JP2018054488A

JP2018054488A - エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置

Info

Publication number: JP2018054488A
Application number: JP2016191567A
Authority: JP
Inventors: 雅彦後藤; Masahiko Goto
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2016-09-29
Filing date: 2016-09-29
Publication date: 2018-04-05

Abstract

【課題】信頼性が高いエンコーダ装置を提供する。【解決手段】エンコーダ装置ＥＣは、移動部ＳＦの位置情報を検出する位置検出部１と、移動部ＳＦの移動に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する信号発生部４と、検出信号の発生に基づいて、位置検出部１へ電力を供給するバッテリー６と、バッテリー６の状態を検出するバッテリー検出部５１と、バッテリー検出部５１の検出結果に基づいて、バッテリー６の寿命情報を算出する寿命算出部５２と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置に関する。

回転軸の回転の数を区別する多回転型のエンコーダ装置は、ロボット装置などの各種装置に搭載されている（例えば、下記の特許文献１参照）。ロボット装置の動作中において、エンコーダ装置は、例えばロボット装置の主電源から電力供給を受けて、回転の数を示す多回転情報と１回転未満の角度位置を示す角度位置情報とを含む回転位置情報を検出する。

ロボット装置が所定の処理を終了すると、その主電源がオフにされることがある。この場合に、ロボット装置の主電源からエンコーダ装置への電力供給も停止される。ロボット装置には、主電源が次にオンに切り替えられた際（例、次回の動作を開始する際）に、初期の姿勢などの情報が必要とされることがある。そのため、エンコーダ装置には、外部から電力が供給されない状態においても、多回転情報を保持することが求められる。そこで、エンコーダ装置として、主電源からの電力供給が得られない状態において、バッテリーから供給される電力によって多回転情報を保持するものが用いられる。

特開平８−５００３４号公報

本発明の第１の態様に従えば、移動部の位置情報を検出する位置検出部と、移動部の移動に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する信号発生部と、検出信号の発生に基づいて、位置検出部へ電力を供給するバッテリーと、バッテリーの状態を検出するバッテリー検出部と、バッテリー検出部の検出結果に基づいて、バッテリーの寿命情報を算出する寿命算出部と、を備えるエンコーダ装置が提供される。

本発明の第２の態様に従えば、第１の態様のエンコーダ装置と、移動部に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置が提供される。

本発明の第３の態様に従えば、第２の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置が提供される。

本発明の第４の態様に従えば、第２の態様の駆動装置と、駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置が提供される。

第１実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。第１実施形態に係る磁気センサおよび信号発生部を示す図である。第１実施形態に係るエンコーダ装置の回路構成を示す図である。第１実施形態に係るエンコーダ装置の動作を示す図である。第２実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。第３実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。実施形態に係る駆動装置を示す図である。実施形態に係るステージ装置を示す図である実施形態に係るロボット装置を示す図である。

［第１実施形態］
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣを示す図である。このエンコーダ装置ＥＣは、移動部の位置情報（移動位置情報）を検出する。エンコーダ装置ＥＣは、例えばロータリーエンコーダである。移動部は、例えばモータＭ（動力供給部）の回転軸ＳＦであり、移動部の移動は、例えば所定の軸まわりの回転である。また、移動部の位置情報は、例えば、回転軸ＳＦの回転位置情報である。

回転軸ＳＦは、例えばモータＭのシャフト（回転子）であるが、モータＭのシャフトに変速機などの動力伝達部を介して接続されるとともに負荷に接続される作用軸（出力軸）であってもよい。エンコーダ装置ＥＣが検出した回転位置情報は、モータ制御部ＭＣに供給される。モータ制御部ＭＣは、エンコーダ装置ＥＣから供給された回転位置情報を使って、モータＭの回転を制御する。モータ制御部ＭＣは、回転軸ＳＦの回転を制御する。なお、エンコーダ装置ＥＣは、例えばリニアエンコーダでもよく、リニアモータ、平面モータなどの動力供給部の移動部（移動軸）の位置情報（移動位置情報）を検出してもよい。

エンコーダ装置ＥＣは、位置検出部１と、電力供給部２と、バッテリー監視部３とを備える。位置検出部１は、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。電力供給部２は、位置検出部１へ電力を供給する。電力供給部２は、信号発生部４、切替部５、及びバッテリー６を備える。信号発生部４は、回転軸ＳＦの回転に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する。バッテリー６は、信号発生部４における検出信号の発生（出力）に基づいて、位置検出部１へ電力を供給する。

バッテリー監視部３（例、後述のバッテリー検出部５１）は、バッテリー６の状態を検出する。バッテリー監視部３は、例えば、バッテリー６の寿命に関する情報（以下、寿命情報という）を検出、あるいは算出する。寿命情報は、例えば、放電終止電圧に達する時間、バッテリー６の残量、バッテリー６から供給される電力によって位置検出部１が動作可能な時間、及びバッテリー６から供給される電力が位置検出部の消費電力に対して不足する時期の少なくとも１つを含む。バッテリー監視部３は、例えば、算出した寿命情報を外部へ出力（例、報知）する。例えば、バッテリー監視部３は、バッテリー６の交換の要否を示す情報を含めた寿命情報を出力する。また、例えば、バッテリー６の状態は、温度や湿度などの環境状態、電圧や電気などの電気的パラメータ、又は温度や電圧のようなバッテリーの自己放電に関係する状態などを含む。そして、本実施形態におけるバッテリー６の状態は、バッテリー寿命の指標となり、上記寿命情報の算出に用いられる。

以下、エンコーダ装置ＥＣの各部について説明する。位置検出部１は、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。本実施形態におけるエンコーダ装置ＥＣは、多回転アブソリュートエンコーダであり、回転軸ＳＦの回転の数を示す多回転情報、および１回転未満の角度位置（回転角）を示す角度位置情報を含む回転位置情報を検出する。位置検出部１は、回転軸ＳＦの多回転情報を検出する多回転情報検出部１Ａ、及び回転軸ＳＦの角度位置を検出する角度検出部１Ｂを備える。

位置検出部１の少なくとも一部（例、角度検出部１Ｂ）は、例えば、第１電源８から電力が供給される通常状態において、第１電源８から供給される電力によって回転軸ＳＦの回転位置情報を検出する。第１電源８は、例えば、エンコーダ装置ＥＣが搭載される装置（例、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置）の主電源であり、通常状態において回転軸ＳＦの駆動に消費される電力を供給する。例えば、モータ制御部ＭＣは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果に基づいて、第１電源８からの電力を調整してモータＭに供給することで、回転軸ＳＦの回転を制御する。

位置検出部１は、第１電源８の電力が投入されている状態（第１電源８がオンになっている状態、通常状態）で、第１電源８から電力の供給を受けて動作する。また、第１電源８の電力が位置検出部１に投入されている状態において、角度検出部１Ｂ（又はその回路）は動作できる。例えば、第１電源８の電力が位置検出部１に投入された通常状態になった場合に、角度検出部１Ｂは角度位置情報の検出（例、演算）を開始し、同様に多回転情報検出部１Ａも多回転情報の検出（例、センサによる検出、検出結果の処理、演算）を開始する。

また、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部１Ａ）は、例えば、第１電源８からの電力の供給が遮断された状態（例、第１電源８の電力が投入されていない状態、第１電源８がオフになっている状態、バックアップ状態）において、第１電源８とは異なる第２電源（例、バッテリー６）から供給される電力によって動作する。例えば、位置検出部１に対して第１電源８からの電力の供給が断たれた状態において、電力供給部２は、位置検出部１の少なくとも一部（例、多回転情報検出部１Ａ）に対して検出信号をもとに断続的（間欠的、選択的）に電力を供給し、位置検出部１は、電力供給部２から電力が供給された際に回転軸ＳＦの回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を検出する。

また、第１電源８の電力が投入されていない状態において、多回転情報検出部１Ａ（又はその回路）は動作できる。例えば、第１電源８の電力が投入されていなく第２電源（例、バッテリー６）から電力が供給されたバックアップ状態になった場合に、多回転情報検出部１Ａは多回転情報の検出を継続するが、角度検出部１Ｂは角度位置情報の検出を停止する。このように、多回転情報検出部１Ａは、検出信号に基づき、電源（第１電源８、バッテリー６等の第２電源など）のオンオフ状態（通常状態およびバックアップ状態）に関係なく、多回転情報の検出を行う。

多回転情報検出部１Ａは、例えば、磁気式の検出部であり、磁気によって多回転情報を検出する。多回転情報検出部１Ａは、例えば、磁石１１、磁気センサ１２、処理部１３、及び記憶部１４を備える。

磁石１１は、例えば、回転軸ＳＦに固定されたスケールＳに設けられる。スケール（この場合、円板）Ｓは回転軸ＳＦとともに回転するため、磁石１１は回転軸ＳＦと連動して回転（移動）する。磁石１１は回転軸ＳＦの外部に固定され、磁石１１および磁気センサ１２は、回転軸ＳＦの回転によって互いの相対位置が変化する。磁石１１が形成する磁気センサ１２上の磁界の強さおよび向きは、回転軸ＳＦの回転によって変化する。

磁気センサ１２は、磁石１１が形成する磁界を検出し、処理部１３は、磁石が形成する磁界を磁気センサ１２が検出した結果に基づいて、回転軸ＳＦの位置情報（例、多回転情報）を検出（算出）する。処理部１３は、例えば、多回転情報を処理する多回転処理部である。記憶部１４は、処理部１３からの位置情報（例、多回転情報）の記憶指示（データの書き込み指令）に基づいて、処理部１３が検出して処理した位置情報を記憶する。なお、磁石１１は磁気センサ１２又は信号発生部４に対して相対的な移動が可能であればよく、例えば、磁気センサ１２がスケールＳに設けられ、磁石１１がスケールＳの外部に設けられてもよい。

角度検出部１Ｂは、光学式または磁気式のエンコーダであり、スケールＳの一回転内の位置情報（角度位置情報、絶対又は相対位置情報）を検出する。例えば、角度検出部１Ｂは、光学式のエンコーダである場合、スケール（この場合、円板）Ｓのパターンニング情報を受光素子で読み取ることにより、回転軸ＳＦの１回転以内の角度位置情報を検出する。スケールＳのパターンニング情報は、例えばスケールＳ上のスリット（透過パターン）又は反射パターン等による明暗のパターンである。角度検出部１Ｂは、多回転情報検出部１Ａの検出対象と同じ回転軸ＳＦの角度位置情報を検出する。

角度検出部１Ｂは、スケールＳ、発光素子２１、受光センサ２２、及び処理部２３を備える。スケールＳは、回転軸ＳＦに固定されて設けられている。スケールＳは、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳを含む。インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳは、例えば、スケールＳにおいて磁石１１と同じ側の面に設けられる。インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳは、例えば、回転軸ＳＦに関する放射方向（例、径方向）において、磁石１１の外側に配置される。アブソリュートパターンＡＢＳは、例えば、回転軸ＳＦに関する放射方向（例、径方向）において、インクリメンタルパターンＩＮＣの外側に配置される。

なお、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳの一方または双方は、スケールＳにおいて磁石１１と同じ側の面又は反対側の面に設けられていてもよい。また、インクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳの一方または双方は、磁石１１の位置に対して内側と外側との少なくとも一方に設けられていてもよい。また、磁石１１は、スケールＳと別の部材に設けられてもよい。例えば、スケールＳは、移動体（例、回転軸ＳＦ）に固定された第１の移動体（例、第１の回転体）であって、磁石１１は、移動体（例、回転軸ＳＦ）に固定された第２の移動体（例、第２の回転体）に設けられてもよい。上記の第１の移動体は、第２の移動体と一体化（ユニット化）されてもよい。

発光素子２１（照射部、発光部）は、スケールＳのインクリメンタルパターンＩＮＣ及びアブソリュートパターンＡＢＳに光を照射する。受光センサ２２（光検出部）は、発光素子２１から照射されインクリメンタルパターンＩＮＣを経由した光、及び発光素子２１から照射されアブソリュートパターンＡＢＳを経由した光を検出する。図１において、角度検出部１Ｂは反射型であり、受光センサ２２は、スケールＳで反射した光を検出する。角度検出部１Ｂは透過型であってもよく、この場合、受光センサ２２は、スケールＳを透過した光を検出する。

受光センサ２２は、検出結果を示す信号を処理部２３へ供給する。処理部２３は、受光センサ２２の検出結果を使って、回転軸ＳＦの角度位置を検出する。例えば、処理部２３は、アブソリュートパターンＡＢＳからの光を検出した結果を使って第１分解能の角度位置情報を検出する。また、処理部２３は、インクリメンタルパターンＩＮＣからの光を検出した結果を使って、第１分解能の角度位置情報に内挿演算を行うことにより、第１分解能よりも高い第２分解能の角度位置情報を検出する。

本実施形態において、エンコーダ装置ＥＣは、信号処理部２５を備える。信号処理部２５は、処理部１３から出力される信号、及び処理部２３から出力される信号を処理する。信号処理部２５は、合成部２６および通信部２７を備える。信号処理部２５は、例えば、その少なくとも一部が処理基板部Ｋに設けられる。信号処理部２５の少なくとも一部は、処理基板部Ｋと別の部分に設けられてもよい。

合成部２６は、処理部２３が検出した第２分解能の角度位置情報を取得する。また、合成部２６は、多回転情報検出部１Ａの記憶部１４から回転軸ＳＦの多回転情報を取得する。合成部２６は、処理部２３からの角度位置情報、及び多回転情報検出部１Ａからの多回転情報を合成し、回転軸ＳＦの回転位置情報を算出する。例えば、処理部２３の検出結果がθ［ｒａｄ］であり、多回転情報検出部１Ａの検出結果がｎ回転である場合に、合成部２６は、回転位置情報として（２π×ｎ＋θ）［ｒａｄ］を算出する。回転位置情報は、多回転情報と、１回転未満の角度位置情報とを組にした情報でもよい。

そして、合成部２６は、算出した回転位置情報を通信部２７に送信する。通信部２７（外部通信部、外部接続インターフェース）は、有線または無線によって、モータ制御部ＭＣの通信部ＭＣ１と通信可能に接続されている。通信部２７は、デジタル形式の回転位置情報を、モータ制御部ＭＣの通信部ＭＣ１に供給する。モータ制御部ＭＣは、角度検出部１Ｂの通信部２７からの回転位置情報を適宜復号する。モータ制御部ＭＣは、回転位置情報を使ってモータＭへ供給される電力（駆動電力）を制御することにより、モータＭの回転を制御する。

電力供給部２は、第１電源８からの電力の供給が遮断された状態（例、第１電源８の電力が投入されていない状態、第１電源８がオフになっている状態、バックアップ状態）において、電力を供給する。

信号発生部４は、移動部（例、回転軸ＳＦ）の移動（例、回転）に伴う磁界の変化によって電気信号（検出信号）が発生する。この電気信号は、例えば、電力（電流、電圧）が時間変化する波形を含む。信号発生部４には、例えば、回転軸ＳＦの回転に伴って変化する磁界によって、電気信号として検出信号が発生する。例えば、信号発生部４には、多回転情報検出部１Ａが回転軸ＳＦの多回転情報の検出に用いる磁石１１が形成する磁界の変化によって、検出信号が発生する。信号発生部４は、回転軸ＳＦの回転によって、磁石１１との相対的な角度位置が変化するように、配置される。信号発生部４には、例えば、信号発生部４と磁石１１との相対位置が所定の位置になった際に、パルス状の電気信号が発生する。

バッテリー６は、バックアップ状態において、信号発生部４で発生する検出信号に応じて、位置検出部１で消費される電力の少なくとも一部を供給する。バッテリー６は、例えばボタン型電池、乾電池などの一次電池であるが、リチウムイオン二次電池などの二次電池でもよい。

切替部５は、信号発生部４で発生した検出信号を制御信号に用いてバッテリー６から位置検出部１への電力の供給の有無を切り替える。例えば、切替部５は、信号発生部４で発生する電気信号のレベルが閾値以上になることでバッテリー６から位置検出部１への電力の供給を開始させる。例えば、切替部５は、信号発生部４で閾値以上の検出信号が発生することでバッテリー６から位置検出部１への電力の供給を開始させる。

また、切替部５は、信号発生部４で発生する電気信号のレベルが閾値未満になることでバッテリー６から位置検出部１への電力の供給を停止させる。例えば、切替部５は、信号発生部４で発生する検出信号が閾値未満になることでバッテリー６から位置検出部１への電力の供給を停止させる。例えば、信号発生部４にパルス状の電気信号が発生する場合、切替部５は、この電気信号のレベル（電位）がローレベルからハイレベルに立ち上がった際に、バッテリー６から位置検出部１への電力の供給を開始させ、この電気信号のレベル（電位）がローレベルへ変化してから所定の時間経過後に、バッテリー６から位置検出部１への電力の供給を停止させる。

なお、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで調整した電力を位置検出部１に供給してもよい。例えば、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで調整した電力と、バッテリー６からの電力とを併用してあるいは切り替えて、位置検出部１に供給してもよい。

図２は、本実施形態に係る磁石１１、磁気センサ１２、及び信号発生部４を示す図である。図２（Ａ）には磁石１１、磁気センサ１２、及び信号発生部４の斜視図を示し、図２（Ｂ）には回転軸ＳＦの方向から見た磁石１１、磁気センサ１２、及び信号発生部４の平面図を示した。また、図２（Ｃ）には、第１磁気センサ１２ａの回路構成を示した。

磁石１１は、回転によって回転軸ＳＦに対する放射方向（径方向）における磁界の向きおよび強さが変化するように構成される。磁石１１は、例えば回転軸ＳＦと同軸の円環状の部材である。磁石１１の主面（表面および裏面）は、それぞれ、回転軸ＳＦとほぼ垂直である。図２（Ｂ）に示すように、磁石１１は、４極に着磁した永久磁石である。磁石１１は、その内周側と外周側のそれぞれにおいて周方向にＮ極とＳ極が並んでおり、内周側と外周側とで位相が１８０°ずれている。磁石１１において、内周側におけるＮ極とＳ極との境界は、外周側におけるＮ極とＳ極との境界と、周方向の位置（角度位置）がほぼ一致している。

以下の説明において、回転軸ＳＦの先端側（図１のモータＭと反対側）から見た場合の、反時計回りの回転を順回転、時計回りの回転を逆回転という。また、順回転の角度を正の値で表し、逆回転の角度を負の値で表す。なお、回転軸ＳＦの基端側（図１のモータＭ側）から見た場合の、反時計回りの回転を順回転、時計回りの回転を逆回転と定義してもよい。

ここで、磁石１１に固定した座標系において、周方向におけるＮ極とＳ極との１つの境界の角度位置を位置１１ａで表し、位置１１ａから９０°回転した角度位置を位置１１ｂで表す。また、位置１１ｂから９０°回転した角度位置を位置１１ｃで表し、位置１１ｃから９０°回転した位置を位置１１ｄで表す。位置１１ｃは、周方向におけるＮ極とＳ極とのもう一つの境界の角度位置である。

位置１１ａから反時計回りに１８０°の第１区間において、磁石１１の外周側にＮ極が配置されており、磁石１１の内周側にＳ極が配置されている。この第１区間において、磁界の径方向の向きは、概ね磁石１１の外周側から内周側へ向かう向きである。第１区間において、磁界の強さは、位置１１ｂにおいて最大となり、位置１１ａの近傍および位置１１ｃの近傍で最小となる。

位置１１ｃから反時計回りに１８０°の第２区間において、磁石１１の内周側にＮ極が配置されており、磁石１１の外周側にＳ極が配置されている。この第２区間において、磁界の径方向の向きは、磁石１１の内周側から外周側へ向かう向きである。第２区間において、磁界の強さは、位置１１ｄにおいて最大となり、位置１１ａの近傍および位置１１ｃの近傍で最小となる。

このように、磁石１１が形成する磁界の径方向の向きは、位置１１ａにおいて反転し、位置１１ｃにおいて反転する。磁石１１は、磁石１１の外部に固定された座標系に対し、磁石１１の回転に伴って径方向の磁界の向きが反転する交流磁界を形成する。信号発生部４は、磁石１１の主面の法線方向から見て磁石１１と重なる位置に配置されている。

本実施形態において、信号発生部４は、第１信号発生部４ａおよび第２信号発生部４ｂを備える。第１信号発生部４ａおよび第２信号発生部４ｂは、それぞれ、電気信号を発生するユニットであり、磁石１１と非接触に設けられる。第１信号発生部４ａは、第１感磁性部４１および第１発電部４２を備える。第１感磁性部４１および第１発電部４２は、磁石１１の外部に固定されており、磁石１１の回転に伴って磁石１１上の各位置との相対位置が変化する。例えば、図２（Ｂ）では、第１信号発生部４ａから反時計回りに４５°の位置に、磁石１１の位置１１ｂが配置されており、この状態から磁石１１が順方向（反時計回り）に１回転すると、信号発生部４の近傍を位置１１ｂ、位置１１ｃ、位置１１ｄ、位置１１ａが、この順に通過する。

第１感磁性部４１は、ウィーガントワイヤなどの感磁性ワイヤ（磁性体）である。第１感磁性部４１には、磁石１１の回転に伴う磁界の変化によって大バルクハウゼンジャンプ（ウィーガンド効果）が生じる。第１感磁性部４１は、円柱状の部材であり、その軸方向が磁石１１の径方向に設定されている。第１感磁性部４１は、その軸方向に交流磁界が印加され磁界が反転する際に、軸方向の一端から他端に向かう磁壁が発生する。

第１発電部４２は、第１感磁性部４１に巻き付けられて配置される高密度コイルなどである。第１発電部４２には、第１感磁性部４１における磁壁の発生に伴って電磁誘導が生じ、誘導電流が流れる。信号発生部４は、磁石１１が所定の位置に配置された際に、検出信号が発生する。例えば、図２（Ｂ）に示した磁石１１の位置１１ａまたは位置１１ｃが信号発生部４の近傍を通過する際に、第１発電部４２にパルス状の電流（電気信号）が発生する。また、第１発電部４２は、大バルクハウゼンジャンプを利用して正パルスや負パルス等の検出パルスを含む検出信号を出力可能であり、外部（例、図１の第１電源８）からの電力供給がなくても動作可能である。

第１発電部４２に発生する電流の向きは、磁界の反転前後の向きに応じて変化する。例えば、磁石１１の外側を向く磁界から内側を向く磁界へ反転時に発生する電流の向きは、磁石１１の内側を向く磁界から外側を向く磁界へ反転時に発生する電流の向きの反対になる。第１発電部４２に発生する電力（誘導電流）は、例えば高密度コイルの巻き数により設定できる。

図２（Ａ）に示すように、第１感磁性部４１および第１発電部４２は、ケース４３に収納されている。ケース４３には端子４３ａおよび端子４３ｂが設けられている。第１発電部４２の高密度コイルは、その一端が端子４３ａと接続され、その他端が端子４３ｂと接続されている。第１発電部４２で発生した電力は、端子４３ａおよび端子４３ｂを介して、第１信号発生部４ａの外部へ取り出し可能である。

第２信号発生部４ｂは、第１信号発生部４ａが配置される角度位置から０°より大きく１８０°よりも小さい角度をなす角度位置に、配置される。第１信号発生部４ａの角度位置と第２信号発生部４ｂの角度位置との角度は、４５°以上１３５°以下の範囲から選択され、図２（Ｂ）では約９０°である。第２信号発生部４ｂは、第１信号発生部４ａと同様の構成である。第２信号発生部４ｂは、第２感磁性部４５および第２発電部４６を備える。第２感磁性部４５および第２発電部４６は、それぞれ、第１感磁性部４１および第１発電部４２と同様であり、その説明を省略する。第２感磁性部４５および第２発電部４６は、ケース４７に収納されている。ケース４７には端子４７ａおよび端子４７ｂが設けられている。第２発電部４６で発生した電力は、端子４７ａおよび端子４７ｂを介して、第２信号発生部４ｂの外部へ取り出し可能である。

なお、上述の信号発生部４の構成は一例であり、その構成は適宜変更可能である。例えば、信号発生部４は、大バルクハウゼンジャンプ（ウィーガンド効果）を利用しない電磁誘導によって電力を発生してもよい。また、信号発生部４が備える発電ユニットの数は、適宜変更可能であり、例えば、１つでもよいし、３つ以上でもよい。また、信号発生部４の配置についても適宜変更可能である。

磁気センサ１２は、第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂを含む。第１磁気センサ１２ａは、回転軸ＳＦの回転方向において、第１感磁性部４１（第１信号発生部４ａ）に対して０°より大きく９０°未満の角度位置で配置される。第２磁気センサ１２ｂは、回転軸ＳＦの回転方向において、第１感磁性部４１（第１信号発生部４ａ）に対して９０°より大きく１８０°未満の角度位置で配置される。

図２（Ｃ）に示すように、第１磁気センサ１２ａは、磁気抵抗素子４８と、磁気抵抗素子４８に一定の強さの磁界を与えるバイアス磁石（図示せず）と、磁気抵抗素子４８からの波形を整形する波形整形回路（図示せず）とを備える。磁気抵抗素子４８は、エレメント４９ａ、エレメント４９ｂ、エレメント４９ｃ、及びエレメント４９ｄを直列に結線したフルブリッジ形状である。エレメント４９ａとエレメント４９ｃとの間の信号線は、電源端子４８ｐに接続されている。エレメント４９ｂとエレメント４９ｄとの間の信号線は、接地端子４８ｇに接続されている。エレメント４９ａとエレメント４９ｂとの間の信号線は、第１出力端子４８ａに接続されている。エレメント４９ｃとエレメント４９ｄとの間の信号線は、第２出力端子４８ｂに接続されている。第２磁気センサ１２ｂは、第１磁気センサ１２ａと同様の構成である。

図１の説明に戻り、バッテリー監視部３は、バッテリー６の状態を監視する。バッテリー監視部３は、バッテリー検出部５１、及び寿命算出部５２を備える。バッテリー検出部５１は、バッテリー６の状態を検出する。例えば、バッテリー検出部５１は温度センサ５３を含み、温度センサ５３は、バッテリー６の状態として、バッテリー６の温度を検出する。バッテリー検出部５１がバッテリー６の状態を検出するタイミングは、任意に設定される。例えば、バッテリー検出部５１は、第１電源８から電力供給を受けている状態で、任意のタイミングで検出動作を行ってもよく、検出動作を行う回数は１回でもよいし、２回以上でもよい。例えば、バッテリー検出部５１は、第１電源８から電力供給を受けている状態において、信号発生部４から出力される検出信号に関わらず検出動作を実施してもよいし、該検出信号に応じて検出動作を実施してもよい。また、例えば、バッテリー６の温度は、バッテリー６自体の温度、バッテリー６の周囲や近傍の温度、バッテリー６を備えるエンコーダ装置ＥＣの内部の温度を含む。

寿命算出部５２は、例えば、エンコーダ装置ＥＣ又はバッテリー６の使用環境に応じたバッテリー６の寿命情報を算出（例、推定）する。寿命算出部５２は、バッテリー検出部５１の検出結果に基づいて、バッテリー６の寿命情報を算出する。例えば、寿命算出部５２は、バッテリー検出部５１の検出結果に基づいて、バッテリー６における消費電力の少なくとも一部の推定値を算出する。バッテリー６の消費電力は、例えば、バッテリー６が位置検出部１へ供給する供給電力と、供給電力以外で消費される待機電力とを含む。待機電力は、例えば供給電力よりも大きい。寿命算出部５２は、例えば、上記の消費電力のうち待機電力の推定値を算出する。所定の期間における待機電力は、例えば、所定の期間におけるバッテリー６の自己放電率、及び所定の期間の長さに依存する。

所定の期間におけるバッテリー６の自己放電率は、例えば、所定の期間におけるバッテリー６の温度などの環境状態に依存する。寿命算出部５２は、例えば、温度センサ５３の検出結果を用いて、所定の期間におけるバッテリー６の自己放電率を取得する。例えば、バッテリー６の温度と自己放電率との関係を示す温度特性情報（例、テーブルデータ、数式）は、エンコーダ装置ＥＣの図示しない記憶部に予め記憶され、寿命算出部５２は、この記憶部から温度特性情報を取得する。寿命算出部５２は、例えば、温度特性情報と、温度センサ５３の検出結果とを用いて、所定の期間におけるバッテリー６の自己放電率を取得する。例えば、寿命算出部５２は、温度センサ５３が今回検出したバッテリー６の温度を温度特性情報に照合して、所定の期間におけるバッテリー６の自己放電率を取得する。

なお、寿命算出部５２は、温度センサ５３の検出結果から算出される値を用いて、所定の期間における自己放電率を取得してもよい。例えば、寿命算出部５２は、温度センサ５３の前回の検出結果と今回の検出結果から値（例、平均値、最大値、最小値）を算出し、この算出値を温度特性情報に照合して、所定の期間における自己放電率を取得してもよい。また、寿命算出部５２は、例えば補間などの演算を行って、所定の期間におけるバッテリー６の自己放電率を取得（例、算出）してもよい。このように、寿命算出部５２は、取得した自己放電率に基づいて寿命情報を算出する。

また、寿命算出部５２は、例えば、温度センサ５３がバッテリー６の検出を行うタイミングに基づいて、所定の期間の長さを算出する。この所定の期間は、例えば、寿命算出部５２が今回算出する待機電力が消費される期間の開始時から終了時までの期間である。所定の期間の開始時は、例えば、温度センサ５３が前回の検出結果を出力した時である。また、所定の期間の終了時は、例えば、温度センサ５３が今回の検出結果を出力した時である。

寿命算出部５２は、例えば、温度センサ５３から検出結果が出力された際に、時刻情報（例、実時刻、リアルタイムクロック）を取得し、時刻情報を用いて上記の所定の期間の長さを算出する。例えば、寿命算出部５２は、例えば、温度センサ５３から前回の検出結果が出力された際に取得した実時刻と、温度センサ５３から今回の検出結果が出力された際に取得した実時刻との差分を算出することで、上記の所定の期間の長さを算出する。

例えば、寿命算出部５２は、上記の時刻情報を、通信部２７を介してモータ制御部ＭＣ１から取得する。寿命算出部５２は、モータ制御部ＭＣ１以外のデバイスから時刻情報を取得してもよい。例えば、バッテリー監視部３は、時間を測定する計時デバイス（例、タイムカウンタ）を備え、寿命算出部５２は、この計時デバイスから時刻情報を取得してもよい。また、寿命算出部５２は、時刻情報の代わりに上記の計時デバイスから経過時間（例、所定の期間の長さ）を取得してもよい。例えば、上記の計時デバイスは、寿命算出部５２に経過時間を出力した際に、カウンタをリセットして次の経過時間の測定を開始してもよい。上記の計時デバイスは、バッテリー監視部３の外部に設けられてもよい。

また、寿命算出部５２は、バッテリー６の寿命情報として、例えばバッテリー６の残量の推定値を算出する（バッテリー６の残量を推定する）。例えば、寿命算出部５２は、所定の期間における自己放電率、及び所定の期間の長さを用いて、所定の期間における待機電力を算出し、算出した待機電力を用いてバッテリー６の残量の推定値を算出する（バッテリー６の残量を推定する）。所定の期間における待機電力は、例えば、所定の期間における位置検出部１への供給電力以外の要因によるバッテリー６の残量の減少分に相当する。寿命算出部５２は、例えば、前回の所定の期間の終了時におけるバッテリー６の残量から今回の所定の期間における待機電力を差し引くことで、今回の所定の期間の終了時におけるバッテリー６の残量の推定値を算出する。

また、寿命算出部５２は、バッテリーの寿命情報として、例えばバッテリーから供給される電力によって位置検出部が動作可能な時間（以下、動作可能時間という）の推定値を算出する。例えば、寿命算出部５２は、算出したバッテリー６の残量の推定値を、今回の所定の期間における待機電力の推定値で除算し、この除算値に今回の所定の期間の長さを乗算することで、上記の動作可能時間の推定値を算出する。なお、寿命算出部５２は、他の算出方法で動作可能時間の推定値を算出してもよく、例えば位置検出部１への供給電力を加味して動作可能時間の推定値を算出してもよい。

また、寿命算出部５２は、バッテリーの寿命情報として、例えばバッテリー６から供給される電力が位置検出部１の消費電力に対して不足する時期（以下、電力不足時点という）の推定値を算出する。例えば、寿命算出部５２は、算出した動作可能時間の推定値を、今回取得した時刻情報に加算することで、上記の電力不足時点を算出する。なお、寿命算出部５２は、他の算出方法で電力不足時点の推定値を算出してもよい。

なお、寿命算出部５２は、上記のバッテリーの残量の推定値、放電終止電圧に達する時間、動作可能時間の推定値、及び電力不足時期の推定値の少なくとも１つを算出しなくてもよい。また、寿命算出部５２は、バッテリー６の寿命情報として、上記のバッテリーの残量の推定値、動作可能時間の推定値、及び電力不足時期の推定値以外の値を算出してもよい。例えば、寿命算出部５２は、バッテリーの残量、放電終止電圧に達する時間、動作可能時間、あるいは電力不足時期のレベル（程度）を２または３以上の段階で表す情報を算出してもよい。

バッテリー監視部３は、例えば、第１電源８から位置検出部１へ電力が供給される状態で動作する。バッテリー監視部３は、例えば、第１電源８から電力供給を受けて、この電力を用いて動作する。例えば、バッテリー監視部３は、通常状態において第１電源８から電力供給を受けて動作し、バックアップ状態において動作（例、バッテリー検出部５１の検出、寿命算出部５２の算出などの動作）を停止する。なお、バッテリー監視部３の少なくとも一部は、第１電源８から位置検出部１へ電力供給が遮断される状態で動作してもよい。バッテリー監視部３の少なくとも一部は、第１電源８と異なる第２電源（例、バッテリー６）から電力供給を受けて、この電力を用いて動作してもよい。

そして、バッテリー監視部３は、例えば、寿命算出部５２が算出したバッテリー６の寿命情報を、バッテリー監視部３の外部に報知（例、送信、出力）する。例えば、通信部２７は、寿命算出部５２が算出したバッテリー６の寿命情報をモータ制御部ＭＣ１に送信する。例えば、通信部２７は、バッテリー６の寿命情報を複数のレベルで表した報知情報を送信する。例えば、バッテリー監視部３（例、寿命算出部５２）は、例えば、寿命情報を所定値と比較し、その比較結果に基づいて報知情報を出力し、通信部２７は、この報知情報をモータ制御部ＭＣ１へ送信する。例えば、バッテリー監視部３（例、寿命算出部５２）は、寿命算出部５２が算出したバッテリー６の残量の推定値が所定値未満である場合、バッテリー６の残量の推定値が所定値未満であることを示す報知情報を出力する。また、バッテリー監視部３は、算出された寿命情報をもとにバッテリー６の交換又はその交換時期を知らせる報知情報を外部へ出力する。

上記の報知情報は、例えば、位置検出部１で消費される電力に対してバッテリー６から供給される電力が不足する可能性があることを示すワーニング信号を含んでもよい。また、上記の報知信号は、例えば、位置検出部１で消費される電力に対してバッテリー６から供給される電力が不足していることを示すアラーム信号を含んでもよい。また、上記の報知情報は、バッテリー６の交換が推奨されることを音あるいは光などで報知する際の制御信号（例、報知信号）を含んでもよい。

なお、バッテリー監視部３は、上記の報知情報を出力しなくてもよい。例えば、モータ制御部ＭＣ１は、エンコーダ装置ＥＣからバッテリー６の状態（例、温度、電圧）の情報を取得し、バッテリー６の状態の情報を用いて上記の報知情報（例、報知信号）を生成してもよい。モータ制御部ＭＣ１は、上記の報知情報（例、報知信号）を、モータ制御部ＭＣ１の外部の装置へ出力してもよい。

また、モータ制御部ＭＣ１は、寿命情報を、報知情報の生成以外の用途で利用してもよい。例えば、モータ制御部ＭＣ１は、寿命算出部５２が算出したバッテリー６の寿命情報を用いて、エンコーダ装置ＥＣが備えられた装置（例、駆動装置、ステージ装置、ロボット装置）の異常を検出してもよい。例えば、バッテリー監視部３からのバッテリー６の寿命情報が所定値未満である場合、エンコーダ装置ＥＣが備えられた装置においてエンコーダ装置ＥＣが取り付けられた部分に異常があると判定してもよい。また、モータ制御部ＭＣ１は、寿命算出部５２が算出したバッテリー６の寿命情報を用いた異常の検出結果を外部へ報知してもよい。また、モータ制御部ＭＣ１は、寿命算出部５２が算出したバッテリー６の寿命情報を制御などに利用してもよい。

なお、エンコーダ装置ＥＣは、寿命算出部５２を備えなくてもよい。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、バッテリー検出部５１がバッテリー６の状態（例、温度）を検出した検出結果を、エンコーダ装置ＥＣの外部装置（例、モータ制御部ＭＣ１）に出力し、この外部装置が、バッテリー検出部５１の検出結果を処理してもよい。この場合、例えば、寿命算出部５２は、上記の外部装置（例、モータ制御部ＭＣ１）に設けられてもよい。例えば、寿命算出部５２は、モータ制御部ＭＣ１に設けられ、エンコーダ装置ＥＣから出力されるバッテリー６の状態（例、温度）の情報を用いて、バッテリー６の寿命情報を算出してもよい。なお、バッテリー６の状態は、上記の温度だけでなく、湿度や気圧などの環境状態を含めてもよい。この場合、例えば、エンコーダ装置ＥＣは、バッテリー検出部５１として湿度センサや気圧計などを備える構成であってもよく、上記の温度センサと同様な機能を担う構成でよい。

次に、実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣの回路構成について説明する。図５は、本実施形態に係る位置検出部１（例、多回転情報検出部１Ａ）および電力供給部２の回路構成を示す図である。電力供給部２は、第１信号発生部４ａ、整流スタック６１、第２信号発生部４ｂ、整流スタック６２、及びバッテリー６を備える。また、電力供給部２は、図１の切替部５としてレギュレータ６３を備える。

整流スタック６１は、第１信号発生部４ａから流れる電流を整流する整流器である。整流スタック６１の第１入力端子６１ａは、第１信号発生部４ａの端子４３ａと接続されている。整流スタック６１の第２入力端子６１ｂは、第１信号発生部４ａの端子４３ｂと接続されている。整流スタック６１の接地端子６１ｇは、シグナルグランドＳＧと同電位が供給される接地線ＧＬに接続されている。多回転情報検出部１Ａの動作時に、接地線ＧＬの電位は、回路６０の基準電位になる。整流スタック６１の出力端子６１ｃは、レギュレータ６３の制御端子６３ｃに接続されている。

整流スタック６２は、第２信号発生部４ｂから流れる電流を整流する整流器である。整流スタック６２の第１入力端子６２ａは、第２信号発生部４ｂの端子４７ａと接続されている。整流スタック６２の第２入力端子６２ｂは、第２信号発生部４ｂの端子４７ｂと接続されている。整流スタック６２の接地端子６２ｇは、接地線ＧＬに接続されている。整流スタック６２の出力端子６２ｃは、レギュレータ６３の制御端子６３ｃに接続されている。

レギュレータ６３は、バックアップ状態において、このレギュレータ６３のオン状態及びオフ状態に応じて、バッテリー６から位置検出部１へ供給される電力を調整する。レギュレータ６３は、バッテリー６と位置検出部１との間の電力の供給経路に設けられるスイッチ（例、スイッチング素子６４）を含む。レギュレータ６３は、信号発生部４で発生する電気信号（検出信号）を制御信号（例、イネーブル信号）に用いてスイッチング素子６４の動作を制御する。

レギュレータ６３の入力端子６３ａは、バッテリー６に接続されている。レギュレータ６３の出力端子６３ｂは、電源線ＰＬに接続されている。レギュレータ６３の接地端子６３ｇは、接地線ＧＬに接続されている。レギュレータ６３の制御端子６３ｃはイネーブル端子であり、レギュレータ６３は、制御端子６３ｃに閾値以上の電圧が印加された状態で、出力端子６３ｂの電位を所定電圧に維持する。レギュレータ６３の出力電圧（上記の所定電圧）は、計数部６７がＣＭＯＳなどで構成される場合に例えば３Ｖである。記憶部１４の動作電圧は、例えば、所定電圧と同じ電圧に設定される。なお、所定電圧は、電力供給に必要な電圧であり、一定の電圧値でもよいし、段階的に変化する電圧でもよい。

スイッチング素子６４（スイッチ）は、位置検出部１に電力を供給する回路６０の導通と遮断とを切替える。回路６０は、例えば、第２電源（例、バッテリー６）の第１電極（正極）と第２電極（負極）とを結ぶ電力の供給経路を構成し、電源線ＰＬおよび接地線ＧＬを含む。接地線ＧＬは、例えば、バッテリー６の負極と接続され、その電位が回路６０の基準電位となる。スイッチング素子６４は、例えば、バッテリー６から回路６０を介した位置検出部１への電力の供給の有無を切替える。

レギュレータ６３は、信号発生部４から制御端子６３ｃに供給される電気信号を制御信号（イネーブル信号）に用いて、スイッチング素子６４の第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間の導通状態（オン状態）と絶縁状態（オフ状態）とを切り替える。例えば、スイッチング素子６４は、ＭＯＳ、ＴＦＴなどを含み、第１端子６４ａと第２端子６４ｂとはソース電極とドレイン電極であり、制御端子６４ｃがゲート電極である。

制御端子６４ｃは、信号発生部４で発生する電気信号（検出信号）によって充電される。スイッチング素子６４は、制御端子６４ｃの電圧に応じて回路６０を導通へ切替える。例えば、スイッチング素子６４は、制御端子６４ｃの電位が回路６０の基準電位である状態で回路６０を遮断している。また、スイッチング素子６４は、制御端子６４ｃの電圧が所定値以上になることで、第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間が導通状態（オン状態）になる。回路６０を導通へ切替える。第１端子６４ａと第２端子６４ｂとの間がオン状態になると、バッテリー６から、電源線ＰＬおよび接地線ＧＬを介して回路６０に電力が供給される。なお、電力供給部２は、レギュレータ６３のオン状態及びオフ状態を取得する手段を備えてもよい。

また、多回転情報検出部１Ａは、第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂを含む。例えば、多回転情報検出部１Ａは、図１に示した処理部１３として、アナログコンパレータ６５、アナログコンパレータ６６、及び計数部６７を含む。第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂは、それぞれ、回転軸ＳＦを検出するセンサである。第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂは、回転軸ＳＦに取り付けられた磁石１１が形成する磁界を検出することで、回転軸ＳＦを検出する。バックアップ状態において、第１磁気センサ１２ａおよび第２磁気センサ１２ｂは、それぞれ、バッテリー６から供給される電力を用いて、磁石１１が形成する磁界を検出する。

第１磁気センサ１２ａの電源端子５５ｐは、電源線ＰＬに接続されている。第１磁気センサ１２ａの接地端子５５ｇは、接地線ＧＬに接続されている。第１磁気センサ１２ａの出力端子５５ｃは、アナログコンパレータ６５の入力端子６５ａに接続されている。出力端子５５ｃは、例えば、図２（Ｃ）に示した第２出力端子４８ｂの電位と基準電位との差に相当する電圧を出力する。

アナログコンパレータ６５は、第１磁気センサ１２ａから出力される電圧を二値化する二値化部である。アナログコンパレータ６５は、例えば比較器であり、第１磁気センサ１２ａから出力される電圧を所定電圧と比較する。アナログコンパレータ６５の電源端子６５ｐは、電源線ＰＬに接続されている。アナログコンパレータ６５の接地端子６５ｇは、接地線ＧＬに接続されている。アナログコンパレータ６５の出力端子６５ｂは、計数部６７の第１入力端子６７ａに接続されている。アナログコンパレータ６５は、第１磁気センサ１２ａの出力電圧が閾値以上である場合に出力端子からＨレベルの信号を出力し、閾値未満である場合に出力端子からＬレベルの信号を出力する。

第２磁気センサ１２ｂおよびアナログコンパレータ６６は、第１磁気センサ１２ａおよびアナログコンパレータ６５と同様の構成である。第２磁気センサ１２ｂの電源端子５６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。第２磁気センサ１２ｂの接地端子５６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。第２磁気センサ１２ｂの出力端子５６ｃは、アナログコンパレータ６６の入力端子６６ａに接続されている。アナログコンパレータ６６の電源端子６６ｐは、電源線ＰＬに接続されている。アナログコンパレータ６６の接地端子６６ｇは、接地線ＧＬに接続されている。アナログコンパレータ６６の出力端子６６ｂは、計数部６７の第２入力端子６７ｂに接続されている。アナログコンパレータ６６は、第２磁気センサ１２ｂの出力電圧が閾値以上である場合に出力端子からＨレベルの信号を出力し、閾値未満である場合に出力端子６６ｂからＬレベルの信号を出力する。

計数部６７は、回転軸ＳＦの多回転情報を、バッテリー６から供給される電力を用いて計数する。計数部６７は、例えばＣＭＯＳ論理回路などを含む。計数部６７は、電源端子６７ｐおよび接地端子６７ｇを介して供給される電力を用いて動作する。計数部６７の電源端子６７ｐは、電源線ＰＬに接続されている。計数部６７の接地端子６７ｇは、接地線ＧＬに接続されている。計数部６７は、第１入力端子６７ａを介して供給される電圧、及び第２入力端子６７ｂを介して供給される電圧を制御信号として、計数処理を行う。

記憶部１４は、処理部１３が検出した回転位置情報の少なくとも一部（例、多回転情報）を、バッテリー６から供給される電力を用いて記憶する（書き込み動作を行う）。記憶部１４は、処理部１３が検出した回転位置情報として、計数部６７による計数の結果（多回転情報）を記憶する。記憶部１４の電源端子１４ｐは、電源線ＰＬに接続されている。記憶部１４の接地端子１４ｇは、接地線ＧＬに接続されている。記憶部１４は、例えば不揮発性メモリを含み、電力が供給されている間に書き込まれた情報を、電力が供給されない状態においても保持可能である。なお、多回転情報検出部１Ａは、レギュレータ６３のオン状態及びオフ状態を取得する手段を備えてもよい。

本実施形態において、整流スタック６１、整流スタック６２とレギュレータ６３との間には、キャパシタ６９が設けられている。キャパシタ６９の第１電極６９ａは、整流スタック６１、整流スタック６２とレギュレータ６３の制御端子６３ｃとを接続する信号線に接続されている。キャパシタ６９の第２電極６９ｂは、接地線ＧＬに接続されている。このキャパシタ６９は、例えば平滑キャパシタであり、脈動を低減してレギュレータの負荷を低減する。キャパシタ６９の定数は、例えば、処理部１３により回転位置情報を検出して記憶部１４に回転位置情報を書き込むまでの期間に、バッテリー６から処理部１３および記憶部１４への電力供給が維持されるように設定される。

次に、少なくともバックアップ状態における電力供給部２および多回転情報検出部１Ａの動作について、回転軸ＳＦが反時計回りに回転（順回転）するときの多回転情報検出部１Ａの動作を代表的に説明する。図６は、回転軸ＳＦが反時計回りに回転（順回転）するときの多回転情報検出部１Ａの動作を示すタイミングチャートである。

図６の「磁界」において、実線は第１信号発生部４ａの位置での磁界を示し、破線は第２信号発生部４ｂの位置での磁界を示す。「第１信号発生部」、「第２信号発生部」は、ぞれぞれ、第１信号発生部４ａの出力、第２信号発生部４ｂの出力を示し、１方向に流れる電流の出力を正（＋）とし、その逆方向に流れる電流の出力を負（−）とした。「イネーブル信号」は、信号発生部４で発生する電気信号によりレギュレータ６３の制御端子６３ａに印加される電位を示し、ハイレベルを「Ｈ」で表し、ローレベルを「Ｌ」で表した。「レギュレータ」は、レギュレータ６３の出力を示し、ハイレベルを「Ｈ」で表し、ローレベルを「Ｌ」で表した。

図６の「第１磁気センサ」、「第２磁気センサ」は、それぞれ、第１磁気センサ１２ａ、第２磁気センサ１２ｂの出力を実線で示す。「第１磁気センサ」、「第２磁気センサ」において点線は、常時駆動された場合の出力である。「第１アナログコンパレータ」、「第２アナログコンパレータ」は、それぞれ、アナログコンパレータ６５、アナログコンパレータ６６からの出力を示す。

第１信号発生部４ａは、角度位置１３５°において、逆方向に流れる電流パルス（「第１信号発生部」の負）を出力する。また、第１信号発生部４ａは、角度位置３１５°において、順方向に流れる電流パルス（「第１信号発生部」の正）を出力する。第２信号発生部４ｂは、角度位置４５°において、順方向に流れる電流パルス（「第２信号発生部」の正）を出力する。また、第２信号発生部４ｂは、角度位置２２５°において、逆方向に流れる電流パルス（「第２信号発生部」の負）を出力する。そのため、イネーブル信号は、角度位置４５°、角度位置１３５°、角度位置２２５°、角度位置３１５°のそれぞれにおいて、ハイレベルに切り替わる。また、レギュレータ６３は、イネーブル信号がハイレベルに維持された状態に対応して、角度位置４５°、角度位置１３５°、角度位置２２５°、角度位置３１５°のそれぞれにおいて、電源線ＰＬに所定電圧を供給する。

本実施形態において、第１磁気センサ１２ａの出力と第２磁気センサ１２ｂの出力は、９０°の位相差を有しており、処理部１３は、この位相差を利用して回転位置情報を検出する。第１磁気センサ１２ａの出力は、角度位置０°から角度位置１８０°の範囲において、正のサイン波状である。この角度範囲において、レギュレータ６３は角度位置４５°、角度位置１３５°において電力を出力する。第１磁気センサ１２ａおよびアナログコンパレータ６５は、角度位置４５°と角度位置１３５°のそれぞれにおいて供給される電力により駆動される。アナログコンパレータ６５から出力される信号（以下、Ａ相信号という）は、電力供給を受けていない状態でＬレベルに維持されており、角度位置４５°と角度位置１３５°のそれぞれにおいてＨレベルになる。

また、第２磁気センサ１２ｂの出力は、角度位置２７０°（−９０°）から角度位置９０°の範囲において、正のサイン波状である。この角度範囲において、レギュレータ６３は、角度位置３１５°（−４５°）、角度位置４５°において電力を出力する。第２磁気センサ１２ｂおよびアナログコンパレータ６６は、角度位置３１５°と角度位置４５°のそれぞれにおいて供給される電力により駆動される。アナログコンパレータ６６から出力される信号（以下、Ｂ相信号という）は、電力供給を受けていない状態でＬレベルに維持されており、角度位置３１５°と角度位置４５°のそれぞれにおいてＨレベルになる。

ここで、計数部６７に供給されるＡ相信号がＨレベル（Ｈ）であり、計数部６７に供給されるＢ相信号がＬレベルである場合に、これら信号レベルの組を（Ｈ，Ｌ）のように表す。図６では、角度位置３１５°において信号レベルの組が（Ｌ，Ｈ）であり、角度位置４５°において信号レベルの組が（Ｈ，Ｈ）、角度位置１３５°において信号レベルの組が（Ｈ，Ｌ）である。

計数部６７は、磁気センサ１２が検出したＡ相信号とＢ相信号の一方または双方がＨレベルである場合に、記憶部１４に信号レベルの組を記憶させる。計数部６７は、次に検出したＡ相信号とＢ相信号の一方または双方がＨレベルである場合に、前回のレベルの組を記憶部１４から読み出し、前回のレベルの組と今回のレベルの組と比較して回転方向を判定する。

例えば、前回の信号レベルの組が（Ｈ，Ｈ）であって、今回の信号レベルが（Ｈ，Ｌ）である場合には、前回の検出において角度位置４５°であり、今回の検出において角度位置１３５°であるので、反時計回り（順回転）であることがわかる。計数部６７は、今回のレベルの組が（Ｈ，Ｌ）であって、かつ前回のレベルの組が（Ｈ，Ｈ）である場合、カウンタをアップすることを示すアップ信号を記憶部１４に供給する。記憶部１４は、計数部６７からのアップ信号を検出した場合に、記憶している多回転情報を１増加した値に更新する。本実施形態に係る多回転情報検出部１Ａは、回転軸ＳＦの回転方向を判定しながら、多回転情報を検出できる。

本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣは、信号発生部４に電気信号が発生してから短時間のうちに、バッテリー６から多回転情報検出部１Ａに電力が供給され、多回転情報検出部１Ａがダイナミック駆動（間欠駆動）する。多回転情報の検出および書き込みの終了後は、多回転情報検出部１Ａへの電源供給は絶たれるが、計数値は、記憶部１４に格納されているので保持される。このようなシーケンスは、外部からの電力供給が絶たれた状態においても、磁石１１上の所定位置が信号発生部４の近傍を通過するたびに繰り返される。

記憶部１４に記憶されている多回転情報は、例えば、次にモータＭが起動される際にモータ制御部ＭＣなどに読み出され、回転軸ＳＦの初期位置などの算出に利用される。このようなエンコーダ装置ＥＣは、信号発生部４で発生する電気信号に応じて、位置検出部１（例、多回転情報検出部１Ａ）で消費される電力の少なくとも一部をバッテリー６が供給するので、バッテリー６を長寿命にすることができる。バッテリー６のメンテナンス（例、交換）をなくしたり、メンテナンスの頻度を減らしたりすることができる。例えば、バッテリー６の寿命がエンコーダ装置ＥＣの他の部分の寿命よりも長い場合、バッテリー６の交換を不要にすることもできる。

また、ウィーガントワイヤ等の感磁性ワイヤを利用すると、磁石１１の回転が極めて低速であっても、信号発生部４からパルス電流の出力が得られる。そのため、例えばモータＭへ電力供給がなされていない状態などにおいて、回転軸ＳＦ（磁石１１）の回転が極めて低速な場合にも、信号発生部４の出力を電気信号として利用できる。

なお、多回転情報検出部１Ａは、上記の実施形態において磁気式の検出部であるが、透過型又は反射型の光学式の検出部（例、スケールを介した反射光又は透過光を受光する光学センサ）であってもよい。なお、この場合、多回転情報検出部１Ａの一部は、角度検出部１Ｂと共用であってもよい。また、電力供給部２は、信号発生部４で発生する検出信号の電力を電源に用いてもよい。例えば、電力供給部２は、検出信号の電圧をレギュレータなどで所定電圧に調整し、検出信号の電力を位置検出部１に供給してもよい。また、上述の実施形態において、信号発生部４は、磁石１１に対して所定の位置関係になった際に検出信号が発生する。エンコーダ装置ＥＣ（多回転情報検出部１Ａ）は、信号発生部４を、回転軸ＳＦ（磁石１１）の位置情報を検出するセンサとして備えてもよい。

上述のようなエンコーダ装置ＥＣは、バッテリー検出部５１がバッテリー６の状態を検出するので、例えば装置の信頼性が高い。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、バッテリー検出部５１が検出したバッテリー６の状態（例、温度）に基づいて、寿命算出部５２がバッテリー６の寿命情報を算出するので、装置の信頼性が高い。例えば、寿命算出部５２が算出したバッテリー６の寿命の情報に基づいて、バッテリー６から電力供給が不能になる前に、メンテナンスを行うことができる。本実施形態のエンコーダ装置ＥＣは、バッテリー６の寿命情報を算出できるので、バッテリー６の性能劣化を防ぎ、バッテリー６の充電又は交換を効率的に実施できる。

［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図５は、本実施形態に係るエンコーダ装置ＥＣを示す図である。本実施形態において、バッテリー検出部５１は、電力検出部５４を備える。

電力検出部５４は、バッテリー６から出力される電力（以下、出力電圧という）を検出する。バッテリー６の出力電圧は、例えば、バッテリー６の負極と正極との間の電圧（電位差）である。電力検出部５４は、例えば、バッテリー６の負極と正極との間の電圧を検出（例、測定）する。例えば、電力検出部５４は、第１電源８の電力が投入される状態で、バッテリー６の出力電圧を検出する。例えば、電力検出部５４は、第１電源８から位置検出部１へ電力が供給される状態で、バッテリー６の出力電圧を検出する。なお、電力検出部５４は、バッテリー６から位置検出部１へ供給される電力（例、電圧、電流）を検出してもよい。

上記のようなバッテリー６の出力電圧は、バッテリー６の残量に応じて変化する。例えば、バッテリー６の残量が減少した場合、バッテリー６の出力電圧も減少する。寿命算出部５２は、バッテリー検出部５１が検出したバッテリー６の状態（例、出力電圧）を用いて、バッテリー６の寿命情報（例、バッテリー６の残量の推定値）を算出する。例えば、バッテリー６の出力電圧と残量との関係を示す出力特性情報（例、数式、テーブルデータ）がエンコーダ装置ＥＣの記憶部（図示せず）に予め記憶されており、寿命算出部５２は、この記憶部から出力特性情報を取得して、バッテリー６の寿命情報を算出する。例えば、寿命算出部５２は、電力検出部５４が検出したバッテリー６の出力電圧を上記の出力特性情報に照合して、バッテリー６の残量の推定値を算出する。寿命算出部５２は、バッテリー６の残量の推定値を用いて、第１実施形態で説明した動作可能時間の推定値と電力不足時時点の推定値との一方または双方を算出してもよい。

寿命算出部５２は、例えば、電力検出部５４が検出した電力が閾値以下である場合に、バッテリー６の寿命情報を算出する。例えば、寿命算出部５２は、電力検出部５４が検出した電力が閾値を超える場合に、バッテリー６の寿命情報を算出しない。なお、寿命算出部５２は、バッテリー検出部５１（例、電力検出部５４）がバッテリー６の状態を１回あるいは複数回検出するたびに、バッテリー６の寿命情報を算出してもよい。

なお、バッテリー検出部５１は、第１実施形態で説明した温度センサ５３、及び本実施形態の電力検出部５４の双方を備えてもよい。寿命算出部５２は、温度センサ５３の検出結果および電力検出部５４の検出結果の双方を用いて、バッテリー６の寿命情報を算出してもよい。また、寿命算出部５２を備えなくてもよい。例えば、エンコーダ装置ＥＣは、バッテリー検出部５１がバッテリー６の状態（例、出力電圧）を検出した検出結果を、エンコーダ装置ＥＣの外部装置（例、モータ制御部ＭＣ１）に出力し、この外部装置が、バッテリー検出部５１の検出結果を処理してもよい。例えば、寿命算出部５２は、上記の外部装置（例、モータ制御部ＭＣ１）に設けられてもよい。例えば、寿命算出部５２は、モータ制御部ＭＣ１に設けられ、エンコーダ装置ＥＣから出力されるバッテリー６の状態（例、出力電圧）の情報を用いて、バッテリー６の寿命情報を算出してもよい。

［第３実施形態］
第３実施形態について説明する。本実施形態において、上述の実施形態と同様の構成については、同じ符号を付してその説明を省略あるいは簡略化する。図６は、本実施形態に係るエンコーダ装置を示す図である。本実施形態において、バッテリー６は、一次電池６ａおよび二次電池６ｂを含む。二次電池６ｂは、例えば、第１電源８から供給される電力により充電される。二次電池６ｂは、第１電源８がモータＭに対して電力を供給可能な状態（例、主電源がオンの状態）において、第１電源８から電力の供給を受けて充電される。二次電池６ｂへの充電の少なくとも一部は、信号発生部４で発生する検出信号の電力を用いて行われてもよい。

バッテリー６は、位置検出部１で消費される電力の少なくとも一部を、一次電池６ａから供給することもできるし、二次電池６ｂから供給することもできる。バッテリー６は、一次電池６ａと二次電池６ｂとのいずれから電力を供給するかを切替可能（選択可能）である。バッテリー６は、一次電池６ａと二次電池６ｂとのいずれから電力を供給するかを、バッテリー検出部５１の検出結果に基づいて制御される。

ここで、バッテリー６は、二次電池６ｂから電力を供給しているとする。バッテリー監視部３（例、寿命算出部５２）は、バッテリー検出部５１の検出結果に基づいて、バッテリー６において電力を供給している電池（例、二次電池）の残量の推定値を算出する。バッテリー監視部３（例、寿命算出部５２）は、バッテリー６において電力を供給している電池（例、二次電池）の残量の推定値が設定値未満である場合、上記した報知情報を外部へ出力しつつ、電力を供給する電池の切替を指令する制御信号を、バッテリー６、電力供給部２又はバッテリー監視部３に送信する。バッテリー６、電力供給部２又はバッテリー監視部３は、この制御信号を受けた場合に、電力を供給する電池を切替える。例えば、バッテリー６は、二次電池６ｂから電力を供給している状態で上記の制御信号を受けた場合、電力を供給する電池を一次電池６ａに切替える。

なお、バッテリーは自己放電によって時間とともに電気が減るため、バッテリー監視部３は、バッテリー６において電力を供給していない電池（例、二次電池６ｂ）の状態を監視してもよい。例えば、電力検出部５４は、二次電池６ｂの充電中に二次電池６ｂの出力電圧（例、電極間の電圧）を検出し、寿命算出部５２は、充電中の二次電池６ｂの残量の推定値を算出してもよい。バッテリー監視部３は、充電中の二次電池６ｂの残量の推定値が所定値以上である場合、電力を供給する電池の切替を指令する制御信号を、バッテリー６、電力供給部２又はバッテリー監視部３に送信してもよい。例えば、バッテリー６、電力供給部２又はバッテリー監視部３は、一次電池から電力を供給している状態で上記の制御信号を受けた場合、電力を供給する電池を二次電池６ｂに切替えてもよい。

なお、バッテリー監視部３は、一次電池６ａと二次電池６ｂとのいずれから電力を供給するかを制御しなくてもよい。例えば、バッテリー６は、バッテリー監視部３と別の装置（例、モータ制御部ＭＣ１）から、一次電池６ａと二次電池６ｂとのいずれから電力を供給するかを指令する制御信号を受けて、電力を供給する電池を切替てもよい。例えば、寿命算出部５２は、バッテリー６において電力を供給している電池の寿命の情報をモータ制御部ＭＣ１に送信し、モータ制御部ＭＣ１は、電池の寿命の情報に基づいて、一次電池６ａと二次電池６ｂとのいずれから電力を供給するかを制御してもよい。

［駆動装置］
次に、実施形態に係る駆動装置について説明する。図７は、駆動装置ＭＴＲの一例を示す図である。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。この駆動装置ＭＴＲは、電動モータを含むモータ装置である。駆動装置ＭＴＲは、回転軸ＳＦと、回転軸ＳＦを回転駆動する本体部（駆動部）ＢＤと、回転軸ＳＦの回転位置情報を検出するエンコーダ装置ＥＣとを有している。

図７において、信号発生部４は、スケールＳに対して、発光素子２１および受光センサ２２と同じ側に配置されている。なお、信号発生部４、スケールＳ、磁石１１、発光素子２１、及び受光センサ２２の配置は、図７に示す配置に限定されず、例えば図１に示した配置でもよいし、その他の配置でもよい。例えば、信号発生部４は、スケールＳに対して、発光素子２１および受光センサ２２と逆側の面に配置されてもよい。

回転軸ＳＦは、負荷側端部ＳＦａと、反負荷側端部ＳＦｂとを有している。負荷側端部ＳＦａは、減速機など他の動力伝達機構に接続される。反負荷側端部ＳＦｂには、固定部を介してスケールＳが固定される。このスケールＳの固定とともに、エンコーダ装置ＥＣが取り付けられている。エンコーダ装置ＥＣは、上述した実施形態に係るエンコーダ装置である。

この駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣの検出結果を使って、図１などに示したモータ制御部ＭＣが本体部ＢＤを制御する。駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が無いもしくは低いので、メンテナンスコストを減らすことができる。また、駆動装置ＭＴＲは、エンコーダ装置ＥＣの信頼性が高いので、安定して動作可能である。なお、駆動装置ＭＴＲは、モータ装置に限定されず、油圧や空圧を利用して回転する軸部を有する他の駆動装置であってもよい。

［ステージ装置］
次に、実施形態に係るステージ装置について説明する。図８は、ステージ装置ＳＴＧを示す図である。このステージ装置ＳＴＧは、図７に示した駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａに、ステージ（回転テーブルＴＢ、移動物体）を取り付けた構成である。ステージ装置ＳＴＧは、例えば、１次元のリニアモータによって、ステージを１方向に直線的に移動させる構成でもよい。また、ステージ装置ＳＴＧは、複数の１次元のリニアモータあるいは２次元のリニアモータ（例、平面モータ）によって、ステージを２方向に移動させる構成でもよい。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略または簡略化する。

ステージ装置ＳＴＧは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸ＳＦを回転させる。この回転は、回転テーブルＴＢに伝達され、その際にエンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの角度位置等を検出する。エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、回転テーブルＴＢの角度位置を検出することができる。なお、駆動装置ＭＴＲの負荷側端部ＳＦａと回転テーブルＴＢとの間に減速機等が配置されてもよい。

ステージ装置ＳＴＧは、エンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が低い又は無いので、メンテナンスコストを減らすことができる。また、ステージ装置ＳＴＧは、エンコーダ装置ＥＣの信頼性が高いので、安定して動作可能である。なお、ステージ装置ＳＴＧは、例えば、旋盤等の工作機械に備える回転テーブル等に適用できる。

［ロボット装置］
次に、実施形態に係るロボット装置について説明する。図９は、ロボット装置ＲＢＴを示す斜視図である。なお、図９には、ロボット装置ＲＢＴの一部（関節部分）を模式的に示した。以下の説明において、上記した実施形態と同一または同等の構成部分については同一符号を付けて説明を省略装置または簡略化する。このロボット装置ＲＢＴは、第１アームＡＲ１と、第２アームＡＲ２と、関節部ＪＴとを有している。第１アームＡＲ１は、関節部ＪＴを介して、第２アームＡＲ２と接続されている。

第１アームＡＲ１は、腕部１０１、軸受１０１ａ、及び軸受１０１ｂを備えている。第２アームＡＲ２は、腕部１０２および接続部１０２ａを有する。接続部１０２ａは、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの間に配置されている。接続部１０２ａは、回転軸ＳＦ２と一体的に設けられている。回転軸ＳＦ２は、関節部ＪＴにおいて、軸受１０１ａと軸受１０１ｂの両方に挿入されている。回転軸ＳＦ２のうち軸受１０１ｂに挿入される側の端部は、軸受１０１ｂを貫通して減速機ＲＧに接続されている。

減速機ＲＧは、駆動装置ＭＴＲに接続されており、駆動装置ＭＴＲの回転を例えば１００分の１等に減速して回転軸ＳＦ２に伝達する。図９に図示しないが、駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち負荷側端部ＳＦａは、減速機ＲＧに接続されている。また、駆動装置ＭＴＲの回転軸ＳＦのうち反負荷側端部ＳＦｂには、エンコーダ装置ＥＣのスケールＳが取り付けられている。

ロボット装置ＲＢＴは、駆動装置ＭＴＲを駆動して回転軸ＳＦを回転させると、この回転が減速機ＲＧを介して回転軸ＳＦ２に伝達される。回転軸ＳＦ２の回転により接続部１０２ａが一体的に回転し、これにより第２アームＡＲ２が、第１アームＡＲ１に対して回転する。その際、エンコーダ装置ＥＣは、回転軸ＳＦの角度位置等を検出する。従って、エンコーダ装置ＥＣからの出力を用いることにより、第２アームＡＲ２の角度位置を検出することができる。ロボット装置ＲＢＴは、エンコーダ装置ＥＣのバッテリー交換の必要性が無いもしくは低いので、メンテナンスコストを減らすことができる。また、ロボット装置ＲＢＴは、エンコーダ装置ＥＣの信頼性が高いので、安定して動作可能である。なお、ロボット装置ＲＢＴは、上記の構成に限定されず、駆動装置ＭＴＲは、複数の関節を備える各種ロボット装置（例、双腕多軸型ロボット）に適用できる。複数の関節を備えるロボット装置の場合、そのロボット装置は各関節（各軸）又は一部の関節に本実施形態のエンコーダ装置ＥＣが配置される。本実施形態のエンコーダ装置ＥＣはバッテリー６の寿命情報を上位のコントローラ等に出力できるので、例えばロボット装置の上位コントローラは各軸におけるバッテリーの寿命情報（例、電池容量、交換時期など）を受信してメンテナンス時期や何らかの異常情報（例、各軸における寿命情報の違い（例、自己放電率の違いや交換時期の違い等）に基づいた複数の軸のうちある１軸の異常）をユーザに報知することができる。

なお、本発明の技術範囲は、上述の実施形態などで説明した態様に限定されるものではない。上述の実施形態などで説明した要件の１つ以上は、省略されることがある。また、上述の実施形態などで説明した要件は、適宜組み合わせることができる。また、法令で許容される限りにおいて、上述の実施形態などで引用した全ての文献の開示を援用して本文の記載の一部とする。

１・・・位置検出部、２・・・電力供給部、４・・・信号発生部、６・・・バッテリー、６ａ・・・一次電池、６ｂ・・・二次電池、８・・・第１電源、１１・・・磁石、２７・・・通信部、５１・・・バッテリー検出部、５２・・・寿命算出部、５３・・・温度センサ、５４・・・電力検出部、ＥＣ・・・エンコーダ装置、ＭＴＲ・・・駆動装置、ＲＢＴ・・・ロボット装置

Claims

移動部の位置情報を検出する位置検出部と、
前記移動部の移動に伴う磁界の変化によって検出信号が発生する信号発生部と、
前記検出信号の発生に基づいて、前記位置検出部へ電力を供給するバッテリーと、
前記バッテリーの状態を検出するバッテリー検出部と、
前記バッテリー検出部の検出結果に基づいて、前記バッテリーの寿命情報を算出する寿命算出部と、を備えるエンコーダ装置。
前記位置検出部は、第１電源から供給される電力によって前記移動部の位置情報を検出し、前記第１電源からの電力の供給が遮断された状態において、前記バッテリーから供給される電力によって前記移動部の位置情報を検出し、
前記バッテリー検出部は、前記第１電源から前記位置検出部へ電力が供給される状態で前記バッテリーの状態を検出する、請求項１に記載のエンコーダ装置。
前記位置検出部は、前記第１電源から供給される電力によって前記位置情報として角度位置情報及び多回転情報を検出し、前記第１電源からの電力の供給が遮断された状態において前記多回転情報を検出する、請求項２に記載のエンコーダ装置。
前記位置検出部は、前記バッテリーから電力が供給されるバックアップ状態において、前記検出信号の発生に基づいて前記位置情報を検出する、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記バッテリーから電力が供給されるバックアップ状態において、前記寿命算出部は前記寿命情報の算出を停止する、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記寿命算出部は、前記バッテリーの状態に応じた前記バッテリーの自己放電率を推定し、前記自己放電率に基づいて前記寿命情報を算出する、請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記バッテリー検出部は、前記バッテリーの温度を検出する温度センサを含み、
前記寿命算出部は、前記温度センサの検出結果に応じた前記バッテリーの自己放電率に基づいて、前記バッテリーの寿命情報を算出する、請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記寿命算出部は、前記バッテリー検出部が前記バッテリーの状態を検出した時刻情報を取得し、前記時刻情報および前記バッテリー検出部の検出結果に基づいて前記バッテリーの寿命情報を算出する、請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記バッテリー検出部は、前記バッテリーから出力される電力を検出する電力検出部を含む、請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記寿命算出部は、前記電力検出部が検出した電力が閾値以下である場合に、前記バッテリーの寿命情報を算出する、請求項９に記載のエンコーダ装置。
前記バッテリー検出部の検出結果に基づいて、前記バッテリーの寿命情報を送信する通信部を備える、請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記バッテリーの寿命情報は、前記バッテリーの放電終止電圧に達するまでの時間、前記バッテリーの残量、前記バッテリーから供給される電力によって前記位置検出部が動作可能な時間、及び前記バッテリーから供給される電力が前記位置検出部の消費電力に対して不足する時期の少なくとも１つを含む、請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
前記バッテリーは、一次電池および二次電池を含み、前記一次電池と前記二次電池とのいずれから電力を供給するかを、前記バッテリー検出部の検出結果に基づいて制御される、請求項１から請求項１２のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
前記移動部に駆動力を供給する駆動部と、を備える駆動装置。
請求項１４に記載の駆動装置と、
前記駆動装置によって移動するステージと、を備えるステージ装置。
請求項１４に記載の駆動装置と、
前記駆動装置によって移動するアームと、を備えるロボット装置。