JP3540301B2 - レーザ光を用いた精密形状測定方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばボールエンドミルやエンドミル、ツイストドリル等の回転工具を測定対象物として、その切刃部の形状を精密に測定したりするための、レーザ光を用いた精密形状測定方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
このような回転工具の切刃部の形状を測定するものとしては、例えば特開平6−109440号公報に、レーザ光を切刃部の被測定部位に走査して、遮蔽されたこのレーザ光の明暗を受光素子によって計測することにより、上記切刃部の寸法を測定するものが提案されており、また特開平6−137842号公報には、画像処理装置に接続されたTVカメラを有する工具顕微鏡を用いて、切刃部輪郭上の複数の被測定部位において、切刃の位置が上記工具顕微鏡の焦点位置に合致するように回転工具をその回転軸線回りに回転させ、その座標を計測することによって切刃部の寸法や形状を測定するものが提案されている。しかしながら、これらの測定方法や装置では、その測定精度が受光素子やTVカメラの解像度によって制限されるため、より精密な測定を行うことは困難である。
【0003】
その一方で、例えば特開平5−272925号公報には、バイトの端縁(切刃)の形状を測定するものとして、このバイト端縁形状に略対応した形状の端縁を有する基準プレートを設けてこれらの端縁同士の間に幅の狭いスリットを形成し、このスリット上の被測定部位にレーザ光源からレーザ光を照射して回折させることにより、その回折パターンをCCD等の光センサによって計測して演算処理するものが提案されている。しかして、このような回折パターンにおいては、その明暗の光強度の分布が上記スリットの大きさによって決定されるので、当該公報記載の測定方法および測定装置では、予め1つの基準プレートでスリット幅を変えて回折パターンのスリット幅方向各位置における光強度とスリット幅とを計測して入力しておき、同じ基準プレートを用いて測定対象物となるバイトの端縁を測定することにより、この入力されたデータに基づいて基準プレートに対するバイト端縁の位置を算出するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この公報(特開平5−272925号)に記載された測定方法では、レーザ光源から発せられたレーザ光を上記スリットを通過させて回折させるに際し、このスリット上に円形の領域が形成されるように上記レーザ光を照射している。しかるに、このように円形の領域が形成されるようにレーザ光を照射する場合において、明瞭な回折パターンが得られるようにレーザ光が照射される円形領域を小さく限定すると、そのような照射領域の小さいレーザ光を幅の狭い上記スリットに正確に照射するには、高度の熟練を要するような微妙な調整が余儀なくされ、この調整作業に多くの時間と労力とを要したり、場合によってはレーザ光が所定に被測定部位からずれて回折パターンを得られなくなったりするおそれがある。その一方で、これとは逆に、このスリットを十分網羅する広い円形領域にレーザ光を照射するようにしたのでは、このスリットが延びる方向において該スリットを通過するレーザ光の範囲も広がってしまい、所定の被測定部位における回折パターンを正確に得ることが困難となってしまう。
【0005】
本発明は、このような背景の下になされたもので、このようなレーザ光を用いた精密形状測定方法において、レーザ光を所定の被測定部位に極小さな範囲で確実に、しかも容易に照射することを可能として、測定精度のより一層の向上を図ることを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決して、このような目的を達成するために、本発明は、測定対象物に隣接して基準プレートを設けて、この基準プレートと上記測定対象物との間に延びるスリットを形成し、このスリット上における上記測定対象物の被測定部位に向けて、該スリットが延びる方向に薄くしたシート状のレーザ光を照射することにより、上記被測定部位においてスリットを通過した上記レーザ光がなす回折パターンを、上記シート状のレーザ光の幅方向に延びるラインセンサによって計測するとともに、上記スリット上の複数の被測定部位において上記回折パターンを測定するに際し、このラインセンサを初め、上記レーザ光を発するレーザ光源、レンズ、および遮蔽板を上記スリットに沿うようにして一体に移動させることを特徴とする。すなわち、本発明では、測定対象物と基準プレートとの間に形成される上記スリットに、このスリットが延びる方向に潰れるように薄く偏平したシート状のレーザ光を照射してその回折パターンを計測しているので、このシート状のレーザ光をスリットに交差させるように照射することにより、狭い幅のスリットにも確実にレーザ光を照射して確実に回折パターンを計測することができる一方、レーザ光の照射範囲がスリットの延びる方向に広がることはなく、所定の被測定部位において明瞭な回折パターンを得ることができる。
【0007】
さらに、上記測定対象物が、特開平5−272925号公報のバイトのように被測定部位となる切刃が平面上に位置する単純な形状のものではなく、上記特開平6−109440号公報や特開平6−137842号公報のように切刃が立体的に複雑な形状をなすボールエンドミルやエンドミル、ツイストドリル等の回転工具である場合でも、本発明では、この回転工具の切刃部に隣接して上記基準プレートを設けて、切刃部の外周側部分の形状を測定するに際しては、上記スリットを該回転工具の回転軸線方向に向けて延びるように形成し、切刃部の先端側部分の形状を測定する際には、この先端側部分に応じた形状の基準プレートを用いて、この基準プレートと切刃部先端側部分との間に延びるスリットを形成し、このスリット上の複数の上記被測定部位において、上記回転工具を上記回転軸線回りに回転しつつ該被測定部位に向けて上記レーザ光を照射して、上記回転工具の回転位置に応じた上記回折パターンを計測することにより、かかる複雑な立体形状をなす測定対象物に対しても精密な形状測定を図ることが可能となる。すなわち、このように回転工具を回転しつつスリット上の複数の被測定部位においてその回転位置における回折パターンを計測することにより、各被測定部位ごとに上記回転軸線に直交する測定対象物の断面形状を把握することができるので、これらの測定結果を回転軸線方向に連続させることによって測定対象物たる回転工具の切刃部全体の形状を正確に測定することができるのである。
【0008】
そして、本発明では、上記回折パターンを計測するのに、このシート状のレーザ光の幅方向に延びるラインセンサを用いている。しかるに、例えば上記特開平5−272925号公報では、この回折パターンを計測する光センサとして平面状のCCDエリアセンサを用いているが、かかるエリアセンサは高価な割にはその計測可能な範囲が小さく、例えばレンズを介してこの小さな計測範囲内に回折パターンを納めようとしても、レンズとセンサとを高精度に配置しなければ計測範囲からずれて測定が不可能となってしまうのに対し、CCD等のラインセンサは計測範囲の大きなものが比較的安価に入手することができ、これによってより高精度の測定を簡便かつ低廉に可能とすることができる。なお、上記基準プレートの上記被測定部位側を向いて上記スリットを形成する端縁は、この被測定部位側に向けて断面先細りとなるナイフエッジ状に形成するのが望ましく、これによって一層明瞭な回折パターンを得ることが可能となる。
【0009】
さらに、上記スリットの幅bxは、これが大きすぎると明瞭な回折パターンが得られなくなるので、小さ目に設定するのが望ましいが、小さくしすぎるとS/N比が悪くなり、また基準プレートと測定対象物とが接触しないように間隙調整をするのが難しくなる。このため、上記スリットの幅bxは0.01〜0.1mmの範囲に設定されるのが望ましい。すると図6の説明で後述するが、スリット幅bxの変化に対する回折パターンの1次明輪までの距離R1の変化率が大きく、すなわち測定分解能が高く、かつスリット幅の間隙調整も容易である。
また、上記シート状のレーザ光の幅Wは、上記スリット幅bxを上回ってその幅方向両端部が基準プレートと測定対象物とに遮られる状態となっていれば良く、すなわちこのレーザ光の幅が小さすぎると、その幅方向の一端が基準プレートや測定対象物に当たらずに回折パターンが不明瞭となるおそれが生じるが、その一方でこのレーザ光の幅が大きすぎても、測定には不要なレーザ光を照射しなければならなくなるため、好ましくない。このため、レーザ光幅Wは上記スリット幅bxの2倍以上で測定対象物の被測定部位の幅寸法以下の範囲内に設定されるのが望ましい。これによりレーザ光の照射位置を決める作業が容易となる。
更に、上記シート状のレーザ光の厚みbyは、小さい程測定対象物の形状を正確に測定でき、実用上は0.005〜0.1mmの範囲内に設定されるのが望ましい。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1ないし図7は、本発明の一実施形態に係わるレーザ光を用いた精密形状測定装置の概略を示すものであり、以下、これらの図を用いて本発明の実施の形態について説明する。本実施形態では、測定対象物として、ボールエンドミルやエンドミル、あるいはツイストドリルなど、その切刃部の外周に切屑排出用の螺旋溝が形成された回転工具Tを用いて、この切刃部の形状を測定している。すなわち、図1ないし図3に示すように、この回転工具Tは、その回転軸線Oを固定した状態で該回転軸線O回りに回転可能に支持され、かつ、その回転位置がロータリエンコーダ等の回転位置検出手段によって検出可能とされる一方、この回転工具Tの外周に隣接して薄肉の長方形平板状の基準プレート1が、上記回転軸線Oを含む平面P上に位置するように、かつその回転工具T側を向く端縁1aが回転軸線Oと平行になるようにして固定されて設けられていて、この端縁1aと回転工具Tの外周面との間に、上記回転軸線Oに平行に延びるスリットSが形成されている。ただし、図2および図3において上記回転工具Tは円柱状に簡略化されて示されている。また、基準プレート1の上記端縁1aは、その先端、すなわち回転工具T側に向かうに従い、図4に示すようにその一方の側面1bが他方の側面1cに向けて傾斜して漸次薄肉となるように形成され、回転軸線Oに直交する断面が先細りとなるナイフエッジ状とされている。
【0011】
さらに、この回転工具Tおよび基準プレート1を間にしてその両側には、基準プレート1の上記一方の側面1b側にフーリエ変換レンズ2を介してCCDラインセンサ3が、また基準プレート1の他方の側面1c側には測定領域限定用の結像レンズ4を介して測定領域限定用の遮蔽板5が、それぞれ上記平面Pに平行となるように配設されており、この遮蔽板5のさらに外側には該平面Pに垂直にレーザ光Lを発する図示されないレーザ光源が設けられている。そして、上記遮蔽板5には、上記スリットSが延びる方向に潰れるようにして薄く偏平した極細長い方形あるいは略直線状の開口部5aが、上記回転軸線Oに直交する平面に沿って延びるように形成されており、この開口部5aを通過することにより、上記レーザ光Lもまた、スリットSが延びる方向に偏平した極薄い平坦なシート状となって、図3に示すようにスリットS上の回転工具Tの被測定部位Qに、該スリットSに直交するように、かつこのスリットSをまたいでその両端部が上記基準プレート1と回転工具Tとに遮られるように、上記結像レンズ4を介して幅Wで照射される。
【0012】
一方、この遮蔽板5とは反対側に設けられる上記ラインセンサ3は、上記レーザ光Lの光軸C上にあって、シート状とされた該レーザ光Lの幅方向(図1および図4にあっては上下方向、図2にあっては図面に直交する方向、図3にあっては左右方向)に延びるように配設され、また上記フーリエ変換レンズ2は光軸C方向にあってこのラインセンサ3と基準プレート1との中央に配設されており、上記スリットSを通過して回折したレーザ光Lの回折パターンは、図1および図4に示すようにこのフーリエ変換レンズ2を介して上記ラインセンサ3上に沿って延びるように形成されることとなる。なお、これらラインセンサ3およびフーリエ変換レンズ2と上記レーザ光源、遮蔽板5、および結像レンズ4とは、光軸Cに沿って直線状とされた上述の位置関係を維持したまま、スリットSが延びる方向に沿って一体に移動可能とされており、その移動位置もまたリニアエンコーダ等の検出手段によって検出可能とされている。
【0013】
しかして、図4に示すようにこのラインセンサ3が延びる方向をx方向としたときの該x方向における上記回折パターンの強度分布I(x)は、上記被測定部位QにおけるスリットSの幅(基準プレート1の端縁1aの先端と平面P上における回転工具Tとの間隔)をbxとし、また被測定部位Qにおけるシート状のレーザ光Lの厚さ(レーザ光Lの回転軸線O方向の厚さ)をbyとし、フーリエ変換レンズ2とラインセンサ3および基準プレート1との間隔をfとし、レーザ光Lの波長をλとすると、次式数1によって与えられる。また、例えば被測定部位Qにおけるレーザ光Lの厚さbyが80μm、レーザ光Lの波長λが0.6328μm、フーリエ変換レンズ2とラインセンサ3および基準プレート1との間隔fが100.0mmのとき、上記光軸C、すなわち回折パターンの0次明輪のピークから、該回折パターンの1次明輪のピークまでの距離R1と上記スリットSの幅bxとの関係は図5に示すとおりとなり、この距離R1の幅bxに対する変化率と幅bxとの関係は図6に示すとおりとなる。
【0014】
【数1】
【0015】
従って、このようにレーザ光Lの回折パターンを用いた本実施形態の測定方法においては、これら図5および図6に示されるように上記スリット幅bxが小さくなるほど、このスリット幅bxの変化に対する上記1次明輪までの距離R1の変化および変化率がともに大きくなり、例えばスリット幅bxが30μmのとき、該スリット幅bxの変化に対して距離R1は約100倍の変化率となる。このため、CCDラインセンサとしては一般的な7μm画素のものを上記ラインセンサ3として用いたとしても、この1次明輪のピーク位置を正確に検出できれば、サブミクロン(0.07μm)オーダーの測定分解能を得ることができ、より高精度の測定を図ることが可能となる。スリット幅bxが更に小さくなるとレーザ光量が小さくなり、好ましくない。スリット幅bxが0.1mmのときR1は約10倍の変化率となり、これより大きいスリット幅では測定分解能が悪くなり、スリット幅は実用上0.01〜0.1mmが望ましい。
【0016】
そして、本発明の測定方法では、この回折パターンを得るために上記スリットSの被測定部位Qに照射されるレーザ光Lが、該スリットSが延びる方向に偏平したシート状のレーザ光Lであるので、被測定部位Qの周辺でスリットSが延びる方向に幅広くレーザ光Lが照射されたりすることはなく、このスリットSが延びる方向に関しては、当該シート状のレーザ光Lの上記厚さbyに基づく極微少な範囲内にのみ該レーザ光Lを照射することができる。その一方で、このスリットSが延びる方向に直交する方向、すなわち上記シート状のレーザ光Lの幅方向に関しては、このレーザ光Lの両端部が上述のように基準プレート1と測定対象物である回転工具Tとに当たって遮られてさえいれば、該レーザ光Lがこの幅方向に多少ずれて照射されていても明瞭な回折パターンを得ることができるので、本発明によれば、所定の被測定部位Qにおける上記スリットSの幅bxを極めて正確に計測して、より高精度の測定を確実に可能としながらも、測定に際しての微調整等に要する熟練度や時間、労力は大幅に軽減することができ、効率的な測定を容易に行うことが可能となる。
【0017】
また、本実施形態では、測定対象物である回転工具Tがその回転軸線O回りに回転可能、かつその回転位置が検出可能とされていて、この回転位置に応じて形成されるスリットSを通過したレーザ光Lの回折パターンが計測可能とされるとともに、レーザ光源やレンズ2,4、および遮蔽板5やラインセンサ3がスリットSの延びる方向に移動可能とされ、かつその移動位置も検出可能とされていて、このスリットSが延びる方向において複数の被測定部位Q…で回折パターンの計測が可能とされている。従って、測定対象物が上述のように複雑な立体形状を有する回転工具Tである場合でも、まず回転位置を検出しながら回転工具Tを回転させて、スリットS上の所定の被測定部位Qにおける該スリットSの幅bxを全周に亙って測定することにより、基準プレート1の端縁1aからこの被測定部位Qを通って回転軸線Oに直交する当該回転工具Tの断面の形状を測定することができ、このような断面を、その移動位置を検出しながら上記レーザ光源、レンズ2,4、遮蔽板5、およびラインセンサ3を移動させて、スリットSが延びる方向に沿って複数の被測定部位Q…において測定することにより、例えばコンピュータ等の演算装置を用いて、かかる回転工具Tの形状、寸法を三次元的に、しかも上述のように高精度で容易に測定することが可能となる。
【0018】
なお、図1ないし図3では、このようなボールエンドミルやエンドミル、あるいはドリル等の回転工具Tの切刃部の外周側部分の形状を測定するに際して、長方形平板状の基準プレート1を、その直線状の端縁1aが回転工具Tの回転軸線Oに平行となるように該切刃部外周に隣接させて配設した場合を示しているが、これらの回転工具Tの切刃部の先端側部分の形状を測定する際には、例えば図7に示すように、この先端側部分に応じた形状の基準プレート11を用いて、この基準プレート11と測定対象物としての回転工具Tの切刃部先端側部分との間に延びるスリットSを形成し、このスリットS上の被測定部位Qに向けて、スリットSが延びる方向に偏平したシート状のレーザ光Lを照射することにより、その回折パターンを計測すればよい。
【0019】
ここで、この図7では、測定対象物としてのボールエンドミルの略半球状をなす切刃部先端側部分の形状を測定する場合を示しており、平板状をなす基準プレート11の端縁11aは、このボールエンドミルの先端側部分がなす半球よりも上記スリット幅bx分だけ半径の大きい凹半円弧状に形成されていて、これによりスリットSも上記半球の中心と同心な半円弧状に形成されることとなる。また、上記シート状のレーザ光Lは、このように形成されたスリットS上の複数の被測定部位Qにおいて、それぞれ該スリットSが延びる方向に直交するように、すなわち上記半球の中心から放射状に延びるように照射される。従って、このように複数の被測定部位Q…において、回転工具Tをその回転軸線O回りに回転させつつ上記レーザ光Lの回折パターンを計測することにより、上述の切刃部外周側部分の測定結果と合わせて回転工具Tの切刃部全体の形状を精密に測定することが可能となる。
【0020】
なお、例えば測定対象物としての回転工具Tが一般的なツイストドリルである場合には、基準プレート11の端縁11aはその切刃の先端角に応じた狭角の凹V字状とされ、回転工具Tがスクエアエンドミルな場合は端縁11aは「コ」字状とされる。また、図7においては半円弧状に形成されたスリットSの全長に亙って複数の被測定部位Q…にレーザ光Lを照射して回折パターンを測定しているが、回転工具Tを回転軸線O回りに回転させて計測する場合には、この回転軸線Oの片側の1/4円弧部分のスリットSでのみ測定を行うようにしてもよい。
【0021】
一方、本実施形態では、この回折パターンを計測するのに、上記シート状のレーザ光Lの幅方向に延びるラインセンサ3を用いており、従来の特開平5−272925号公報記載の測定方法のようにエリアセンサを用いるのに比べ、安価でありながら回折パターンが延びる方向には大きな計測範囲を確保することができる。このため、本実施形態においては、このラインセンサ3についても、上記スリットSが延びる方向にさえレーザ光Lの光軸C上に位置して該レーザ光Lの幅方向に延びるように正確に配置されていれば、このスリットSが延びる方向に直交する方向、すなわち上記シート状のレーザ光Lの幅方向に関しては、その位置がこの幅方向に多少ずれて配置されていても確実に回折パターンを計測することができ、やはり測定に際しての微調整作業を軽減しながらも測定精度の確保を図ることが可能となる。
【0022】
また、本実施形態では、上述のようにスリットS上の複数の被測定部位Q…において回折パターンを計測するに際し、このラインセンサ3を初め、上記レーザ光源、レンズ2,4、および遮蔽板5をスリットSに沿うようにして一体に移動可能としており、これとは逆にこれらラインセンサ3、レーザ光源、レンズ2,4、および遮蔽板5は固定したまま、測定対象物としての回転工具Tと基準プレート1,11を一体に移動させる場合のように、上述のように極狭いスリット幅bxを維持したまま回転工具Tと基準プレート1,11とを一体に移動させるよりは、本実施形態のようにラインセンサ3、レーザ光源、レンズ2,4、遮蔽板5を移動させる構成とするのが容易である。特に、本実施形態のように回転工具Tをその回転軸線O回りに回転しつつ測定を行う場合においては、こうして回転工具Tを回転可能に支持しながらさらに基準プレート1,11とともに上記スリット幅bxを維持しつつ該回転工具Tを移動させるのは極めて困難となるため、上述のような構成とすることは一層望ましい。
【0023】
さらに、本実施形態では、測定対象物である回転工具Tの被測定部位Q側を向いて上記スリットSを形成する基準プレート1の端縁1aが、この測定部位Q側に向けて断面先細りとなるナイフエッジ状に形成されているので、この端縁1aにより形成される上記レーザ光Lの回折パターンをより明瞭なものとすることができ、一層の測定精度の向上を図ることが可能となる。しかも、本実施形態ではこのように測定対象物が回転工具Tであって、すなわちその測定すべき切刃部外周に、この回転工具Tがボールエンドミルやエンドミルの場合には切刃が、また当該回転工具Tがドリルの場合には切屑排出溝の外周側稜線部が、いずれも図4に示すように基準プレート1側に向けてやはり断面先細りとなるナイフエッジ状に形成されることとなるので、この測定対象物の被測定部位Q側でもレーザ光Lの回折パターンをより明瞭なものとすることができ、さらに一層高精度の測定を可能とすることができる。
【0024】
ところで、このような基準プレート1,11の端縁1a,11aと測定対象物との間に形成されるスリットSの幅bxは、図5および図6に示したように小さいほど測定分解能が高く、より高精度の測定が可能となるのであるが、このスリット幅bxがあまりに小さすぎると、レーザ光量が小さくなり、基準プレート1,11の端縁1a,11aが測定対象物に接触しないように調整するのが却って困難となるおそれが生じる。特に、本実施形態のように測定対象物が回転工具Tであって、その回転軸線O回りに回転可能に支持される場合にあっては、上記スリット幅bxが小さすぎると、回転時に回転工具Tに僅かな振れが生じただけでも基準プレート1,11に接触してしまうおそれがある。従って、このような問題が生じるのを避けながらも上述のような高精度の測定を可能とするには、このスリット幅bxは実用上0.01〜0.1mmの範囲内に設定されるのが望ましい。なお、ちなみに被測定部位Qにおけるシート状のレーザ光Lの厚さbyは、実用上0.005〜0.1mmの範囲内とされるのが望ましい。
【0025】
一方、この被測定部位Qに照射されるシート状のレーザ光Lの幅Wは、上記スリット幅bxよりも大きくされて、上述のように該レーザ光Lの幅方向の両端部が基準プレート1,11と回転工具Tとに遮られ、その間のスリットSを通過したレーザ光Lが回折可能とされていればよいのであるが、このレーザ光Lの幅Wが小さ過ぎて例えば上記スリット幅bxの大きさと同じ程度であると、こうして幅方向の両端部が基準プレート1,11と回転工具Tとに遮られるようにレーザ光Lを照射するのに微調整が必要となってしまうため、望ましくはない。また、これとは逆に、このシート状のレーザ光Lの幅Wがあまり大きすぎても、測定とは関係のない箇所にまでレーザ光Lを照射しなければならなくなるため、非効率的である。このため、このシート状のレーザ光Lの幅Wは、上記スリット幅bxの2倍以上で測定対象物の被測定部位の幅寸法以下の範囲内に設定されるのが望ましい。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、測定対象物とこれに隣接して設けた基準プレートとの間に延びるスリットに対し、このスリットが延びる方向に薄く偏平したシート状のレーザ光を被測定部位に照射して、その回折パターンを計測することにより、該測定対象物の被測定部位の形状を測定するものであるから、高度の熟練を要する微調整などを必要とせずとも、確実かつ容易に所定の被測定部位に上記レーザ光を照射して、より高精度の精密な測定を可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係わるレーザ光を用いた精密形状測定装置の概略を示す平面図である。
【図2】図1に示すレーザ光を用いた精密形状測定装置の側面図である。
【図3】図1におけるZZ方向視の図である。
【図4】図1におけるスリット1部分からラインセンサ3までの部分の拡大平面図である。
【図5】レーザ光Lの光軸Cから回折パターンの1次明輪のピークまでの距離R1とスリット幅bxとの関係を示す図である。
【図6】レーザ光Lの光軸Cから回折パターンの1次明輪のピークまでの距離R1のスリット幅bxに対する変化率と幅bxとの関係を示す図である。
【図7】回転工具Tがボールエンドミルである場合において、その切刃部の先端側部分の形状を測定する際の、図3に相当する図である。
【符号の説明】
1,11 基準プレート
1a,11a 基準プレートの端縁
3 ラインセンサ
5 遮蔽板
T 回転工具(測定対象物)
O 回転工具Tの回転軸線
L レーザ光
S スリット
Q 被測定部位
W 被測定部位Qに照射されるレーザ光Lの幅
bx スリット幅
by レーザ光Lの厚さ
Claims (5)
- 測定対象物に隣接して基準プレートを設けて、この基準プレートと上記測定対象物との間に延びるスリットを形成し、このスリット上における上記測定対象物の被測定部位に向けて、該スリットが延びる方向に薄くしたシート状のレーザ光を照射することにより、上記被測定部位においてスリットを通過した上記レーザ光がなす回折パターンを、上記シート状のレーザ光の幅方向に延びるラインセンサによって計測するとともに、上記スリット上の複数の被測定部位において上記回折パターンを測定するに際し、このラインセンサを初め、上記レーザ光を発するレーザ光源、レンズ、および遮蔽板を上記スリットに沿うようにして一体に移動させることを特徴とするレーザ光を用いた精密形状測定方法。
- 上記測定対象物が回転工具であって、この回転工具の切刃部に隣接して上記基準プレートを設けて、上記切刃部の外周側部分の形状を測定するに際しては、上記スリットを該回転工具の回転軸線方向に延びるように形成し、上記切刃部の先端側部分の形状を測定する際には、この先端側部分に応じた形状の基準プレートを用いて、この基準プレートと上記切刃部先端側部分との間に延びるスリットを形成し、このスリット上の複数の上記被測定部位において、上記回転工具を上記回転軸線回りに回転しつつ該被測定部位に向けて上記レーザ光を照射することにより、上記回転工具の回転位置に応じた上記回折パターンを計測する請求項1に記載のレーザ光を用いた精密形状測定方法。
- 上記基準プレートの上記被測定部位側を向いて上記スリットを形成する端縁を、この被測定部位側に向けて断面先細りとなるナイフエッジ状に形成する請求項1または請求項2に記載のレーザ光を用いた精密形状測定方法。
- 上記スリットの幅bxを0.01〜0.1mmの範囲内に設定する請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のレーザ光を用いた精密形状測定方法。
- 上記シート状のレーザ光の幅Wを上記スリットの幅bxの2倍以上で上記測定対象物の被測定部位の幅寸法以下の範囲内に設定し、上記シート状のレーザ光の厚みbyを0.005〜0.1mmの範囲内に設定する請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のレーザ光を用いた精密形状測定方法。
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