WO2019111893A1 - 弾性波装置 - Google Patents
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- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Definitions
- the present invention relates to an elastic wave device.
- Patent Document 1 discloses an example of an elastic wave device.
- the auxiliary substrate, the insulating film, and the main substrate are stacked in this order, and the comb electrode is provided on the main substrate.
- the main substrate is a piezoelectric substrate.
- Silicon (Si) is mentioned as a material of the auxiliary substrate.
- Silicon oxide is mentioned as a material of an insulating film.
- An object of the present invention is to provide an elastic wave device capable of suppressing non-linear distortion.
- An elastic wave device includes a semiconductor substrate, a dielectric film provided on the semiconductor substrate, a piezoelectric layer provided on the dielectric film, and a piezoelectric layer provided on the piezoelectric layer.
- the semiconductor substrate has a porous layer reaching the main surface on the dielectric film side, and the porous layer is positioned at least in a portion overlapping with the IDT electrode in plan view There is.
- nonlinear distortion can be controlled.
- FIG. 1 is a front cross-sectional view of an elastic wave device according to a first embodiment of the present invention.
- FIG. 2 is a plan view of the elastic wave device according to the first embodiment of the present invention.
- FIG. 3 is a diagram showing double distortion at 900 MHz of a coplanar line formed on a substrate.
- FIG. 4 is a front cross-sectional view of an elastic wave device according to a second embodiment of the present invention.
- FIG. 1 is a front cross-sectional view of an elastic wave device according to a first embodiment of the present invention.
- the elastic wave device 1 has a semiconductor substrate 2.
- the semiconductor substrate 2 is a substrate made of a p-type semiconductor. More specifically, the semiconductor substrate 2 contains p-type silicon as a main component. In the present specification, the term “main component” means containing 50% by weight or more.
- the material of the semiconductor substrate 2 is not limited to the above.
- the semiconductor substrate 2 of the present embodiment is a low resistance semiconductor substrate having a resistivity of 0.001 ⁇ cm or more and 0.005 ⁇ cm or less.
- the resistivity of the semiconductor substrate 2 is not limited to the above.
- the semiconductor substrate 2 has a main surface 2a.
- the semiconductor substrate 2 has a porous layer 3 reaching the main surface 2 a and a dense layer 4 surrounding the porous layer 3.
- the porous layer 3 and the dense layer 4 constitute the main surface 2 a of the semiconductor substrate 2.
- the dense layer 4 is a denser layer than the porous layer 3.
- the density of the dense layer 4 is higher than the density of the porous layer 3.
- the dense layer 4 does not contain pores.
- each pore in the porous layer 3 is a mesopore, and the diameter is about 10 nm or more and 100 nm or less.
- the porosity of the porous layer 3 is 50% or more.
- the diameter and porosity of the pores of the porous layer 3 are not limited to the above.
- the porous layer 3 has a semi-elliptical shape.
- the shape of the porous layer 3 is not limited to the above, and may be, for example, a rectangular shape.
- the thickness of the semiconductor substrate 2 is not particularly limited, but is about 500 ⁇ m to 600 ⁇ m in the present embodiment.
- the thickness of the porous layer 3 is not particularly limited, but is 150 ⁇ m or more in the present embodiment. In the present specification, the thickness of the porous layer 3 refers to the thickness of the thickest portion of the porous layer 3 in the direction parallel to the thickness direction of the semiconductor substrate 2.
- a dielectric film 5 is provided on the main surface 2 a of the semiconductor substrate 2.
- the dielectric film 5 is not particularly limited, but in the present embodiment, silicon oxide is a main component. More specifically, silicon oxide is represented by SiO x , and the dielectric film 5 of the elastic wave device 1 contains SiO 2 as a main component.
- the dielectric film 5 may have silicon oxide or the like in which x is a number other than 2 as a main component.
- a piezoelectric layer 6 is provided on the dielectric film 5.
- the piezoelectric layer 6 is made of lithium tantalate.
- the lithium tantalate of the piezoelectric layer 6 is represented by LiTaO 3 .
- the piezoelectric layer 6 may be formed of a piezoelectric single crystal other than lithium tantalate such as lithium niobate, or may be formed of a piezoelectric ceramic such as ZnO, AlN, or PZT.
- An IDT electrode 7 is provided on the piezoelectric layer 6. By applying an alternating voltage to the IDT electrode 7, an elastic wave is excited.
- the reflector 8 and the reflector 9 are provided on both sides of the IDT electrode 7 in the elastic wave propagation direction.
- an elastic wave resonator is configured.
- the elastic wave device 1 of the present embodiment is an elastic wave resonator, but is not limited to this, and may be, for example, a longitudinally coupled resonator type elastic wave filter, a filter device including the above elastic wave resonator, etc. .
- FIG. 2 is a plan view of the elastic wave device according to the first embodiment.
- the porous layer 3 is located in a portion of the semiconductor substrate 2 overlapping the IDT electrode 7, the reflector 8 and the reflector 9 in plan view. In the plan view, the dense layer 4 surrounds the porous layer 3.
- the feature of the present embodiment is that the semiconductor substrate 2 has the porous layer 3 reaching the main surface 2 a on the dielectric film 5 side, and the porous layer 3 overlaps the IDT electrode 7 in plan view of the semiconductor substrate 2. It is located in Since the porous layer 3 is disposed in a portion where the semiconductor substrate 2 and the dielectric film 5 are in contact with each other, generation of charges at the interface between the semiconductor substrate 2 and the dielectric film 5 can be suppressed.
- the portion of the semiconductor substrate 2 overlapping the IDT electrode 7 in plan view has a particularly high intensity of the electric field from the IDT electrode 7.
- the porous layer 3 is located at a portion where the strength of the electric field is particularly high.
- the dielectric constant of the porous layer 3 is lower than the dielectric constant of the dense layer 4. Therefore, interference between the electric field from the IDT electrode 7 and the charge in the semiconductor substrate 2 can be effectively suppressed. Therefore, non-linear distortion due to the interference can be effectively suppressed.
- the dense layer 4 surrounds the porous layer 3 in plan view.
- the dense layer 4 also constitutes the main surface 2 a of the semiconductor substrate 2. Therefore, the dielectric film 5 and the piezoelectric layer 6 can be suitably supported by the semiconductor substrate 2, and the strength of the elastic wave device 1 can be increased.
- the thickness of the porous layer 3 is thickest in a portion overlapping with the vicinity of the center of the IDT electrode 7 in plan view.
- the thickness of the porous layer 3 is thinner from the portion overlapping the vicinity of the center of the IDT electrode 7 toward the outer side in the elastic wave propagation direction and the direction orthogonal to the direction.
- the intensity of the electric field from the IDT electrode 7 is particularly high in a portion overlapping the vicinity of the center of the IDT electrode 7.
- the thickness of the porous layer 3 is the largest, the interference between the electric field and the charge in the semiconductor substrate 2 can be suppressed more effectively.
- the thickness of the porous layer 3 is thin in other portions, the decrease in the strength of the semiconductor substrate 2 can be effectively suppressed.
- the double strain when the coplanar line is formed on a p-type silicon substrate having a porous layer and the double strain when the coplanar line is formed on another substrate And the result compared with.
- the substrate to be compared was a quartz substrate, a p-type silicon substrate having no porous layer, and a substrate provided with a polysilicon layer as a trap rich layer on the surface of a high resistance silicon wafer.
- FIG. 3 is a diagram showing double distortion at 900 MHz of a coplanar line formed on a substrate.
- the silicon substrate which has a porous layer is used is described as porous silicon.
- the case where a substrate provided with a polysilicon layer on the surface of a high resistance silicon wafer is used as a trap rich layer is described as a trap rich high resistance silicon.
- FIG. 3 the result of using a p-type silicon substrate having a porous layer is shown by a broken line, and the other results are shown by a solid line.
- the porous layer 3 shown in FIG. 1 can be formed, for example, by anodizing the base material of the semiconductor substrate 2 with a concentrated hydrofluoric acid solution.
- m1 of the base material of the semiconductor substrate 2 before etching by anodization m2 of the mass after the etching is m2, and mass of the porous layer 3 removed is m3.
- P The porosity is P.
- the porous layer 3 may be removed, for example, with a potassium hydroxide aqueous solution or the like.
- the porosity may be measured by ultrasonic measurement.
- the relative permittivity of the porous layer 3 is in accordance with the Vegard rule of the semiconductor and air as follows: It can be estimated by the equation.
- the relative permittivity of the porous layer 3 is denoted by ⁇ P.
- ⁇ P ⁇ S -P / 100 ⁇ ( ⁇ S - ⁇ Air )
- the relative dielectric constant ⁇ P of the porous layer 3 can be estimated by the following equation.
- the porosity P As the porosity P is higher, the relative dielectric constant ⁇ P of the porous layer 3 is lower. Therefore, as the porosity P is higher, the interference between the electric field from the IDT electrode 7 and the charge in the semiconductor substrate 2 can be further suppressed, and the non-linear distortion can be further suppressed.
- the porosity P is preferably 30% or more, and more preferably 80% or more.
- the relative permittivity ⁇ P of the porous layer 3 is 3.7 or less, which is lower than 1/3 of the relative permittivity of silicon itself. Thus, non-linear distortion can be further suppressed.
- the porosity P is preferably 85% or less. Thereby, the decrease in the strength of the semiconductor substrate 2 can be suppressed.
- the thickness of the porous layer 3 is preferably 15 ⁇ m or more, more preferably 100 ⁇ m or more, and still more preferably 200 ⁇ m or more. In this case, the interference between the electric field from the IDT electrode 7 and the charge in the semiconductor substrate 2 can be further suppressed.
- the resistivity of the semiconductor substrate 2 is preferably 10 ⁇ cm or less, more preferably 1 ⁇ cm or less, and still more preferably 0.1 ⁇ cm or less.
- a semiconductor substrate with low resistivity can be obtained more easily than a semiconductor substrate with high resistivity.
- the semiconductor substrate 2 of the present embodiment has the porous layer 3 which reaches the main surface 2 a and is located in a portion overlapping with the IDT electrode 7 in plan view. Therefore, even when the resistivity of semiconductor substrate 2 is low, charges are not easily generated at the interface between semiconductor substrate 2 and dielectric film 5, and interference between the electric field from IDT electrode 7 and the charges in semiconductor substrate 2 is suppressed. can do. Therefore, the productivity can be enhanced and the non-linear distortion can be suppressed.
- the semiconductor substrate 2 is preferably made of a p-type semiconductor. In this case, anodization at the time of forming the porous layer 3 can be easily performed, and productivity can be enhanced.
- FIG. 4 is a front cross-sectional view of an elastic wave device according to a second embodiment.
- the present embodiment is different from the first embodiment in the arrangement of the porous layer 13.
- the elastic wave device 11 of the present embodiment has the same configuration as the elastic wave device 1 of the first embodiment except for the above points.
- the porous layer 13 is provided on the dense layer 14.
- the main surface 12 a of the semiconductor substrate 12 is constituted only by the porous layer 13.
- the porous layer 13 is located in a portion of the semiconductor substrate 12 overlapping the IDT electrode 7 in a plan view. Therefore, as in the first embodiment, it is difficult to generate charges at the interface between the semiconductor substrate 12 and the dielectric film 5 and to suppress interference between the electric field from the IDT electrode 7 and the charges in the semiconductor substrate 12. it can. Therefore, non-linear distortion hardly occurs.
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
非線形歪を抑制することができる、弾性波装置を提供する。 弾性波装置1は、半導体基板2と、半導体基板2上に設けられている誘電体膜5と、誘電体膜5上に設けられている圧電体層6と、圧電体層6上に設けられているIDT電極7とを備える。半導体基板2が、誘電体膜5側の主面2aに至っているポーラス層3を有し、少なくとも、平面視においてIDT電極7と重なる部分に、ポーラス層3が位置している。
Description
本発明は、弾性波装置に関する。
従来、弾性波装置は、携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。下記の特許文献1には、弾性波装置の一例が開示されている。この弾性波装置においては、補助基板、絶縁性膜及び主基板がこの順序で積層されており、主基板上に櫛形電極が設けられている。ここで、主基板は圧電基板である。補助基板の材料としてはシリコン(Si)が挙げられている。絶縁性膜の材料としては酸化ケイ素が挙げられている。
特許文献1に記載のような弾性波装置においては、補助基板上に絶縁性膜が積層されていることにより、補助基板の絶縁性膜側の表面の抵抗が低くなる傾向があった。そのため、櫛形電極からの電界が、上記表面において生じた電荷と干渉することによる非線形歪が生じることがあった。このような干渉により非線形歪が生じる現象は、PSC(Parasitic Surface Conduction)と呼ばれる。上記の弾性波装置においては、非線形歪が生じることにより、電気的特性が劣化する傾向があった。
本発明の目的は、非線形歪を抑制することができる、弾性波装置を提供することにある。
本発明に係る弾性波装置は、半導体基板と、前記半導体基板上に設けられている誘電体膜と、前記誘電体膜上に設けられている圧電体層と、前記圧電体層上に設けられているIDT電極とを備え、前記半導体基板が、前記誘電体膜側の主面に至っているポーラス層を有し、少なくとも、平面視において前記IDT電極と重なる部分に、前記ポーラス層が位置している。
本発明に係る弾性波装置によれば、非線形歪を抑制することができる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る弾性波装置の正面断面図である。
弾性波装置1は半導体基板2を有する。半導体基板2はp型半導体からなる基板である。より具体的には、半導体基板2はp型シリコンを主成分としている。本明細書において、主成分とするとは、50重量%以上含むことをいう。なお、半導体基板2の材料は上記に限定されない。
本実施形態の半導体基板2は、抵抗率が0.001Ωcm以上、0.005Ωcm以下の低抵抗の半導体基板である。なお、半導体基板2の抵抗率は上記に限定されない。
半導体基板2は主面2aを有する。半導体基板2は、主面2aに至っているポーラス層3と、ポーラス層3を囲んでいる緻密層4とを有する。ポーラス層3及び緻密層4により、半導体基板2の上記主面2aが構成されている。
ここで、緻密層4は、ポーラス層3よりも緻密な層である。緻密層4の密度はポーラス層3の密度よりも高い。本実施形態において、緻密層4は孔を含まない。他方、ポーラス層3におけるそれぞれの孔はメソポアであり、直径は10nm以上、100nm以下程度である。ポーラス層3の空隙率は50%以上である。なお、ポーラス層3の孔の直径及び空隙率は上記に限定されない。
ポーラス層3は、半楕円体状の形状を有する。なお、ポーラス層3の形状は上記に限定されず、例えば、直方体状などであってもよい。
半導体基板2の厚みは、特に限定されないが、本実施形態では500μm以上、600μm以下程度である。ポーラス層3の厚みは、特に限定されないが、本実施形態では150μm以上である。なお、本明細書において、ポーラス層3の厚みとは、半導体基板2の厚み方向と平行な方向において、ポーラス層3が最も厚い部分の厚みをいう。
半導体基板2の主面2a上には誘電体膜5が設けられている。誘電体膜5は、特に限定されないが、本実施形態においては酸化ケイ素を主成分とする。より具体的には、酸化ケイ素はSiOxにより表され、弾性波装置1の誘電体膜5はSiO2を主成分とする。なお、誘電体膜5は、xが2以外の数である酸化ケイ素などを主成分としていてもよい。
誘電体膜5上には圧電体層6が設けられている。圧電体層6はタンタル酸リチウムからなる。本実施形態において、圧電体層6のタンタル酸リチウムはLiTaO3により表される。なお、圧電体層6は、ニオブ酸リチウムなどの、タンタル酸リチウム以外の圧電単結晶からなっていてもよく、あるいは、ZnO、AlN、またはPZTなどの圧電セラミックスからなっていてもよい。
圧電体層6上にはIDT電極7が設けられている。IDT電極7に交流電圧を印加することにより、弾性波が励振される。IDT電極7の弾性波伝搬方向両側には反射器8及び反射器9が設けられている。このように、弾性波共振子が構成されている。本実施形態の弾性波装置1は弾性波共振子であるが、これに限定されず、例えば、縦結合共振子型弾性波フィルタや、上記弾性波共振子を含むフィルタ装置などであってもよい。
図2は、第1の実施形態に係る弾性波装置の平面図である。
ポーラス層3は、半導体基板2における、平面視においてIDT電極7、反射器8及び反射器9と重なる部分に位置している。なお、平面視において、緻密層4はポーラス層3を囲んでいる。
本実施形態の特徴は、半導体基板2が、誘電体膜5側の主面2aに至っているポーラス層3を有し、ポーラス層3が、半導体基板2における、平面視においてIDT電極7と重なる部分に位置していることにある。半導体基板2と誘電体膜5とが接する部分にポーラス層3が配置されているため、半導体基板2と誘電体膜5との界面において電荷が生じることを抑制することができる。なお、半導体基板2における、平面視においてIDT電極7と重なる部分は、IDT電極7からの電界の強度が特に高い。このように、電界の強度が特に高い部分にポーラス層3が位置している。ポーラス層3は多数の孔を有するため、ポーラス層3の比誘電率は緻密層4の比誘電率よりも低い。よって、IDT電極7からの電界と、半導体基板2における電荷との干渉を効果的に抑制することができる。従って、上記干渉による非線形歪を効果的に抑制することができる。
さらに、本実施形態においては、平面視において、緻密層4がポーラス層3を囲んでいる。ポーラス層3に加えて緻密層4も半導体基板2の主面2aを構成している。よって、半導体基板2により、誘電体膜5及び圧電体層6を好適に支持することができ、弾性波装置1の強度を高めることができる。
本実施形態では、ポーラス層3の厚みは、平面視において、IDT電極7の中央付近と重なる部分において最も厚い。IDT電極7の中央付近と重なる部分から、弾性波伝搬方向及び該方向に直交する方向において外側に向かうにつれて、ポーラス層3の厚みは薄くなっている。ここで、平面視において、IDT電極7の中央付近と重なる部分において、IDT電極7からの電界の強度は特に高い。電界の強度が特に高い部分において、ポーラス層3の厚みが最も厚いため、電界と、半導体基板2における電荷との干渉をより一層効果的に抑制することができる。加えて、他の部分においてはポーラス層3の厚みが薄くなっているため、半導体基板2の強度の低下を効果的に抑制することができる。
下記の図3において、本実施形態と同様の、ポーラス層を有するp型シリコン基板上にコプレーナラインを形成した場合の2倍歪と、他の基板上にコプレーナラインを形成した場合の2倍歪とを比較した結果を示す。比較対象の基板は、水晶基板、ポーラス層を有しないp型シリコン基板、及びトラップリッチレイヤーとして、ポリシリコン層を高抵抗のシリコンウェハの表面に設けた基板とした。
図3は、基板上に形成されたコプレーナラインの、900MHzにおける2倍歪を示す図である。なお、図3中においては、ポーラス層を有するシリコン基板を用いた場合をポーラスシリコンと記載している。ポーラス層を有しないp型シリコン基板を用いた場合をp型シリコンと記載している。トラップリッチレイヤーとして、ポリシリコン層を高抵抗のシリコンウェハの表面に設けた基板を用いた場合をトラップリッチ高抵抗シリコンと記載している。図3において、ポーラス層を有するp型シリコン基板を用いた結果を破線で示し、他の結果を実線で示す。
図3に示すように、ポーラス層を有しないp型シリコン基板を用いた場合、及びトラップリッチレイヤーとして、ポリシリコン層を高抵抗のシリコンウェハの表面に設けた基板を用いた場合には、2倍歪が大きいことがわかる。これに対して、ポーラス層を有するp型シリコン基板を用いた場合には、水晶基板を用いた場合と同様に、2倍歪が抑制されていることがわかる。
ここで、図1に示すポーラス層3は、例えば、濃フッ酸溶液により半導体基板2の母材を陽極化成することによって形成することができる。ポーラス層3の空隙率は、陽極化成によりエッチングされる前の半導体基板2の母材の質量をm1、上記エッチング後の質量をm2、ポーラス層3を除去したときの質量をm3としたときに、下記の式により求めることができる。なお、空隙率をPとする。
P=(m1-m2)/(m1-m3)×100
ポーラス層3は、例えば、水酸化カリウム水溶液などにより除去すればよい。空隙率は、超音波測定により測定してもよい。
ポーラス層3の比誘電率は、半導体基板2を構成している半導体の比誘電率をεS、空気の比誘電率をεAirとしたときに、半導体と空気とのベガード則に従い、下記の式により見積もることができる。なお、ポーラス層3の比誘電率をεPとする。
εP=εS-P/100×(εS-εAir)
本実施形態では、半導体基板2を構成している半導体はシリコンであるため、ポーラス層3の比誘電率εPは下記の式により見積もることができる。
εP=11.7-0.107×P
空隙率Pが高いほど、ポーラス層3の比誘電率εPが低い。よって、空隙率Pが高いほど、IDT電極7からの電界と、半導体基板2における電荷との干渉をより一層抑制することができ、非線形歪をより一層抑制することができる。
空隙率Pは、30%以上であることが好ましく、80%以上であることがより好ましい。特に、空隙率Pが80%以上である場合には、ポーラス層3の比誘電率εPは3.7以下となり、シリコン自体の比誘電率の1/3よりも低くなる。よって、非線形歪をより一層抑制することができる。
空隙率Pは、85%以下であることが好ましい。それによって、半導体基板2の強度の低下を抑制することができる。
ポーラス層3の厚みは、15μm以上であることが好ましく、100μm以上であることがより好ましく、200μm以上であることがさらに好ましい。この場合には、IDT電極7からの電界と、半導体基板2における電荷との干渉をより一層抑制することができる。
半導体基板2の抵抗率は、10Ωcm以下であることが好ましく、1Ωcm以下であることがより好ましく、0.1Ωcm以下であることがさらに好ましい。抵抗率が低い半導体基板は、抵抗率が高い半導体基板よりも容易に得ることができる。よって、生産性を高めることができる。なお、本実施形態の半導体基板2は、主面2aに至っており、かつ平面視においてIDT電極7と重なる部分に位置するポーラス層3を有する。よって、半導体基板2の抵抗率が低い場合においても、半導体基板2と誘電体膜5との界面において電荷が生じ難く、かつIDT電極7からの電界と、半導体基板2における電荷との干渉を抑制することができる。従って、生産性を高めることができ、かつ非線形歪を抑制することができる。
半導体基板2は、p型半導体からなることが好ましい。この場合には、ポーラス層3を形成する際の陽極化成を容易に行うことができ、生産性を高めることができる。
図4は、第2の実施形態に係る弾性波装置の正面断面図である。
本実施形態は、ポーラス層13の配置が第1の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の弾性波装置11は第1の実施形態の弾性波装置1と同様の構成を有する。
弾性波装置11の半導体基板12においては、緻密層14上にポーラス層13が設けられている。半導体基板12の主面12aは、ポーラス層13のみにより構成されている。本実施形態においても、ポーラス層13は、半導体基板12における、平面視においてIDT電極7と重なる部分に位置している。よって、第1の実施形態と同様に、半導体基板12と誘電体膜5との界面において電荷が生じ難く、かつIDT電極7からの電界と、半導体基板12における電荷との干渉を抑制することができる。従って、非線形歪が生じ難い。
1…弾性波装置
2…半導体基板
2a…主面
3…ポーラス層
4…緻密層
5…誘電体膜
6…圧電体層
7…IDT電極
8,9…反射器
11…弾性波装置
12…半導体基板
12a…主面
13…ポーラス層
14…緻密層
2…半導体基板
2a…主面
3…ポーラス層
4…緻密層
5…誘電体膜
6…圧電体層
7…IDT電極
8,9…反射器
11…弾性波装置
12…半導体基板
12a…主面
13…ポーラス層
14…緻密層
Claims (7)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられている誘電体膜と、
前記誘電体膜上に設けられている圧電体層と、
前記圧電体層上に設けられているIDT電極と、
を備え、
前記半導体基板が、前記誘電体膜側の主面に至っているポーラス層を有し、
少なくとも、平面視において前記IDT電極と重なる部分に、前記ポーラス層が位置している、弾性波装置。 - 前記半導体基板が、平面視において前記ポーラス層を囲んでいる、緻密層を有する、請求項1に記載の弾性波装置。
- 前記ポーラス層の厚みが15μm以上である、請求項1または2に記載の弾性波装置。
- 前記半導体基板の抵抗率が10Ωcm以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記ポーラス層の空隙率が30%以上、85%以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記半導体基板がシリコンを主成分とする、請求項1~5のいずれか1項に記載の弾性波装置。
- 前記誘電体膜が酸化ケイ素を主成分とする、請求項1~6のいずれか1項に記載の弾性波装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017233954 | 2017-12-06 | ||
JP2017-233954 | 2017-12-06 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2019111893A1 true WO2019111893A1 (ja) | 2019-06-13 |
Family
ID=66751633
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/044556 WO2019111893A1 (ja) | 2017-12-06 | 2018-12-04 | 弾性波装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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