JPWO2016063863A1 - 共振子及び共振装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 27
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000001629 suppression Effects 0.000 abstract description 18
- 239000010408 film Substances 0.000 description 51
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- -1 scandium aluminum Chemical compound 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N scandium atom Chemical compound [Sc] SIXSYDAISGFNSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02244—Details of microelectro-mechanical resonators
- H03H9/02259—Driving or detection means
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/24—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
- H03H9/2405—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive of microelectro-mechanical resonators
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/24—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
- H03H9/2405—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive of microelectro-mechanical resonators
- H03H2009/241—Bulk-mode MEMS resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
[第1実施形態]
(構成)
図1は、第1実施形態の圧電共振子100(共振子の一例である。)の全体構成を示す斜視図である。また、図2は、図1におけるA−A断面図であり、圧電共振子100を構成する振動部110の他の態様を表している。また、図3は、圧電共振子100を構成する保持体120の一部と振動抑制部140の積層構造を示す側面断面図である。
以上の構成の圧電共振子100によれば、保持体120上に振動抑制部140を形成することにより、振動部110において生じた振動が、連結部130を介して不要振動として保持体120に伝わった場合でも、振動を抑制することが可能になる。
第2実施形態の圧電共振子について、図6を参照して説明する。図6は、図3と同様、圧電共振子を構成する保持体の一部と振動抑制部の積層構造を示す側断面図である。なお、第1実施形態と同様の構成については、同様の符号を付し、説明は省略する。
第3実施形態は、第1及び第2実施形態の圧電共振子を用いて形成した圧電共振装置に関するものであり、図7を参照して説明する。図7は、圧電共振装置300(共振装置の一例である。)の全体構成を示す分解斜視図である。なお、第1及び第2実施形態と同様の構成については、同様の符号を付し、説明は省略する。
本発明は、上記の各実施形態として示した態様に限られず、例えば、次のような態様も包含する。第2実施形態において示した圧電共振子200において、保持体120上に形成した圧電膜241上の上部電極242と、振動部110の上部電極114とが容量結合することにより、特性(k)が低下することから、保持体120上の圧電膜241上の上部電極242は、効果を喪失しない範囲で、保持体120上における配置面積を小さく構成することが望ましいことを示した。反面、圧電共振子において、電荷分布は不要振動のモード毎に変化するため、なるべく多様な電荷分布を相殺できる様に電極を配置することが望ましい。
また連結部130の形状も、各実施形態に示した形状に限定されるものではなく、種々の構造であっても良い。例えば、連結部130は、振動部110と保持体120とを互いに対向する領域同士で接続する構成に限定されない。連結部130は、途中で屈曲し、保持体120における、振動部110と連結部130との接続箇所と対向しない領域と接続する構成でもよい。
110 振動部
111 半導体層
112 下部電極
113 圧電膜
114 上部電極
120 保持体
130 連結部
140 振動抑制部
141 下部電極
142 圧電膜
143 上部電極
Claims (9)
- 半導体層と、前記半導体層上に形成された第1の圧電膜と、前記第1の圧電膜の上部に形成された第1の上部電極と、を有する振動部と、
前記振動部を振動可能に保持する保持体と、
前記振動部と前記保持体とを連結する連結部と、
前記保持体上に形成された第2の圧電膜と、前記第2の圧電膜の上部に形成された第2の上部電極とを有する振動抑制部と、
を備えた共振子。 - 前記第1の圧電膜と前記半導体層との間に形成された第1の下部電極をさらに備えた、請求項1に記載の共振子。
- 前記第2の圧電膜と前記保持体との間に形成された第2の下部電極をさらに備えた、請求項1または2に記載の共振子。
- 前記保持体は、シリコンにより形成された縮退半導体である、
請求項1〜3の何れか一項に記載の共振子。 - 前記第1の圧電膜は、前記第2の圧電膜と同一材料により形成され、
前記第1の上部電極は、前記第2の上部電極と同一材料により形成された、
請求項1〜4の何れか一項に記載の共振子。 - 前記共振子は、
前記第2の圧電膜と前記保持体との間に形成された第2の下部電極をさらに備え、
前記第1の下部電極は、前記第2の下部電極と同一材料により形成された、
請求項2に記載の共振子。 - 前記第2の上部電極は接地されている、請求項1〜6の何れか一項に記載の共振子。
- 前記第2の圧電膜は、前記第1の圧電膜よりも結晶性が低い、請求項1〜7の何れか一項に記載の共振子。
- 請求項1〜8の何れか一項に記載の共振子と、
前記共振子を覆う蓋体と、
前記共振子に電気的に接続された外部端子と、
を備えた共振装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014215333 | 2014-10-22 | ||
JP2014215333 | 2014-10-22 | ||
PCT/JP2015/079546 WO2016063863A1 (ja) | 2014-10-22 | 2015-10-20 | 共振子及び共振装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018068649A Division JP6519685B2 (ja) | 2014-10-22 | 2018-03-30 | 共振子及び共振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016063863A1 true JPWO2016063863A1 (ja) | 2017-04-27 |
JP6402869B2 JP6402869B2 (ja) | 2018-10-10 |
Family
ID=55760896
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016555226A Active JP6402869B2 (ja) | 2014-10-22 | 2015-10-20 | 共振子及び共振装置 |
JP2018068649A Active JP6519685B2 (ja) | 2014-10-22 | 2018-03-30 | 共振子及び共振装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018068649A Active JP6519685B2 (ja) | 2014-10-22 | 2018-03-30 | 共振子及び共振装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10530332B2 (ja) |
JP (2) | JP6402869B2 (ja) |
CN (1) | CN106664075B (ja) |
WO (1) | WO2016063863A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106233624B (zh) * | 2014-04-24 | 2018-12-21 | 株式会社村田制作所 | 水晶振动装置以及其制造方法 |
CN109075767B (zh) * | 2016-05-26 | 2022-04-29 | 株式会社村田制作所 | 谐振子以及谐振装置 |
WO2019058632A1 (ja) * | 2017-09-19 | 2019-03-28 | 株式会社村田製作所 | 共振子及び共振装置 |
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-
2015
- 2015-10-20 WO PCT/JP2015/079546 patent/WO2016063863A1/ja active Application Filing
- 2015-10-20 CN CN201580041358.1A patent/CN106664075B/zh active Active
- 2015-10-20 JP JP2016555226A patent/JP6402869B2/ja active Active
-
2017
- 2017-03-08 US US15/453,173 patent/US10530332B2/en active Active
-
2018
- 2018-03-30 JP JP2018068649A patent/JP6519685B2/ja active Active
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Also Published As
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---|---|
WO2016063863A1 (ja) | 2016-04-28 |
JP6519685B2 (ja) | 2019-05-29 |
US20170179922A1 (en) | 2017-06-22 |
JP2018102017A (ja) | 2018-06-28 |
CN106664075A (zh) | 2017-05-10 |
JP6402869B2 (ja) | 2018-10-10 |
US10530332B2 (en) | 2020-01-07 |
CN106664075B (zh) | 2019-06-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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