JPWO2015092992A1 - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、本発明の第1の実施の形態における半導体発光素子について図面を参照しながら説明する。なお、以下においてAlGaNとはAlxGa1−xN(0<x<1)のことであり、InGaNとはInyGa1−yN(0<y<1)のことである。また、InAlGaNとはInzAltGa1−z−tN(0<z<1、0<t<1)のことである。組成を表すx、y、z、tは半導体発光素子の層構造により適宜決めることができる。
本実施の形態の半導体発光素子は、図1に示すごとく、GaNからなる基板11と、基板11の上に設けられたAlGaNからなるn型の第1クラッド層12、第1クラッド層12の上に設けられたn型のGaNからなる光ガイド層13、光ガイド層13の上に設けられた量子井戸構造の活性層14とを備えている。そして、活性層14の上に設けられたp型のAlGaNからなる電子障壁層15、AlGaNからなるp型の第2クラッド層16、p型の第2クラッド層16の上方に設けられたp型のGaNからなるp型コンタクト層17を備えている。さらに、p型コンタクト層17上に設けられた酸化インジウム錫(Indium Tin Oxide、以下ITOという)よりなる導電性酸化物層18を備えている。さらに、p型の第2クラッド層16にはリッジ23が形成され、リッジ23の側壁にはSiO2よりなる電流ブロック層20が備えられており、電流ブロック層20及び、導電性酸化物層18上には、p型電極22が備えられている。また、基板11の裏面には、n型電極21が設けられている。
(数1) M2=H+dp
(2)検討
本願発明者は、導電性酸化物層18を用いた本実施の形態の半導体発光素子について、X1、X2、W、M2、H、ΔN、dpおよびお導電性酸化物層18の厚さがどのような値が望ましいかについて検討した。その検討結果について以下に説明する。
層厚dpの大きさについて説明すると、dpが大きいとΔNが小さくなるため、dpは可能な限り小さいほうが好ましい。しかしながら、dpをあまりに小さくするとエッチング、特にドライエッチングを施した際のエッチング深さのウェハ面内のばらつきにより、ドライエッチングによる結晶構造の損傷の影響が活性層14に達することになり、長期信頼性保証を阻害する要因となる。このため、dpとして0nmから50nmまでの範囲になるようにエッチングの制御を行う。
電流ブロック層20にSiO2(熱膨張係数:0.6×10−6/K〜0.9×10−6/K)を用いた場合には熱膨張係数が、GaN(熱膨張係数:5.6×10−6/K)やAlN(熱膨張係数:4.2×10−6/K)と比べて小さくなるため、電流ブロック層20とリッジ23との間には熱膨張係数の差に起因する応力が発生する。このため電流ブロック層20と活性層14との間の第2クラッド層16にはリッジ23の下端部の両側の領域で、活性層14に平行な面内で圧縮性の応力が発生し、結晶構造に歪が生じる。結晶構造が歪むとその部分の屈折率が変化する。一般にIII族窒化物半導体は圧縮性の応力がかかると屈折率が増加する。そのため、リッジ23の下端近傍領域の第2クラッド層16の屈折率は圧縮性の応力のためにその大きさが増大するように変化してしまう。この結果、ΔNが低下してしまう。
リッジ内部24とリッジ外部25との実効屈折率差ΔNについて説明する。
また、半導体発光素子、特に波長が530nmあたりに発光波長を有する半導体発光素子において良好な温度特性を得るためには、活性層14に対する垂直方向の光閉じ込め係数は大きいほうがよく、少なくとも1%の光閉じ込め係数(垂直方向)を有していることが必要である。なお、以下垂直方向の光閉じ込め係数のことを垂直横モード閉じ込め係数という。
次に、第1クラッド層12のAl組成X1と第2クラッド層16のAl組成X2それぞれの値について説明する。
図1に示すような半導体発光素子においては、リッジ外部25において第2クラッド層16が薄くなっているために、リッジ外部25における活性層14に垂直である方向の光分布(垂直横モード)は、第1クラッド層12側にかたよる。なお、リッジ内部24においては、垂直横モードは活性層14に対しほぼ対称となる。
(数2) X1−X2≧0.02
の領域、すなわち図3においては直線ABの右側の領域である。
(数2) X1−X2≧0.02
(数3) X1≦0.1
(数4) 0.03≦X2≦0.07
が必要となる。
次に、導電性酸化物層18の効果および導電性酸化物層18の層厚の条件を調べるために、M2を変化させたときの半導体発光素子の特性について説明する。
次に、導電性酸化物層18の効果について検討する。図5A〜図5Eにおいて、(数2)から(数4)を満足する領域で、1%以上の光閉じ込め係数、2.5×10−3以上のΔN、導波路損失が12.5cm−1以下である範囲をハッチング領域で示す。導電性酸化物層18を備えない半導体発光素子に関するこの領域は、導電性酸化物層18を備えた半導体発光素子での図4A〜図4Eに示す領域よりも非常に小さくなっている。これは、導電性酸化物層18にITOを用いた場合、屈折率が2.02と小さいために、垂直方向の光分布が、導電性酸化物層18で急激に減衰し、p型コンタクト層17における光分布の割合は小さくなり、導波路損失が低減するためである。この効果はM2が小さいほど大きく、図4Dと図5D、図4Cと図5C及び図4Bと図5Bとを比べれば、M2が同一であっても導波路損失は相対的に小さくなっていることがわかる。このように導電性酸化物層18を備えることにより、1%以上の光閉じ込め係数、2.5×10−3以上のΔNと、12.5cm−1以下の導波路損失を同時に実現することが可能となる。この結果、高温動作時においても、熱飽和しない高出力特性を実現することが可能となる。また、リッジ23の下端部の両側の活性層14における歪が小さいため、活性層14におけるバンドギャップの面内分布を低減できるだけでなく、活性層14での格子欠陥の発生も抑制できる。そのため、長期にわたって高出力動作可能な信頼性の高い530nm帯の窒化物系レーザを実現可能となる。
また、ITOを導電性酸化物層18として用いた場合に最低限必要な導電性酸化物層18の厚さについて説明する。図6A、図6Bに本実施の形態における半導体発光素子においてITOの膜厚を変化させた場合の、導波路損失およびΔNの検討結果を示す。図6A、図6Bいずれも横軸が導電性酸化物層18の厚さ、縦軸は図6Aについては導波路損失、図6BについてはΔNを表す。図6A、図6Bに示すように導電性酸化物層18の厚さを0μmから0.15μmへと厚くしていくと導波路損失が小さくなり、一方ΔNは増大していくことがわかる。つまり、厚さ0.15μm以上の導電性酸化物層18をp型コンタクト層17の上に形成することにより、導波路損失の低減効果だけでなく、ΔNも増大させ、2次以上の高次横モード発振を安定化させる効果があることがわかる。
Al組成が0.1のAlGaNの屈折率2.36よりも屈折率の小さい導電性酸化物層18をp型コンタクト層17上に形成し、第2クラッド層16の層厚(M2)を0.3μmから0.6μmとし、(数2)から(数4)を満たす構造について検討した。ストライプ幅Wが5μm以上として高次横モードがカットオフされていない場合において、上記構造は、導電性酸化物層18を用いない構造と比較して、リッジ23の高さを低くしても導波路損失が低減される。そしてΔNの増大効果による安定した2次以上の高次横モード発振を実現し、低リッジによるリッジ下端部両側近傍領域の歪を低減できることがわかる。
次に、上記において検討した、本実施の形態の半導体発光素子の一例について簡単に述べる。
(1)テーパストライプ構造について
第1の実施形態にかかる半導体発光素子は、基板11の上方からみたとき、リッジ23の2つの側壁が共振器の方向に平行である場合のストライプ構造の半導体レーザ素子である。
本発明の第2の実施の形態にかかる半導体発光素子において、X1は0.05、X2は0.09、第2クラッド層厚0.4μm、共振器長を600μmとしている。この半導体発光素子にかかる各層のパラメータについて表2と同様である。なお、リッジ23の幅は、後端面側において6μmで前端面側へ向けて広くなっている。リッジ23側面のテーパ角θは、θ=0.1°である。
なお、上記第2の実施形態について、基板11の上方からみたテーパストライプ構造の形状は図7に示す形状に限らない。例えば図9Aに示すように前端面の近傍および後端面の近傍がテーパ角0°のストライプ形状で、前端面と後端面との間においてストライプ形状のテーパ角が0°でない半導体発光素子でも上記と同様の効果が得られる。
なお、上記第1の実施の形態および第2の実施の形態に示す半導体発光素子に用いる導電性酸化物層18について、酸化インジウムスズ(ITO)を用いているが、それだけに限らない。例えば、波長530nm帯におけるAl組成0.1のAlGaNの屈折率2.36よりも屈折率の小さい導電性酸化物であれば、リッジ高さ(H)を低くすることによる導波路損失の低減効果を得ることが可能である。具体的にはインジウム(In)、亜鉛(Zn)、錫(Sn)、ガリウム(Ga)、マグネシウム(Mg)の内の、少なくとも1種を含む酸化物からなる導電性酸化物であればよい。また例えば、In2O3、SnO2、ZnO、Zn2SnO4、In2O3−ZnO、MgInO4、Ga2O3のような導電性酸化物であってもよい。
12 第1クラッド層
13 光ガイド層
14 活性層
15 電子障壁層
16 第2クラッド層
17 p型コンタクト層
18 導電性酸化物層
20 電流ブロック層
21 n型電極
22 p型電極
23 リッジ
Claims (10)
- 基板と、
前記基板の上に形成された、Alを有するIII族窒化物半導体よりなる一導電形の第1のクラッド層と、
前記第1のクラッド層の上に形成されたIII族窒化物半導体よりなる活性層と、
前記活性層の上に形成された、Alを有するIII族窒化物半導体よりなる逆導電形の第2のクラッド層と、
前記第2のクラッド層上に形成された導電性化合物層と、
前記導電性化合物を上面とし、前記第2のクラッド層を下面とするリッジ構造と、
を有し、
前記第2のクラッド層のAl組成は、前記第1のクラッド層のAl組成よりも小さく、
前記導電性化合物層の屈折率は、前記第2のクラッド層の屈折率よりも小さいことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記リッジ構造は、2次以上の高次横モードを伝播する幅を有することを特徴とする、請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前端面と後端面とで形成される導波路を有し、前記リッジ構造は前記前端面と前記後端面との間に形成され、かつ前記リッジ構造の側面に含まれ、かつ前記前端面から前記後端面へ向かう方向と前記導波路の方向とは、所定の角度をなすことを特徴とする、請求項1または2に記載の半導体発光素子。
- 前記前端面の反射率をRf、前記後端面の反射率をRr、前記前端面におけるリッジの幅をWf、前記後端面におけるリッジの幅をWrとしたとき、Rf<RrかつWf>Wrであることを特徴とする、請求項3に記載の半導体発光素子。
- 前記前端面から前記後端面へ向かう方向と前記導波路の方向とのなす角度は、0.05°以上かつ0.15°以下であることを特徴とする、請求項3または4に記載の半導体発光素子。
- 前記第2のクラッド層の膜厚が0.3μm以上かつ0.6μm以下であることを特徴とする、請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 前記導電性化合物層がインジウムとスズとを含む酸化物よりなり、かつ厚さが0.15μm以上かつ0.3μm以下であることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 前記第1のクラッド層はAlX1Ga1−X1Nよりなり、前記第2のクラッド層はAlX2Ga1−X2Nよりなり、X1−X2≧0.02、X1≦0.1、0.03≦X2≦0.07の関係を満たすことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 前記リッジ構造の外側における前記第2のクラッド層の層厚は、0nmより大きく50nm以下であることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
- 前記リッジ構造の側面には前記第2のクラッド層よりも屈折率の小さい電流ブロック層が形成されていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の半導体発光素子。
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Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2018003335A1 (ja) * | 2016-06-30 | 2019-04-25 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体レーザ装置、半導体レーザモジュール及び溶接用レーザ光源システム |
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DE102019106536A1 (de) * | 2019-03-14 | 2020-09-17 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Halbleiterlaserdiode und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterlaserdiode |
JP7340974B2 (ja) * | 2019-07-18 | 2023-09-08 | パナソニックホールディングス株式会社 | 窒化物半導体レーザ素子 |
JP7306905B2 (ja) * | 2019-07-18 | 2023-07-11 | パナソニックホールディングス株式会社 | 半導体レーザ素子 |
JP7304978B2 (ja) * | 2020-02-13 | 2023-07-07 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザ装置 |
WO2023223676A1 (ja) * | 2022-05-19 | 2023-11-23 | パナソニックホールディングス株式会社 | 半導体レーザ素子 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011243939A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-12-01 | Panasonic Corp | 窒化物半導体レーザ装置 |
WO2012127778A1 (ja) * | 2011-03-24 | 2012-09-27 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
JP2013102043A (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ素子、及び、半導体レーザ素子の作製方法 |
US20130215921A1 (en) * | 2008-05-30 | 2013-08-22 | The Regents Of The University Of California | (Al,Ga,In)N DIODE LASER FABRICATED AT REDUCED TEMPERATURE |
WO2013157176A1 (ja) * | 2012-04-16 | 2013-10-24 | パナソニック株式会社 | 半導体発光素子 |
WO2013171950A1 (ja) * | 2012-05-16 | 2013-11-21 | パナソニック株式会社 | 半導体発光素子 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004253776A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-09-09 | Sharp Corp | 半導体レーザ素子及び光学式情報記録装置 |
JP2006135221A (ja) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体発光素子 |
JP2010267731A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Panasonic Corp | 窒化物半導体レーザ装置 |
CN103314488A (zh) * | 2011-01-26 | 2013-09-18 | 松下电器产业株式会社 | 半导体发光元件及发光装置 |
-
2014
- 2014-12-02 WO PCT/JP2014/006014 patent/WO2015092992A1/ja active Application Filing
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2019
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20130215921A1 (en) * | 2008-05-30 | 2013-08-22 | The Regents Of The University Of California | (Al,Ga,In)N DIODE LASER FABRICATED AT REDUCED TEMPERATURE |
JP2011243939A (ja) * | 2010-01-20 | 2011-12-01 | Panasonic Corp | 窒化物半導体レーザ装置 |
WO2012127778A1 (ja) * | 2011-03-24 | 2012-09-27 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体発光素子 |
JP2013102043A (ja) * | 2011-11-08 | 2013-05-23 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ素子、及び、半導体レーザ素子の作製方法 |
WO2013157176A1 (ja) * | 2012-04-16 | 2013-10-24 | パナソニック株式会社 | 半導体発光素子 |
WO2013171950A1 (ja) * | 2012-05-16 | 2013-11-21 | パナソニック株式会社 | 半導体発光素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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