JP2012008024A - 多回転検出回路 - Google Patents

多回転検出回路 Download PDF

Info

Publication number
JP2012008024A
JP2012008024A JP2010144630A JP2010144630A JP2012008024A JP 2012008024 A JP2012008024 A JP 2012008024A JP 2010144630 A JP2010144630 A JP 2010144630A JP 2010144630 A JP2010144630 A JP 2010144630A JP 2012008024 A JP2012008024 A JP 2012008024A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
emitting element
light emitting
rotating plate
circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2010144630A
Other languages
English (en)
Inventor
Taro Kishibe
太郎 岸部
Takahiro Masuda
隆宏 増田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2010144630A priority Critical patent/JP2012008024A/ja
Publication of JP2012008024A publication Critical patent/JP2012008024A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Transform (AREA)

Abstract

【課題】主電源がオフ時に低消費電力でモータの回転を検出するエンコーダの多回転検出回路に関し、バックアップ用バッテリの長寿命化を図った多回転回路を提供する。
【解決手段】発光素子の光源上に回転板を介して受光素子を配置し、前記回転板には光を透過または非透過させるパターンを円周方向に90度の位相差を持たせて2本のトラックを配置し、前記発光素子からの光が透過あるいは非透過の状態によって回転を検出する多回転検出回路を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、前記回転板が回転することによって正負のパルス電圧を発生する発電回路と、前記発電回路から発生した正負パルス電圧を正パルス電圧に変換する整流回路と、前記整流回路と前記発光素子を接続し、前記整流回路で直流に変換した電圧によって前記発光素子をパルス点灯する。
【選択図】図1

Description

本発明は、主電源がオフ時に低消費電力でモータの回転を検出するエンコーダの多回転検出回路において、バックアップ用バッテリの長寿命化を図る方法に関するものである。
従来、半導体製造装置やロボット、各種工作機械などのFA(Factory Automation)システム装置には高精度の位置決め制御が必要なため、サーボモータが広く利用されている。サーボモータの回転位置の検出にはエンコーダが用いられ、特にバックアップ用バッテリを有したアブソリュートエンコーダは、主電源をオフにしたときにもモータの回転情報を保持し、モータが回転した場合にも回転数(多回転情報)を検出することが可能であることから、装置を起動した時に原点復帰動作を行う必要がないという利点がある。アブソリュートエンコーダには前述したようなバックアップ用バッテリを有したものと、モータのシャフトから多段ギアによって減速して電源復帰時に多回転情報を検出する構成としたものがあるが、バックアップ用バッテリを有したものは構成が容易で小型・低コスト化が可能という特徴がある。
図10にバックアップ用バッテリを有したアブソリュートエンコーダの多回転処理の構成図を示す。間欠動作回路40、発光素子7、回転板1、受光回路22、検出回路23、カウンタ24、バッテリ25で構成される。バッテリ25を長寿命化するために発光素子7は間欠動作回路40によってある間隔をもってパルス点灯するように動作させている。間欠動作の周期は長い程、バッテリの長寿命化を図ることができるが、モータが外部から速く回された場合に間欠動作の周期が長い場合には回転を検出することができないという課題がある。この課題を解決するために、モータの回転数を検出して回転数に応じて間欠動作の周期を短くする手法が提案されている(例えば、特許文献1)。
また、モータのロータに配置したマグネットと、基板上に発電用のコイルと、マグネットによる停止手段を設け、モータが外部から回転させる場合に、停止手段のマグネットの磁極とロータの磁極が切り替わる際に瞬時的に高トルクが掛けられて高速でモータが回転することを利用し、発電コイルから発生する誘起電圧で発電する手法が提案されている(例えば、特許文献2)。
特開平11−94595号公報 特開2007−218594号公報
しかしながら、特許文献1の手法では、モータの回転数増加に伴い間欠動作の周期が短くなり、発光素子7をパルス点灯するための消費電流が増加するため、モータが停止しているときと比較し、バッテリの寿命が極端に低下するという課題がある。
一方、特許文献2の手法では、発電コイルから発生する誘起電圧を大きくするには停止手段のマグネットを大型化する必要がある。さらにモータのコギングトルクを小さくする必要のあるサーボモータでは、停止手段によるトルク脈動が問題となる。
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、主電源がオフ時に低消費電力でモータ
の回転を検出するエンコーダの多回転検出回路において、バックアップ用バッテリの長寿命化を図る多回転検出回路を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために請求項1に記載の多回転検出回路は、発光素子の光源上に回転板を介して受光素子を配置し、前記回転板には光を透過または非透過させるパターンを円周方向に90度の位相差を持たせて2本のトラックを配置し、前記発光素子からの光が透過あるいは非透過の状態によって回転を検出する多回転検出回路を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、前記回転板が回転することによって正負のパルス電圧を発生する発電回路と、前記発電回路から発生した正負パルス電圧を正パルス電圧に変換する整流回路と、前記整流回路と前記発光素子を接続し、前記整流回路で直流に変換した電圧によって前記発光素子をパルス点灯する。
また、請求項2に記載の多回転検出回路は、発光素子の光源上に回転板を介して受光素子を配置し、前記回転板には光を透過または非透過させるパターンを円周方向に90度の位相差を持たせて2本のトラックを配置し、前記発光素子からの光が透過あるいは非透過の状態によって回転を検出する多回転検出回路を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、前記回転板が回転することによって正負のパルス電圧を発生する発電回路と、前記発電回路と負のパルス電圧を消費する抵抗と前記発光素子を接続し、前記発電回路の正パルス電圧によって前記発光素子をパルス点灯する。
また、請求項3に記載の多回転検出回路は、前記発電回路は、マグネットと、磁極の変化でパルス電圧を発生する大バルクハウゼン現象を利用した磁気センサで構成され、前記回転板の2本のトラックの光を透過/非透過させる90度位相差のパターン間に、前記磁気センサで発生する正パルス電圧が少なくとも1つ以上発生するように配置する。
請求項1に記載の多回転検出回路によれば、主電源がオフとなった場合に発光素子をパルス点灯させる電圧を発電回路から供給することができるため、バックアップ用バッテリの長寿命化を図ることができる。
また、請求項2に記載の多回転検出回路によれば、回転板の2本のトラックから生成されるH/Lの4通りの組み合わせの各状態で、2回のパルス点灯が発生するように発電回路を構成することで、整流回路を省略することができるため、発電回路で電圧のドロップがなくなるので発電回路が生成する電圧を小さくすることが可能となり、発電回路の小型化及び回路全体の低コスト化を図ることができる。
また、請求項3に記載の多回転検出回路によれば、回転板の回転数が低い場合にでもパルス電圧を安定して発生させることができるため、回転状態による誤検出がなく、バックアップ用バッテリの長寿命化を図ることができる。
したがって、発光素子への電圧供給を発電回路から供給し、受光素子、検出回路、カウンタは最小限の電力で動作させることができるため、バックアップ用バッテリの長寿命化を図った多回転検出回路を提供することができる。
(a)は本発明の実施例1の多回転検出回路を示す正面図、(b)は同底面図 実施例1の多回転検出回路のブロック図 実施例1の多回転検出回路の各種動作波形を示す図 (a)は実施例2の多回転検出回路を示す正面図、(b)は同底面図 実施例2の多回転検出回路のブロック図 実施例2の多回転検出回路の各種動作波形を示す図 (a)は実施例2の他の多回転検出回路を示す正面図、(b)は同底面図 実施例2の他の多回転検出回路のブロック図 実施例2の他の多回転検出回路の各種動作波形を示す図 従来の多回転検出回路のブロック図
第1の発明は、発光素子の光源上に回転板を介して受光素子を配置し、前記回転板には光を透過または非透過させるパターンを円周方向に90度の位相差を持たせて2本のトラックを配置し、前記発光素子からの光が透過あるいは非透過の状態によって回転を検出する多回転検出回路を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、前記回転板が回転することによって正負のパルス電圧を発生する発電回路と、前記発電回路から発生した正負パルス電圧を正パルス電圧に変換する整流回路と、前記整流回路と前記発光素子を接続し、前記整流回路で直流に変換した電圧によって前記発光素子をパルス点灯することにより、主電源がオフとなった場合に発光素子をパルス点灯させる電圧を発電回路から供給することができるため、バックアップ用バッテリの長寿命化を図ることができる。
第2の発明は、発光素子の光源上に回転板を介して受光素子を配置し、前記回転板には光を透過または非透過させるパターンを円周方向に90度の位相差を持たせて2本のトラックを配置し、前記発光素子からの光が透過あるいは非透過の状態によって回転を検出する多回転検出回路を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、前記回転板が回転することによって正負のパルス電圧を発生する発電回路と、前記発電回路と負のパルス電圧を消費する抵抗と前記発光素子を接続し、前記発電回路の正パルス電圧によって前記発光素子をパルス点灯することにより、回転板の2本のトラックから生成されるH/Lの4通りの組み合わせの各状態で、2回のパルス点灯が発生するように発電回路を構成することで、整流回路を省略することができるため、発電回路で電圧のドロップがなくなるので発電回路が生成する電圧を小さくすることが可能となり、発電回路の小型化及び回路全体の低コスト化を図ることができる。
第3の発明は、前記発電回路は、マグネットと、磁極の変化でパルス電圧を発生する大バルクハウゼン現象を利用した磁気センサで構成され、前記回転板の2本のトラックの光を透過/非透過させる90度位相差のパターン間に、前記磁気センサで発生する正パルス電圧が少なくとも1つ以上発生するように配置することにより、回転板の回転数が低い場合にでもパルス電圧を安定して発生させることができるため、回転状態による誤検出がなく、バックアップ用バッテリの長寿命化を図ることができる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施例によって本発明が限定されるものではない。
(実施例1)
本発明による多回転検出回路について、図1、図2及び図3を用いて説明する。図1は実施例1における多回転検出回路を搭載したエンコーダの構成図、図2は信号処理のブロック図、図3は各部の波形であり、以下に多回転検出回路の動作について説明する。
1は回転板であり、ガラス等の光を透過させる材料で作成され、回転板1上には円周上に幅を持った2本のトラック10a、10bが配置されている。トラック10a、10bには光を遮断する部分と透過する部分があり、遮断する部分には銀等の光を反射する材質が蒸着されている。トラック10aと10bは図1(a)に示すように90度位相をずらして配置する。また、回転板1には円を90度で区切って着磁されたマグネット2があり
、トラック10a、10bの光が透過する部分と遮断する部分の境目となる部分と、マグネット2のNS極の境目となる部分が45度の位相差となるように配置する。これら回転板1とマグネットはモータ軸に直結されたシャフト8に固定し、モータの回転とともに回転板1とマグネット2は回転する。
7は発光素子であり、LED(Light Emitting Diode)や半導体レーザー等が用いられる。特にFAサーボ用としては安価かつ信頼性の面からLEDが広く採用されている。3は受光素子であり、PD(Photo Diode)やPDとトランジスタを内蔵したPTr(Photo Transistor)が用いられ、検出するトラック数に合わせて複数個の受光素子を1つのパッケージに内蔵したものが多い。発光素子7と受光素子3と回転板1のトラック10a、10bは光軸が直線状に並ぶように配置し、発光素子7から発生した光は回転板1のトラック10a、10bを透過または非透過し、受光素子3でトラックのパターンを検出する構成となっている。
4は磁気センサであり、マグネット2に対面するように配置し、回転板1が回転して磁気センサ4に対面するマグネット2のNS極が切り替わり磁束が変化することで電圧が発生する構成となっている。
以上が主要部品の構成である。次にこれらの構成部品の動作について説明する。
発電回路20は磁気センサ4とマグネット2で構成される。発電回路20は前述したように磁気センサ4に鎖交する磁束の変化により正負パルス電圧30を発生し、電圧の正負の向きは鎖交磁束の切り替わる方向で変化する。図3の波形は、N極からS極に切り替わる場合(0deg、180deg)に正の電圧を発生し、S極からN極に切り替わる場合(90deg、270deg)に負の電圧を発生するように配置した例である。発電回路20から出力された正負パルス電圧30は整流回路21に入力する。整流回路21はダイオードブリッジで構成されており、図3のように正負パルス電圧30は正方向のみに変換され、正パルス電圧31となる。整流回路21で生成した正パルス電圧31は発光素子7に印加され、電圧が発生している期間、発光素子7は点灯する。LED等の発光素子7を点灯する場合、バッテリで駆動する回路にとって数mAといった大きな電流が必要であるが、このように構成することにより発電した電圧のみで点灯することができる。
次に信号検出の構成について説明する。
受光回路22は検出するトラック数に合わせた複数個の受光素子3で構成されている。実施例1では多回転検出のみを記載しているので、2個の受光素子3となるが、実際には1回転検出も同一の受光回路22で構成することが多い。前述の発光素子7が点灯し、かつ回転板1のトラック10a、10bのパターンが透過する場合、受光回路22は光を検出し、光検出信号32a、32bを出力する。例えば、図3の180degの位置で正パルス電圧31によって点灯した光は、パターン10aは透過(白色)し、パターン10bは非透過(黒色)となるため、光検出信号32aは正パルスを出力するが、光検出信号32bは出力しない。次に光検出信号32a、33bは検出回路23へ出力される。
検出回路23は、オペアンプやコンパレータ、FF回路(フリップフロップ回路)で構成され、入力した光検出信号32a、32bはオペアンプやコンパレータで波形成形された後、FF回路でラッチされ、位置信号33a、33bとしてカウンタ24へ出力する。
受光回路22、検出回路23、カウンタ24は電源ON時には電源から電圧は供給されるが、電源OFF時には図2のようにバッテリ25から電圧が供給され動作する。ここで、検出回路23とカウンタ24で使用するFF回路は数kHzから数十kHz程度の低速ク
ロックで常時動作させて消費電力を低減することが可能である。また、整流回路21は発光素子7を点灯させるタイミングが分かるため、整流回路21からのタイミング信号35によって検出回路23とカウンタ24で使用するFF回路を動作させることで、更に消費電力を低減することができる。
カウンタ24は例えば位置信号33aがLで、位置信号33bの立ち上りエッジでカウントダウンし、位置信号33aがLで、位置信号33bの立ち下りエッジでカウントアップするように構成すれば、回転板1の回転した数をカウントすることができる。カウンタ24も検出回路23と同様に整流回路21からのタイミング信号35によって動作させることで、更に消費電力を低減することができる。
受光回路22、検出回路23、カウンタ24は消費電流の小さなCMOSデバイスで構成することで消費電力を低減することが可能である。
トラック10a、10bのパターンの組み合わせは1回転で4つの状態があり、各4つの状態で1回の正パルス電圧31が生成するように配置しているが、マグネット2の極数を2倍以上にする、あるいは磁気センサを2つ以上設置する等を行い、2回以上の正パルス電圧31が生成するように配置してもよい。
また、トラック10a、10bの光が透過する部分と遮断する部分の境目となる部分と、マグネット2のNS極の境目となる部分が45度の位相差となるように配置しているが、磁気センサ4の位置をある角度移動した場合、それに合わせてトラックとマグネットの相対位置も移動し、前述したトラック10a、10bのパターンの組み合わせの4つの状態で1回の正パルス電圧31が生成するように配置すればよい。
また、光学系の構造は発光素子7と受光素子3の間に回転板1を配置する透過型の光学系で構成したエンコーダについて説明したが、発光素子と受光素子を回転板に対し、同一方法に配置し、回転板には反射部と非反射部のパターンで構成し、受光素子は反射光を検出する反射型の光学系で構成したエンコーダでも同様の効果が得られる。
また、磁気センサには大バルクハウゼン現象を利用したセンサを用いれば、低速で回転板1が回転している場合においても安定したパルス電圧を生成することができる。
以上のような構成とすることで、大きな電流が必要となる発光素子7の点灯を発電回路から供給することで、バッテリ25の寿命を長くすることができる。
(実施例2)
図4から図9を用いて本発明の実施例2について説明する。実施例1と異なるのは発電回路と発光素子周辺回路の構成であり、受光側の構成は実施例1と同一である。
図4は実施例2における多回転検出回路を搭載したエンコーダの構成図、図5は信号処理のブロック図、図6は各部の波形であり、実施例1との違いについて以下に説明する。
図4(a)に示すように発電回路20xのマグネット2xは8極のマグネットを配置する。これによって、発電回路20xから発生する正負パルス電圧30xは、マグネット2xのNSの磁極の変化で生じるので、図6に示すように2倍の正負パルス電圧が発生する。図5のブロック図に示すように整流回路の代わりに抵抗26を発光素子7に並列に接続する。発光素子7は負のパルス電圧では発光せず、正のパルス電圧の場合のみ発光するので、発光素子7には正パルス電圧31xのみが印加され、負のパルス電圧は抵抗26によって消費される。発光素子7が発光した後の動作は実施例1と同一である。
以上のように、マグネット2xのNSの極数を2倍にし、整流回路を抵抗に変更することで実施例1と同様の効果が得られるため、バッテリ25の寿命を長くすることができ、かつ整流回路を抵抗で構成できるため、多回転検出回路を安価に構成することができる。
また、図7は磁気センサを2つにした例である。磁気センサ4xと4yの配置角αを90度から正負パルス電圧30yのパルス幅より大きくなるようにずらして配置することで、図9のように2つの磁気センサから出力する正負パルス30y、30zを合わせると、90度の間に正負の2つのパルスが発生する。前述と同様に正のパルスのみが発光素子7を発光することができるので、少なくとも90度の間に1回発光素子7は発光することが可能となるため、同等の効果を得ることができる。
本発明の多回転検出回路は、電源をオフにした場合でもモータが回転したことを検出することが必要となるロボットのアーム等に用いられる位置検出装置で特に有効である。
1 回転板
2、2x マグネット
3 受光素子
4、4y、4z センサ
5 多回転処理回路
6 基板
7 発光素子
8 シャフト
9 フレーム
10、10a、10b トラック
20、20y、20z 発電回路
21 整流回路
22 発光回路
23 検出回路
24 カウンタ
25 バッテリ
26 抵抗
30、30x、30y、30z 正負パルス電圧
31、31x、31y 正パルス電圧
32a、32b 光検出信号
33a、33b 位置信号
34 カウント値
35 タイミング信号
40 間欠動作回路
41 パルス電圧

Claims (3)

  1. 発光素子の光源上に回転板を介して受光素子を配置し、前記回転板には光を透過または非透過させるパターンを円周方向に90度の位相差を持たせて2本のトラックを配置し、前記発光素子からの光が透過あるいは非透過の状態によって回転を検出する多回転検出回路を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、
    前記回転板が回転することによって正負のパルス電圧を発生する発電回路と、前記発電回路から発生した正負パルス電圧を正パルス電圧に変換する整流回路と、前記整流回路と前記発光素子を接続し、前記整流回路で直流に変換した電圧によって前記発光素子をパルス点灯することを特徴とする多回転検出回路。
  2. 発光素子の光源上に回転板を介して受光素子を配置し、前記回転板には光を透過または非透過させるパターンを円周方向に90度の位相差を持たせて2本のトラックを配置し、前記発光素子からの光が透過あるいは非透過の状態によって回転を検出する多回転検出回路を備えたアブソリュートエンコーダにおいて、
    前記回転板が回転することによって正負のパルス電圧を発生する発電回路と、前記発電回路と負のパルス電圧を消費する抵抗と前記発光素子を接続し、前記発電回路の正パルス電圧によって前記発光素子をパルス点灯することを特徴とする多回転検出回路。
  3. 前記発電回路は、マグネットと、磁極の変化でパルス電圧を発生する大バルクハウゼン現象を利用した磁気センサで構成され、前記回転板の2本のトラックの光を透過/非透過させる90度位相差のパターン間に、前記磁気センサで発生する正パルス電圧が少なくとも1つ以上発生するように配置することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の多回転検出回路。
JP2010144630A 2010-06-25 2010-06-25 多回転検出回路 Pending JP2012008024A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010144630A JP2012008024A (ja) 2010-06-25 2010-06-25 多回転検出回路

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010144630A JP2012008024A (ja) 2010-06-25 2010-06-25 多回転検出回路

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012008024A true JP2012008024A (ja) 2012-01-12

Family

ID=45538735

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010144630A Pending JP2012008024A (ja) 2010-06-25 2010-06-25 多回転検出回路

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012008024A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016504906A (ja) * 2012-12-28 2016-02-12 ラブリオーラ, ドナルド・ピィ, ザ・セカンドLabriola, Donald P., Ii 多極カウントモータのための一体型多回転絶対位置センサ
WO2017126339A1 (ja) * 2016-01-18 2017-07-27 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
EP3407025A4 (en) * 2016-01-18 2019-08-07 Nikon Corporation CODING DEVICE, CONTROL DEVICE, STAGE DEVICE AND ROBOT DEVICE
FR3123118A1 (fr) * 2021-05-20 2022-11-25 Vitesco Technologies Dispositif de détection de position pour véhicule
JP7276527B1 (ja) 2022-01-26 2023-05-18 フジテック株式会社 エレベータシステム、携帯端末、プログラム、及び携帯端末の制御方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016504906A (ja) * 2012-12-28 2016-02-12 ラブリオーラ, ドナルド・ピィ, ザ・セカンドLabriola, Donald P., Ii 多極カウントモータのための一体型多回転絶対位置センサ
WO2017126339A1 (ja) * 2016-01-18 2017-07-27 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
CN108496061A (zh) * 2016-01-18 2018-09-04 株式会社尼康 编码器装置、驱动装置、载置台装置以及机器人装置
JPWO2017126339A1 (ja) * 2016-01-18 2018-11-08 株式会社ニコン エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
EP3407025A4 (en) * 2016-01-18 2019-08-07 Nikon Corporation CODING DEVICE, CONTROL DEVICE, STAGE DEVICE AND ROBOT DEVICE
JP2021012212A (ja) * 2016-01-18 2021-02-04 株式会社ニコン エンコーダ装置
US11243096B2 (en) 2016-01-18 2022-02-08 Nikon Corporation Encoder apparatus, drive apparatus, stage apparatus, and robot apparatus
US11385081B2 (en) 2016-01-18 2022-07-12 Nikon Corporation Encoder apparatus, drive apparatus, stage apparatus, and robot apparatus with light emission adjuster
FR3123118A1 (fr) * 2021-05-20 2022-11-25 Vitesco Technologies Dispositif de détection de position pour véhicule
JP7276527B1 (ja) 2022-01-26 2023-05-18 フジテック株式会社 エレベータシステム、携帯端末、プログラム、及び携帯端末の制御方法
JP7380934B2 (ja) 2022-01-26 2023-11-15 フジテック株式会社 エレベータシステム、携帯端末、プログラム、及び携帯端末の制御方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6610697B2 (ja) エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
EP1571426B1 (en) Displacement encoder
JP2012008024A (ja) 多回転検出回路
CN100439866C (zh) 多转型绝对值编码器
US20140009043A1 (en) Encoder and motor device
US11359938B2 (en) Dual absolute encoder
JP2009121958A (ja) ロータリエンコーダ、およびブラシレスモータ
JP2018132432A (ja) エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
JP2007078538A (ja) モータ、回転制御装置、及び回転検出回路
US20090001918A1 (en) Transmission device
TWM495504U (zh) 絕對式編碼器
JP2018136147A (ja) エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
JP4682598B2 (ja) エンコーダ及びエンコーダシステム
WO2014049743A1 (ja) エンコーダ、エンコーダの製造方法、サーボシステム
JP2000275066A (ja) ロータリーエンコーダ
KR101436869B1 (ko) 복합형 엔코더
KR102578130B1 (ko) 자가 진단 기능을 갖는 엔코더
JP6878899B2 (ja) エンコーダ装置、駆動装置、ステージ装置、及びロボット装置
TWI836973B (zh) 雙絕對式編碼器組件及使用其之致動器組件
JP2011112537A (ja) エンコーダ
TW202314197A (zh) 免電池旋轉檢測裝置
JP2004028894A (ja) パルスエンコーダ
JP2023027867A (ja) 光センサを用いたトリガースイッチを備えた電動工具
JPH05126599A (ja) エンコーダ
JP2011107013A (ja) エンコーダ及びエンコーダのパターン検出方法