JP2008304292A - パルス化レーザ光を用いた回転体測定方法及びシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、平坦なシート状のパルス化レーザ光を発生して、被測定回転体とそれに対向配置した基準ナイフエッジとの間の間隔に照射するレーザ光照射装置と、この間隔により回折した回折光を検出するラインセンサとを有する。パルス化レーザ光は、高速回転する被測定回転体の1回転又は整数回転当たり1パルスの発振パルス周期を有し、該発振パルスオン期間の間に回転体の同一角度範囲に照射し、かつ、ラインセンサは、照射されるパルス化レーザ光の所定周期分を受光して、その間の積算回折光パターンを検出して、回転体の形状を測定する。
【選択図】 図2
Description
(1)図2の上段に示すように、光源のライン状レーザを回転体の回転と同期して高速点滅させる。例えば、回転体の回転数が150,000 min-1 (2500 sec-1)ならば、2500 Hzで、また、120,000 min-1 ならば2000 Hzで、レーザ発振させる。即ち、回転体の1回転当たり、1パルスのレーザ周期となる。このレーザ発振は、2000 Hz発振パルス1周期(500μsec)の内の、例えば、5μsec(1/100周期)の間オンさせ、その余の時間はオフさせる。
(2)図2の中段に示すように、回転体のある特定の位置が、ナイフエッジに対向する位置に来たときのみ、レーザ光が照射される。レーザのオンパルス幅を5μsecとすると、この5μsecの間に回転体先端の3.6°の範囲にレーザを当てることになる。それにより、1回転に1回ずつ、回転体の同一箇所を測定することができる。図2において、回転体の1回当たり1パルスのレーザ発振するものとして例示したが、1回当たり1パルスに限らず、回転体の整数(1又は複数)回転当たり、1パルスをレーザ発振することによって、回転体の同一箇所のレーザ照射が可能となる。
(3)図2の下段に示すように、受光センサーの受光パルスを200 Hzとすると、1回の受光時間に、同一箇所の回転体の10回分の回折パターンを受光することとなる。測定はこの10回分の受光の積算値を測定することになるので、回折パターンの測定に十分な光量が得られるので、回転体が高速で回転しても測定が可能となる。
Claims (8)
- レーザ光を用いて被測定回転体形状を測定する回転体測定方法において、
前記被測定回転体とそれに対向配置した基準ナイフエッジとの間の間隔を超える幅を有するパルス化レーザ光を発生して、該被測定回転体の回転中に前記間隔に照射し、
前記間隔に照射されて該間隔により遮蔽されずに回折した光を受光センサーにより検出し、
前記パルス化レーザ光は、被測定回転体の1回転又は整数回転当たり1パルスの発振パルス周期を有し、該発振パルスオン期間の間に前記回転体の同一角度範囲に照射し、かつ、前記受光センサーは、照射されるパルス化レーザ光の所定周期分を受光し、その間の積算回折光パターンを検出して、前記間隔の測定により回転体形状を測定することから成るパルス化レーザ光を用いた回転体測定方法。 - 検出される回折光パターンの中心ピークを、前記受光センサーの前に設けた遮蔽板または画像処理によって取り除いて、回折光パターンを検出する請求項1に記載の回転体測定方法。
- 前記被測定回転体は、使用する機械上に取り付けて回転中に測定される工具であり、その工具切れ刃の欠損或いは損耗を測定する請求項1に記載の回転体測定方法。
- 前記パルス化レーザ光は、平坦なシート状である請求項1に記載の回転体測定方法。
- レーザ光を用いて被測定回転体形状を測定する回転体測定システムにおいて、
前記被測定回転体とそれに対向配置した基準ナイフエッジとの間の間隔を超える幅を有するパルス化レーザ光を発生して、該被測定回転体の回転中に前記間隔に照射するレーザ光照射装置と、
前記間隔に照射されて該間隔により遮蔽されずに回折した光を検出する受光センサーと、から成り、
前記パルス化レーザ光は、被測定回転体の1回転又は整数回転当たり1パルスの発振パルス周期を有し、該発振パルスオン期間の間に前記回転体の同一角度範囲に照射し、かつ、前記受光センサーは、照射されるパルス化レーザ光の所定周期分を受光して、その間の積算回折光パターンを検出して、前記間隔の測定により回転体の形状を測定するパルス化レーザ光を用いた回転体測定システム。 - 検出される回折光パターンの中心ピークを、前記受光センサーの前に設けた遮蔽板または画像処理によって取り除く手段をさらに備える請求項5に記載の回転体測定システム。
- 前記被測定回転体は、使用する機械上に取り付けて回転中に測定される工具であり、その工具切れ刃の欠損或いは損耗を測定する請求項5に記載の回転体測定システム。
- 前記パルス化レーザ光は、平坦なシート状である請求項5に記載の回転体測定システム。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012014609A1 (ja) | 2010-07-29 | 2012-02-02 | 国立大学法人九州工業大学 | 回転工具と被加工物間の間隙長さ測定方法及びシステム |
WO2013085032A1 (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-13 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 線状体の直径及びスリットの幅寸法の測定方法 |
EP2761281A4 (en) * | 2011-09-30 | 2015-06-03 | 3M Innovative Properties Co | SYSTEM FOR MEASURING WIDTH OF TRAIT |
WO2017002186A1 (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-05 | 大昭和精機株式会社 | 工具形状測定装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5365752A (en) * | 1976-11-24 | 1978-06-12 | Toshiba Corp | Fine wire outside diameter measuring device |
JPS5723204B2 (ja) * | 1973-05-15 | 1982-05-18 | ||
JPH04299204A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-22 | Toyoda Mach Works Ltd | バイト端縁検出装置 |
JPH06109440A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-19 | Makino Furaisu Seiki Kk | 工具測定装置 |
JP2003121123A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-23 | Mmc Kobelco Tool Kk | レーザ光を用いた精密形状測定方法 |
JP2003222508A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-08 | Ricoh Co Ltd | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
JP2006242605A (ja) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Niigata Univ | 回転工具の振れ測定方法およびその測定装置 |
JP2007232489A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Kyushu Institute Of Technology | レーザ光を用いた精密工具測定方法及びシステム |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5723204B2 (ja) * | 1973-05-15 | 1982-05-18 | ||
JPS5365752A (en) * | 1976-11-24 | 1978-06-12 | Toshiba Corp | Fine wire outside diameter measuring device |
JPH04299204A (ja) * | 1991-03-27 | 1992-10-22 | Toyoda Mach Works Ltd | バイト端縁検出装置 |
JPH06109440A (ja) * | 1992-09-28 | 1994-04-19 | Makino Furaisu Seiki Kk | 工具測定装置 |
JP2003121123A (ja) * | 2001-10-15 | 2003-04-23 | Mmc Kobelco Tool Kk | レーザ光を用いた精密形状測定方法 |
JP2003222508A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-08 | Ricoh Co Ltd | 表面形状測定装置及び表面形状測定方法 |
JP2006242605A (ja) * | 2005-03-01 | 2006-09-14 | Niigata Univ | 回転工具の振れ測定方法およびその測定装置 |
JP2007232489A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Kyushu Institute Of Technology | レーザ光を用いた精密工具測定方法及びシステム |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012032222A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Kyushu Institute Of Technology | 回転工具と被加工物間の間隙長さ測定方法及びシステム |
EP2600101A4 (en) * | 2010-07-29 | 2017-01-18 | Kyushu Institute of Technology | System and method for measuring length of gap between rotating tool and workpiece |
WO2012014609A1 (ja) | 2010-07-29 | 2012-02-02 | 国立大学法人九州工業大学 | 回転工具と被加工物間の間隙長さ測定方法及びシステム |
KR101379199B1 (ko) * | 2010-07-29 | 2014-03-31 | 고쿠리츠 다이가쿠 호진 큐슈 코교 다이가쿠 | 회전 공구와 피가공물간의 간극 길이 측정 방법 및 시스템 |
US8755055B2 (en) | 2010-07-29 | 2014-06-17 | Kyushu Institute Of Technology | System and method for measuring length of gap between rotating tool and workpiece |
EP2761281A4 (en) * | 2011-09-30 | 2015-06-03 | 3M Innovative Properties Co | SYSTEM FOR MEASURING WIDTH OF TRAIT |
JP2013120175A (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-17 | Kyushu Institute Of Technology | 線状体の直径及びスリットの幅寸法の測定方法 |
WO2013085032A1 (ja) * | 2011-12-09 | 2013-06-13 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 線状体の直径及びスリットの幅寸法の測定方法 |
WO2017002186A1 (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-05 | 大昭和精機株式会社 | 工具形状測定装置 |
KR20170131632A (ko) * | 2015-06-30 | 2017-11-29 | 빅 다이쇼와 가부시키가이샤 | 공구 형상 측정 장치 |
JPWO2017002186A1 (ja) * | 2015-06-30 | 2018-04-26 | Big Daishowa株式会社 | 工具形状測定装置 |
KR101892944B1 (ko) | 2015-06-30 | 2018-10-04 | 빅 다이쇼와 가부시키가이샤 | 공구 형상 측정 장치 |
US10189137B2 (en) | 2015-06-30 | 2019-01-29 | Big Daishowa Co., Ltd. | Tool shape measuring apparatus |
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