JPWO2017002186A1 - 工具形状測定装置 - Google Patents

工具形状測定装置 Download PDF

Info

Publication number
JPWO2017002186A1
JPWO2017002186A1 JP2017525711A JP2017525711A JPWO2017002186A1 JP WO2017002186 A1 JPWO2017002186 A1 JP WO2017002186A1 JP 2017525711 A JP2017525711 A JP 2017525711A JP 2017525711 A JP2017525711 A JP 2017525711A JP WO2017002186 A1 JPWO2017002186 A1 JP WO2017002186A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tool
contour
line sensor
region
light receiving
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017525711A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6425815B2 (ja
Inventor
正隆 矢内
正隆 矢内
孝一 上村
孝一 上村
麗奈 大橋
麗奈 大橋
俊介 隈崎
俊介 隈崎
彰人 船職
彰人 船職
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Big Daishowa Co Ltd
Original Assignee
Big Daishowa Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Big Daishowa Co Ltd filed Critical Big Daishowa Co Ltd
Publication of JPWO2017002186A1 publication Critical patent/JPWO2017002186A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6425815B2 publication Critical patent/JP6425815B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/2452Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves for measuring features or for detecting a condition of machine parts, tools or workpieces
    • B23Q17/2457Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves for measuring features or for detecting a condition of machine parts, tools or workpieces of tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/22Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools for indicating or measuring existing or desired position of tool or work
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/248Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods
    • B23Q17/2485Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods using interruptions of light beams
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2433Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring outlines by shadow casting
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/28Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring areas

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)

Abstract

複数の刃先を備えた工具の形状異常を簡便な構成で検出できる工具形状測定装置を提供する。受光部6は、受光レンズ6aの光軸6bに垂直な受光面9を備えると共に、受光面9には、複数のセンサ素子が一方向に配列されたラインセンサ8が異なる方向に複数配置される。ラインセンサ8は、工具4によって照射光Lが完全に遮られる第1領域と、当該第1領域に隣接して照射光Lの一部が遮られた状態で到達する第2領域と、第2領域に隣接して照射光Lが全く遮られずに到達する第3領域とに亘って設置される。演算部21は、工具4の回転に伴うラインセンサ8の出力状態の変化により、第2領域に含まれるセンサ素子の数が最少となったときに、第2領域の中央位置に基づいて工具4の輪郭位置を特定する。

Description

本発明は、工具の刃部形状を測定する工具形状測定装置に関する。
特許文献1には、工具等の撮像対象を撮像し、得られた画像に画像処理を施すことで撮像対象の形状を検出する撮像装置が示されている。この撮像装置では、投光部から工具に向けて光が照射され、レンズを通過した光が、受光部に設けられたエリアセンサによって検出される。エリアセンサはセンサ素子を矩形の面状に配置して構成されている。これにより、工具を全体的に撮像して工具の形状を測定することができる。
特許文献2には、エリアセンサとラインセンサとを併用する工具測定装置が記載されている。工具の形状はエリアセンサによって測定される。これに対し、ラインセンサは、測定領域であるエリアセンサの視野の適正な位置に工具が進入したかを検出するために用いられる。ラインセンサの検出信号がマシニングセンタに出力されると、マシニングセンタによって工具の進入動作が停止されて工具が測定領域に保持される。
特開2007−49489号公報 特開2012−86350号公報
特許文献1及び2の撮像装置を用いることで、複数の刃部を有する工具の全体的な形状を測定することができる。ただし、工具は通常回転状態にして形状が測定されるため、複数の刃部の一つが欠損した場合に、その欠損を検出できないことがある。これは、回転状態の工具では、刃部の一つが欠損しても工具の輪郭に変化が生じないためである。
上記実情に鑑み、複数の刃部を有する工具の形状異常を簡便な構成で検出できる工具形状測定装置が望まれる。
本発明に係る工具形状測定装置の特徴構成は、外周に複数の刃部を有する工具の形状を測定する際に、
前記工具に向けて照射光を発する投光部と、
前記工具を挟んで前記投光部とは反対側に配置され、前記照射光をレンズを介して受光すると共に、前記工具の輪郭が前記レンズによって結像する位置に設定された受光部と、
前記受光部による検知信号に基づいて前記工具の輪郭位置を演算する演算部と、を備え、
前記受光部は、前記レンズの光軸に垂直な受光面を備えると共に、当該受光面には、複数のセンサ素子が一方向に配列されたラインセンサが異なる方向に複数配置され、
前記ラインセンサは、前記工具によって前記照射光が完全に遮られる第1領域と、当該第1領域に隣接して前記照射光の一部が遮られた状態で到達する第2領域と、該第1領域に隣接して前記照射光が全く遮られずに到達する第3領域とに亘って設置され、
前記演算部は、前記工具の回転に伴う前記ラインセンサの出力状態の変化により、前記第2領域に含まれる前記センサ素子の数が最少となったときに、前記第2領域の中央位置に基づいて前記工具の輪郭位置を特定する点にある。
本構成では、工具の輪郭の撮像画像がラインセンサの位置で結像するようにレンズ及びラインセンサが設定されている。つまり、工具の刃部のうち、回転軸芯を含んでラインセンサに平行な平面上に位置する刃部の輪郭が、ラインセンサを設けた受光面上に結像する。今、受光面上において刃部の輪郭がラインセンサと交差している場合、ラインセンサを構成するセンサ素子のうち刃部の影となる部位にあるセンサ素子(第1領域)には照射光が届かない。つまり、この第1領域に存在するセンサ素子には起電力が生じない。一方、センサ素子のうち刃部の影とならない部位にあるセンサ素子(第3領域)には、照射光が全く遮られることなく到達する。ここでのセンサ素子に生じる起電力は最大となる。
さらに、センサ素子のうち、第1領域に含まれるものと第3領域に含まれるものとの間には、光の一部が工具によって遮られた照射光を受光するセンサ素子が存在する(第2領域)。例えば、第2領域に含まれるセンサ素子にあっては、工具の輪郭が受光面に結像した状態で、一つのセンサ素子の半分の領域には光が照射され、残りの領域は工具の陰になって照射光が届かないものが存在し得る。このような場合、当該センサ素子の起電力は第1領域にあるものの起電力と第3領域にあるものの起電力との間の値になる。
仮に、ラインセンサの延出方向と工具の輪郭の延出方向とが垂直である場合、結像された工具の輪郭と重なるセンサ素子の数が最小になる。一方、ラインセンサの延出方向と工具の輪郭の延出方向とが平行に近付くほど、結像された工具の輪郭と重なるセンサ素子の数が多くなる。つまり、一部の光しか受光できないセンサ素子の数が多くなって上記第2領域の範囲が広がる。このように、ラインセンサと工具の輪郭とが垂直に近い角度で交わっているほど、第2領域に分類されるセンサ素子の数が少なくなり、工具の輪郭の位置を特定し易くなる。工具の輪郭の位置は、例えば、第2領域に含まれるセンサ素子のうち中央の位置とする。
また、受光部に結像する測定対象の位置は、受光部からみて工具の回転軸芯と等距離にある部位に設定される。測定対象の位置は工具の輪郭であるから、工具の回転に際して、工具の特定の刃部が、回転軸芯と等距離の位置に達したとき、即ち、回転軸芯から最も遠ざかる位置に達したときに刃部の輪郭が受光部に結像する。この状態で刃部の輪郭を測定する。
これに対し、工具の回転位相が、当該測定位置の前後の何れかにある状態では、受光面における刃部の結像は焦点がずれたものとなる。このような所謂ピンボケ状態では、レンズを通った光が収束しきれず拡散したものとなり、結果として上記第2領域に分類されるセンサ素子の数が多くなる。
このように、本構成であれば、刃部の輪郭が受光面に対して回転軸芯と等距離にあるときに刃部のピントが最も合うこととなる。この時に第2領域に分類されるセンサ素子のうち中央にあるものの位置が工具の輪郭の位置となる。
また、本構成の工具形状測定装置では、複数のラインセンサを異なる方向に延出した状態で設けてあるから、例えば、エンドミルのように回転軸芯に対して直角方向の切削面と回転軸芯に対して平行な切削面とを有する工具であっても、何れか一つのラインセンサを用いて所定の部位の輪郭を測定することができる。
本発明に係る工具形状測定装置の他の特徴構成は、前記ラインセンサが、前記工具の回転軸芯と平行に設置された第1ラインセンサと、当該第1ラインセンサの両端部のうち、前記工具の基端部に近い側の端部に近接する位置を中央にして前記第1ラインセンサに対して直角に設置された第2ラインセンサとを備えている点にある。
ラインセンサが検知する光の濃淡は、刃部の輪郭に対して直角方向において最も変化が大きくなる。先端が径方向及び軸芯方向に外形を持つ工具を測定するには、2方向に沿ってラインセンサを配置する方がよい。その場合に、本構成の如く、ラインセンサを直角方向に配置すると、仮に一方のラインセンサが工具の輪郭の接線方向に位置した場合でも、他方のラインセンサは直角方向に位置するため、2方向の何れかのラインセンサで輪郭を測定できる領域が最大となる。
特に、工具の側部輪郭は、回転軸芯と平行なことが多いが、本実施形態の場合、第2ラインセンサが回転軸芯と直角な配置となる。また、もう一方の第1ラインセンサは、工具の端面に対して直角に近い深い角度で交差させることが可能である。よって、本構成であれば、工具の輪郭をより正確に測定することができる。
本発明に係る工具形状測定装置の他の特徴構成は、前記工具の回転位相を認識する位相検出部を備え、
前記複数の刃部の夫々の輪郭位置を加工前後の異なる時間に測定した結果に基づいて算出される双方の前記輪郭位置の差を振れ幅とし、
当該振れ幅が予め設定した閾値を超えているとき、前記刃部の形状が異常であると特定する点にある。
本構成の如く、刃部毎に異なる時間での振れ幅を比較することで、例えば所定の加工を行う前後の刃部の状態を比較することができる。その際、形状測定は刃部毎に行うので、刃部の形状異常を早期に発見することができる。
本発明に係る工具形状測定装置の他の特徴構成は、前記複数の刃部の夫々につき、前記刃部の延出方向に沿った二箇所で測定した双方の前記輪郭位置の差を振れ幅とし、
当該振れ幅が予め設定した閾値を超えているとき、前記刃部の形状が異常であると特定する点にある。
本構成の如く、工具における複数の位置での振れ幅を比較することで、例えば工具の先端部から離れた未使用の部位での形状と、工具先端部の既に加工に使用された部位での形状との比較ができる。よって、時間を変えて測定することなく工具の形状異常を簡易に検出することができる。
本発明に係る工具形状測定装置の他の特徴構成は、
前記演算部による前記工具の輪郭位置を演算すべく、前記工具の刃数を入力する入力部を備え、
前記演算部が、
予め設定してある前記工具の測定回転速度と前記刃数とに応じて夫々の刃部の測定周期を算出し、前記ラインセンサによって前記輪郭位置の移動を測定し、前記輪郭位置が、前記ラインセンサの長手方向に沿った一方に向けて移動し、次に逆方向に反転した時点で、当該反転位置を確定輪郭位置とし、当該確定輪郭位置を得た状態での前記工具の回転位相を基準にして、前記測定周期を半周期ずらせた位相を測定開始及び測定終了の切替位相とするように測定タイミングを設定し、夫々の前記刃部の確定輪郭位置を少なくとも一回測定し、各刃部の確定輪郭位置のうち、前記工具の回転軸芯から最も離れた最大輪郭位置と、前記回転軸芯に最も近い最小輪郭位置との差に基づいて工具の振れを測定するように構成することができる。
本構成のようにラインセンサを用いて刃部の輪郭位置を測定するものであれば、従来の測定装置のように2次元の画素データを用いて画像処理を行う必要がなく、演算負荷を極めて低く抑えることができる。また、演算負荷が少ないため刃部の輪郭位置の演算が迅速なものとなり、工具の回転速度を高めて測定処理時間を短くすることができる。さらに、輪郭位置の測定は、所定の刃数を備えた刃部に対して任意の回転分だけ測定可能であり、測定精度を容易に高めることができる。
マシニングセンタに備えられた工具形状測定装置の概略図である。 T字状のラインセンサを示す図である。 ラインセンサに被測定物を重ねた図である。 ラインセンサの出力状態を示す概略図である。 各刃の振れ判定を行うフローチャートである。 使用前後の各刃の振れ判定値を比較したグラフである。 刃部の軸方向の振れを測定する例を示す図である。 刃部に複数の測定箇所を設ける例を示す図である。 各刃の複数個所を測定して振れ判定を行うフローチャートである。 ねじれた刃部に測定箇所を設ける例を示す図である。 回転軸芯(Z軸)方向の基準位置の説明図である。
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
〔全体構成〕
工具形状測定装置100は、例えば外周に複数の刃部を有する穿孔用ドリル、フライス加工用のカッタ等の精密加工用の工具の形状測定に用いられる。図1に示すように、工具形状測定装置100は、撮像部1とコントローラ2とによって構成されている。撮像部1は工具4が装着されたコンピュータ数値制御(CNC:Computerized Numerical Control)式の工作機械3に設置される。
撮像部1は、工具4に向けて照射光Lを発する投光部5と、工具4を挟んで投光部5と反対の側に配置される受光部6と、投光部5から照射した光を工具4の側に集光させる投光レンズ5aを有する。投光部5は発光ダイオード(LED)等によって構成される。工具4を挟んで投光レンズ5aと反対側には、工具4の輪郭を撮影する受光レンズ6aが設けられている。受光レンズ6aによって集められた光は、ミラー7によって曲げられ、ラインセンサ8を備えた受光部6に結像する。ラインセンサ8は、複数のセンサ素子81が一方向に配列されて形成されている。また、ミラー7は、ラインセンサ8に対して受光レンズ6aの光軸がずれている場合に光軸の調節が可能である。
ラインセンサ8の位置は、工具4の表面形状のうちラインセンサ8から工具4の回転軸芯Zと等距離にある部位の撮像が受光レンズ6aによって焦点を結ぶように設定されている。受光レンズ6aの焦点深度は例えば約0.1mmである。工具4の刃先4bの像は受光レンズ6aによって受光部6に拡大投影される。これにより、例えば光軸に対して垂直方向に約1μm程度の精度で工具4の輪郭位置を判別することができる。
ラインセンサ8が受光すると、光の明暗に応じて起電力が発生する。この起電力に基づいて検知信号が生成され、検知信号はコントローラ2に設けられた演算部21に送られる。演算部21では、工具4の輪郭位置の特定が行われる。測定された輪郭位置を示す値は撮像部1の側面位設けられた表示部10に表示される。
図2に示すように、受光部6には受光レンズ6aの光軸に垂直な受光面9が設けられている。受光面9には二本のラインセンサ8が互いに垂直となる姿勢で配置されている。例えば、工具4の先端部4aの輪郭を測定する場合を想定する。仮に、ラインセンサ8が一方向の一本のみであれば、工具4の先端部4aの何れかの部位に対してラインセンサ8の姿勢が接線方向になる場合が生じる。このような位置ではラインセンサ8を構成する複数のセンサ素子81(図4参照)において受光量の差が出難くなり、先端部4aの輪郭位置を正確に検出することができない。そこで、受光部6には、工具4の表面に対して垂直に近い交差角を有する状態でラインセンサ8の方向を設定するよう、異なる二つの方向に複数のラインセンサ8a、8bが設けられている。
本実施形態では、ラインセンサ8は、工具4の回転軸芯Zと平行に設置された第1ラインセンサ8aと、第1ラインセンサ8aに対して直角に設置された第2ラインセンサ8bとを備えている。第2ラインセンサ8bは第1ラインセンサ8aの両端部のうち工具4の基端部に近い側の端部に近接して設置されている。
図2に示すように、第1・第2ラインセンサ8a,8bは、受光面9に設けられたT字状の凹溝9aに配置される。こうすることで、撮像部1の内部で乱反射した光が第1・第2ラインセンサ8a,8bに入射するのを遮ることができ、第1・第2ラインセンサ8a,8bの検出精度を高めることができる。また、第1・第2ラインセンサ8a,8bには工具4の輪郭画像が拡大して投影されるから、第1・第2ラインセンサ8a,8bは高い解像度を有する。したがって、第1・第2ラインセンサ8a,8bの取付面となる受光面9は金属研磨面等によって正確な平面に形成されている。
図3には、第1ラインセンサ8a及び第2ラインセンサ8bに対して工具4の撮像画像が重なった様子が示されている。図3では、工具4の先端部4aが第1ラインセンサ8aの中程に位置している。第1ラインセンサ8aの中程に示した黒丸は、あらかじめ設定された仮想の基準位置である。測定に際しては、工具4の先端部4aがこの基準位置から通過した距離を測定する。一方の第2ラインセンサ8bは工具4に対して回転軸芯Zと垂直な方向に交差している。この状態では、第1ラインセンサ8aは一箇所の輪郭位置を測定可能であり、第2ラインセンサ8bは二箇所の輪郭位置を測定可能である。
第2ラインセンサ8bによる受光の様子を図4に示す。図4の(a)〜(c)の順に、工具4が時計方向に回転し、夫々の刃先4bの輪郭が第2ラインセンサ8bに結像する様子を示している。中央の図4(b)が受光レンズ6aによって刃先4bの像が第2ラインセンサ8b上に合焦した状態である。受光レンズ6aの焦点深度は例えば約0.1mmであり、刃先4bがこの位置から前後に0.1mm以内の位置にある場合にはピントが合うこととなる。
図4(a)では、受光レンズ6aから刃先4bまでの距離が遠く、刃先4bの位置は、受光レンズ6aの光軸6bに対して図中左側にオフセットしている。この場合、焦点は、第2ラインセンサ8bの手前かつ光軸6bの右側となって所謂ピンボケ状態となる。逆に、図4(c)では、受光レンズ6aから刃先4bまでの距離が近い。刃先4bの位置は、光軸6bに対して左側である。この場合、焦点は、第2ラインセンサ8bの奥側かつ光軸6bに対して右側となって、やはりピンボケ状態となる。
例えば、図4(a)の場合、第2ラインセンサ8bには、工具4によって照射光Lが遮られない完全に遮られる第1領域Aと、第1領域Aに隣接して照射光Lの一部が遮られる第2領域Bと、第2領域Bに隣接して照射光Lが全く遮られない第3領域Cとが形成される。工具4の輪郭位置の検知は、焦点近傍にあるセンサ素子81によって行われる。
図4から明らかなように、図4(b)では、第2ラインセンサ8bの表面位置でピントが合うため、センサ素子81は、第1領域Aあるいは第3領域Cに属するものとなる。ここでは第2領域Bに分類されるセンサ素子81の数はゼロ或いは極めて少ない数となる。
一方、図4(a)及び図4(c)の場合、刃先4bの撮像焦点が第2ラインセンサ8bの表面位置に合わず、所謂ピンボケ状態となる。このため、幾つかのセンサ素子81では光量が減じられた受光となり、第2領域Bに分類されるセンサ素子81の数が増えることとなる。
演算部21では、図4の夫々の場合において、第2領域Bに分類されるセンサ素子81の中央位置、或いは、第1領域A及び第3領域Cの境界位置をその瞬間における工具4の輪郭位置として特定する。
輪郭位置は、工具4の回転に伴い、受光レンズ6aの光軸6bに垂直な方向に沿って移動する。図4から明らかな如く、刃先4bの撮像画像のピントが合った状態(図4(b))で、輪郭位置は、第2ラインセンサ8bの長手方向に沿って回転軸芯Zに最も近い位置となる。刃先4bがそれ以外の位置にある場合には、撮像画像のピントが合わず、演算された輪郭位置は回転軸芯Zから遠ざかることとなる。よって、本実施形態において演算部21は、輪郭位置が工具4の回転軸芯Zに最も近付いた位置を確定輪郭位置として特定する。
〔各刃先の形状測定〕
刃先4bの検査は適宜のタイミングで行うことができる。例えば、工具4を仕上げ加工に用いる前に行うと、より精密な加工が可能となる。また、所定の加工ワークにつき予め設定した加工個数毎に行ってもよいし、加工時間毎に行ってもよい。さらには、加工線長毎に行ってもよい。
複数の刃先4bを備える工具4においては、例えば図7に示すように、特定の刃先4bが欠損する場合がある。特に、工具4の径が小さいと刃先4bの摩耗や欠損を目視では確認することができない。本実施形態の工具形状測定装置100では、以下の手順により各刃先4bの形状異常を特定する。例えば、複数の刃部(刃先4b)の夫々の輪郭位置を加工前後の異なる時間に測定した結果に基づいて算出される双方の輪郭位置の差を振れ幅とし、当該振れ幅が予め設定した閾値を超えているとき、刃部の形状が異常であると特定する。
図1に示すように、工作機械3には、工具4の回転位相を認識する位相検出部31が備えられている。位相検出部31は、機械主軸に備えたサーボエンコーダや、工具4に取り付けた反射シールや切溝等の目印により、工具4の回転位相を認識する。工具4の形状測定に際しては、工具4に対して上記目印などによって測定開始の基点を設定する。その後、位相検出部31により工具4の回転位相を把握しつつ、各刃先4bについて形状を測定する。なお、コントローラ2または工作機械3には、工具4の刃数を入力する入力部が備えられている。
以下、測定態様の詳細を図5のフローチャートに示す。複数の刃先4bに対し、決定された基点に基づいて刃先4bに順に識別番号(例えば1,2,・・・n)を付与し、工具4を連続的に回転させて、一定周期で刃先4bの形状測定を行う。
ステップ♯1で測定周期を計算する。一例として、測定対象の工具4が100回/分で回転し刃先4bが4枚である場合を想定する。この場合、一回転の周期は0.6秒であり、1つの刃先4bの測定周期0.15秒となる。
次に、ステップ#2において、工具4の回転位相の基点を決定する。ステップ#3において輪郭位置の最大値を取得し、刃先4bの測定タイミングを演算する。この測定タイミングに対し、測定周期を1/2だけ進める(ステップ#4)。即ち、ラインセンサ8bによって輪郭位置の移動を測定し、輪郭位置が、ラインセンサ8bの長手方向に沿った一方に向けて移動し、次に逆方向に反転した時点で、当該反転位置を確定輪郭位置とし、当該確定輪郭位置を得た状態での工具4の回転位相を基準にして、測定周期を半周期ずらせた位相を測定開始及び測定終了の切替位相とするように測定タイミングを設定する。これにより、測定周期の測定領域に、刃先4bにおいて受光レンズ6aの焦点が合う最大外周位置とその前後の領域が含められる。その後、タイマを作動しつつ(ステップ#5)、番号1の刃先4bの測定を開始する。
ラインセンサ8に含まれるセンサ素子81が最少となり刃先4bの輪郭位置が特定されると、ステップ#6において刃先4bの輪郭位置の最大値、即ち確定輪郭位置の値が更新される。ステップ#7において番号1の刃先4bの測定が終了すると、ステップ#8において刃先4bの番号値と確定輪郭位置の値が記憶される。ステップ♯9においてN値を1だけ増加し、以降、番号2〜4の刃先4bについて同様の測定を行う(ステップ#5〜10)。
ステップ#10において4枚の刃先4bに対して所定回数の測定が終了すると、ステップ#11において使用前の測定データと比較し夫々の刃先4bの振れ幅を計算する。
刃先4bの輪郭は、例えば工具4の径方向においては工具4の回転軸芯Zの位置を基準に増減を繰り返す。このため、径方向の一端側において刃先4bの輪郭を測定することで、夫々の刃先4bの軸心から刃先4bの輪郭までの距離である「振れ」を測定することができる。
図6には、6mmφのエンドミルにつき、径方向の一端側の刃先4bの振れを測定した結果を示す。図6中、点線が加工前の測定結果であり、実線が加工後の測定結果である。
加工前の測定結果によれば、2番の刃先4bの測定値が最も大きく1.020mmであった。これに対して最小の測定値は4番の刃先4bで0.960mmであった。よって、これらの差から加工前の「振れ」は0.060mmであったことがわかる。
一方、加工後の測定結果によれば、最大の測定値は1番の刃先4bで0.980mm、最小の測定値は4番の刃先4bで0.950mmであった。よって、加工後の「振れ」は0.030mmであり、加工前の半分に落ち着いたことになる。
ただし、2番の刃先4bに注目すると、加工前の測定値が1.020mmであったものが加工後には0.969mmとなり、0.051mm減少していた。1番、3番、4番の刃先4bについては、加工後は加工前に比べて何れも0.010mm短く測定された。この結果から、本実施形態では、1番、3番、4番については加工による摩耗が原因で測定値が小さくなったと判断した。一方、2番の刃先4bについては、測定値の減り方が急激であり、摩耗ではなく刃先4bの欠損と判断した。因みに、欠損であるか否かは工具4のサイズによってある程度の閾値の設定が可能である。6mmφのエンドミルの場合には欠損であることの閾値として例えば0.020mmを設定することができる。尚、欠損が存在する場合には、刃先4bの輪郭がラインセンサ8の検知範囲に収まらず、定期的に検出されるべきピークが現れない場合もある。このような閾値は、例えば、加工個数や加工線長など測定のインターバルによって適宜設定することができる。
図6では、工具4の径方向(X軸方向)において一端位置を測定した例を示した。ただし、本実施形態では、工具4の軸芯方向(Z軸方向)の第1ラインセンサ8aを備えているため、径方向に加えて刃先4bの軸方向の先端部4aの振れ幅を測定することができる。こうすると、図7に示すように、軸芯方向(Z軸方向)での刃先4bの欠損を特定することができる。
〔第2実施形態〕
工具4の測定部位は、複数の刃先4bの夫々につき、刃先4bの延出方向に沿った二箇所を設けてもよい。図8に、刃先4bの回転軸芯Zの方向に二箇所の測定部位41,42を設けた例を示す。例えば、第1測定部位41は加工に用いられる部位から離れて加工による摩耗が生じない健全位置に設け、第2測定部位42は加工に使用された先端部4aの近傍に設ける。
測定した双方の輪郭位置の差を振れ幅とし、当該振れ幅が予め設定した閾値を超えているとき、刃先4bの形状が異常であると特定する。
図9に、この場合の測定態様のフローチャートを示す。この場合の測定では、図5に示したものに加えて工具4の別の位置で刃の輪郭位置を測定する。例えば、最初の測定では、工具4の刃のうち先端部4aから離れた位置にある未使用部分について測定する。この第1測定部位41での測定は、図9においては、ステップ#1〜ステップ#11である。特にステップ#11は、図5では刃先4bの振れ計算を行ったが、ここでは第1測定部位41での各刃先4bの輪郭位置につき夫々の最大値を記憶する。
続くステップ#12では、工具4の位置を移動させる。この位置は、図8に示した如く、工具4の先端部4aに設けた第2測定部位42である。次に、第2測定部位42での各刃先4bの位相と、先に測定した第1測定部位41での各刃先4bの位相との相対位置関係を確認する。例えば、図8に示す例のように、各刃先4bが工具4の回転軸芯Zの方向に沿って平行である場合には、第1測定部位41及び第2測定部位42での各刃先4bの回転位相は等しくなる。よって、この場合には、ステップ#13での第1測定部位41及び第2測定部位42での刃先4bの位相確認は、同じ位相であることを確認すればよく、ステップ#14での測定周期をずらす必要もない。
第2測定部位42での刃先4bの位相が把握できれば、ステップ#15〜ステップ#21まで、第1測定部位41での測定と同様に各刃先4bの輪郭位置を測定し、第2測定部位42での各刃先4bの輪郭位置の最大値を記憶する。
この後、ステップ#22で、第1測定部位41での測定結果と第2測定部位42での測定結果との差を求め、各刃先4bの輪郭位置が加工前後でどのように変化しているかを演算する。例えば、6mmφのエンドミルであれば、前述の如く0.020mmを閾値とし、それ以内であれば通常の摩耗と判断し、閾値を超えていれば欠損と判断する。
このように工具4における複数の測定部位での振れ幅を比較することで、例えば加工部から離れた健全位置での形状と、刃先4bの加工に使用された部位との比較ができ、時間を変えて測定することなく工具4の形状異常を簡易に検出することができる。
尚、刃先4bが回転方向にねじれている場合は、図10に示すように、共通の刃先4bであっても、第1測定部位41の位相と第2測定部位42の位相とは異なる位相となる。そのため、第1測定部位41と第2測定部位42との回転方向の位相差を図9のステップ#13で確認しておき、第1測定部位41及び第2測定部位42における測定値の差を算出する。
〔他の実施形態〕
工具4の回転軸芯Zの方向で工具4の形状を測定する場合、図11に示すように、工具4のうちシャンク径が細くなり始める中間部43、工具4の基端部44を基準位置に設定してもよい。本実施形態のように、工具4の中間部43や基端部44は加工対象と接触しない部分を加工前後の比較のための基準位置に設定することで、測定値の精度が安定する。
本発明は、各種の工具の形状測定に広く利用することができる。
1 撮像部
2 コントローラ
4 工具
4b 刃先
5 投光部
6 受光部
6a 受光レンズ
8 ラインセンサ
8a 第1ラインセンサ
8b 第2ラインセンサ
9 受光面
21 演算部
31 位相検出部
100 工具形状測定装置
A〜C 第1〜第3領域
L 照射光

Claims (5)

  1. 外周に複数の刃部を有する工具の形状測定装置であって、
    前記工具に向けて照射光を発する投光部と、
    前記工具を挟んで前記投光部とは反対側に配置され、前記照射光をレンズを介して受光すると共に、前記工具の輪郭が前記レンズによって結像する位置に設定された受光部と、
    前記受光部による検知信号に基づいて前記工具の輪郭位置を演算する演算部と、を備え、
    前記受光部は、前記レンズの光軸に垂直な受光面を備えると共に、当該受光面には、複数のセンサ素子が一方向に配列されたラインセンサが異なる方向に複数配置され、
    前記ラインセンサは、前記工具によって前記照射光が完全に遮られる第1領域と、当該第1領域に隣接して前記照射光の一部が遮られた状態で到達する第2領域と、該第2領域に隣接して前記照射光が全く遮られずに到達する第3領域とに亘って設置され、
    前記演算部は、前記工具の回転に伴う前記ラインセンサの出力状態の変化により、前記第2領域に含まれる前記センサ素子の数が最少となったときに、前記第2領域の中央位置に基づいて前記工具の輪郭位置を特定する工具形状測定装置。
  2. 前記ラインセンサが、前記工具の回転軸芯と平行に設置された第1ラインセンサと、当該第1ラインセンサの両端部のうち、前記工具の基端部に近い側の端部に近接する位置を中央にして前記第1ラインセンサに対して直角に設置された第2ラインセンサとを備えている請求項1に記載の工具形状測定装置。
  3. 前記工具の回転位相を認識する位相検出部を備え、
    前記複数の刃部の夫々の輪郭位置を加工前後の異なる時間に測定した結果に基づいて算出される双方の輪郭位置の差を振れ幅とし、
    当該振れ幅が予め設定した閾値を超えているとき、前記刃部の形状が異常であると特定する請求項1又は2に記載の工具形状測定装置。
  4. 前記複数の刃部の夫々につき、前記刃部の延出方向に沿った二箇所で測定した双方の前記輪郭位置の差を振れ幅とし、
    当該振れ幅が予め設定した閾値を超えているとき、前記刃部の形状が異常であると特定する請求項1又は2に記載の工具形状測定装置。
  5. 前記演算部による前記工具の輪郭位置を演算すべく、前記工具の刃数を入力する入力部を備え、
    前記演算部が、
    予め設定してある前記工具の測定回転速度と前記刃数とに応じて夫々の刃部の測定周期を算出し、
    前記ラインセンサによって前記輪郭位置の移動を測定し、前記輪郭位置が、前記ラインセンサの長手方向に沿った一方に向けて移動し、次に逆方向に反転した時点で、当該反転位置を確定輪郭位置とし、
    当該確定輪郭位置を得た状態での前記工具の回転位相を基準にして、前記測定周期を半周期ずらせた位相を測定開始及び測定終了の切替位相とするように測定タイミングを設定し、
    夫々の前記刃部の確定輪郭位置を少なくとも一回測定し、
    各刃部の確定輪郭位置のうち、前記工具の回転軸芯から最も離れた最大輪郭位置と、前記回転軸芯に最も近い最小輪郭位置との差に基づいて前記工具の振れを測定する、請求項1から4の何れか一項に記載の工具形状測定装置。
JP2017525711A 2015-06-30 2015-06-30 工具形状測定装置 Active JP6425815B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2015/068760 WO2017002186A1 (ja) 2015-06-30 2015-06-30 工具形状測定装置

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018121699A Division JP6710243B2 (ja) 2018-06-27 2018-06-27 工具形状測定装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2017002186A1 true JPWO2017002186A1 (ja) 2018-04-26
JP6425815B2 JP6425815B2 (ja) 2018-11-21

Family

ID=57607966

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017525711A Active JP6425815B2 (ja) 2015-06-30 2015-06-30 工具形状測定装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10189137B2 (ja)
EP (1) EP3318837B1 (ja)
JP (1) JP6425815B2 (ja)
KR (1) KR101892944B1 (ja)
CN (1) CN107532886B (ja)
WO (2) WO2017002186A1 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110487181A (zh) * 2019-08-24 2019-11-22 天津大学青岛海洋技术研究院 一种适用于海洋油气平台的三维激光扫描方法

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107532886B (zh) 2015-06-30 2020-01-24 别格大昭和株式会社 工具形状测定装置
JP6676572B2 (ja) * 2017-03-29 2020-04-08 Ckd株式会社 検査装置及び巻回装置
DE102017117840A1 (de) * 2017-08-07 2019-02-07 Franz Haimer Maschinenbau Kg Erstellung eines digitalen zwillings in einem bearbeitungszentrum
EP3450909A1 (en) 2017-09-05 2019-03-06 Renishaw PLC Non-contact optical tool setting apparatus and method
JP6615285B1 (ja) * 2018-07-20 2019-12-04 株式会社牧野フライス製作所 工具振れ調整方法および工作機械
JP7132349B2 (ja) * 2018-10-30 2022-09-06 芝浦機械株式会社 工具形状測定装置および工具形状測定方法
EP3887300A1 (de) * 2018-11-27 2021-10-06 Inventio AG Montagevorrichtung und verfahren zum automatisierten bohren von löchern in gebäudewände mit einer automatisierten erkennung von verschleissmarken am bohrer
CN109839066A (zh) * 2019-01-31 2019-06-04 北京金万众机械科技有限公司 一种非接触式刀具动态跳动测量仪
CN109986466A (zh) * 2019-04-19 2019-07-09 基准精密工业(惠州)有限公司 检测装置及具有该检测装置的磨床
CN111830906B (zh) * 2020-07-27 2024-04-23 上海威研精密科技有限公司 一种旋转刀具失效状态在机监测系统及其检测方法
CN112179287B (zh) * 2020-08-19 2022-01-11 成都飞机工业(集团)有限责任公司 一种基于多视光源的快速测量装置及测量方法
CN114440811B (zh) * 2020-11-02 2023-05-26 矽磐微电子(重庆)有限公司 刀片的测量方法及测量装置
TWI749961B (zh) * 2020-12-22 2021-12-11 雷應科技股份有限公司 刀具檢測器
CN114800038B (zh) * 2021-01-29 2024-04-05 雷应科技股份有限公司 刀具检测器
CN112935361B (zh) * 2021-03-25 2023-01-13 湖南海创同辉新材料有限公司 基于铣削车床的智能测控装置
DE102022123017A1 (de) * 2022-09-09 2024-03-14 Franz Haimer Maschinenbau Kg Vorrichtung zum Vermessen eines Werkzeugs oder eines Komplettwerkzeugs und Verfahren zum Erstellen eines digitalen Abbilds eines Werkzeugs oder Komplettwerkzeugs

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06109440A (ja) * 1992-09-28 1994-04-19 Makino Furaisu Seiki Kk 工具測定装置
JP2005052910A (ja) * 2003-08-07 2005-03-03 Makino Fraes Seiki Kk 工具測定装置および方法
JP2006110680A (ja) * 2004-10-15 2006-04-27 Fukoku Co Ltd 形状測定装置
JP2008304292A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Kyushu Institute Of Technology パルス化レーザ光を用いた回転体測定方法及びシステム
JP2012086350A (ja) * 2010-10-22 2012-05-10 Makino Milling Mach Co Ltd 撮像式工具測定装置および撮像式工具測定における刃先進入検出方法
JP2012108037A (ja) * 2010-11-18 2012-06-07 Mitsubishi Materials Corp 物体測定装置、物体測定方法、及び物体測定プログラム
JP2013174549A (ja) * 2012-02-27 2013-09-05 Institute Of National Colleges Of Technology Japan 工具位置測定装置及び測定方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3542514A1 (de) * 1985-12-02 1987-06-04 Zeiss Carl Fa Wegmesseinrichtung
US4991125A (en) * 1989-04-19 1991-02-05 Mitutoyo Corporation Displacement detector
JPH04232407A (ja) * 1990-12-28 1992-08-20 Seikosha Co Ltd 工具の検査方法
JPH06109940A (ja) 1992-09-28 1994-04-22 Fujikura Ltd 光複合電力ケーブル
DE19528376A1 (de) * 1995-08-02 1997-02-13 Dasler Hans Ulrich Verfahren zur berührungslosen Vermessung eines rotierenden Werkzeuges
JP2003117778A (ja) * 2001-10-15 2003-04-23 Mori Seiki Co Ltd 工作機械の精度測定装置
DE10153581A1 (de) * 2001-11-02 2003-05-15 Heilig & Schwab Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Wirkkontur von Rotationswerkzeugen
US7371036B2 (en) * 2002-12-11 2008-05-13 E. Zoller GmbH & Co. KG Einstell-Und Messgeräte Tool holding device and method for positioning a tool
JP4465676B2 (ja) * 2004-02-13 2010-05-19 株式会社山武 エッジ検出方法
JP4600990B2 (ja) 2005-06-07 2010-12-22 株式会社山武 ドリル刃の動振れ測定方法
JP2007049489A (ja) 2005-08-10 2007-02-22 Daishowa Seiki Co Ltd 撮像装置
US7420691B2 (en) * 2005-12-22 2008-09-02 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method and apparatus for measuring interfacial positions, method and apparatus for measuring layer thickness, and method and apparatus for manufacturing optical discs
JP4822342B2 (ja) 2006-09-26 2011-11-24 株式会社山武 位置検出方法
JP5307462B2 (ja) 2008-07-08 2013-10-02 株式会社 ジェイネット 測定装置
JP2010052053A (ja) 2008-08-26 2010-03-11 Niigata Machine Techno Co Ltd 工具の切刃測定方法及び測定装置
US8103376B2 (en) * 2008-09-05 2012-01-24 Chung Yuan Christian University System and method for the on-machine 2-D contour measurement
JP2010158726A (ja) * 2009-01-06 2010-07-22 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 工作機械の工具洗浄装置
CN103180094B (zh) * 2010-10-22 2015-10-21 株式会社牧野铣床制作所 工具尺寸的测定方法及测定装置
JP5902932B2 (ja) 2011-12-09 2016-04-13 国立大学法人九州工業大学 線状体の直径及びスリットの幅寸法の測定方法
JP6037891B2 (ja) * 2013-02-26 2016-12-07 三菱重工工作機械株式会社 工具形状測定方法及び工具形状測定装置
CN107532886B (zh) 2015-06-30 2020-01-24 别格大昭和株式会社 工具形状测定装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06109440A (ja) * 1992-09-28 1994-04-19 Makino Furaisu Seiki Kk 工具測定装置
JP2005052910A (ja) * 2003-08-07 2005-03-03 Makino Fraes Seiki Kk 工具測定装置および方法
JP2006110680A (ja) * 2004-10-15 2006-04-27 Fukoku Co Ltd 形状測定装置
JP2008304292A (ja) * 2007-06-07 2008-12-18 Kyushu Institute Of Technology パルス化レーザ光を用いた回転体測定方法及びシステム
JP2012086350A (ja) * 2010-10-22 2012-05-10 Makino Milling Mach Co Ltd 撮像式工具測定装置および撮像式工具測定における刃先進入検出方法
JP2012108037A (ja) * 2010-11-18 2012-06-07 Mitsubishi Materials Corp 物体測定装置、物体測定方法、及び物体測定プログラム
JP2013174549A (ja) * 2012-02-27 2013-09-05 Institute Of National Colleges Of Technology Japan 工具位置測定装置及び測定方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110487181A (zh) * 2019-08-24 2019-11-22 天津大学青岛海洋技术研究院 一种适用于海洋油气平台的三维激光扫描方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN107532886A (zh) 2018-01-02
JP6425815B2 (ja) 2018-11-21
US20180297166A1 (en) 2018-10-18
WO2017002186A1 (ja) 2017-01-05
WO2017002395A1 (ja) 2017-01-05
EP3318837B1 (en) 2020-07-15
CN107532886B (zh) 2020-01-24
US10189137B2 (en) 2019-01-29
EP3318837A1 (en) 2018-05-09
KR20170131632A (ko) 2017-11-29
KR101892944B1 (ko) 2018-10-04
EP3318837A4 (en) 2019-01-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2017002395A1 (ja) 工具形状測定装置
US10830574B2 (en) Coordinate measuring apparatus with optical sensor and corresponding method
JP2014532171A (ja) 切削工具の切刃準備体プロファイルを得る方法
JP4727634B2 (ja) 加工方法
JP6710243B2 (ja) 工具形状測定装置
JP6514264B2 (ja) 工作機械の制御システム
JP6198701B2 (ja) 形状計測装置及び形状計測方法
US20200180104A1 (en) Measurement of characteristic variables of a precision machining tool
KR20220012303A (ko) 가공 모듈 및 공구의 프로파일을 검출하기 위한 유닛을 갖는 공작 기계 및 공구의 프로파일을 검출하기 위한 방법
JP2008272861A (ja) 工具位置測定方法、工具位置測定システム、及び加工方法
CN104942652B (zh) 激光衍射在线对刀检刀系统及方法
JP7163219B2 (ja) エンドミル検査装置
JP5018676B2 (ja) レーザ加工装置およびレーザ加工方法
JP2016000421A (ja) レーザ加工用システムおよびレーザ加工方法
RU189989U1 (ru) Оптическое устройство для 3d-сканирования, измерения и контроля осевого режущего инструмента для мехобработки
JP6158730B2 (ja) 表面形状測定装置およびそれを備えた工作機械
JP6343312B2 (ja) 溝入れ工具の刃幅計測方法
JP2023058360A (ja) タップの位相検出方法及び工作機械における雌ねじ加工方法、工作機械
JP2019018313A (ja) 刃先情報取得装置および刃先情報取得方法
JP7282362B2 (ja) ジオメトリ自動計測装置及びそれを備えた工作機械
KR102645396B1 (ko) 공구 형상 이상 검출 장치 및 공구 형상 이상 검출 방법
TW201416166A (zh) 加工機之工件檢測方法及其裝置
CN116135454A (zh) 用于测量工具的设备和方法
RU2487784C1 (ru) Устройство контроля волнистости обрабатываемой поверхности в процессе фрезерования
JP6576769B2 (ja) ワークの原点検出方法及びその原点検出装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20171116

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181016

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181023

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6425815

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250