JP2005318531A - バルク波素子 - Google Patents

Abstract

【課題】 信号強度の減衰を従来よりも抑制することができるバルク波素子を提供する。
【解決手段】 バルク波素子は、基板１の表面上に支持部３が形成され、支持部３上に電極１１ｂ、１２ｂ、１３ｂが互いに分離して形成されている。その上に圧電体薄膜４が成膜され、圧電体薄膜４上に電極１１ａ、１２ａ、１３ａが互いに電極１１ｂ、１２ｂ、１３ｂに対向するように形成される。ここで、電気信号が電極１１ａと１１ｂとの間に入力されたとき、第１出力信号と第２出力信号とが互いに逆符号となる位置に電極１２ａ及び電極１３ｂが配置されている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、バルク波素子に関し、特に、平衡型の電気信号と非平衡型の電気信号とを相互に変換する変換器として利用する技術に関する。

圧電体表面ではなく圧電体内部を伝播する弾性波はバルク波と呼ばれ、このようなバルク波を利用する素子はバルク波素子と称される。エアギャップなどの空隙を介して形成された圧電体薄膜は、圧電体固有の音速と、その膜厚により決まる共振周波数で共振する。バルク波素子が共振器あるいはフィルタとして利用可能なことは従来から良く知られており、その原理や特徴の詳細は、非特許文献１に示されている。

また、特許文献１は、上記のバルク波素子を、携帯電話機や無線ＬＡＮ端末などの無線通信機に内蔵される平衡−非平衡変換器（以下、単に「変換器」という。）として適用する技術を提案している。当該変換器は、電気信号を非平衡型から平衡型に、あるいは平衡型から非平衡型に相互に変換する素子である。
アンテナは、その構造上、一方の信号線が接地されるので、アンテナからの電気信号は必然的に非平衡型となる。ところが、信号線に発生するノイズを除去する観点からは電気信号は平衡型のほうが望ましい。そこで、上記の変換器がアンテナと送受信回路とを結ぶ信号線上に設けられる。

図１０は、特許文献１に開示された変換器の構成を示す図である。
変換器５２は、圧電体基板５２ａの第１の主面に電極５２ｂ、５２ｃが形成され、電極５２ｂ、５２ｃに対向するように第２の主面に電極５２ｄ、５２ｅが形成されている。電極５２ｂと５２ｄとの間にアンテナからの電気信号が入力されると、圧電体基板５２ａに弾性波が発生する。そうすると、電極５２ｃと電極５２ｅとの間に弾性波に起因する電気信号が発生する。この電気信号を変換器５２の出力信号とする。これによれば、出力信号は、平衡型の電気信号となる。
特開２００３−３４７８８９号公報 弾性波素子技術ハンドブック 日本学術振興会弾性波素子技術第１５０委員会編 平成３年 オーム社 ２編３章１２５乃至１２８頁

しかしながら、上述のように電気信号を平衡型とすることでノイズを除去することはできるが、変換器を設けることにより信号強度が減衰するという問題が発生する。
そこで、本発明は、信号強度の減衰を従来よりも抑制することができるバルク波素子を提供することを目的とする。

本発明に係るバルク波素子は、圧電体薄膜と、前記圧電体薄膜の第１の主面に設けられた第１電極と、前記第１電極に前記圧電体薄膜を挟み対向して第２の主面に設けられた第１対向電極と、前記第１の主面に設けられた第２電極と、
前記第２電極に前記圧電体薄膜を挟み対向して前記第２の主面に設けられた第２対向電極と、前記第２の主面に設けられた第３電極と、前記第３電極に前記圧電体薄膜を挟み対向して前記第１の主面に設けられた第３対向電極と、前記第２対向電極と前記第３対向電極とを同電位にする同電位手段とを備え、前記圧電体薄膜の共振周波数の電気信号が前記第１電極と前記第１対向電極とから入力されたとき、前記第２対向電極の電位を基準とする前記第２電極の電位と前記第３電極の電位とが逆符号となる位置に前記第２電極及び前記第３電極が配置されている。

上記構成により、バルク波素子は、第２電極と第３電極との双方から互いに逆符号の電気信号を出力する。これらは逆符号なので差分をとることにより電気信号を足し合せることができる。したがって、当該バルク波素子は、出力電極がひとつである従来の変換器よりも信号強度の減衰を抑制することができる。
また、前記第２電極及び前記第３電極は、さらに、前記第２対向電極の電位を基準とする前記第２電極の電位の絶対値と前記第３電極の電位の絶対値とが同じ大きさとなる位置に配置されていることとしてもよい。

上記構成により、バルク波素子は、第２電極と第３電極との双方から電圧の絶対値が同じ電気信号を出力する。これにより各電気信号の平衡度が１となり、信号線上に発生する同相のノイズをキャンセルすることができる。
また、前記第２電極は、さらに、前記第２対向電極の電位を基準とする前記第２電極の電位の絶対値が極大となる位置に配置され、前記第３電極は、さらに、前記第２対向電極の電位を基準とする前記第３電極の電位の絶対値が極大となる位置に配置されていることとしてもよい。

上記構成により、バルク波素子は、第２電極及び第３電極は、電圧の絶対値が極大となる位置、即ち、定在波の腹の位置に配置されている。これにより、弾性波を効率的に電気信号に変換することができる。
また、前記第１電極及び前記第１対向電極に電気信号が入力されたとき、前記第２電極及び前記第３電極が電気信号を出力することとしてもよい。

上記構成により、バルク波素子は、電気信号を非平衡型から平衡型に変換する変換器として適用される。
また、前記第２電極及び前記第３電極に電気信号が入力されたとき、前記第１電極及び前記第１対向電極が電気信号を出力することとしてもよい。
上記構成により、バルク波素子は、電気信号を平衡型から非平衡型に変換する変換器として適用される。

（実施の形態１）
図１は、実施の形態１に係るバルク波素子の断面図である。
バルク波素子は、空隙部２を有する基板１の表面上に支持部３が形成され、支持部３上に電極１１ｂ、１２ｂ、１３ｂが互いに分離して等間隔に形成されている。その上に圧電体薄膜４が成膜され、圧電体薄膜４上に電極１１ａ、１２ａ、１３ａが互いに電極１１ｂ、１２ｂ、１３ｂに対向するように形成された構造となっている。

基板１は、単結晶シリコンからなり、その厚みは約３００μｍである。
空隙部２は、基板１の裏面からのエッチングにより形成される。
支持部３は、酸化シリコンからなり、圧電体薄膜４を支持する。
圧電体薄膜４は、窒化アルミニウムからなり、その膜厚は約１μｍである。また、基板１の表面における空隙部２の幅は約１００μｍであり、圧電体薄膜４はこの幅に相当する部分が入力信号により振動する。

各電極は、モリブデンからなり、スパッタ法によりそれぞれ約２００ｎｍの厚みに形成されている。
電極１１ａは、アンテナに接続されており、電極１１ｂは、配線６により接地されている。電極１１ａと電極１１ｂとの間にアンテナからの非平衡型の電気信号が入力されると、圧電体薄膜４に弾性波が発生する。これにより、電極１２ａと電極１２ｂとの間に弾性波に起因する電気信号が発生する。また、同様に、電極１３ａと電極１３ｂとの間にも弾性波に起因する電気信号が発生する。

電極１２ａと電極１２ｂとの間に発生した電気信号は、電極１２ａから第１出力信号として出力される。また、電極１３ａと電極１３ｂとの間に発生した電気信号は、電極１３ｂから第２出力信号として出力される。この第１出力信号と第２出力信号とで平衡型の電気信号が構成される。
なお、配線５及び配線６は、本発明の「同電位手段」の一例であって、電極１２ｂは配線６により接地されており、電極１３ａは配線５により接地されている。これにより、電極１２ｂと電極１３ａとは同電位（ここでは、接地電位）に保たれる。

図２は、実施の形態１に係るバルク波素子の主要部を示す斜視図である。
各電極は圧電体薄膜４の外部まで引き出されている。電極１１ｂ、１２ｂ、１３ａは、共通に接地される。
本発明は上記の各電極の配置に特徴があるので、以下に説明する。
図３は、実施の形態１に係る各電極の配置と弾性波の振動モードとを模式的に示す図である。

圧電体薄膜４は、電極１１ａと電極１１ｂとの間に共振周波数の電気信号が入力されることにより、その内部に弾性波が発生する。この弾性波には各種の振動モードがある。
図３（ａ）は、１次モードを示す。ｗ１１は、ある時点における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。また、ｗ１２は、ｗ１１から半周期後における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。

図３（ｂ）は、３次モードを示す。ｗ１３は、ある時点における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。また、ｗ１４は、ｗ１３から半周期後における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。
これによれば、１次モード及び３次モードのいずれの場合であっても、電極１２ａ及び電極１３ｂは、それぞれが出力する第１出力信号及び第２出力信号が逆符号となるような位置に電極１２ａと電極１１ａの間隔及び電極１１ｂと電極１３ｂの間隔が等しくなるように配置されている。第１出力信号と第２出力信号とが互いに逆符号であれば、送受信回路においてその差分をとることにより各出力信号を足し合せることができる。したがって、当該バルク波素子は、出力電極がひとつである従来の変換器（図１３参照）よりも信号強度の減衰を抑制することができる。

また、出力信号の絶対値に着目すれば、電極１２ａ及び電極１３ｂは、第１出力信号及び第２出力信号の大きさが同じとなる位置に配置されている。
したがって、各出力信号の平衡度が１となり、送受信回路までの信号線上に発生する同相のノイズをキャンセルすることができる。
また、出力信号の絶対値の大きさに着目すれば、電極１２ａ及び電極１３ｂは、いずれも出力信号の絶対値が極大となる位置、即ち、３次モードの定在波における腹の位置に配置されている。これにより、弾性波を効率的に電気信号に変換することができる。

なお、上述のように、３次モードを利用することにより、派生的にバルク波素子の帯域特性を広くすることができる。
図４は、実施の形態１に係るバルク波素子の帯域特性を示す図である。
１５は、１次モードのみによる帯域特性を示し、１６は、３次モードのみによる帯域特性を示す。上述のバルク波素子の帯域特性は、１次モードと３次モードとの帯域特性が結合され、１７に示す曲線になる。

１８は、従来のバルク波素子の帯域特性である。
これよると、−３ｄＢにおける帯域幅が、従来は約１００ＭＨｚであるのに対し、実施の形態１によれば約２００ＭＨｚと大幅に向上していることがわかる。
（実施の形態２）
図５は、実施の形態２に係るバルク波素子の断面図である。

バルク波素子は、圧電体薄膜４の上面と下面とにそれぞれ電極が５枚ずつ設けられている。それ以外の構成については実施の形態１と同様なので説明を省略する。
電極２１ａは、アンテナに接続されており、電極２１ｂは、配線６により接地されている。電極２１ａと電極２１ｂとの間にアンテナからの非平衡型の電気信号が入力されると、圧電体薄膜４に弾性波が発生する。これにより、電極２２ａと電極２２ｂとの間、電極２３ａと電極２３ｂとの間、電極２４ａと電極２４ｂとの間、電極２５ａと電極２５ｂとの間に、それぞれ弾性波に起因する電気信号が発生する。

電極２２ａ及び電極２３ａは、並列に接続されており、各電極に発生した電気信号を第１出力信号として出力する。また、電極２４ｂ及び電極２５ｂは、並列に接続されており、各電極に発生した電気信号を第２出力信号として出力する。この第１出力信号と第２出力信号とで平衡型の電気信号が構成される。
なお、配線５及び配線６は、本発明の「同電位手段」の一例であって、電極２２ｂ及び電極２３ｂは、配線６によりそれぞれ接地されており、電極２４ａ及び電極２５ａは、配線５によりそれぞれ接地されている。これにより、電極２２ｂ、電極２３ｂ、電極２４ａ及び電極２５ａは同電位（ここでは、接地電位）に保たれる。

本発明は、上記の各電極の配置に特徴がある。以下に詳細に説明する。
図６は、実施の形態２に係る各電極の配置と弾性波の振動モードとを模式的に示す図である。
図６（ａ）は、１次モードを示す。ｗ２１は、ある時点における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。また、ｗ２２は、ｗ２１から半周期後における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。

図６（ｂ）は、３次モードを示す。ｗ２３は、ある時点における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。また、ｗ２４は、ｗ２３から半周期後における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。
これによれば、１次モード及び３次モードのいずれの場合であっても、電極２２ａと電極２１ａの間隔及び電極２１ｂと電極２４ｂの間隔が等しく、かつ、電極２３ａと電極２１ａの間隔及び電極２１ｂと電極２５ｂの間隔が等しくなるように配置されている。この点については、実施の形態１と同様である。

また、出力信号の絶対値に着目すれば、電極２２ａ、２３ａ、２４ｂ、２５ｂは、第１出力信号及び第２出力信号の大きさが同じとなる位置に配置されている。この点についても、実施の形態１と同様である。
なお、電極２２ａ、２３ａ、２４ｂ、２５ｂは、３次モードの定在波の腹の位置には配置されていない。実施の形態２は、この点において実施の形態１と異なる。このように、電極数を増やすことにより、設計の自由度が増し、所望の挿入損失と帯域幅を得るための設計パラメータの調整を行いやすくなる。
（実施の形態３）
図７は、実施の形態３に係るバルク波素子の断面図である。

バルク波素子は、圧電体薄膜４の上面と下面とにそれぞれ電極が５枚ずつ設けられている。それ以外の構成については実施の形態１と同様なので説明を省略する。
電極３１ａは、アンテナに接続されており、電極３１ｂは、接地されている。電極３１ａと電極３１ｂとの間にアンテナからの非平衡型の電気信号が入力されると、圧電体薄膜４に弾性波が発生する。これにより、電極３２ａと電極３２ｂとの間、電極３３ａと電極３３ｂとの間、電極３４ａと電極３４ｂとの間、電極３５ａと電極３５ｂとの間に、それぞれ弾性波に起因する電気信号が発生する。

電極３２ｂ及び電極３３ａは、並列に接続されており、各電極に発生した電気信号を第１出力信号として出力する。また、電極３４ａ及び電極３５ｂは、並列に接続されており、各電極に発生した電気信号を第２出力信号として出力する。この第１出力信号と第２出力信号とで平衡型の電気信号が構成される。
なお、配線５及び配線６は、本発明の「同電位手段」の一例であって、電極３２ａ及び電極３５ａは、配線５によりいずれも接地されており、電極３３ｂ及び電極３４ｂは、配線６によりいずれも接地されている。これにより、電極３２ａ、電極３３ｂ、電極３４ｂ及び電極３５ａは同電位（ここでは、接地電位）に保たれる。

本発明は、上記の各電極の配置に特徴がある。以下に詳細に説明する。
図８は、実施の形態３に係る各電極の配置と弾性波の振動モードとを模式的に示す図である。
図８（ａ）は、１次モードを示す。ｗ３１は、ある時点における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。また、ｗ３２は、ｗ３１から半周期後における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。

図８（ｂ）は、３次モードを示す。ｗ３３は、ある時点における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。また、ｗ３４は、ｗ３３から半周期後における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。
図８（ｃ）は、５次モードを示す。ｗ３５は、ある時点における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。また、ｗ３６は、ｗ３５から半周期後における圧電体薄膜４の下面から上面へ発生する電圧を示す。

これによれば、１次モード、３次モード、５次モードのいずれの場合であっても、電極３１ａ、３２ａ、３３ａどうしの間隔と電極３１ｂ、３４ｂ、３５ｂどうしの間隔とが等しくなるように配置されている。この点については、実施の形態１と同様である。
また、出力信号の絶対値に着目すれば、電極３２ｂ、３３ａ、３４ａ、３５ｂは、第１出力信号と第２出力信号との大きさが同じとなる位置に配置されている。この点についても、実施の形態１と同様である。

なお、電極３２ｂ、電極３３ａ、電極３４ａ及び電極３５ｂは、３次モードの定在波の腹の位置には配置されておらず、５次モードの定在波の腹の位置に配置されている。実施の形態３は、この点において実施の形態１と異なる。このように、実施の形態３は５次モードの弾性波を効率的に電気信号に変換することができる。１次モードと３次モードの結合よりも、１次モードと５次モードの結合の方がより広い周波数特性を有しているため、バルク波素子の通過特性を実施の形態１よりも広くすることができる。
（実施の形態４）
図９は、実施の形態４に係るバルク波素子の斜視図であり、特に、圧電体薄膜及び電極の位置を示す図である。

圧電体薄膜４は、その上面の中央部に電極４１ａを備え、さらに、横系列の電極４２ａ及び４３ａ、縦系列の電極４４ａ及び４５ａが形成されている。また、圧電体薄膜４の下面には、電極４１ｂ、４２ｂ、４３ｂ、４４ｂ、４５ｂが互いに電極４１ａ、４２ａ、４３ａ、４４ａ、４５ａに対向するように形成されている。
実施の形態１では、電極１１ａ、１２ａ、１３ａが１次元上に配列されたものであるが、実施の形態４では、電極４１ａ、４２ａ、４３ａが横系列、電極４１ａ、４４ａ、４５ａが縦系列として２次元上に配列されている。その点においては構成が異なるが、横系列のみに着目すれば実施の形態１と同様であり、また、縦系列のみに着目しても実施の形態１と同様である。

なお、第１出力信号が電極４２ａ、４４ａから並列に出力され、また、第２出力信号が電極４４ｂ、４５ｂから並列に出力される。実施の形態４は、この点において実施の形態１と異なる。このように、各出力信号を２箇所ずつから得ることにより出力信号を実施の形態１に比べて増加させることができる。さらに、電極を追加することにより、出力信号をより増加させることができる。

なお、図９では、横系列と縦系列とが直交するようにしているが、第１出力信号と第２出力信号とが逆符号であり、かつ、その大きさが同一であれば、これに限らない。
なお、横系列と縦系列とのいずれかを実施の形態３のようにすれば、３次モード、５次モードの弾性波を効率的に電気信号に変換することができる。５次モードを用いることにより、バルク波素子の通過特性を実施の形態１よりも広くすることができ、さらに、３次モードを用いることにより実施の形態３よりも通過特性が良好となる。
（変形例）
（１）実施の形態１では、非平衡型の電気信号を平衡型の電気信号に変換する変換器としてバルク波素子を利用している。しかし、このバルク波素子は、平衡型の電気信号を非平衡型の電気信号に変換する変換器としても利用可能である。

その場合、バルク波素子は、電極１２ａに第１入力信号（平衡型の一方の電気信号）を入力し、電極１３ｂに第２入力信号（平衡型の他方の電気信号）を入力する。そうすると、圧電体薄膜４に、図３（ｂ）に示すような３次モードの弾性波が発生する。これにより電極１１ａ及び電極１１ｂの間に弾性波に起因する電気信号が発生する。この電気信号が電極１１ａから出力信号として出力される。

なお、実施の形態１に限らず全ての実施の形態で同様に、非平衡型の電気信号を平衡型の電気信号に変換する変換器としてバルク波素子を利用することができる。
（２）図１０は、変形例に係るバルク波素子の断面図である。このように、空隙部２は、基板１に設けられた凹部であってもよい。
（３）実施の形態では、バルク波素子は、圧電体薄膜４と基板１とを音響的に切り離すために空隙部２を備えたFBAR(Film Bulk Acoustic Resonator)型を採用している。しかしながら、圧電体薄膜４と基板１とを音響的に切り離すことができれば、FBAR型に限らず、他の方策を採用することとしてもよい。例えば、バルク波素子をSMR(Solidly Mounted Resonator)型で構成することも可能である。

図１１は、実施の形態１の変形例に係るSMR型バルク波素子の断面図である。
当該バルク波素子は、空隙部２及び支持部３に代えて音響多層膜７を備える。それ以外の構成については実施の形態１と同様である。
音響多層膜７は、音響インピーダンスが低い低インピーダンス層７ａと、音響インピーダンスが高い高インピーダンス層７ｂとが交互に積層されてなる。各層はλ／４の厚みに調整されている。ここで、波長λは、各層の固有の音速Ｃから圧電体薄膜４の共振周波数ｆを除して得られるものであり、各層を構成する素材に応じて異なる。このような音響多層膜７上で圧電体薄膜４が共振周波数ｆで振動すれば、共振周波数ｆの音波は各層の界面で一定の割合で反射され、それらが重ね合わされることにより結果的にほぼ全反射することとなる。すなわち、共振周波数ｆの音波については圧電体薄膜４と基板１とが音響的に切り離されることとなる。このように、バルク波素子をSMR型で構成しても実施の形態１に係るFBAR型バルク波素子と同様の効果を得ることができる。

なお、低インピーダンス層７ａの素材としては、例えば、Si、SiO₂、ポリシリコン、Al、高分子材料などを用いることができる。高インピーダンス層７ｂの素材としては、例えば、Au、Mo、W、AlNなどを用いることができる。このなかでも、低インピーダンス層７ａがSiO₂、高インピーダンス層７ｂがAlNの組み合わせが好ましい。積層数は、多くするほど音響的な絶縁効果が高いというメリットがある一方で、製造工数が増大するというデメリットがある。これらを考慮すると、低インピーダンス層７ａが２層、高インピーダンス層７ｂが２層の計４層が現実的である。ただし、これに限られるものではない。

図１２は、実施の形態３の変形例に係るバルク波素子の断面図である。
当該バルク波素子は、空隙部２及び支持部３に代えて音響多層膜７を備える。それ以外の構成については実施の形態３と同様である。また、音響多層膜７の構成は、上述したとおりである。このように、バルク波素子をSMR型で構成しても実施の形態３に係るバルク波素子と同様の効果を得ることができる。

本発明は、無線通信機に内蔵される変換器に利用することができる。

実施の形態１に係るバルク波素子の断面図である。 実施の形態１に係るバルク波素子の主要部を示す斜視図である。 実施の形態１に係る各電極の配置と弾性波の振動モードとを模式的に示す図である。 実施の形態１に係るバルク波素子の帯域特性を示す図である。 実施の形態２に係るバルク波素子の断面図である。 実施の形態２に係る各電極の配置と弾性波の振動モードとを模式的に示す図である。 実施の形態３に係るバルク波素子の断面図である。 実施の形態３に係る各電極の配置と弾性波の振動モードとを模式的に示す図である。 実施の形態４に係るバルク波素子の斜視図であり、特に、圧電体薄膜及び電極の位置を示す図である。 変形例に係るバルク波素子の断面図である。 実施の形態１の変形例に係るバルク波素子の断面図である。 実施の形態３の変形例に係るバルク波素子の断面図である。 特許文献１に開示された変換器の構成を示す図である。

符号の説明

１ 基板
２ 空隙部
３ 支持部
４ 圧電体薄膜
５ 配線
６ 配線
１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂ 電極

Claims (5)

1. 圧電体薄膜と、
   前記圧電体薄膜の第１の主面に設けられた第１電極と、
   前記第１電極に前記圧電体薄膜を挟み対向して第２の主面に設けられた第１対向電極と、
   前記第１の主面に設けられた第２電極と、
   前記第２電極に前記圧電体薄膜を挟み対向して前記第２の主面に設けられた第２対向電極と、
   前記第２の主面に設けられた第３電極と、
   前記第３電極に前記圧電体薄膜を挟み対向して前記第１の主面に設けられた第３対向電極と、
   前記第２対向電極と前記第３対向電極とを同電位にする同電位手段とを備え、
   前記圧電体薄膜の共振周波数の電気信号が前記第１電極と前記第１対向電極とから入力されたとき、前記第２対向電極の電位を基準とする前記第２電極の電位と前記第３電極の電位とが逆符号となる位置に前記第２電極及び前記第３電極が配置されていること
   を特徴とするバルク波素子。
2. 前記第２電極及び前記第３電極は、さらに、
   前記第２対向電極の電位を基準とする前記第２電極の電位の絶対値と前記第３電極の電位の絶対値とが同じ大きさとなる位置に配置されていること
   を特徴とする請求項１に記載のバルク波素子。
3. 前記第２電極は、さらに、
   前記第２対向電極の電位を基準とする前記第２電極の電位の絶対値が極大となる位置に配置され、
   前記第３電極は、さらに、
   前記第２対向電極の電位を基準とする前記第３電極の電位の絶対値が極大となる位置に配置されていること
   を特徴とする請求項２に記載のバルク波素子。
4. 前記第１電極及び前記第１対向電極に電気信号が入力されたとき、前記第２電極及び前記第３電極が電気信号を出力すること
   を特徴とする請求項１から３に記載のバルク波素子。
5. 前記第２電極及び前記第３電極に電気信号が入力されたとき、前記第１電極及び前記第１対向電極が電気信号を出力すること
   を特徴とする請求項１から３に記載のバルク波素子。

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