧを遮断部６へ出力する。

また、図５（Ｃ）に示すように、遮断部６は、トリガー信号ＴＧおよび遅延信号ＤＳが入力された状態になる。例えば、論理回路７９は、第１入力端子７９ａが遅延信号ＤＳによってハイレベルになり、かつ第２入力端子７９ｂがトリガー信号ＴＧによってハイレベルになる。図６（Ａ）に示すように、論理回路７９は、第１入力端子７９ａおよび第２入力端子７９ｂがそれぞれハイレベルになることで、出力端子７９ｃから制御信号ＳＧ２を出力する（出力端子７９ｃがハイレベルになる）。第３スイッチング素子７８は、第３制御端子７８ｃが論理回路７９からの制御信号ＳＧ２によって充電され、第１端子７８ａと第２端子７８ｂとの間が導通へ切替わる。

第１端子７８ａと第２端子７８ｂとの間が導通へ切替わると、図６（Ｂ）に示すように、信号線７１又はレギュレータ６３の制御端子６３ｃは、第３スイッチング素子７８を介して放電制御信号ＳＧ３を出力する。そして、放電制御信号ＳＧ３は、検出信号の電荷に起因する信号である。放電制御信号ＳＧ３は、検出信号によって充電された導電部材（例、キャパシタ６９の電極、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃ）に蓄積された電荷に起因する信号である。したがって、信号線７１から放電制御信号ＳＧ３が出力されることで、検出信号によって充電された導電部材（例、キャパシタ６９の電極、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃ）は、放電される。放電制御信号ＳＧ３は、第３スイッチング素子７８を介して、第２スイッチング素子７５の第２制御端子７５ｃに出力される。

第２スイッチング素子７５は、第２制御端子７５ｃが放電制御信号ＳＧ３によって充電され、第１端子７５ａと第２端子７５ｂとの間が導通へ切替わる。そして、図６（Ｃ）に示すように、レギュレータ６３の制御端子６３ｃから接地線ＧＬへ、第２スイッチング素子７５を介して電流Ｉｘが流れる。電流Ｉｘは、検出信号によって充電された導電部材（例、キャパシタ６９の電極、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃ）の電荷に起因する電流である。検出信号によって充電された導電部材（例、キャパシタ６９の電極、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃ）は、電流Ｉｘが流れることで、第１スイッチング素子６４（図３参照）がオフ状態になるレベルまで電圧が低下する（放電される）。

また、電荷保持部７７は、第１スイッチング素子６４（図３参照）がオフ状態になるまで、制御信号ＳＧ３の電荷を保持する（制御信号ＳＧ３を遅延させる）。レギュレータ６３は、第１スイッチング素子６４（図３参照）がオフ状態になることで、バッテリー３３から多回転情報検出部３への電力の供給を遮断する。

次に、電力供給部２および多回転情報検出部３の動作について、回転軸ＳＦが反時計回りに回転（順回転）するときの多回転情報検出部３の動作を代表的に説明する。図７は、回転軸ＳＦが反時計回りに回転（順回転）するときの多回転情報検出部３の動作を示すタイミングチャートである。

図７の「磁界」において、実線は第１信号発生部５ａの位置での磁界を示し、破線は第２信号発生部５ｂの位置での磁界を示す。「第１信号発生部」、「第２信号発生部」は、ぞれぞれ、第１信号発生部５ａの出力、第２信号発生部５ｂの出力を示し、１方向に流れる電流の出力を正（＋）とし、その逆方向に流れる電流の出力を負（−）とした。「イネーブル信号」は、信号発生部５で発生する電気信号によりレギュレータ６３の制御端子６３ｃに印加される電位を示し、ハイレベルを「Ｈ」で表し、ローレベルを「Ｌ」で表した。「レギュレータ」は、レギュレータ６３の出力を示し、ハイレベルを「Ｈ」で表し、ローレベルを「Ｌ」で表した。

図７の「第１磁気センサ」、「第２磁気センサ」は、それぞれ、第１磁気センサ１２ａ、第２磁気センサ１２ｂの出力を実線で示す。「第１磁気センサ」、「第２磁気センサ」において点線は、常時駆動された場合の出力である。「第１アナログコンパレータ」、「第２アナログコンパレータ」は、それぞれ、アナログコンパレータ６５、アナログコンパレータ６６からの出力を示す。

第１信号発生部５ａは、角度位置１３５°において、逆方向に流れる電流パルス（「第１信号発生部」の負）を出力する。また、第１信号発生部５ａは、角度位置３１５°において、順方向に流れる電流パルス（「第１信号発生部」の正）を出力する。第２信号発生部５ｂは、角度位置４５°において、順方向に流れる電流パルス（「第２信号発生部」の正）を出力する。また、第２信号発生部５ｂは、角度位置２２５°において、逆方向に流れる電流パルス（「第２信号発生部」の負）を出力する。そのため、イネーブル信号は、角度位置４５°、角度位置１３５°、角度位置２２５°、角度位置３１５°のそれぞれにおいて、ハイレベルに切り替わる。また、レギュレータ６３は、イネーブル信号がハイレベルに維持された状態に対応して、角度位置４５°、角度位置１３５°、角度位置２２５°、角度位置３１５°のそれぞれにおいて、電源線ＰＬに所定電圧を供給する。

本実施形態において、第１磁気センサ１２ａの出力と第２磁気センサ１２ｂの出力は、９０°の位相差を有しており、処理部１３は、この位相差を利用して回転位置情報を検出する。第１磁気センサ１２ａの出力は、角度位置０°から角度位置１８０°の範囲において、正のサイン波状である。この角度範囲において、レギュレータ６３は角度位置４５°、角度位置１３５°において電力を出力する。第１磁気センサ１２ａおよびアナログコンパレータ６５は、角度位置４５°と角度位置１３５°のそれぞれにおいて供給される電力により駆動される。アナログコンパレータ６５から出力される信号（以下、Ａ相信号という）は、電力供給を受けていない状態でＬレベルに維持されており、角度位置４５°と角度位置１３５°のそれぞれにおいてＨレベルになる。

また、第２磁気センサ１２ｂの出力は、角度位置２７０°（−９０°）から角度位置９０°の範囲において、正のサイン波状である。この角度範囲において、レギュレータ６３は、角度位置３１５°（−４５°）、角度位置４５°において電力を出力する。第２磁気センサ１２ｂおよびアナログコンパレータ６６は、角度位置３１５°と角度位置４５°のそれぞれにおいて供給される電力により駆動される。アナログコンパレータ６６から出力される信号（以下、Ｂ相信号という）は、電力供給を受けていない状態でＬレベルに維持されており、角度位置３１５°と角度位置４５°のそれぞれにおいてＨレベルになる。

ここで、計数部６７に供給されるＡ相信号がＨレベル（Ｈ）であり、計数部６７に供給されるＢ相信号がＬレベルである場合に、これら信号レベルの組を（Ｈ，Ｌ）のように表す。図７では、角度位置３１５°において信号レベルの組が（Ｌ，Ｈ）であり、角度位置４５°において信号レベルの組が（Ｈ，Ｈ）、角度位置１３５°において信号レベルの組が（Ｈ，Ｌ）である。

計数部６７は、磁気センサ１２が検出したＡ相信号とＢ相信号の一方または双方がＨレベルである場合に、記憶部１４に信号レベルの組を記憶させる。計数部６７は、次に検出したＡ相信号とＢ相信号の一方または双方がＨレベルである場合に、前回のレベルの組を記憶部１４から読み出し、前回のレベルの組と今回のレベルの組と比較して回転方向を判定する。

例えば、前回の信号レベルの組が（Ｈ，Ｈ）であって、今回の信号レベルが（Ｈ，Ｌ）である場合には、前回の検出において角度位置４５°であり、今回の検出において角度位置１３５°であるので、反時計回り（順回転）であることがわかる。計数部６７は、今回のレベルの組が（Ｈ，Ｌ）であって、かつ前回のレベルの組が（Ｈ，Ｈ）である場合、カウンタをアップすることを示すアップ信号を記憶部１４に供給する。記憶部１４は、計数部６７からのアップ信号を検出した場合に、記憶している多回転情報を１増加した値に更新する。本実施形態に係る多回転情報検出部３は、回転軸ＳＦの回転方向を判定しながら、多回転情報を検出できる。

図８は、実施形態に係る検出信号、イネーブル信号、遅延信号、及び放電制御信号の例を示す図である。図８において、縦軸は、各信号のレベル（電圧）であり、横軸は時刻である。「検出信号」は、信号発生部５（図３参照）に発生する信号である。「検出信号」は、時刻ｔ１からレベルが増加する。「電力」は、検出信号を制御信号（イネーブル信号）としてレギュレータ６３（図４（Ｂ））から供給される電力ＰＷである。「電力」は、時刻ｔ１に立ち上がり、そのレベルがほぼ一定のレベルになる。「遅延信号」は、遅延部７０（図５（Ｂ）参照）がバッテリー３３からの電力ＰＷを用いて生成する信号である。「遅延信号」は、レベルが上昇する傾きが「電力」に比べて緩やかである。処理部１３（図５（Ｂ）参照）は、「遅延信号」が所定のレベル（閾値）に達したことをトリガーとして、処理を開始する。

「放電制御信号」は、第２スイッチング素子７５（図６（Ｂ）参照）の第２制御端子７５ｃに出力される制御信号である。「放電制御信号」は、遅延部７０（図６（Ａ）参照）に遅延信号ＤＳおよびトリガー信号ＴＧが出力されることで、第２制御端子７５ｃに出力される。「放電制御信号」は、時刻ｔ２において所定のレベル（閾値）に達し、第２スイッチング素子７５がオン状態になる。第２スイッチング素子７５がオン状態になることで、レギュレータ６３の制御端子６３ｃの電圧が低下し、「電力」のレベルが低下する。「電力」は、時刻ｔ３において、レベルがほぼ０になる。また、「電力」のレベルが低下することで、遅延部７０が生成する「遅延信号」のレベルが低下する。また、「検出信号」は、その電荷が第２スイッチング素子７５（図６（Ｃ）参照）を介して放電されることで、レベルが低下する。「放電制御信号」は、その電荷が電荷保持部７７（図６（Ｂ））に保持されることで、「検出信号」に対して遅延してレベルが低下する。

次に、図９は、実施形態に係る遮断部６の変形例を示す図である。図９（Ａ）の遮断部６は、図４（Ａ）の第３スイッチング素子７８が省略されている。遮断部６は、論理回路７９と整流素子８５とを備える。論理回路７９は、処理部１３から出力されたトリガー信号ＴＧを受けて第２スイッチング素子７５を制御する制御信号を生成する。論理回路７９の出力端子７９ｃは、信号線８６と接続されている。整流素子８５は、論理回路７９と第２スイッチング素子７５の第２制御端子７５ｃとの間の信号線８６に設けられる。整流素子８５は、例えばダイオードであり、所定の向きの電流を通し、かつその反対向きの電流を遮断する。例えば、整流素子８５は、電荷保持部７７から論理回路７９へ電流が流れることを抑制する。このような遮断部６は、論理回路７９から出力される制御信号（この場合、放電制御信号）によって第２制御端子７５ｃが充電され、第２スイッチング素子７５がオン状態になる。遮断部６は、第２スイッチング素子７５がオン状態になることで、検出信号によって充電された導電部材（例、キャパシタ６９の電極、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃ）を放電させて、バッテリー３３からの電力の供給を遮断する。本実施形態における放電回路７４は、第２スイッチング素子７５と、論理回路７９及び整流素子８５を含む信号生成部７６と、電荷保持部７７とを備える。

このように、遮断部６は、図４の第３スイッチング素子７８を備えなくてもよい。なお、図９において、第２スイッチング素子７５の第２制御端子７５ｃに供給される制御信号の電力は、バッテリー３３から供給される電力によってまかなわれる。図６（Ｂ）の遮断部６において、第２スイッチング素子７５の第２制御端子７５ｃに供給される制御信号の電力は、検出信号の電力によってまかなわれ、例えば、バッテリー３３の消耗が低減される。

図９（Ｂ）の遮断部６は、図９（Ａ）の電荷保持部７７および整流素子８５が省略されている。論理回路７９は、処理部１３から出力されたトリガー信号ＴＧを受けて第２スイッチング素子７５を制御する制御信号を生成する。論理回路７９の出力端子７９ｃは、第２スイッチング素子７５の第２制御端子７５ｃと接続されている。この遮断部６は、論理回路７９から出力される制御信号（この場合、放電制御信号）によって第２制御端子７５ｃが充電され、第２スイッチング素子７５がオン状態になる。遮断部６は、第２スイッチング素子７５がオン状態になることで、検出信号によって充電された導電部材（例、キャパシタ６９の電極、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃ）を放電させて、バッテリー３３からの電力の供給を遮断する。このように、遮断部６は、電荷保持部７７を備えなくてもよい。なお、図９（Ｂ）の遮断部６は、レギュレータ６３の出力側（例、論理回路７９の入力側）にキャパシタ要素を備えてもよく、このキャパシタ要素に電力を保持することによって、論理回路７９から制御信号が出力される時間を延ばしてもよい。本実施形態における放電回路７４は、第２スイッチング素子７５と、論理回路７９を含む信号生成部７６と、とを備える。

図９（Ｃ）の遮断部６は、図９（Ｂ）の第２スイッチング素子７５が省略されている。論理回路７９は、検出信号が伝わる信号線７１のノードＮｃと、接地線ＧＬ上のノードＮｄとにそれぞれ接続されている。論理回路７９の出力端子７９ｃは、接地線ＧＬと接続されている。論理回路７９は、生成した制御信号を出力端子７９ｃを介して接地線ＧＬに出力する。論理回路７９は、トリガー信号ＴＧおよび遅延信号ＤＳを受けて、ノードＮｃと出力端子７９ｃとの間を導通に切替える。遮断部６は、ノードＮｃと出力端子７９ｃとの間が導通になることで、検出信号によって充電された導電部材（例、キャパシタ６９の電極、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃ）を放電させて、バッテリー３３からの電力の供給を遮断する。このように、遮断部６は、第２スイッチング素子７５を備えなくてもよい。本実施形態における放電回路７４は、論理回路７９を備える。

本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、信号発生部５に電気信号が発生してから短時間のうちに、バッテリー３３から多回転情報検出部３に電力が供給され、多回転情報検出部３がダイナミック駆動（間欠駆動）する。遮断部６は、多回転情報検出部３の動作が終了した際に、検出信号によって充電された導電部材（例、キャパシタ６９の電極、第１スイッチング素子６４の第１制御端子６４ｃ）の放電によってバッテリー３３から多回転情報検出部３への電力の供給を遮断する。遮断部６は、例えば、バッテリー３３から多回転情報検出部３へ電力が供給される時間を短縮し、バッテリー３３の消耗を低減することで、バッテリー３３を交換するメンテナンスの頻度を減らすこと、あるいはバッテリー３３を交換するメンテナンスをなくすことに寄与する。

多回転情報の検出および書き込みの終了後は、多回転情報検出部３への電源供給は絶たれるが、計数値は、記憶部１４に格納されているので保持される。このようなシーケンスは、外部からの電力供給が絶たれた状態においても、磁石１１上の所定位置が信号発生部５の近傍を通過するたびに繰り返される。また、記憶部１４に記憶されている多回転情報は、次にモータＭが起動される際にモータ制御部ＭＣなどに読み出され、回転軸ＳＦの初期位置などの算出に利用される。このようなエンコーダ装置ＥＣは、信号発生部５で発生する電気信号に応じて、位置検出部１（例、多回転情報検出部３）で消費される電力の少なくとも一部をバッテリー３３が供給するので、バッテリー３３を長寿命にすることができる。バッテリー３３のメンテナンス（例、交換）をなくしたり、メンテナンスの頻度を減らしたりすることができる。例えば、バッテリー３３の寿命がエンコーダ装置ＥＣの他の部分の寿命よりも長い場合、バッテリー３３の交換を不要にすることもできる。

また、ウィーガントワイヤ等の感磁性ワイヤを利用すると、磁石１１の回転が極めて低速であっても、信号発生部５からパルス電流の出力が得られる。そのため、例えばモータＭへ電力供給がなされていない状態などにおいて、回転軸ＳＦ（磁石１１）の回転が極めて低速な場合にも、信号発生部５の出力を電気信号として利用できる。

なお、多回転情報検出部３は、上記の実施形態において磁気式の検出部であるが、光学式（例、反射光又は透過光）の検出部であってもよい。この場合、多回転情報検出部３の一部は、角度検出部４と共用であってもよい。また、例えば、多回転情報検出部３が光学式の検出部であり光源の発光タイミング（例、多回転情報を検出するために発光される光の照射タイミング）が信号発生部５から出力されるパルス状の電気信号（検出信号）によって制御される場合、上記した位置情報検出部１（例、多回転情報検出部３）の動作中の期間は、該電気信号により発光する期間を含む。また、電力供給部２は、信号発生部５で発生する検出信号の電力を電源に用いてもよい。例えば、電力供給部２は、バッテリー３３を備えなくてもよく、検出信号の電圧をレギュレータなどで所定電圧に調整し、検出信号の電力を位置検出部１に供給してもよい。また、上述の実施形態において、信号発生部５は、磁石１１に対して所定の位置関係になった際に検出信号が発生する。エンコーダ装置ＥＣ（多回転情報検出部３）は、信号発生部５を、回転軸ＳＦ（磁石１１）の位置情報を検出するセンサとして備えてもよい。

［駆動装置］
次に、実施形態に係る駆動装置について説明する。図１０は、駆動装置ＭＴＲの一例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。この駆動装置ＭＴＲは、電動モータを含むモータ装置である。駆動装置ＭＴＲは、回転軸ＳＦと、回転軸ＳＦを回転駆動する本体部（駆動部）ＢＤと、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出するエンコーダ装置ＥＣとを有している。

図１０において、磁石１１は、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳと同じ回転部材（スケールＳ）に設けられている。磁石１１は、スケールＳにおいて、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳと同じ側に配置されている。信号発生部５は、スケールＳに対して、発光素子２１および受光センサ２２と同じ側に配置されている。なお、磁石１１、信号発生部５、スケールＳ、発光素子２１、及び受光センサ２２の配置は、図１０に示す配置に限定されず、例えば図１に示した配置でもよいし、その他の配置でもよい。

回転軸ＳＦは、負荷側端部ＳＦａと、反負荷側端部ＳＦｂとを有している。負荷側端部ＳＦａは、減速機など他の動力伝達機構に接続される。反負荷側端部ＳＦｂには、固定部を介してスケールＳが固定される。このスケールＳの固定とともに、エンコーダ装置ＥＣが取り付けられている。エンコーダ装置ＥＣは、上述した実施形態、変形例、あるいはその組み合わせに係るエンコーダ装置である。

この駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果を使って、図１などに示したモータ制御部ＭＣが本体部ＢＤを制御する。駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が無いもしくは低いので、メンテナンスコストを減らすことができる。なお、駆動装置ＭＴＲは、モータ装置に限定されず、油圧や空圧を利用して回転する軸部を有する他の駆動装置であってもよい。

［ステージ装置］
次に、ステージ装置について説明する。図１１は、ステージ装置ＳＴＧを示す図である。このステージ装置ＳＴＧは、図１０に示した駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａに、ステージ（回転テーブルＴＢ、移動物体）を取り付けた構成である。ステージ装置ＳＴＧは、例えば、１次元のリニアモータによって、ステージを１方向に直線的に移動させる構成でもよい。また、ステージ装置ＳＴＧは、複数の１次元のリニアモータあるいは２次元のリニアモータ（例、平面モータ）によって、ステージを２方向に移動させる構成でもよい。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

ステージ装置ＳＴＧは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸ＳＦを回転させると、この回転が回転テーブルＴＢに伝達される。その際、エンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの角度位置等を検出する。従って、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、回転テーブルＴＢの角度位置を検出することができる。なお、駆動装置ＭＴＲの負荷側端部ＳＦａと回転テーブルＴＢとの間に減速機等が配置されてもよい。

ステージ装置ＳＴＧは、エンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が低い又は無いので、メンテナンスコストを減らすことができる。なお、ステージ装置ＳＴＧは、例えば、旋盤等の工作機械に備える回転テーブル等に適用できる。

［ロボット装置］
次に、ロボット装置について説明する。図１２は、ロボット装置ＲＢＴを示す斜視図である。なお、図１２には、ロボット装置ＲＢＴの一部（関節部分）を模式的に示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。このロボット装置ＲＢＴは、第１アームＡＲ１と、第２アームＡＲ２と、関節部ＪＴとを有している。第１アームＡＲ１は、関節部ＪＴを介して、第２アームＡＲ２と接続されている。

第１アームＡＲ１は、腕部１０１、軸受１０１ａ、及び軸受１０１ｂを備えている。第２アームＡＲ２は、腕部１０２および接続部１０２ａを有する。接続部１０２ａは、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの間に配置されている。接続部１０２ａは、回転軸ＳＦ２と一体的に設けられている。回転軸ＳＦ２は、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの両方に挿入されている。回転軸ＳＦ２のうち軸受１０１ｂに挿入される側の端部は、軸受１０１ｂを貫通して減速機ＲＧに接続されている。

減速機ＲＧは、駆動装置ＭＴＲに接続されており、駆動装置ＭＴＲの回転を例えば１００分の１等に減速して回転軸ＳＦ２に伝達する。図１２に図示しないが、駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａは、減速機ＲＧに接続されている。また、駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち反負荷側端部ＳＦｂには、エンコーダ装置ＥＣのスケールＳが取り付けられている。

ロボット装置ＲＢＴは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸ＳＦを回転させると、この回転が減速機ＲＧを介して回転軸ＳＦ２に伝達される。回転軸ＳＦ２の回転により接続部１０２ａが一体的に回転し、これにより第２アームＡＲ２が、第１アームＡＲ１に対して回転する。その際、エンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの角度位置等を検出する。従って、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、第２アームＡＲ２の角度位置を検出することができる。

ロボット装置ＲＢＴは、エンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が無いもしくは低いので、メンテナンスコストを減らすことができる。また、エンコーダ装置ＥＣが間欠的に検出動作を行うが、なお、ロボット装置ＲＢＴは、上記の構成に限定されず、駆動装置ＭＴＲは、関節を備える各種ロボット装置に適用できる。

なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。

１・・・位置検出部、２・・・電力供給部、３・・・多回転情報検出部、５・・・信号発生部、６・・・遮断部、７・・・第１電源、１１・・・磁石、１２・・・磁気センサ、１３・・・処理部、１４・・・記憶部、６４・・・第１スイッチング素子、６４ｃ・・・第１制御端子、７０・・・遅延部、７１・・・信号線、７４・・・放電回路、７５・・・第２スイッチング素子、７５ｃ・・・第２制御端子、７６・・・信号生成部、７７・・・電荷保持部、７８・・・第３スイッチング素子、７８ｃ・・・第３制御端子、７９・・・論理回路、８５・・・整流素子、ＥＣ・・・エンコーダ装置、ＴＢ・・・回転テーブル（ステージ）、ＭＴＲ・・・駆動装置、ＲＢＴ・・・ロボット装置、ＳＦ・・・回転軸（移動部）、ＳＴＧ・・・ステージ装置

Claims (20)

1. 移動部の位置情報を検出する位置検出部と、
   前記移動部の移動に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する信号発生部と、
   第１電源からの電力の供給が遮断された状態において、前記位置検出部へ電力を供給する電力供給部と、
   前記位置検出部の動作の終了を示すトリガー信号に基づき、前記電力供給部から前記位置検出部への電力の供給を遮断する遮断部と、を備えるエンコーダ装置。
2. 前記電力供給部は、前記検出信号の発生に応じて前記位置検出部へ電力を供給する、請求項１に記載のエンコーダ装置。
3. 前記遮断部は、前記検出信号を放電する放電回路を備える、請求項２に記載のエンコーダ装置。
4. 前記位置検出部は、前記第１電源から供給される電力によって前記位置情報として角度位置情報及び多回転情報を検出し、前記第１電源からの電力の供給が遮断された状態において前記多回転情報を検出する、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
5. 前記位置検出部は、前記多回転情報を記憶部に記憶させる処理部を有し、
   前記処理部は、前記記憶部への記憶が完了した場合に前記トリガー信号を前記遮断部に出力する、請求項４に記載のエンコーダ装置。
6. 前記電力供給部から前記位置検出部への電力の供給の開始に対して遅延する遅延信号を生成する遅延部を備え、
   前記位置検出部は、前記遅延信号を受けて動作を開始し、動作を終了する際に前記トリガー信号を出力し、
   前記遮断部は、前記トリガー信号及び前記遅延信号を受けて、前記電力供給部から前記位置検出部への電力の供給を遮断する、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
7. 前記電力供給部は、前記位置検出部に電力を供給する回路の導通と遮断とを切替える第１スイッチング素子を備え、
   前記遮断部は、前記トリガー信号を受けて前記第１スイッチング素子を制御する、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
8. 前記第１スイッチング素子は、前記信号発生部で発生した前記検出信号によって充電される第１制御端子を含み、前記第１制御端子の電圧に応じて前記回路を導通へ切替える、請求項７に記載のエンコーダ装置。
9. 前記遮断部は、前記トリガー信号を受けて前記第１制御端子を放電する、請求項８に記載のエンコーダ装置。
10. 前記遮断部は、前記回路の基準電位になる接地線と前記第１制御端子との間の導通と遮断とを切替える第２スイッチング素子と、
    前記トリガー信号を受けて、前記第２スイッチング素子を制御する制御信号を生成する信号生成部と、を備える、請求項８または請求項９に記載のエンコーダ装置。
11. 前記第２スイッチング素子は、前記信号生成部が生成した制御信号によって充電される第２制御端子を備え、前記第２制御端子が充電されることで前記接地線と前記第１制御端子との間を導通へ切替える、請求項１０に記載のエンコーダ装置。
12. 前記遮断部は、前記第２制御端子と前記接地線との間の信号線に設けられ、前記第２制御端子を充電する電荷を保持する電荷保持部を備える、請求項１０または請求項１１に記載のエンコーダ装置。
13. 前記電荷保持部は、前記第２制御端子と前記接地線との間の信号線に設けられる遅延回路を含む、請求項１０から請求項１２のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
14. 前記信号生成部は、
    前記第２スイッチング素子の前記第２制御端子と前記検出信号が伝わる信号線との間の導通と遮断とを切替える第３スイッチング素子と、
    前記トリガー信号を受けて前記第３スイッチング素子を制御する制御信号を生成する論理回路と、を備え、
    前記第３スイッチング素子は、前記論理回路が生成した制御信号によって充電される第３制御端子を備え、前記第３制御端子が充電されることで前記第２制御端子と前記検出信号が伝わる信号線との間を導通へ切替える、請求項１０から請求項１３のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
15. 前記信号生成部は、前記トリガー信号を受けて前記第２スイッチング素子を制御する制御信号を生成する論理回路と、
    前記論理回路と前記第２スイッチング素子の前記第２制御端子との間の信号線に設けられる整流素子と、を備える、請求項１０から請求項１３のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
16. 前記第１スイッチング素子は、バッテリーから前記回路を介した前記位置検出部への電力の供給の有無を切替える、請求項７から請求項１５のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
17. 前記信号発生部は、
    前記移動部と連動して移動する磁石と、
    前記磁石の移動に伴う磁界の変化によって大バルクハウゼンジャンプを生じる感磁性部と、を含む、請求項１から請求項１６のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
18. 請求項１から請求項１７のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
    前記移動部に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置。
19. 請求項１８に記載の駆動装置と、
    前記駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置。
20. 請求項１８に記載の駆動装置と、
    前記駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置。

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