JPWO2017018383A1 - センサ基板およびセンサ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 絶縁基板と、
該絶縁基板の主面に設けられた検知電極と、
前記絶縁基板の内部に設けられ、発熱電極を含む抵抗配線とを有しており、
該抵抗配線は、前記発熱電極に接続され、配線および他の配線が並列に接続された多層配線部を有していることを特徴とするセンサ基板。 - 前記多層配線部は、前記配線および前記他の配線が前記絶縁基板の厚み方向に多層に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のセンサ基板。
- 前記配線または前記他の配線は、前記発熱電極に接続された端部から他の端部にかけて幅が漸次狭くなっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のセンサ基板。
- 前記配線および前記他の配線は、前記絶縁基板の厚み方向において隣接しており、平面透視で互いに重ならないように配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のセンサ基板。
- 平面透視において、前記他の配線が前記配線に挟まれるように配置されていることを特徴とする請求項4に記載のセンサ基板。
- 平面透視において、前記配線と前記他の配線とが互いに挟まれる部分を有するように配置されていることを特徴とする請求項4に記載のセンサ基板。
- 前記検知電極は、くし歯状のパターンであり、互いにかみ合うように配置されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のセンサ基板。
- 請求項1乃至請求項7のいずれかに記載のセンサ基板と、
前記発熱電極に電位を供給する電源部とを有していることを特徴とするセンサ装置。
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