JP2011107013A - エンコーダ及びエンコーダのパターン検出方法 - Google Patents

エンコーダ及びエンコーダのパターン検出方法 Download PDF

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Abstract

【課題】エンコーダにおいて、異常を含んだ回転情報を検出し、検出精度を維持する。
【解決手段】パターンを有し、回転軸40を中心として回転する回転部材Rと、該パターンを検出するパターン検出部32と、該パターン検出部32と所定角度ずれた位置に配置される該パターンを検出する第2パターン検出部33と、該パターン検出部32又は該第2パターン検出部33における位相差に基づいて検出異常の有無を判断する制御部とを備える。
【選択図】図1

Description

本発明は、エンコーダ及びエンコーダのパターン検出方法に関する。
モータの回転軸などを含む回転体の回転数、回転角度などの回転情報を検出する装置として、エンコーダが知られている(特許文献1)。エンコーダは、例えばモータの回転軸などに取り付けられて用いられる。エンコーダの具体的構成として、例えば磁気を用いて回転数を検出する構成が知られている。このような構成のエンコーダは、所定の磁気パターンが形成された磁石部を回転軸と一体的に回転させ、磁石部の磁気パターンの変化を本体部の磁気センサによって読み取ることで、モータの回転軸の回転数を検出できるようになっている。
特開2004−20548号公報
しかしながら、上記のエンコーダにおいては、例えば磁気センサにおいて検出異常が発生した場合、当該異常を含んだ回転情報が検出されてしまう可能性がある。例えば光センサを用いて回転情報を検出するエンコーダの場合においても、同様の問題が発生する可能性がある。このような異常を含んだ回転情報が検出されると、エンコーダの検出精度が低下してしまう可能性がある。
上記のような事情に鑑み、本発明は、所期の検出精度を維持することが可能なエンコーダ及びパターン検出方法を提供することを目的とする。
本発明の第1の態様に従えば、パターンを有し、回転軸を中心として回転する回転部と、前記パターンを検出するパターン検出部と、前記パターン検出部とは別に前記パターンを検出する第2パターン検出部と、前記パターン検出部又は前記第2パターン検出部における検出異常の有無を検出する制御部とを備えるエンコーダが提供される。
本発明の第2の態様に従えば、測定対象の回転軸部材に固定される回転部に設けられたパターンを、パターン検出部及び第2パターン検出部によって検出するパターン検出工程と、前記パターン検出部又は前記第2パターン検出部における検出異常の有無を、制御部によって検出する異常検出工程とを有するエンコーダのパターン検出方法が提供される。
本発明によれば、所期の検出精度を維持することができる。
本発明の実施の形態に係るエンコーダの構成を示す断面図。 本実施形態に係るエンコーダの一部の構成を示す平面図。 本実施形態に係る本体部で検出される磁気パターンの波形の一例を示すグラフ。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図1は、エンコーダECの構成を示す断面図である。
図1に示すように、エンコーダECは、モータなどの回転体の回転数を検出する装置である。エンコーダECは、回転部材R、磁石部材M及び本体部Dを有している。エンコーダECは、回転部材R及び磁石部材Mが設けられており、これらが本体部Dを構成する筐体30内に収容された状態で用いられる。
回転部材Rは、回転体である例えばモータMTRの回転軸40に固定され、回転軸40と一体的に回転するようになっている。回転部材Rは、例えばSUSなどによって円盤状に形成されている。回転部材Rの構成材料としてSUSなどの剛性の高い材料を用いることで、耐変形性などに優れた回転部材Rが形成される。回転部材Rの構成材料として、他の材料を用いても勿論構わない。回転部材Rは、取付部20、パターン形成部21及び凹部23を有している。
取付部20は、回転部材Rの下面Rbに設けられている。取付部20の下面側には、平面視中央部に挿入穴20aが形成されている。挿入穴20aは、上記モータMTRの回転軸40が挿入されるようになっている。取付部20は、回転軸40が挿入穴20aに挿入された状態において回転軸40と取付部20との間を固定する固定機構(不図示)を有している。
パターン形成部21は、回転部材Rの上面Raの周縁部に円環状に設けられている。パターン形成部21には、光反射パターン24が形成されている。光反射パターン24は、例えば回転部材Rの外周に沿って円環状に形成されている。光反射パターン24は、所定の波長の光を反射する光反射領域24aを有している。光反射パターン24として、例えば上面21aの他の部分よりも光反射率の低い低反射領域を有する構成であっても構わない。パターン形成部21は、光反射パターン24が形成された領域を含めて、ほぼ全体が例えばアクリル樹脂などの透明保護膜(不図示)によって被覆されている。
凹部23は、回転部材Rの上面Raに形成されている。凹部23には、磁石部材Mが収容されるようになっている。
磁石部材Mは、回転部材Rの回転方向に沿って円環状に形成された永久磁石である。磁石部材Mは、このように円環状に形成されていることで、例えば回転部材Rのうち回転軸40の軸方向に見て中央部を空けた位置(周縁部)に配置されることになる。磁石部材Mの上面には、所定の磁気パターンMa(図2参照)が形成されている。
図2は、磁石部材Mを回転軸40の軸方向に見たときの構成を示す図である。図2に示すように、磁石部材Mの磁気パターンMaは、円環の内周部と外周部とに区画されている。円環の内周部においては、回転軸40の軸方向に見て円環の半分の領域(例えば図中右側の領域)にN極に着磁され、円環の他の半分の領域(例えば図中左側の領域)がS極に着磁されている。円環の外周部においては、回転軸40の軸方向に見て円環の半分の領域(例えば図中右側の領域)にS極に着磁され、円環の他の半分の領域(例えば図中左側の領域)がN極に着磁されている。
本体部Dは、上記の光反射パターン24での反射光や磁気パターンMaによる磁場などの検出などを行う部分である。本体部Dは、筐体30、光反射パターン検出部31、第1磁気パターン検出部32、第2磁気パターン検出部33、制御部CONT及び電源部BATTを有している。図1に示すように、少なくとも光反射パターン検出部31、第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33は、筐体30のうち回転部材Rの上面Raとの対向面に取り付けられている。制御部CONTの位置は、図1では光反射パターン検出部31等の構成要素と同一の面上に設けられているが、他の位置に設けられた構成としても構わない。
筐体30は、例えば平面視円形のコップ状に形成されている。筐体30は、モータMTRに固定されており、回転軸40とは固定されていない状態となっている。したがって、回転軸40が回転しても、筐体30とモータMTRとの相対位置が変化しないようになっている。筐体30は、一体的に形成された回転部材R及び磁石部材Mを収容する。回転部材R及び磁石部材Mは、回転軸40の軸方向に見たときに、それぞれの中心が筐体30の中心に一致するように位置合わせされた状態で筐体30に収容されている。
また、光反射パターン検出部31は、筐体30の内面に取り付けられている。光反射パターン検出部31は、例えば回転部材Rの光反射パターン24に対して、回転軸40の軸方向に見て重なる位置に配置されている。
例えば、光反射パターン検出部31は、光反射パターン24へ向けて光を射出する発光部及び光反射パターン24を介した反射光を受光する受光部を有する。発光部としては、例えばLEDなどが用いられる。受光部としては、例えば光電素子などが用いられる。受光部によって読み取られた光は、電気信号として不図示の制御装置に送信されるようになっている。光反射パターン検出部31を構成する各部は、筐体30に保持されている。
第1磁気パターン検出部32は、例えば磁石部材Mに対して回転軸40の軸方向に見て重なる位置に配置された一対の磁気センサ32A及び32B(一対の第1磁場検出器)を有している。磁気センサ32A(第1の磁場センサ)及び32B(第2の磁場センサ)は、それぞれバイアス磁石(不図示)及び磁気抵抗素子(不図示)を有している。磁気センサ32A及び32Bは、それぞれ筐体30に保持されている。磁気センサ32A及び磁気センサ32Bは、例えば回転部材Rの回転方向(図2のθ方向)に90°ずれた位置に配置されている。
第2磁気パターン検出部33は、一対の磁気センサ33C及び33D(一対の第2磁場検出器)を有している。磁気センサ33C(第3の磁場センサ)及び33D(第4の磁場センサ)は、例えば磁気センサ32A及び32Bと同一の構成、すなわち、それぞれバイアス磁石(不図示)及び磁気抵抗素子(不図示)を有した構成となっている。また、磁気センサ33C及び33Dは、第1磁気パターン検出部32の磁気センサ32A及び32Bと同様に、例えば磁石部材Mに対して回転軸40の軸方向に見て重なる位置に配置されており、例えば回転部材Rの回転方向(図2のθ方向)に90°ずれた位置に配置されている。
本実施形態において、磁気センサ32A、32B、33C及び33Dは回転軸40を中心とする同一円周上に配置されていることになる。また、本実施形態において、磁気センサ32Aと磁気センサ33Cとはθ方向に45°ずれた位置に配置されており、磁気センサ32Bと磁気センサ33Dとはθ方向に45°ずれた位置に配置されている。したがって、磁気センサ32A、32B、33C及び33Dは、磁気センサ32Aからθ方向に見て、磁気センサ33C、磁気センサ32B、磁気センサ33Dの順に45°ずつ離れた位置に設けられている。このように、本実施形態において、第1磁気パターン検出部32を構成する磁気センサ32A及び32Bと、第2磁気パターン検出部33を構成する磁気センサ33C及び33Dとは、等角度(例えば45°)で交互に入り組んで配置された構成となっている。勿論、第1磁気パターン検出部32と第2磁気パターン検出部33とは入り組まないように配置させる構成であっても構わない。
上記の各磁気センサ32A、32B、33C及び33Dに用いられるバイアス磁石は、磁石部材Mの磁場との間で合成磁場を形成する。バイアス磁石を構成する材料として、例えばサマリウム・コバルトなどの磁力の大きい希土類磁石などが挙げられる。バイアス磁石は、磁気抵抗素子に接触せず、また、当該磁気抵抗素子に隣接しない位置に配置されている。
また、磁気抵抗素子は、例えば金属配線などによって形成された直交する2つの繰り返しパターンを有している。磁気抵抗素子は、磁場の方向が当該繰り返しパターンに流れる電流の方向の垂直方向に近くなると電気抵抗が低下するようになっている。磁気抵抗素子は、この電気抵抗の低下を利用して磁場の方向を電気信号に変換するようになっている。磁気抵抗素子は、磁石部材Mの磁場及びバイアス磁石の磁場による合成磁場を検出するようになっている。検出結果は、電気信号として上記の制御装置(不図示)に送信されるようになっている。
制御部CONTは、光反射パターン検出部31の受光部からの出力に基づいて回転軸40の回転角度を求めると共に、磁気センサ32A及び32B、磁気センサ33C及び33Dからの出力に基づいて回転軸40の回転数や回転方向を含む回転情報を求める処理を行う。また、第1磁気パターン検出部32(磁気センサ32A及び32B)と第2磁気パターン検出部33(磁気センサ33C及び33D)との検出結果を比較して、第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33の検出結果に異常があるか否かを判断する。この制御部CONTには、例えば不図示の主制御装置やメモリなどが設けられている。
電源部BATTは、上記の本体部Dに対して電力を供給する部分である。電源部BATTは、主電源34、バックアップ電源35を有している。主電源34は、本体部Dに電力を供給する電源である。主電源34は、例えば上記の光反射パターン検出部31や第1磁気パターン検出部32、第2磁気パターン検出部33、制御部CONTなどに接続されている。バックアップ電源35は、例えば主電源34がオフになっている場合などにおいて、当該主電源34から切り替えて上記光反射パターン検出部31、第1磁気パターン検出部32、第2磁気パターン検出部33、制御部CONTなどに接続されるようになっている。
次に、上記のエンコーダECの動作を説明する。
モータMTRの回転軸40が回転すると、当該回転軸40に一体的に取り付けられた回転部材R及び磁石部材Mが回転軸40と一体的に回転する。モータMTRに固定された本体部Dは、回転軸40には接続されていないため、回転せずに静止した状態となる。制御部CONTは、光反射パターン検出部31、第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33に主電源部34からそれぞれ電力を供給させる。制御部CONTは、電力を供給させた後、光反射パターン検出部31及び第1磁気パターン検出部32を用いてパターン検出工程を行う。
回転部材Rが回転すると、当該回転部材Rに形成された光反射パターン24が回転方向に移動する。このとき、制御部CONTは光反射パターン検出部31の発光部から光反射パターン24へ向けて光を射出させ、光反射パターン24で反射された反射光を受光部において受光させる。受光部では受光した反射光に応じた電気信号が生成され、制御部CONTに送信される。制御部CONTは、当該電気信号に基づき、光反射パターン24の移動角度など回転部材Rの回転情報を読み取る。
一方、回転部材Rの回転と共に、磁石部材Mが回転する。磁石部材Mが回転すると、当該磁石部材Mの磁気パターンMaによって形成される磁場とバイアス磁石の磁場との合成磁場が周期的に変化する。磁気センサ32A及び32Bは、当該合成磁場の変化の周期を検出することにより、磁石部材M(回転軸)の回転数など回転部材Rの回転情報を読み取る。このように、パターン検出工程が行われる。
ここで、例えばエンコーダECの主電源34をオフにする場合には、バックアップ電源35を用いて回転部材Rの回転情報を検出させることができる。この場合、制御部CONTは、例えば光反射パターン検出部31、第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33の接続先を主電源34からバックアップ電源35に切り替える。
次に、本実施形態における異常検出について説明する。例えば磁気センサにおいて検出異常が発生した場合、当該異常による検出誤差を含んだ回転情報が検出されてしまう可能性があるため、磁気センサの検出精度が低下してしまう可能性がある。
そこで、本実施形態では、例えば、電源を主電源34からバックアップ電源35に切り替えたときに、制御部CONTは、第2磁気パターン検出部33を用いて第1磁気パターン検出部32(及び第2磁気パターン検出部33)の検出結果に異常がないかの異常検出動作を行わせる(異常検出工程)。図3は、第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33を用いて磁気パターンMaを検出する場合の検出波形を示すグラフである。グラフの横軸は位相を示している。
図3に示すように、磁気パターンMaは、各磁気センサ32A、32B、33C、33Dにおいて、例えば山部分と谷部分とが同位相で繰り返される矩形波として検出される。制御部CONTは、例えば1つの山部分と1つの谷部分とが検出されたら、磁石部材Mの回転数を1つカウントする。本実施形態において、磁気センサ32A、33C、32B、33Dは回転軸40を中心として45°ずれた角度でそれぞれ配置されているため、各磁気センサ32A、33C、32B、33Dにおいて検出される検出波形は45°ずつ位相がずれた状態でそれぞれ検出される。
制御部CONTは、磁気センサ32A及び32Bの検出結果から算出される第1回転情報(例、検出波形の位相や該位相に基づく回転数)と、磁気センサ33C及び33Dの検出結果から算出される第2回転情報(例、検出波形の位相や該位相に基づく回転数)とを比較し、比較結果に応じて第1磁気パターン検出部32(磁気センサ32A及び32B)及び第2パターン検出部(磁気センサ33C及び33D)における検出異常の有無を判断する。
ここで、磁気センサ32A、33C、32B、33Dは回転軸40を中心として45°ずれた角度でそれぞれ配置されているため、正常時において上記の第1回転情報と第2回転情報とは、互いの位相差が45°を超えて互いの回転数が1回転以上の差は生じない。従って、制御部CONTは、第1回転情報と第2回転情報とにおける互いの位相差が45°より大きく、第1回転情報と第2回転情報とにおける互いの回転数が1回転以上の場合に、磁気センサ32A、32B、33C、33Dのうちいずれか1つ以上に検出異常が発生したとして判断することができる。また、制御部CONTは、例えば第1回転情報における位相と第2回転情報における位相との位相差が45°より大きくなる場合には、磁気センサ32A、32B、33C、33Dのうちいずれか1つ以上に検出異常が発生したとして判断することができる。上記のような判断は、制御部CONT内の異常判断手段によって行われる。このように第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33の検出異常が検出される。検出異常が検出された場合、制御部CONTは、検出異常を警報として出力する、或いは検出異常を含む検出結果については回転数をカウントしない、などの動作を行わせる。なお、制御部CONTは、磁気センサ32A、33Cにおける互いの位相差が45°より大きく、磁気センサ32A、33Cにおける互いの回転数が1回転異常の場合に、上述の検出異常が発生したとして判断するようにしてもよい。
上記のように、本実施形態によれば、磁気パターンMaを有し、回転軸40を中心として回転する回転部材Rと、当該磁気パターンMaを検出する第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33と、を備えることとしたので、例えば磁気センサ32A、32B、33C、33Dのうち1つ以上の磁気センサに検出異常が発生した場合、制御部CONTにおいて回転情報を算出しないなどの処理を行わせることができる。これにより、検出異常を含む回転情報が検出されてしまうのを防ぐことができるため、所期の検出精度を維持することができる。
本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を加えることができる。
例えば、上記実施形態においては、第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33を設けて、第1磁気パターン検出部32の検出結果と第2磁気パターン検出部33の検出結果とを比較することで、第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33の検出異常を検出できる構成としたが、これに限られることは無い。例えば第1磁気パターン検出部32のみを設けて、当該第1磁気パターン検出部32の検出異常を検出する別の機構を設ける構成としても構わない。
また、上記実施形態では、主電源34が本体部Dに設けられた構成としたが、これに限られることは無く、例えば主電源34が本体部Dの外部に設けられる構成であっても構わない。この場合、例えば本体部Dには、バックアップ電源35のみが設けられた構成となる。
また、上記実施形態では、第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33の検出異常を検出可能な構成としたが、これに限られることは無く、例えば光反射パターン検出部31の検出異常を検出可能な構成としても構わない。
また、上記実施形態では、エンコーダECの本体部Dとして、筐体30に第1磁気パターン検出部32や第2磁気パターン検出部33などの各構成要素が設けられた構成を例に挙げて示したが、当該構成はあくまでも一例であり、これに限られることは無い。例えば本体部Dが上記各構成要素を搭載した回路基板を有すると共に、当該回路基板を保護するカバー部材を有する構成としても勿論構わない。
また、上記実施形態では、第1磁気パターン検出部32、第2磁気パターン検出部33が主電源34からバックアップ電源35に切り替えて接続されたときに検出異常を検出する構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば主電源34に接続されている状態で定期的又は不定期に検出異常を検出しても構わない。また、主電源34からバックアップ電源35に切り替えるタイミングを含む期間で検出異常を検出するようにしても構わない。
また、上記実施形態では、パターンとして光反射パターン24及び磁気パターンMaが設けられた構成を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば光反射パターン24のみが設けられた構成や、磁気パターンMaのみが設けられた構成であっても本発明の適用は可能である。
また、上記実施形態では、光反射パターン検出部31、第1磁気パターン検出部32及び第2磁気パターン検出部33が検出する回転情報として、回転数を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、例えば回転角度や回転位置など、回転に関する他の情報を検出する場合においても、本発明の適用は可能である。
EC…エンコーダ R…回転部材 M…磁石部材 Ma…磁気パターン CONT…制御部 BATT…電源部 32…第1磁気パターン検出部 33…第2磁気パターン検出部 32A、32B、33C、33D…磁気センサ 34…主電源 35…バックアップ電源 40…回転軸

Claims (11)

  1. パターンを有し、回転軸を中心として回転する回転部と、
    前記パターンを検出するパターン検出部と、
    前記パターン検出部とは別に前記パターンを検出する第2パターン検出部と、
    前記パターン検出部又は前記第2パターン検出部における検出異常の有無を検出する制御部と
    を備えるエンコーダ。
  2. 前記制御部は、
    前記パターン検出部による検出結果及び前記第2パターン検出部による検出結果に基づいて前記検出異常の有無を判断する異常判断手段を有する
    請求項1に記載のエンコーダ。
  3. 前記異常判断手段は、前記パターン検出部による検出結果及び前記第2パターン検出部による検出結果における互いの位相差に基づいて、前記検出異常の有無を判断する
    請求項2に記載のエンコーダ。
  4. 前記パターンは、磁気パターンを含み、
    前記パターン検出部は、前記磁気パターンによる磁場を検出する第1磁場検出部を有する
    請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
  5. 前記第1磁場検出部は、前記回転部の回転方向において所定角度ずれた位置に配置される一対の第1磁場検出器を有し、
    前記検出異常は、前記一対の第1磁場検出器のうち少なくとも一方に生じる検出異常を含む
    請求項4に記載のエンコーダ。
  6. 前記第2パターン検出部は、前記第1磁場検出部とは異なる位置で前記磁場を検出する第2磁場検出部を有し、
    前記第2磁場検出部は、前記回転部の回転方向に前記所定角度ずれた位置に配置される一対の第2磁場検出器を有する
    請求項5に記載のエンコーダ。
  7. 前記第2パターン検出部は、前記第1磁場検出部からの検出結果と前記第2磁場検出部からの検出結果とに基づいて前記検出異常の有無を検出する
    請求項6に記載のエンコーダ。
  8. 少なくとも前記パターン検出部及び前記第2パターン検出部に電気的に接続される主電源のオフ時において少なくとも前記パターン検出部及び前記第2パターン検出部に前記主電源から切り替えて接続されるバックアップ電源を更に備え、
    前記検出異常は、前記バックアップ電源に接続された前記パターン検出部の検出異常を含む
    請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載のエンコーダ。
  9. 測定対象の回転軸部材に固定される回転部に設けられたパターンを、パターン検出部及び第2パターン検出部によって検出するパターン検出工程と、
    前記パターン検出部又は前記第2パターン検出部における検出異常の有無を、制御部によって検出する異常検出工程と
    を有するエンコーダのパターン検出方法。
  10. 前記異常検出工程は、少なくとも前記パターン検出部及び前記第2パターン検出部に電気的に接続される電源が主電源からバックアップ電源に切り替えられたときに前記検出異常を検出することを含む
    請求項9に記載のエンコーダのパターン検出方法。
  11. 前記異常検出工程は、前記パターン検出部から得られる第1回転情報と前記第2パターン検出部から得られる第2回転情報とに基づいて前記検出異常の有無を検出することを含む
    請求項9又は請求項10に記載のエンコーダのパターン検出方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019087312A1 (ja) * 2017-10-31 2019-05-09 三菱電機株式会社 回転角検出装置
JPWO2019087312A1 (ja) * 2017-10-31 2019-11-14 三菱電機株式会社 回転角検出装置

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