JP2018054573A - エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置 - Google Patents

Abstract

【課題】信頼性が高いエンコーダ装置を提供する。【解決手段】エンコーダ装置は、移動部の位置情報を検出する位置検出部と、移動部の移動に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する信号発生部と、検出信号の発生に基づいて位置検出部へ電力を供給し、位置検出部に対するノイズを低減するように配置されるバッテリーモジュールと、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置に関する。

回転軸の回転の数を区別する多回転型のエンコーダ装置は、ロボット装置などの各種装置に搭載されている（例えば、下記の特許文献１参照）。ロボット装置の動作中において、エンコーダ装置は、例えばロボット装置の主電源から電力供給を受けて、回転の数を示す多回転情報と１回転未満の角度位置を示す角度位置情報とを含む回転位置情報を検出する。

ロボット装置が所定の処理を終了すると、その主電源がオフにされることがある。この場合に、ロボット装置の主電源からエンコーダ装置への電力供給も停止される。ロボット装置には、主電源が次にオンに切り替えられた際（例、次回の動作を開始する際）に、初期の姿勢などの情報が必要とされることがある。そのため、エンコーダ装置には、外部から電力が供給されない状態においても、多回転情報を保持することが求められる。そこで、エンコーダ装置として、主電源からの電力供給が得られない状態において、バッテリーから供給される電力によって多回転情報を保持するものが用いられる。

特開平８−５００３４号公報

本発明の第１の態様に従えば、移動部の位置情報を検出する位置検出部と、移動部の移動に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する信号発生部と、検出信号の発生に基づいて位置検出部へ電力を供給し、位置検出部に対するノイズを低減するように配置されるバッテリーモジュールと、を備えるが提供される。

本発明の第２の態様に従えば、第１の態様のエンコーダ装置と、移動部に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置が提供される。

本発明の第３の態様に従えば、第２の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置が提供される。

本発明の第４の態様に従えば、第２の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置が提供される。

第１実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。 第１実施形態に係る磁石、磁気センサ、及び信号発生部を示す図である。 第１実施形態に係る位置検出部およびバッテリーモジュールを示す図である。 第１実施形態に係る位置検出部およびバッテリーモジュールを示す図である。 第１実施形態に係るエンコーダ装置の回路構成を示す図である。 第１実施形態に係るエンコーダ装置の動作を示す図である。 第２実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。 第３実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。 実施形態に係る駆動装置を示す図である。 実施形態に係るステージ装置を示す図である。 実施形態に係るロボット装置を示す図である。

［第１実施形態］
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣを示す図である。このエンコーダ装置ＥＣは、移動部の位置情報（移動位置情報）を検出する。エンコーダ装置ＥＣは、例えばロータリーエンコーダである。移動部は、例えばモータＭ（動力供給部）の回転軸ＳＦであり、移動部の移動は、例えば所定の軸まわりの回転である。また、移動部の位置情報は、例えば、回転軸ＳＦの回転位置情報である。

回転軸ＳＦは、例えばモータＭのシャフト（回転子）であるが、モータＭのシャフトに変速機などの動力伝達部を介して接続されるとともに負荷に接続される作用軸（出力軸）であってもよい。エンコーダ装置ＥＣが検出した回転位置情報は、モータ制御部ＭＣに供給される。モータ制御部ＭＣは、エンコーダ装置ＥＣから供給された回転位置情報を使って、モータＭの回転を制御する。モータ制御部ＭＣは、回転軸ＳＦの回転を制御する。なお、エンコーダ装置ＥＣは、例えばリニアエンコーダでもよく、リニアモータ、平面モータなどの動力駆動部の移動部（移動軸）の位置情報（移動位置情報）を検出してもよい。

エンコーダ装置ＥＣは、位置検出部１（位置検出モジュール、位置検出ユニット）と、電力供給部２と、バッテリーモジュール３（バッテリーユニット）とを備える。位置検出部１は、検出部４（測定部、センサ部）および処理基板部５を備える。検出部４は、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。例えば、検出部４は、センサによって回転軸ＳＦを検出する。処理基板部５は、検出部４の検出結果を処理する（例、演算する）。例えば、処理基板部５は、検出部４の検出結果を用いて、回転軸ＳＦの回転位置情報を算出する。

電力供給部２は、位置検出部１の少なくとも一部（例、検出部４、処理基板部５の処理部１３など）へ電力を供給する。電力供給部２は、例えば、信号発生部６、切替部７、及びバッテリー８を備える。信号発生部６は、回転軸ＳＦの回転に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する。バッテリー８は、検出信号の発生（出力）に基づいて、位置検出部１へ電力を供給する。

バッテリーモジュール３は、バッテリー８を含み、該バッテリー８やシールド部３４などによって位置検出部１に対するノイズ（位置検出部１へのノイズ）を低減するように位置検出部１の近傍に配置される。位置検出部１へのノイズは、例えば、磁気ノイズと電磁ノイズとの少なくとも一部を含む。位置検出部１へのノイズは、例えば、エンコーダ装置ＥＣの外部（例、モータＭ、モータＭの外部の装置）からのノイズと、エンコーダ装置ＥＣの内部（例、後述する磁石１１）で発生するノイズとの少なくとも一部を含む。なお、信号発生部６は、上記の位置検出部１に備えられる構成としてもよい。

以下、エンコーダ装置ＥＣの各部について説明する。位置検出部１は、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。本実施形態におけるエンコーダ装置ＥＣは、多回転アブソリュートエンコーダであり、回転軸ＳＦの回転の数を示す多回転情報、および１回転未満の角度位置（回転角）を示す角度位置情報を含む回転位置情報を検出する。位置検出部１は、回転軸ＳＦの多回転情報を検出する多回転情報検出部１Ａ、及び回転軸ＳＦの角度位置を検出する角度検出部１Ｂを備える。

位置検出部１の少なくとも一部（例、角度検出部１Ｂ）は、例えば、第１電源９から供給される通常状態において、第１電源９から供給される電力によって回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。第１電源９は、例えば、エンコーダ装置ＥＣが搭載される装置（例、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置）の主電源であり、通常状態において回転軸ＳＦの駆動に消費される電力を供給する。例えば、モータ制御部ＭＣは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果に基づいて、第１電源９からの電力を調整してモータＭに供給することで、回転軸ＳＦの回転を制御する。

位置検出部１は、第１電源９の電力が投入されている状態（第１電源９がオンになっている状態、通常状態）で、第１電源９から電力供給を受けて動作する。また、第１電源９の電力が位置検出部１に投入されている状態において、角度検出部１Ｂ（又はその回路）は動作できる。例えば、第１電源９の電力が位置検出部１に投入された通常状態になった場合に、角度検出部１Ｂは角度位置情報の検出（例、演算）を開始し、同様に多回転情報検出部１Ａも多回転情報の検出（例、センサによる検出、検出結果の処理、演算）を開始する。

また、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部１Ａ）は、例えば、第１電源９からの電力供給が遮断された状態（例、第１電源９の電力が投入されていない状態、第１電源９がオフになっている状態、バックアップ状態）において、第１電源９とは異なる第２電源（例、バッテリー８）から供給される電力によって動作する。例えば、位置検出部１に対して第１電源９からの電力供給が断たれた状態において、電力供給部２は、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部１Ａ）に対して検出信号をもとに断続的（間欠的、選択的）に電力を供給し、位置検出部１は、電力供給部２から電力が供給された際に回転軸ＳＦの回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を検出する。

また、第１電源９の電力が投入されていない状態において、多回転情報検出部１Ａ（又はその回路）は動作できる。例えば、第１電源９の電力が投入されていなく第２電源（例、バッテリー８）から電力が供給されたバックアップ状態になった場合に、多回転情報検出部１Ａは多回転情報の検出（算出）を継続するが、角度検出部１Ｂは角度位置情報の検出（算出）を停止する。このように、多回転情報検出部１Ａは、検出信号に基づき、電源（第１電源９、バッテリー８等の第２電源など）のオンオフ状態（通常状態およびバックアップ状態）に関係なく、多回転情報の検出を行う。

多回転情報検出部１Ａは、例えば、磁気式の検出部であり、磁気によって多回転情報を検出する。多回転情報検出部１Ａは、例えば、磁石１１、磁気センサ１２、処理部１３、及び記憶部１４を備える。位置検出部１は、例えば、検出部４が磁気センサ１２を含み、処理基板部５が処理部１３を含むように構成される。処理基板部５は、記憶部１４を含んでもよいし、記憶部１４を含まなくてもよい。例えば、記憶部１４は、処理基板部５以外の部分に設けられてもよい。

磁石１１は、例えば、回転軸ＳＦに固定されたスケールＳに設けられる。スケール（この場合、円板）Ｓは回転軸ＳＦとともに回転するため、磁石１１は回転軸ＳＦと連動して回転（移動）する。磁気センサ１２は回転軸ＳＦの外部に固定され、磁石１１および磁気センサ１２は、回転軸ＳＦの回転によって互いの相対位置が変化する。磁石１１が形成する磁気センサ１２上の磁界の強さおよび向きは、回転軸ＳＦの回転によって変化する。

磁気センサ１２は、磁石１１が形成する磁界を検出し、処理部１３は、磁石が形成する磁界を磁気センサ１２が検出した結果に基づいて、回転軸ＳＦの位置情報（例、多回転情報）を検出（算出）する。処理部１３は、例えば、多回転情報を処理する多回転処理部である。記憶部１４は、処理部１３からの位置情報（例、多回転情報）の記憶指示（データの書き込み指令）に基づいて、処理部１３が検出して処理した位置情報を記憶する。なお、磁石１１は磁気センサ１２又は信号発生部６に対して相対的な移動が可能であればよく、例えば、磁気センサ１２がスケールＳに設けられ、磁石１１がスケールＳの外部に設けられてもよい。

角度検出部１Ｂは、光学式または磁気式のエンコーダであり、スケールＳの一回転内の位置情報（角度位置情報、絶対又は相対位置情報）を検出する。例えば、角度検出部１Ｂは、光学式のエンコーダである場合、スケール（この場合、円板）Ｓのパターンニング情報を受光素子で読み取ることにより、回転軸ＳＦの１回転以内の角度位置情報を検出する。スケールＳのパターンニング情報は、例えばスケールＳ上のスリット（透過パターン）又は反射パターン等による明暗のパターンである。角度検出部１Ｂは、多回転情報検出部１Ａの検出対象と同じ回転軸ＳＦの角度位置情報を検出する。

角度検出部１Ｂは、スケールＳ、発光素子２１、受光センサ２２、及び処理部２３を備える。位置検出部１において、例えば、検出部４は受光センサ２２を含み、処理基板部５は処理部２３を含む。処理部２３は、例えば、スケールＳの一回転内の位置情報を処理する角度位置処理部である。

スケールＳは、回転軸ＳＦに固定されて設けられている。スケールＳは、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳを含む。なお、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳの一方または双方は、スケールＳにおいて磁石１１と同じ側の面又は反対側の面に設けられていてもよい。また、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳの一方または双方は、磁石１１の位置に対して内側と外側との少なくとも一方に設けられていてもよい。また、磁石１１は、スケールＳと別の部材に設けられてもよい。例えば、スケールＳは、移動体（例、回転軸ＳＦ）に固定された第１の移動体（例、第１の回転体）であって、磁石１１は、移動体（例、回転軸ＳＦ）に固定された第２の移動体（例、第２の回転体）に設けられてもよい。上記の第１の移動体は、第２の移動体と一体化（ユニット化）されてもよい。

発光素子２１（照射部、発光部）は、スケールＳのインクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳに光を照射する。受光センサ２２（光検出部）は、発光素子２１から照射されインクリメンタルパターンＩＮＣを経由した光、及び発光素子２１から照射されアブソリュートパターンＡＢＳを経由した光を検出する。図１において、角度検出部１Ｂは反射型であり、受光センサ２２は、スケールＳで反射した光を検出する。角度検出部１Ｂは透過型であってもよく、この場合、受光センサ２２は、スケールＳを透過した光を検出する。

受光センサ２２は、検出結果を示す信号を処理部２３へ供給する。処理部２３は、受光センサ２２の検出結果を使って、回転軸ＳＦの角度位置を検出する。例えば、処理部２３は、アブソリュートパターンＡＢＳからの光を検出した結果を使って第１分解能の角度位置情報を検出する。また、処理部２３は、インクリメンタルパターンＩＮＣからの光を検出した結果を使って、第１分解能の角度位置情報に内挿演算を行うことにより、第１分解能よりも高い第２分解能の角度位置情報を検出する。

本実施形態において、エンコーダ装置ＥＣは、信号処理部２５を備える。信号処理部２５は、処理部１３から出力される信号、及び処理部２３から出力される信号を処理する。信号処理部２５は、合成部２６および通信部２７を備える。信号処理部２５は、例えば、その少なくとも一部が処理基板部５に設けられる。信号処理部２５の少なくとも一部は、処理基板部５と別の部分に設けられてもよい。

合成部２６は、処理部２３が検出した第２分解能の角度位置情報を取得する。また、合成部２６は、多回転情報検出部１Ａの記憶部１４から回転軸ＳＦの多回転情報を取得する。合成部２６は、処理部２３からの角度位置情報、及び多回転情報検出部１Ａからの多回転情報を合成し、回転軸ＳＦの回転位置情報を算出する。例えば、処理部２３の検出結果がθ［ｒａｄ］であり、多回転情報検出部１Ａの検出結果がｎ回転である場合に、合成部２６は、回転位置情報として（２π×ｎ＋θ）［ｒａｄ］を算出する。回転位置情報は、多回転情報と、１回転未満の角度位置情報とを組にした情報でもよい。

そして、合成部２６は、算出した回転位置情報を通信部２７に送信する。通信部２７（外部通信部、外部接続インターフェース）は、有線または無線によって、モータ制御部ＭＣの通信部ＭＣ１と通信可能に接続されている。通信部２７は、デジタル形式の回転位置情報を、モータ制御部ＭＣの通信部ＭＣ１に供給する。モータ制御部ＭＣは、角度検出部１Ｂの通信部２７からの回転位置情報を適宜復号する。モータ制御部ＭＣは、回転位置情報を使ってモータＭへ供給される電力（駆動電力）を制御することにより、モータＭの回転を制御する。

電力供給部２は、少なくとも第１電源９からの電力供給が遮断された状態（例、第１電源９が投入されていない状態、第１電源９がオフになっている状態、バックアップ状態）において、電力を供給する。電力供給部２は、信号発生部６、切替部７、及びバッテリー８（電池）を備える。

信号発生部６は、移動部（例、回転軸ＳＦ）の移動（例、回転）に伴う磁界の変化によって電気信号（検出信号）が発生する。この電気信号は、例えば、電力（電流、電圧）が時間変化する波形を含む。信号発生部６には、例えば、回転軸ＳＦの回転に伴って変化する磁界によって、電気信号として検出信号が発生する。例えば、信号発生部６には、多回転情報検出部１Ａが回転軸ＳＦの多回転情報の検出に用いる磁石１１が形成する磁界の変化によって、検出信号が発生する。信号発生部６は、回転軸ＳＦの回転によって、磁石１１との相対的な角度位置が変化するように、配置される。信号発生部６には、例えば、信号発生部６と磁石１１との相対位置が所定の位置になった際に、パルス状の電気信号が発生する。

バッテリー８は、バックアップ状態において、信号発生部６で発生する検出信号に応じて、位置検出部１で消費される電力の少なくとも一部を供給する。バッテリー８は、例えばボタン型電池、乾電池などの一次電池であるが、リチウムイオン二次電池などの二次電池でもよい。本実施形態のバッテリー８は、例えばボタン型電池であり、第２保持部３３（後に図３に示す）に保持される。第２保持部３３には、例えば、バッテリー８を収容可能な電池ケース、及びバッテリー８と接続される電極、配線などが設けられる。

切替部７は、信号発生部６で発生した検出信号を制御信号に用いてバッテリー８から位置検出部１への電力供給の有無を切り替える。例えば、切替部７は、信号発生部６で発生する電気信号のレベルが閾値以上になることでバッテリー８から位置検出部１への電力供給を開始させる。例えば、切替部７は、信号発生部６で閾値以上の検出信号が発生することでバッテリー８から位置検出部１への電力供給を開始させる。

また、切替部７は、信号発生部６で発生する電気信号のレベルが閾値未満になることでバッテリー８から位置検出部１への電力供給を停止させる。例えば、切替部７は、信号発生部６で発生する検出信号が閾値未満になることでバッテリー８から位置検出部１への電力供給を停止させる。例えば、第１電源９からの電力供給が遮断された状態（バックアップ状態）において、信号発生部６にパルス状の電気信号が発生する場合、切替部７は、この電気信号のレベル（電位）がローレベルからハイレベルに立ち上がった際に、バッテリー８から位置検出部１への電力供給を開始させ、この電気信号のレベル（電位）がローレベルへ変化してから所定の時間経過後に、バッテリー８から位置検出部１への電力供給を停止させる。

なお、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで調整した電力を位置検出部１に供給してもよい。例えば、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで調整した電力と、バッテリー８からの電力とを併用してあるいは切り替えて、位置検出部１に供給してもよい。

図２は、本実施形態に係る磁石１１、磁気センサ１２、及び信号発生部６を示す図である。図２（Ａ）には磁石１１、磁気センサ１２、及び信号発生部６の斜視図を示し、図２（Ｂ）には回転軸ＳＦの方向から見た磁石１１、磁気センサ１２、及び信号発生部６の平面図を示した。また、図２（Ｃ）には、第１磁気センサ１２ａの回路構成を示した。

磁石１１は、回転によって回転軸ＳＦに対する放射方向（径方向）における磁界の向きおよび強さが変化するように構成される。磁石１１は、例えば回転軸ＳＦと同軸の円環状の部材である。磁石１１の主面（表面および裏面）は、それぞれ、回転軸ＳＦとほぼ垂直である。図２（Ｂ）に示すように、磁石１１は、４極に着磁した永久磁石である。磁石１１は、その内周側と外周側のそれぞれにおいて周方向にＮ極とＳ極が並んでおり、内周側と外周側とで位相が１８０°ずれている。磁石１１において、内周側におけるＮ極とＳ極との境界は、外周側におけるＮ極とＳ極との境界と、周方向の位置（角度位置）がほぼ一致している。

以下の説明において、回転軸ＳＦの先端側（図１のモータＭと反対側）から見た場合の、反時計回りの回転を順回転、時計回りの回転を逆回転という。また、順回転の角度を正の値で表し、逆回転の角度を負の値で表す。なお、回転軸ＳＦの基端側（図１のモータＭ側）から見た場合の、反時計回りの回転を順回転、時計回りの回転を逆回転と定義してもよい。

ここで、磁石１１に固定した座標系において、周方向におけるＮ極とＳ極との１つの境界の角度位置を位置１１ａで表し、位置１１ａから９０°回転した角度位置を位置１１ｂで表す。また、位置１１ｂから９０°回転した角度位置を位置１１ｃで表し、位置１１ｃから９０°回転した位置を位置１１ｄで表す。位置１１ｃは、周方向におけるＮ極とＳ極とのもう一つの境界の角度位置である。

位置１１ａから反時計回りに１８０°の第１区間において、磁石１１の外周側にＮ極が配置されており、磁石１１の内周側にＳ極が配置されている。この第１区間において、磁界の径方向の向きは、概ね磁石１１の外周側から内周側へ向かう向きである。第１区間において、磁界の強さは、位置１１ｂにおいて最大となり、位置１１ａの近傍および位置１１ｃの近傍で最小となる。

位置１１ｃから反時計回りに１８０°の第２区間において、磁石１１の内周側にＮ極が配置されており、磁石１１の外周側にＳ極が配置されている。この第２区間において、磁界の径方向の向きは、磁石１１の内周側から外周側へ向かう向きである。第２区間において、磁界の強さは、位置１１ｄにおいて最大となり、位置１１ａの近傍および位置１１ｃの近傍で最小となる。

このように、磁石１１が形成する磁界の径方向の向きは、位置１１ａにおいて反転し、位置１１ｃにおいて反転する。磁石１１は、磁石１１の外部に固定された座標系に対し、磁石１１の回転に伴って径方向の磁界の向きが反転する交流磁界を形成する。信号発生部６は、磁石１１の主面の法線方向から見て磁石１１と重なる位置に配置されている。

本実施形態において、信号発生部６は、第１信号発生部６ａおよび第２信号発生部６ｂを備える。第１信号発生部６ａおよび第２信号発生部６ｂは、それぞれ、電気信号を発生するユニットであり、磁石１１と非接触に設けられる。第１信号発生部６ａは、第１感磁性部４１および第１発電部４２を備える。第１感磁性部４１および第１発電部４２は、磁石１１の外部に固定されており、磁石１１の回転に伴って磁石１１上の各位置との相対位置が変化する。例えば、図２（Ｂ）では、第１信号発生部６ａから反時計回りに４５°の位置に、磁石１１の位置１１ｂが配置されており、この状態から磁石１１が順方向（反時計回り）に１回転すると、信号発生部６の近傍を位置１１ｂ、位置１１ｃ、位置１１ｄ、位置１１ａが、この順に通過する。

第１感磁性部４１は、ウィーガントワイヤなどの感磁性ワイヤ（磁性体）である。第１感磁性部４１には、磁石１１の回転に伴う磁界の変化によって大バルクハウゼンジャンプ（ウィーガンド効果）が生じる。第１感磁性部４１は、円柱状の部材であり、その軸方向が磁石１１の径方向に設定されている。第１感磁性部４１は、その軸方向に交流磁界が印加され磁界が反転する際に、軸方向の一端から他端に向かう磁壁が発生する。

第１発電部４２は、第１感磁性部４１に巻き付けられて配置される高密度コイルなどである。第１発電部４２には、第１感磁性部４１における磁壁の発生に伴って電磁誘導が生じ、誘導電流が流れる。図２（Ｂ）に示した磁石１１の位置１１ａまたは位置１１ｃが信号発生部６の近傍を通過する際に、第１発電部４２にパルス状の電流（電気信号）が発生する。また、第１発電部４２は、大バルクハウゼンジャンプを利用して正パルスや負パルス等の検出パルスを含む検出信号を出力可能であり、外部（例、図１の第１電源９）からの電力供給がなくても動作可能である。

第１発電部４２に発生する電流の向きは、磁界の反転前後の向きに応じて変化する。例えば、磁石１１の外側を向く磁界から内側を向く磁界へ反転時に発生する電流の向きは、磁石１１の内側を向く磁界から外側を向く磁界へ反転時に発生する電流の向きの反対になる。第１発電部４２に発生する電力（誘導電流）は、例えば高密度コイルの巻き数により設定できる。

図２（Ａ）に示すように、第１感磁性部４１および第１発電部４２は、ケース４３に収納されている。ケース４３には端子４３ａおよび端子４３ｂが設けられている。第１発電部４２の高密度コイルは、その一端が端子４３ａと接続され、その他端が端子４３ｂと接続されている。第１発電部４２で発生した電力は、端子４３ａおよび端子４３ｂを介して、第１信号発生部６ａの外部へ取り出し可能である。

第２信号発生部６ｂは、第１信号発生部６ａが配置される角度位置から０°より大きく１８０°よりも小さい角度をなす角度位置に、配置される。第１信号発生部６ａの角度位置と第２信号発生部６ｂの角度位置との角度は、４５°以上１３５°以下の範囲から選択され、図２（Ｂ）では約９０°である。第２信号発生部６ｂは、第１信号発生部６ａと同様の構成である。第２信号発生部６ｂは、第２感磁性部４５および第２発電部４６を備える。第２感磁性部４５および第２発電部４６は、それぞれ、第１感磁性部４１および第１発電部４２と同様であり、その説明を省略する。第２感磁性部４５および第２発電部４６は、ケース４７に収納されている。ケース４７には端子４７ａおよび端子４７ｂが設けられている。第２発電部４６で発生した電力は、端子４７ａおよび端子４７ｂを介して、第２信号発生部６ｂの外部へ取り出し可能である。

なお、上述の信号発生部６の構成は一例であり、その構成は適宜変更可能である。例えば、信号発生部６は、大バルクハウゼンジャンプ（ウィーガンド効果）を利用しない電磁誘導によって電力を発生してもよい。また、信号発生部６が備える発電ユニットの数は、適宜変更可能であり、例えば、１つでもよいし、３つ以上でもよい。また、信号発生部６の配置についても適宜変更可能である。

磁気センサ１２は、第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂを含む。第１磁気センサ１２ａは、回転軸ＳＦの回転方向において、第１感磁性部４１（第１信号発生部６ａ）に対して０°より大きく９０°未満の角度位置で配置される。第２磁気センサ１２ｂは、回転軸ＳＦの回転方向において、第１感磁性部４１（第１信号発生部６ａ）に対して９０°より大きく１８０°未満の角度位置で配置される。

図２（Ｃ）に示すように、第１磁気センサ１２ａは、磁気抵抗素子４８と、磁気抵抗素子４８に一定の強さの磁界を与えるバイアス磁石（図示せず）と、磁気抵抗素子４８からの波形を整形する波形整形回路（図示せず）とを備える。磁気抵抗素子４８は、エレメント４９ａ、エレメント４９ｂ、エレメント４９ｃ、及びエレメント４９ｄを直列に結線したフルブリッジ形状である。エレメント４９ａとエレメント４９ｃとの間の信号線は、電源端子４８ｐに接続されている。エレメント４９ｂとエレメント４９ｄとの間の信号線は、接地端子４８ｇに接続されている。エレメント４９ａとエレメント４９ｂとの間の信号線は、第１出力端子４８ａに接続されている。エレメント４９ｃとエレメント４９ｄとの間の信号線は、第２出力端子４８ｂに接続されている。第２磁気センサ１２ｂは、第１磁気センサ１２ａと同様の構成である。

図３および図４は、本実施形態に係る位置検出部およびバッテリーモジュールを示す図である。図３において、Ｘ方向およびＹ方向は、回転軸ＳＦに垂直な方向であり、Ｚ方向は、回転軸ＳＦに平行な方向である。回転軸ＳＦの回転方向（移動方向）は、ＸＹ平面に平行であり、Ｚ方向は、回転軸ＳＦの回転方向に対する交差方向である。Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向のそれぞれについて、適宜、矢印の先と同じ側を＋側（例、＋Ｚ側）と称し、矢印の先と反対側を−側（例、−Ｚ側）と称する。＋Ｚ側は、例えば回転軸ＳＦの先端側（図１のモータＭと反対側）であり、−Ｚ側は、例えば回転軸ＳＦの基端側（モータＭと同じ側）である。

本実施形態において、位置検出部１は、図１の検出部４及び処理基板部５を保持する第１保持部（モールド部）３０を備える。第１保持部３０は、例えば、外形が円柱状（円板状）であり、内部に空間を有する部材である。第１保持部３０は、例えば、図１のモータＭにおける固定子側の部材（例、本体部、筐体）と固定される。回転軸ＳＦは、その先端側（＋Ｚ側）が第１保持部３０の内部に挿入される。回転軸ＳＦは、第１保持部３０に対して回転可能である。なお、第１保持部３０は、円柱状以外の形状でもよく、例えば、ＸＹ平面での形状が矩形の柱状あるいは板状でもよいし、その他の形状でもよい。

第１保持部３０は、例えば、その内部に、図１のスケールＳを収容する。スケールＳは、第１保持部３０と接触しないように回転軸ＳＦに取り付けられ、第１保持部３０は、スケールＳを囲む（例、覆う）ように配置される。例えば、スケールＳは、フランジ状の部材であり、その軸ＡＸがベアリング等を介して第１保持部３０に支持される（後に図４等にも示す）。スケールＳの軸ＡＸは、図１の回転軸ＳＦと固定される。

処理基板部５は、第１保持部３０に固定され、第１保持部３０に保持される。処理基板部５は、例えば円板状であり、第１面５ａおよび第２面５ｂを有する。第１面５ａおよび第２面５ｂは、例えば、回転軸ＳＦに交差（例、直交）する面である。処理基板部５は、その回転軸ＳＦの基端側（−Ｚ側）の第２面５ｂが第１保持部３０と固定される。処理基板部５は、例えばプリント基板であり、その表面（所定面）に配線が形成されている。また、処理基板部５の所定面（例、一面、実装面、配線面、第１面５ａおよび第２面５ｂなど）には、例えば、図１の切替部７、処理部１３、記憶部１４、処理部２３、及び信号処理部２５の少なくとも一部を構成する電子部品が実装される。上記の配線および電子部品は、処理基板部５の−Ｚ側の第２面５ｂに配置されてもよいし、＋Ｚ側の第１面５ａに配置されてもよく、第１面５ａと第２面５ｂとに配置されてもよい。

図４に示すように、磁気センサ１２、発光素子２１、及び受光センサ２２は、例えば、処理基板部５および第１保持部３０に囲まれる空間に収容される。磁気センサ１２、発光素子２１、及び受光センサ２２は、例えば、処理基板部５に保持（例、固定、支持、実装）される。磁気センサ１２、発光素子２１、及び受光センサ２２は、例えば、処理基板部５の第２面５ｂ側に設けられる。なお、磁気センサ１２、発光素子２１、及び受光センサ２２の少なくとも一部は、処理基板部５の第１面５ａ側に設けられてもよいし、処理基板部５以外の部材（例、第１保持部３０）に保持されてもよい。

信号発生部６は、例えば、処理基板部５の近傍に配置される。信号発生部６は、例えば、処理基板部５に隣接して配置される。例えば、信号発生部６は、処理基板部５の＋Ｚ側の第１面５ａに配置される。信号発生部６は、例えば、第１面５ａに実装（支持、マウント）され、第１面５ａに形成された配線と電気的に接続される。なお、信号発生部６は、処理基板部５の−Ｚ側の第２面５ｂに配置（例、実装）されてもよい。また、信号発生部６は、処理基板部５から離れて配置されてもよく、例えば、第１保持部３０に支持、保持、あるいは固定されてもよい。

処理基板部５（図３参照）の＋Ｚ側の第１面５ａには、外部接続用のコネクタ３１が設けられる。コネクタ３１は、図１の通信部２７と電気的に接続される。通信部２７は、例えば、コネクタ３１に接続されるケーブル等を介して、処理基板部５の処理結果（例、回転位置情報）を外部の装置（例、図１のモータ制御部ＭＣ１）へ送信する。

処理基板部５は、例えば、第１端子Ｐ１ａおよび第１端子Ｐ１ｂを備える。処理基板部５は、第１端子Ｐ１ａおよび第１端子Ｐ１ｂを介して、その外部から電力供給を受ける。第１端子Ｐ１ａおよび第１端子Ｐ１ｂは、例えば、処理基板部５の＋Ｚ側の第２面５ｂに配置される。第１端子Ｐ１ａは、例えば、処理基板部５において基準電位になる接地線ＧＬ（後に図５に示す）と導通する負極端子である。第１端子Ｐ１ａは、例えば、バッテリー８の負極８ａと導通する。第１端子Ｐ１ｂは、例えば、基準電位に対する所定電位が印加される正極端子である。第１端子Ｐ１ｂは、例えば、バッテリー８の正極８ｂと導通する。

位置検出部１とバッテリーモジュール３（例、バッテリー８、シールド部３４）とは、回転軸ＳＦの回転方向に対する交差方向（Ｚ方向）に積層されて配置される。例えば、信号発生部６は、処理基板部５の第１面５ａ側に配置され、バッテリーモジュール３は、例えば、処理基板部５の第１面５ａ側（例、＋Ｚ側）と対向する位置に配置される。バッテリーモジュール３は、例えば、位置検出部１に対して、処理基板部５において第１端子Ｐ１ａおよび第１端子Ｐ１ｂが形成される第１面５ａと同じ側（例、＋Ｚ側）に配置される。また、例えば、位置検出部１とバッテリーモジュール３とは、回転軸ＳＦ（移動軸）の軸方向（移動軸方向）に沿って順番（例、モータＭに近い側から第１保持部３０、位置検出部１（例、処理基板部５）およびバッテリーモジュール３の順）に配置される。

なお、回転軸ＳＦ又はモータＭに近い方（回転軸ＳＦ側又はモータＭ側）に位置検出部１が配置されてもよいし、バッテリーモジュール３が配置されてもよい。また、例えば、位置検出部１とバッテリーモジュール３とは、回転軸ＳＦの軸方向と交差する交差方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に並んで配置されてもよい。

バッテリーモジュール３は、バッテリー８、第２保持部３３、及びシールド部３４を備える。第２保持部３３は、バッテリー８を保持する。第２保持部３３は、例えば、回転軸ＳＦの回転方向に対する交差方向（回転軸ＳＦの方向、Ｚ方向）において、位置検出部１の第１保持部３０から離れて配置される。例えば、第２保持部３３は、第１保持部３０との間にギャップを有しており、外部接続用のコネクタ３１および信号発生部６は、第１保持部３０と第２保持部３３との間のギャップに配置される。

第２保持部３３は、例えば、円柱状（円板状）の部材である。第２保持部３３は、例えば、Ｚ方向から見た場合に位置検出部１の第１保持部３０から張り出さないように設けられる。例えば、第２保持部３３は、ＸＹ平面上の形状および寸法が第１保持部３０とほぼ同じであり、第１保持部３０と中心を揃えて配置される。なお、第２保持部３３は、円柱状以外の形状でもよく、例えば、ＸＹ平面での形状が矩形の柱状あるいは板状でもよいし、その他の形状でもよい。また、第２保持部３３は、ＸＹ平面での形状と寸法との一方または双方が第１保持部３０と異なってもよい。

第２保持部３３は、バッテリー８が配置される凹部を有する。この凹部は、第２保持部３３において処理基板部５と反対側に配置される。第２保持部３３には、バッテリー８の負極８ａと接触する端子３３ａおよび正極８ｂと接触する端子３３ｂが設けられる。また、バッテリーモジュール３は、第２端子Ｐ２ａおよび第２端子Ｐ２ｂを備える。第２端子Ｐ２ａは、例えばリードなどの配線を介してバッテリー８の負極８ａと導通する。第２端子Ｐ２ｂは、例えばリードなどの配線を介してバッテリー８の正極８ｂと導通する。第２端子Ｐ２ａおよび第２端子Ｐ２ｂは、例えば、ネジあるいはボルトなどの締結部材が挿入される貫通孔を有する丸形端子である。

第１端子Ｐ１ａおよび第２端子Ｐ２ａは、それぞれ、導電部材３５ａに接続される。導電部材３５ａは、第１端子Ｐ１ａと導通し、かつ第２端子Ｐ２ａと導通することで、第１端子Ｐ１ａと第２端子Ｐ２ａとを導通させる。導電部材３５ａは、例えば、第１端子Ｐ１ａと接触することで第１端子Ｐ１ａと導通し、第２端子Ｐ２ａと接触することで第２端子Ｐ２ａと導通する。例えば、導電部材３５ａは、−Ｚ側の端面が第１端子Ｐ１ａと接触し、＋Ｚ側の端面が第２端子Ｐ２ａと接触する。

例えば、導電部材３５ａは、−Ｚ側の端面が第１端子Ｐ１ａと接触した状態で、位置検出部１（例、処理基板部５）に固定（接合、保持、支持）されている。導電部材３５ａは、例えば、ハンダなどを用いたリフローによって処理基板部５と固定されている。導電部材３５ａは、例えば、処理基板部５から取り外しできないように、処理基板部５と一体化（ユニット化）されている。

なお、導電部材３５ａは、リフロー以外の手法で処理基板部５と固定（接合）されてもよく、例えば、ネジなどで固定されてもよい。また、導電部材３５ａは、上記のモジュールの非固定状態において処理基板部５と固定されていなくてもよく、例えば、位置検出部１とバッテリーモジュール３とが互いに固定される際に、処理基板部５と固定されてもよい。また、導電部材３５ａは、処理基板部５から取り外し可能でもよい。

なお、導電部材３５ａは、第１端子Ｐ１ａと第２端子Ｐ２ａとの一方または双方と接触しなくてもよい。例えば、導電部材３５ａは、第１端子Ｐ１ａと第２端子Ｐ２ａとの一方または双方と、座金などの導電性の部材を介して導通してもよい。また、導電部材３５ａは、位置検出部１において処理基板部５と別の部分に固定されてもよい。例えば、処理基板部５に貫通孔が設けられ、導電部材３５ａは、この貫通孔を通して第１保持部３０に固定（支持、保持）されてもよい。この場合、第１端子Ｐ１ａは、例えば導電部材３５ａの側面に接触して、導電部材３５ａと電気的に接続されてもよい。

なお、エンコーダ装置ＥＣは、導電部材３５ａを備えなくてもよい。例えば、第１端子Ｐ１ａと第２端子Ｐ２ａとは、配線（例、ケーブル）、コネクタなどで電気的に接続されてもよい。また、第１端子Ｐ１ａと第２端子Ｐ２ａとは、互いに接触することで電気的に接続されてもよい。また、第１端子Ｐ１ｂおよび第２端子Ｐ２ｂは、それぞれ、導電部材３５ｂに接続される。第１端子Ｐ１ｂと導電部材３５ｂとの接続は、第１端子Ｐ１ａと導電部材３５ａとの接続と同様である。また、第２端子Ｐ２ｂと導電部材３５ｂとの接続は、第２端子Ｐ２ａと導電部材３５ａとの接続と同様である。

シールド部３４は、例えば、バッテリー８を構成する一部（例、バッテリー８の内部部品を保護する部分、バッテリー８の表面（例、一面））又はバッテリー８と一体化された構造（例、シールド部３４にバッテリー８が貼りついて固定された構造など）であり、位置検出部１に対するノイズを遮る位置（例、低減する位置）に配置される。この場合、シールド部３４は磁性体、金属又は導電体（例、アルミニウム等）などで構成されている。また、シールド部３４の形状は、例えば、回転軸ＳＦの軸方向視（上面視、図３のＺ方向視）において、バッテリー８と同等又はバッテリー８の表面を覆いつつ該表面より大きい。シールド部３４は、位置検出部１の回路において基準電位（例、ＧＮＤ）となる接地線ＧＬ（後に図５に示す）と導通する。

シールド部３４は、例えば、バッテリー８（例、負極８ａ）および後述のシールド部材３６を含むように構成し、バッテリー８がシールド部３４（又はシールド部材３６）に内蔵された構造としてもよい。バッテリー８がシールド部３４に内蔵された構造の場合、バッテリー８の容量を最大限に確保するために、例えば、バッテリー８はシールド部３４と類似する相似形状であってもよい。そして、バッテリー８は、例えば、処理基板部５の少なくとも一部を覆うように配置され、位置検出部１（例、処理基板部５、検出部４、信号発生部６）に対するノイズを低減する。例えば、バッテリー８は、円板状又は処理基板部５に配置される電子部品に応じた形状であり、処理基板部５の第１面５ａ側の少なくとも一部を覆うように配置される。これにより、バッテリー８は、例えば、バッテリー８に対して処理基板部５と反対側（＋Ｚ側）からのノイズを低減するように配置される。

バッテリー８は、例えば、バッテリー８に対して処理基板部５と反対側（＋Ｚ側）からのノイズの少なくとも一部をシールド部３４によって遮るように配置される。なお、例えば、バッテリー８（又はシールド部３４）は、検出部４、処理基板部５又は信号発生部６の近傍、周囲又は周辺に配置されてもよいし、検出部４、処理基板部５又は信号発生部６に隣接して配置（例、検出部４、処理基板部５又は信号発生部６に接して配置、近接配置又は覆うように配置）されてもよい。また、例えば、バッテリー８（又はシールド部３４）は、処理基板部５において配線および電子部品の少なくとも一部が配置される部分（例、所定面、一面、実装面、配線面、第１面５ａおよび第２面５ｂなど）又は検出部４に対向する位置（例、回転軸ＳＦの軸方向に沿って処理基板部５をバッテリー８（シールド部３４）と第１保持部３０とで挟む位置）或いは対向する位置とは反対側の位置（例、回転軸ＳＦの軸方向に沿ってバッテリー８（シールド部３４）を処理基板部５と第１保持部３０とで挟む位置）に配置される。

バッテリー８の負極８ａは、接地線ＧＬ（後に図５に示す）と電気的に接続され、バッテリー８へ到達した電磁ノイズの少なくとも一部は、例えば接地線ＧＬへ散逸される。この場合、バッテリー８の負極８ａが形成される面はグランド面（ＧＮＤ面、接地面）を構成し、このグランド面がシールド部３４として外部のノイズを低減する。また、バッテリー８は、例えば、磁性体を含み、磁気ノイズの少なくとも一部を低減する。例えば、バッテリー８は、処理基板部５と反対側（＋Ｚ側）からの磁気ノイズの少なくとも一部を遮断する。

また、更に、シールド部材３６（例、シールド板）は、例えば、導電部材を含み、この導電部材がバッテリー８の負極８ａと導通する。例えば、シールド部材３６は、バッテリー８の負極８ａと接触するように設けられることで、バッテリー８の負極８ａと導通する。シールド部材３６への電磁ノイズの少なくとも一部は、例えば、バッテリー８の負極８ａを介して接地線ＧＬへ散逸される。なお、シールド部材３６は、バッテリー８の負極８ａを経由しないで、接地線ＧＬと導通してもよい。また、シールド部材３６は、例えば磁性体を含み、磁気ノイズの少なくとも一部を遮断（例、遮蔽）してもよい。

シールド部材３６は、例えば、第２保持部３３に保持される。シールド部材３６は、例えば、処理基板部５の少なくとも一部を覆うように設けられる。例えば、Ｚ方向から見た場合に、処理基板部５は、バッテリー８の負極８ａの外側に配置される張り出し部分を含み、シールド部材３６は、この張り出し部分を覆うように設けられる。例えば、シールド部材３６は、Ｚ方向（例、上面）から見た場合に、処理基板部５において配線および電子部品の少なくとも一部が配置される部分（例、所定面、一面、実装面、配線面、第１面５ａおよび第２面５ｂなど）を覆うように設けられる。例えば、シールド部材３６は、Ｚ方向から見た場合に処理基板部５の全域と重なるように設けられる。なお、シールド部材３６は、Ｚ方向から見た場合に処理基板部５の一部を覆わなくてもよい。また、例えば、回転軸ＳＦの軸方向視（Ｚ方向視）において、シールド部材３６は、上述のシールド部３４（バッテリー８）が処理基板部５を覆っていない領域をカバーする部分を覆うように配置されてもよい。

また、シールド部材３６は、例えば、その一部がバッテリー８の側方に配置される。例えば、シールド部材３６は、処理基板部５に平行な方向（例、Ｘ方向、Ｙ方向）において、バッテリー８の少なくとも一部を覆うように設けられる。シールド部材３６は、例えば筒状であり、バッテリー８を囲むように設けられる。シールド部材３６は、例えば、処理基板部５と平行な方向において、バッテリー８と処理基板部５との間の電力の供給経路（例、配線、端子）の少なくとも一部を覆うように、設けられる。シールド部材３６は、例えば、ＸＹ平面における第２保持部３３の外周の少なくとも一部を覆うように設けられる。

なお、シールド部材３６は、その少なくとも一部が第２保持部３３の内側に配置されてもよいし、その少なくとも一部が第２保持部３３の外側に配置されてもよい。また、シールド部材３６は、処理基板部５に平行な方向（例、Ｘ方向、Ｙ方向）において、処理基板部５の少なくとも一部を覆うように設けられてもよい。例えば、シールド部材３６は、第１保持部３０と第２保持部３３との間の少なくとも一部に設けられてもよい。例えば、シールド部材３６は、第２保持部３３から処理基板部５にわたって設けられてもよいし、第２保持部３３から第１保持部３０にわたって設けられてもよい。なお、シールド部は、導電部材３５ａを含んでもよい。

次に、実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣの回路構成について説明する。図５は、本実施形態に係る電力供給部２および多回転情報検出部１Ａの回路構成を示す図である。電力供給部２は、第１信号発生部６ａ、整流スタック６１、第２信号発生部６ｂ、整流スタック６２、及びバッテリー８を備える。また、電力供給部２は、図１の切替部７としてレギュレータ６３を備える。

整流スタック６１は、第１信号発生部６ａから流れる電流を整流する整流器である。整流スタック６１の第１入力端子６１ａは、第１信号発生部６ａの端子４３ａと接続されている。整流スタック６１の第２入力端子６１ｂは、第１信号発生部６ａの端子４３ｂと接続されている。整流スタック６１の接地端子６１ｇは、シグナルグランドＳＧと同電位が供給される接地線ＧＬに接続されている。多回転情報検出部１Ａの動作時に、接地線ＧＬの電位は、回路６０の基準電位になる。整流スタック６１の出力端子６１ｃは、レギュレータ６３の制御端子６３ｃに接続されている。

整流スタック６２は、第２信号発生部６ｂから流れる電流を整流する整流器である。整流スタック６２の第１入力端子６２ａは、第２信号発生部６ｂの端子４７ａと接続されている。整流スタック６２の第２入力端子６２ｂは、第２信号発生部６ｂの端子４７ｂと接続されている。整流スタック６２の接地端子６２ｇは、接地線ＧＬに接続されている。整流スタック６２の出力端子６２ｃは、レギュレータ６３の制御端子６３ｃに接続されている。

レギュレータ６３は、バックアップ状態において、該レギュレータのオン状態及びオフ状態に応じて、バッテリー８から位置検出部１へ供給される電力を調整する。レギュレータ６３は、バッテリー８と位置検出部１との間の電力供給経路に設けられる第１スイッチング素子６４を含む。レギュレータ６３は、信号発生部６で発生する電気信号（検出信号）を制御信号（例、イネーブル信号）に用いて第１スイッチング素子６４の動作を制御する。

バッテリー８の正極８ｂは、レギュレータ６３の入力端子６３ａに接続されている。バッテリー８の負極８ａは、接地線ＧＬに接続されている。また、シールド部材３６は、接地線ＧＬに接続されている。レギュレータ６３の出力端子６３ｂは、電源線ＰＬに接続されている。レギュレータ６３の接地端子６３ｇは、接地線ＧＬに接続されている。レギュレータ６３の制御端子６３ｃはイネーブル端子であり、レギュレータ６３は、制御端子６３ｃに閾値以上の電圧が印加された状態で、出力端子６３ｂの電位を所定電圧に維持する。レギュレータ６３の出力電圧（上記の所定電圧）は、計数部６７がＣＭＯＳなどで構成される場合に例えば３Ｖである。記憶部１４の動作電圧は、例えば、所定電圧と同じ電圧に設定される。なお、所定電圧は、電力供給に必要な電圧であり、一定の電圧値でもよいし、段階的に変化する電圧でもよい。

第１スイッチング素子（第１スイッチ）６４は、位置検出部１に電力を供給する回路６０の導通と遮断とを切替える。回路６０は、例えば、第２電源（例、バッテリー８）の第１電極（正極）と第２電極（負極）とを結ぶ電力供給経路を構成し、電源線ＰＬおよび接地線ＧＬを含む。接地線ＧＬは、例えば、バッテリー８の負極と接続され、その電位が回路６０の基準電位となる。第１スイッチング素子６４は、例えば、バッテリー８から回路６０を介した位置検出部１への電力供給の有無を切替える。

レギュレータ６３は、信号発生部６から制御端子６３ｃに供給される電気信号を制御信号（イネーブル信号）に用いて、第１スイッチング素子６４の第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間の導通状態（オン状態）と絶縁状態（オフ状態）とを切り替える。例えば、第１スイッチング素子６４は、ＭＯＳ、ＴＦＴなどを含み、第１端子６４ａと第２端子６４ｂとはソース電極とドレイン電極であり、第１制御端子６４ｃがゲート電極である。

第１制御端子６４ｃは、信号発生部６で発生する電気信号（検出信号）によって充電される。第１スイッチング素子６４は、第１制御端子６４ｃの電圧に応じて回路６０を導通へ切替える。例えば、第１スイッチング素子６４は、第１制御端子６４ｃの電位が回路６０の基準電位である状態で回路６０を遮断している。また、第１スイッチング素子６４は、第１制御端子６４ｃの電圧が所定値以上になることで、第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間が導通状態（オン状態）になる。回路６０を導通へ切替える。第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間がオン状態になると、バッテリー８から、電源線ＰＬおよび接地線ＧＬを介して回路６０に電力が供給される。なお、電力供給部２は、レギュレータ６３のオン状態及びオフ状態を取得する手段を備えてもよい。

また、多回転情報検出部１Ａは、第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂを含む。例えば、多回転情報検出部１Ａは、図１に示した処理部１３として、アナログコンパレータ６５、アナログコンパレータ６６、及び計数部６７を含む。第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂは、それぞれ、回転軸ＳＦを検出するセンサである。第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂは、回転軸ＳＦに取り付けられた磁石１１が形成する磁界を検出することで、回転軸ＳＦを検出する。バックアップ状態において、第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂは、それぞれ、バッテリー８から供給される電力を用いて、磁石１１が形成する磁界を検出する。

第１磁気センサ１２ａの電源端子５５ｐは、電源線ＰＬに接続されている。第１磁気センサ１２ａの接地端子５５ｇは、接地線ＧＬに接続されている。第１磁気センサ１２ａの出力端子５５ｃは、アナログコンパレータ６５の入力端子６５ａに接続されている。出力端子５５ｃは、例えば、図２（Ｃ）に示した第２出力端子４８ｂの電位と基準電位との差に相当する電圧を出力する。

アナログコンパレータ６５は、第１磁気センサ１２ａから出力される電圧を二値化する二値化部である。アナログコンパレータ６５は、例えば比較器であり、第１磁気センサ１２ａから出力される電圧を所定電圧と比較する。アナログコンパレータ６５の電源端子６５ｐは、電源線ＰＬに接続されている。アナログコンパレータ６５の接地端子６５ｇは、接地線ＧＬに接続されている。アナログコンパレータ６５の出力端子６５ｂは、計数部６７の第１入力端子６７ａに接続されている。アナログコンパレータ６５は、第１磁気センサ１２ａの出力電圧が閾値以上である場合に出力端子からＨレベルの信号を出力し、閾値未満である場合に出力端子からＬレベルの信号を出力する。

第２磁気センサ１２ｂおよびアナログコンパレータ６６は、第１磁気センサ１２ａおよびアナログコンパレータ６５と同様の構成である。第２磁気センサ１２ｂの電源端子５６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。第２磁気センサ１２ｂの接地端子５６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。第２磁気センサ１２ｂの出力端子５６ｃは、アナログコンパレータ６６の入力端子６６ａに接続されている。アナログコンパレータ６６の電源端子６６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。アナログコンパレータ６６の接地端子６６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。アナログコンパレータ６６の出力端子６６ｂは、計数部６７の第２入力端子６７ｂに接続されている。アナログコンパレータ６６は、第２磁気センサ１２ｂの出力電圧が閾値以上である場合に出力端子からＨレベルの信号を出力し、閾値未満である場合に出力端子６６ｂからＬレベルの信号を出力する。

計数部６７は、回転軸ＳＦの多回転情報を、バッテリー８から供給される電力を用いて計数する。計数部６７は、例えばＣＭＯＳ論理回路などを含む。計数部６７は、電源端子６７ｐおよび接地端子６７ｇを介して供給される電力を用いて動作する。計数部６７の電源端子６７ｐは、電源線ＰＬに接続されている。計数部６７の接地端子６７ｇは、接地線ＧＬに接続されている。計数部６７は、第１入力端子６７ａを介して供給される電圧、及び第２入力端子６７ｂを介して供給される電圧を制御信号として、計数処理を行う。

記憶部１４は、処理部１３が検出した回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を、バッテリー８から供給される電力を用いて記憶する（書き込み動作を行う）。記憶部１４は、処理部１３が検出した回転位置情報として、計数部６７による計数の結果（多回転情報）を記憶する。記憶部１４の電源端子１４ｐは、電源線ＰＬに接続されている。記憶部１４の接地端子１４ｇは、接地線ＧＬに接続されている。記憶部１４は、例えば不揮発性メモリを含み、電力が供給されている間に書き込まれた情報を、電力が供給されない状態においても保持可能である。

本実施形態において、整流スタック６１、整流スタック６２とレギュレータ６３との間には、キャパシタ６９が設けられている。キャパシタ６９の第１電極６９ａは、整流スタック６１、整流スタック６２とレギュレータ６３の制御端子６３ａとを接続する信号線に接続されている。キャパシタ６９の第２電極６９ｂは、接地線ＧＬに接続されている。このキャパシタ６９は、例えば平滑キャパシタであり、脈動を低減してレギュレータの負荷を低減する。キャパシタ６９の定数は、例えば、処理部１３により回転位置情報を検出して記憶部１４に回転位置情報を書き込むまでの期間に、バッテリー８から処理部１３および記憶部１４への電力供給が維持されるように設定される。

次に、少なくともバックアップ状態における電力供給部２および多回転情報検出部１Ａの動作について、回転軸ＳＦが反時計回りに回転（順回転）するときの多回転情報検出部１Ａの動作を代表的に説明する。図６は、回転軸ＳＦが反時計回りに回転（順回転）するときの多回転情報検出部１Ａの動作を示すタイミングチャートである。

図６の「磁界」において、実線は第１信号発生部６ａの位置での磁界を示し、破線は第２信号発生部６ｂの位置での磁界を示す。「第１信号発生部」、「第２信号発生部」は、ぞれぞれ、第１信号発生部６ａの出力、第２信号発生部６ｂの出力を示し、１方向に流れる電流の出力を正（＋）とし、その逆方向に流れる電流の出力を負（−）とした。「イネーブル信号」は、信号発生部６で発生する電気信号によりレギュレータ６３の制御端子６３ａに印加される電位を示し、ハイレベルを「Ｈ」で表し、ローレベルを「Ｌ」で表した。「レギュレータ」は、レギュレータ６３の出力を示し、ハイレベルを「Ｈ」で表し、ローレベルを「Ｌ」で表した。

図６の「第１磁気センサ」、「第２磁気センサ」は、それぞれ、第１磁気センサ１２ａ、第２磁気センサ１２ｂの出力を実線で示す。「第１磁気センサ」、「第２磁気センサ」において点線は、常時駆動された場合の出力である。「第１アナログコンパレータ」、「第２アナログコンパレータ」は、それぞれ、アナログコンパレータ６５、アナログコンパレータ６６からの出力を示す。

第１信号発生部６ａは、角度位置１３５°において、逆方向に流れる電流パルス（「第１信号発生部」の負）を出力する。また、第１信号発生部６ａは、角度位置３１５°において、順方向に流れる電流パルス（「第１信号発生部」の正）を出力する。第２信号発生部６ｂは、角度位置４５°において、順方向に流れる電流パルス（「第２信号発生部」の正）を出力する。また、第２信号発生部６ｂは、角度位置２２５°において、逆方向に流れる電流パルス（「第２信号発生部」の負）を出力する。そのため、イネーブル信号は、角度位置４５°、角度位置１３５°、角度位置２２５°、角度位置３１５°のそれぞれにおいて、ハイレベルに切り替わる。また、レギュレータ６３は、イネーブル信号がハイレベルに維持された状態に対応して、角度位置４５°、角度位置１３５°、角度位置２２５°、角度位置３１５°のそれぞれにおいて、電源線ＰＬに所定電圧を供給する。

本実施形態において、第１磁気センサ１２ａの出力と第２磁気センサ１２ｂの出力は、９０°の位相差を有しており、処理部１３は、この位相差を利用して回転位置情報を検出する。第１磁気センサ１２ａの出力は、角度位置０°から角度位置１８０°の範囲において、正のサイン波状である。この角度範囲において、レギュレータ６３は角度位置４５°、角度位置１３５°において電力を出力する。第１磁気センサ１２ａおよびアナログコンパレータ６５は、角度位置４５°と角度位置１３５°のそれぞれにおいて供給される電力により駆動される。アナログコンパレータ６５から出力される信号（以下、Ａ相信号という）は、電力供給を受けていない状態でＬレベルに維持されており、角度位置４５°と角度位置１３５°のそれぞれにおいてＨレベルになる。

また、第２磁気センサ１２ｂの出力は、角度位置２７０°（−９０°）から角度位置９０°の範囲において、正のサイン波状である。この角度範囲において、レギュレータ６３は、角度位置３１５°（−４５°）、角度位置４５°において電力を出力する。第２磁気センサ１２ｂおよびアナログコンパレータ６６は、角度位置３１５°と角度位置４５°のそれぞれにおいて供給される電力により駆動される。アナログコンパレータ６６から出力される信号（以下、Ｂ相信号という）は、電力供給を受けていない状態でＬレベルに維持されており、角度位置３１５°と角度位置４５°のそれぞれにおいてＨレベルになる。

ここで、計数部６７に供給されるＡ相信号がＨレベル（Ｈ）であり、計数部６７に供給されるＢ相信号がＬレベルである場合に、これら信号レベルの組を（Ｈ，Ｌ）のように表す。図６では、角度位置３１５°において信号レベルの組が（Ｌ，Ｈ）であり、角度位置４５°において信号レベルの組が（Ｈ，Ｈ）、角度位置１３５°において信号レベルの組が（Ｈ，Ｌ）である。

計数部６７は、磁気センサ１２が検出したＡ相信号とＢ相信号の一方または双方がＨレベルである場合に、記憶部１４に信号レベルの組を記憶させる。計数部６７は、次に検出したＡ相信号とＢ相信号の一方または双方がＨレベルである場合に、前回のレベルの組を記憶部１４から読み出し、前回のレベルの組と今回のレベルの組と比較して回転方向を判定する。

例えば、前回の信号レベルの組が（Ｈ，Ｈ）であって、今回の信号レベルが（Ｈ，Ｌ）である場合には、前回の検出において角度位置４５°であり、今回の検出において角度位置１３５°であるので、反時計回り（順回転）であることがわかる。計数部６７は、今回のレベルの組が（Ｈ，Ｌ）であって、かつ前回のレベルの組が（Ｈ，Ｈ）である場合、カウンタをアップすることを示すアップ信号を記憶部１４に供給する。記憶部１４は、計数部６７からのアップ信号を検出した場合に、記憶している多回転情報を１増加した値に更新する。本実施形態に係る多回転情報検出部１Ａは、回転軸ＳＦの回転方向を判定しながら、多回転情報を検出できる。

本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、信号発生部６に電気信号が発生してから短時間のうちに、バッテリー８から多回転情報検出部１Ａに電力が供給され、多回転情報検出部１Ａがダイナミック駆動（間欠駆動）する。多回転情報の検出および書き込みの終了後は、多回転情報検出部１Ａへの電源供給は絶たれるが、計数値は、記憶部１４に格納されているので保持される。このようなシーケンスは、外部からの電力供給が絶たれた状態においても、磁石１１上の所定位置が信号発生部６の近傍を通過するたびに繰り返される。

記憶部１４に記憶されている多回転情報は、例えば、次にモータＭが起動される際にモータ制御部ＭＣなどに読み出され、回転軸ＳＦの初期位置などの算出に利用される。このようなエンコーダ装置ＥＣは、信号発生部６で発生する電気信号に応じて、位置検出部１（例、多回転情報検出部１Ａ）で消費される電力の少なくとも一部をバッテリー８が供給するので、バッテリー８を長寿命にすることができる。バッテリー８のメンテナンス（例、交換）をなくしたり、メンテナンスの頻度を減らしたりすることができる。例えば、バッテリー８の寿命がエンコーダ装置ＥＣの他の部分の寿命よりも長い場合、バッテリー８の交換を不要にすることもできる。

また、バッテリーモジュール３（例、バッテリー８、シールド部３４）は、位置検出部１に対するノイズを低減するように配置されてエンコーダ装置ＥＣが外部からのノイズを受けにくい構造を構成しているため、例えば、そのノイズによる位置検出部１の誤作動の発生を抑制することができる。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、位置検出部１の誤作動の発生が抑制されるので、信頼性が高く、安定的に動作可能である。また、ウィーガントワイヤ等の感磁性ワイヤを利用すると、磁石１１の回転が極めて低速であっても、信号発生部６からパルス電流の出力が得られる。そのため、例えばモータＭへ電力供給がなされていない状態などにおいて、回転軸ＳＦ（磁石１１）の回転が極めて低速な場合にも、信号発生部６の出力を電気信号として利用できる。

なお、多回転情報検出部１Ａは、上記の実施形態において磁気式の検出部であるが、透過型又は反射型の光学式の検出部（例、スケールを介した透過光又は反射光を受光する光学センサ）であってもよい。なお、この場合、多回転情報検出部１Ａの一部は、角度検出部１Ｂと共用であってもよい。また、電力供給部２は、信号発生部６で発生する検出信号の電力を電源に用いてもよい。例えば、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで所定電圧に調整し、検出信号の電力を位置検出部１に供給してもよい。また、上述の実施形態において、信号発生部６は、磁石１１に対して所定の位置関係になった際に検出信号が発生する。エンコーダ装置ＥＣ（多回転情報検出部１Ａ）は、信号発生部６を、回転軸ＳＦ（磁石１１）の位置情報を検出するセンサとして備えてもよい。

［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図７は、本実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。本実施形態において、バッテリーモジュール３（例、バッテリー８、シールド部３４）は、信号発生部６が配置される処理基板部５の第１面５ａ側とは反対側（第２面５ｂ側）に配置される。バッテリーモジュール３は、例えば、処理基板部５に対して信号発生部６と反対側に配置される。例えば、バッテリーモジュール３（例、バッテリー８、シールド部３４）は、回転軸ＳＦ（移動軸）の軸方向に沿って、金属又は樹脂のモールド部である第１保持部３０と処理基板部５との間に配置される。

また、バッテリーモジュール３は、例えば、回転軸ＳＦ（移動部）の軸方向（移動軸方向）に沿って処理基板部５とともに配置される。バッテリーモジュール３は、例えば、処理基板部５とで層状に構成される。例えば、バッテリーモジュール３と処理基板部５とは、例えば、互いに積層された構造体である。バッテリーモジュール３は、例えば、回転軸ＳＦ（移動軸）の軸方向（移動軸方向）において、処理基板部５よりも回転軸ＳＦ（移動部、モータＭ）側に配置される。例えば、位置検出部１とバッテリーモジュール３とは、回転軸ＳＦ（移動軸）の軸方向（移動軸方向）に沿って順番（例、モータＭに近い側から第１保持部３０、バッテリーモジュール３および位置検出部１（例、処理基板部５）の順）に配置される。バッテリーモジュール３は、例えば、処理基板部５に対してモータＭ（図１参照）と同じ側（−Ｚ側）から輻射されて伝搬するノイズ（例、ＰＷＭノイズなどの電磁ノイズ）を低減する。例えば、バッテリーモジュール３は、モータＭの電機子あるいは磁石からのノイズを低減する。

なお、処理基板部５は、回転軸ＳＦ（移動軸）の軸方向（移動軸方向）において、バッテリーモジュール３よりも回転軸ＳＦ（移動部、モータＭ）側に配置されてもよい。この場合、バッテリーモジュール３は、例えば、処理基板部５に対してモータＭ（図１参照）と反対側（＋Ｚ側）から伝搬するノイズを低減する。

バッテリーモジュール３が処理基板部５に対して信号発生部６と反対側に配置される場合、例えば、信号発生部６との干渉を避ける上でのバッテリー８の制約が緩和される。例えば、バッテリー８の大きさ（例、寸法、形状）に関する制約が緩和され、バッテリー８の大容量化が可能である。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、バッテリー８の大容量化によって、電力供給部２から安定して電力を供給することができるので、長寿命で信頼性が高い。

［第３実施形態］
第３実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図８は、本実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。本実施形態において、エンコーダ装置ＥＣは、処理基板部５に対してバッテリーモジュール３と反対側に配置されるシールド部材３６を備える。例えば、バッテリーモジュール３は、処理基板部５に対して一方の側（例、−Ｚ側）に配置され、シールド部材３６は、処理基板部５に対して他方の側（例、＋Ｚ側）に配置されている。例えば、処理基板部５は、バッテリーモジュール３とシールド部材３６との間に配置される。

例えば、エンコーダ装置ＥＣは、処理基板部５に対してバッテリーモジュール３の反対側（＋Ｚ側）に保持部３７を備え、シールド部材３６は、保持部３７に設けられる。保持部３７は、例えば、処理基板部５と信号発生部６との少なくとも一部を覆うカバー部材である。シールド部材３６は、例えば配線等を介して、位置検出部１（図５参照）の回路において基準電位となる接地線ＧＬと導通してもよい。

［駆動装置］
次に、実施形態に係る駆動装置について説明する。図９は、駆動装置ＭＴＲの一例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。この駆動装置ＭＴＲは、電動モータを含むモータ装置である。駆動装置ＭＴＲは、回転軸ＳＦと、回転軸ＳＦを回転駆動する本体部（駆動部）ＢＤと、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出するエンコーダ装置ＥＣとを有している。

図９において、信号発生部６は、スケールＳに対して、発光素子２１および受光センサ２２と同じ側に配置されている。なお、磁石１１、信号発生部６、スケールＳ、発光素子２１、及び受光センサ２２の配置は、図９に示す配置に限定されず、例えば図１に示した配置でもよいし、その他の配置でもよい。バッテリーモジュール３は、例えば、処理基板部５に対して、信号発生部６と反対側に配置される。

回転軸ＳＦは、負荷側端部ＳＦａと、反負荷側端部ＳＦｂとを有している。負荷側端部ＳＦａは、減速機など他の動力伝達機構に接続される。反負荷側端部ＳＦｂには、固定部を介してスケールＳが固定される。このスケールＳの固定とともに、エンコーダ装置ＥＣが取り付けられている。エンコーダ装置ＥＣは、上述した実施形態、変形例、あるいはその組み合わせに係るエンコーダ装置である。

この駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果を使って、図１などに示したモータ制御部ＭＣが本体部ＢＤを制御する。駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が無いもしくは低いので、メンテナンスコストを減らすことができる。また、駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣの信頼性が高いので、安定的に動作可能である。なお、駆動装置ＭＴＲは、モータ装置に限定されず、油圧や空圧を利用して回転する軸部を有する他の駆動装置であってもよい。

［ステージ装置］
次に、ステージ装置について説明する。図１０は、ステージ装置ＳＴＧを示す図である。このステージ装置ＳＴＧは、図９に示した駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａに、ステージ（回転テーブルＴＢ、移動物体）を取り付けた構成である。ステージ装置ＳＴＧは、例えば、１次元のリニアモータによって、ステージを１方向に直線的に移動させる構成でもよい。また、ステージ装置ＳＴＧは、複数の１次元のリニアモータあるいは２次元のリニアモータ（例、平面モータ）によって、ステージを２方向に移動させる構成でもよい。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

ステージ装置ＳＴＧは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸ＳＦを回転させる。この回転は、回転テーブルＴＢに伝達され、その際にエンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの角度位置等を検出する。エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、回転テーブルＴＢの角度位置を検出することができる。なお、駆動装置ＭＴＲの負荷側端部ＳＦａと回転テーブルＴＢとの間に減速機等が配置されてもよい。

ステージ装置ＳＴＧは、エンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が低い又は無いので、メンテナンスコストを減らすことができる。また、ステージ装置ＳＴＧは、エンコーダ装置ＥＣの信頼性が高いので、安定的に動作可能である。なお、ステージ装置ＳＴＧは、例えば、旋盤等の工作機械に備える回転テーブル等に適用できる。

［ロボット装置］
次に、ロボット装置について説明する。図１１は、ロボット装置ＲＢＴを示す斜視図である。なお、図１１には、ロボット装置ＲＢＴの一部（関節部分）を模式的に示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。このロボット装置ＲＢＴは、第１アームＡＲ１と、第２アームＡＲ２と、関節部ＪＴとを有している。第１アームＡＲ１は、関節部ＪＴを介して、第２アームＡＲ２と接続されている。

第１アームＡＲ１は、腕部１０１、軸受１０１ａ、及び軸受１０１ｂを備えている。第２アームＡＲ２は、腕部１０２および接続部１０２ａを有する。接続部１０２ａは、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの間に配置されている。接続部１０２ａは、回転軸ＳＦ２と一体的に設けられている。回転軸ＳＦ２は、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの両方に挿入されている。回転軸ＳＦ２のうち軸受１０１ｂに挿入される側の端部は、軸受１０１ｂを貫通して減速機ＲＧに接続されている。

減速機ＲＧは、駆動装置ＭＴＲに接続されており、駆動装置ＭＴＲの回転を例えば１００分の１等に減速して回転軸ＳＦ２に伝達する。図１１に図示しないが、駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａは、減速機ＲＧに接続されている。また、駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち反負荷側端部ＳＦｂには、エンコーダ装置ＥＣのスケールＳが取り付けられている。

ロボット装置ＲＢＴは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸ＳＦを回転させると、この回転が減速機ＲＧを介して回転軸ＳＦ２に伝達される。回転軸ＳＦ２の回転により接続部１０２ａが一体的に回転し、これにより第２アームＡＲ２が、第１アームＡＲ１に対して回転する。その際、エンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの角度位置等を検出する。従って、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、第２アームＡＲ２の角度位置を検出することができる。ロボット装置ＲＢＴは、エンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が無いもしくは低いので、メンテナンスコストを減らすことができる。また、ロボット装置ＲＢＴは、エンコーダ装置ＥＣの信頼性が高いので、安定的に動作可能である。なお、ロボット装置ＲＢＴは、上記の構成に限定されず、駆動装置ＭＴＲは、複数の関節を備える各種ロボット装置（例、双腕多軸型ロボット）に適用できる。複数の関節を備えるロボット装置の場合、そのロボット装置は各関節（各軸）又は一部の関節に本実施形態のエンコーダ装置ＥＣが配置される。

なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。

１・・・位置検出部、１Ａ・・・多回転情報検出部、３・・・バッテリーモジュール、４・・・検出部、５・・・処理基板部、５ａ・・・第１面、５ｂ・・・第２面、６・・・信号発生部、８・・・バッテリー、９・・・第１電源、３４・・・シールド部、ＥＣ・・・エンコーダ装置、ＧＬ・・・接地線、ＭＴＲ・・・駆動装置、ＲＢＴ・・・ロボット装置、ＳＴＧ・・・ステージ装置

Claims (13)

1. 移動部の位置情報を検出する位置検出部と、
   前記移動部の移動に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する信号発生部と、
   前記検出信号の発生に基づいて前記位置検出部へ電力を供給し、前記位置検出部に対するノイズを低減するように配置されるバッテリーモジュールと、を備えるエンコーダ装置。
2. 前記位置検出部は、第１電源から供給される電力によって前記移動部の位置情報を検出し、前記第１電源からの電力供給が遮断された状態において前記第１電源とは異なる前記バッテリーモジュールから供給される電力によって前記移動部の位置情報を検出する、請求項１に記載のエンコーダ装置。
3. 前記位置検出部は、前記位置情報として前記移動部の多回転情報を検出する多回転情報検出部を備える、請求項１または請求項２に記載のエンコーダ装置。
4. 前記位置検出部は、前記移動部の位置情報を検出する検出部及び前記検出部の検出結果を処理する処理基板部を含み、
   前記信号発生部は、前記処理基板部の近傍に配置される、
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
5. 前記バッテリーモジュールは、前記信号発生部が配置される前記処理基板部の第１面側に対向する位置に配置される、請求項４に記載のエンコーダ装置。
6. 前記バッテリーモジュールは、前記信号発生部が配置される前記処理基板部の第１面側とは反対側に配置される、請求項４に記載のエンコーダ装置。
7. 前記バッテリーモジュールは、前記移動部の移動軸方向に沿って前記処理基板部とともに配置される、請求項５または請求項６に記載のエンコーダ装置。
8. 前記バッテリーモジュールは、前記位置検出部へのノイズを遮る位置に配置され、前記位置検出部の回路において基準電位となる接地線と導通するシールド部を備える、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
9. 前記バッテリーモジュールは、前記位置検出部へ電力を供給するバッテリーを含み、
   前記シールド部は、前記バッテリーを内蔵する、請求項８に記載のエンコーダ装置。
10. 前記バッテリーモジュールは、前記位置検出部へ電力を供給するバッテリーを含み、
    前記シールド部は、前記バッテリーの負極と導通する導電部材を含む、請求項８または請求項９に記載のエンコーダ装置。
11. 請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
    前記移動部に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置。
12. 請求項１１に記載の駆動装置と、
    前記駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置。
13. 請求項１１に記載の駆動装置と、
    前記駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置。

Images