JPWO2015064170A1 - 真空弁 - Google Patents

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Abstract

真空弁1は、連通が開放される時の１次側通路の流体圧力の設定値を設定する開放圧力設定手段6と、１次側通路の流体圧力に無関係に連通を強制的に開放する強制開放手段7とを備えている。 開放圧力設定手段6は、ステム5に固定されたばね受け17と、下端がばね受け17に支持された圧縮コイルばね18と、圧縮コイルばね18の上端を押さえて軸方向に移動可能な調整ねじ19とを有している。強制開放手段7は、ばね受け17の下方においてステム5に上下移動可能に嵌められたピストン21と、圧縮空気によってピストン21を上方に移動させて、ピストン21とばね受け17とを一体で上方に移動させるピストン駆動手段22とを有している。

Description

この発明は、真空弁に関し、特に、通常１次側が真空条件、２次側が大気圧条件で使用され、１次側の流体圧力が設定値を超えたときに開放される真空弁に関する。
通常１次側が真空条件、２次側が大気圧条件で使用され、１次側の流体圧力が設定値を超えたときに開放される真空弁として、特許文献１には、１次側通路および２次側通路が設けられたボディと、ボディの上側に設けられた筒状のケーシングと、上下移動することで１次側通路と２次側通路との連通を開放または遮断する弁体と、弁体と一体で上下移動するステムと、連通が開放される時の１次側通路の流体圧力の設定値を設定する開放圧力設定手段と、１次側通路の流体圧力に無関係に連通を強制的に開放する強制開放手段とを備え、強制開放手段が手動のハンドルであるものが開示されている。
このような真空弁においては、強制的に開放する手段が自動（圧縮空気を使用）のものが望まれている。このような自動強制開放の真空弁を得るには、例えば、手動強制開放の特許文献１と特許文献２に記載されている圧縮空気を使用した真空弁と組み合わせることが考えられる。特許文献２のものは、連通が開放される時の１次側通路の流体圧力の設定値を設定する開放圧力設定手段を備えていない。
特開２０１１−１２７６５５号公報 特許第３３０８３９号公報
上記特許文献１および２の真空弁において、強制的に開放する手段が自動（圧縮空気を使用）のものと開放圧力設定手段を備えているものとの両立は、実現されておらず、単に両者を組み合わせようとすると、真空弁の構造が複雑になって大型化されるという問題がある。
この発明の目的は、強制的に開放する手段が自動（圧縮空気を使用）のものであって、しかも、開放圧力設定手段を備えているとともに、構造がシンプルでかつコンパクトな真空弁を提供することにある。
この発明による真空弁は、１次側通路および２次側通路が設けられたボディと、ボディの上側に設けられた筒状のケーシングと、上下移動することで１次側通路と２次側通路との連通を開放または遮断する弁体と、弁体と一体で上下移動するステムと、連通が開放される時の１次側通路の流体圧力の設定値を設定する開放圧力設定手段と、１次側通路の流体圧力に無関係に連通を強制的に開放する強制開放手段とを備え、通常時は連通が遮断されて１次側通路の流体圧力が設定値を超えた際に連通が開放されるとともに、必要に応じて連通を強制的に開放することができる真空弁であって、開放圧力設定手段は、ステムに固定された受け部材と、下端が受け部材に支持されたステム付勢手段と、ステム付勢手段の上端を押さえて軸方向に移動可能な調整ねじとを有し、強制開放手段は、受け部材の下方においてステムに上下移動可能に嵌められたピストンと、圧縮空気によってピストンを上方に移動させて、ピストンと受け部材とを一体で上方に移動させるピストン駆動手段とを有していることを特徴とするものである。
この発明の真空弁では、ステム付勢手段の弾性力によってステムおよび弁体が下方に付勢されることで、通常時は、１次側通路と２次側通路との連通は遮断（真空弁が閉状態）される。そして、１次側通路の流体圧力がステム付勢手段の弾性力と相関関係のある設定値を超えると、１次側通路の流体圧力が弁体を上方に押し上げ、これにより、連通が開放（真空弁が通常時開の状態）される。設定値は、調整ねじの位置を変更することで、所定の値に調整することができる。通常１次側が真空条件、２次側が大気圧条件で使用され、１次側の流体圧力が設定値を超えた場合には、１次圧力が解放される。こうして、１次側の流体圧力は所定の範囲内に収まるように制御される。
１次側通路の流体圧力に無関係に１次側通路と２次側通路との連通を強制的に開放する必要が生じた場合、圧縮空気が導入されることで、強制開放手段のピストン駆動手段が作動し、これにより、ステムに上下移動可能に嵌められたピストンが上方に移動し、ピストンと受け部材とが一体で上方に移動する。こうして、必要に応じて、１次側通路の流体圧力に無関係に連通を強制的に開放（真空弁が強制開の状態）することができる。
強制開放手段は、上記のように、受け部材の下方においてステムに上下移動可能に嵌められたピストンと、圧縮空気によってピストンを上方に移動させて受け部材に当接させ、ピストンと受け部材とを一体で上方に移動させるピストン駆動手段とを有しているものとされており、この構成は、構造がシンプルでかつコンパクトであるので、真空弁を構造がシンプルでかつコンパクトなものにすることができる。
調整ねじは、軸方向に延びる貫通孔を有しており、ステムの上端部が、調整ねじの貫通孔の下端部内に上下移動可能に嵌め入れられており、ピストン駆動手段は、ケーシング内に設けられてピストンを移動可能に収納するピストン収容室と、調整ねじの貫通孔の上端部に設けられた圧縮空気導入管接続部と、ステムの上端から下方に延びる圧縮空気導入用軸方向通路と、圧縮空気導入用軸方向通路から径方向外方に延びてピストン収容室下部に通じる圧縮空気導入用軸方向通路とを有していることが好ましい。
このようにすると、調整ねじおよびステムに強制開放手段の構成の一部が設けられることで、真空弁をより一層構造がシンプルでかつコンパクトなものにすることができる。
ピストン駆動手段は、ケーシング内に設けられてピストンを移動可能に収納するピストン収容室と、ケーシングの周壁に設けられてピストン収容室下端に設けられた環状凹所を介してピストン収容室下部に通じる圧縮空気導入管接続部とを有していることがある。
強制開放手段は、ピストンを下向きに付勢するピストン付勢手段をさらに有していることが好ましい。
このようにすると、強制開放手段によって強制開放を行った後、ピストンが確実に元の位置に復帰し、適切な通常時の状態が得られる。
この発明の真空弁によると、受け部材の下方においてステムに上下移動可能に嵌められたピストンと、ピストンと受け部材とを一体で上方に移動させるピストン駆動手段とによって自動で強制開放することができるので、真空弁を構造がシンプルでかつコンパクトなものにすることができる。
図１は、この発明による真空弁の第１実施形態を示す縦断面図で、流体通路が閉の状態のものである。 図２は、この発明による真空弁の第１実施形態を示す縦断面図で、流体通路が通常時開の状態のものである。 図３は、この発明による真空弁の第１実施形態を示す縦断面図で、流体通路が強制開の状態のものである。 図４は、この発明による真空弁の第２実施形態を示す縦断面図で、流体通路が閉の状態のものである。 図５は、この発明による真空弁の第２実施形態を示す縦断面図で、流体通路が通常時開の状態のものである。 図６は、この発明による真空弁の第２実施形態を示す縦断面図で、流体通路が強制開の状態のものである。
(1)：真空弁、(2)：ボディ、(2b)：１次側通路、(2c)：２次側通路、(3)：ケーシング、(4)：ディスクパッキン（弁体）、(5)：ステム、(6)：開放圧力設定手段、(7)：強制開放手段、(17)：ばね受け（受け部材）、(18)：圧縮コイルばね（ステム付勢手段）、(19)：調整ねじ、(19c)：貫通孔、(19d)：圧縮空気導入管接続部、(21)；ピストン、(22)：ピストン駆動手段、(23)：ピストン収容室、(24)：圧縮空気導入用軸方向通路、(25)：圧縮空気導入用軸方向通路、(31)：真空弁、(32)：ボディ、(32b)：１次側通路、(32c)：２次側通路、(33)：ケーシング、(34)：ディスクパッキン（弁体）、(35)：ステム、(36)：開放圧力設定手段、(37)：強制開放手段、(47)：下側ばね受け（受け部材）、(48)：圧縮コイルばね（ステム付勢手段）、(50)：調整ねじ、(52)；ピストン、(53)：ピストン駆動手段、(54)：圧縮コイルばね（ピストン付勢手段）、(55)：ピストン収容室、(56)：圧縮空気導入管接続部
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
図１から図３までは、この発明による真空弁の第１実施形態を示している。この真空弁(1)は、通常時は、図１に示す連通が遮断されている状態とされ、１次側通路(2b)の流体圧力が設定値を超えた際に、図２に示す連通が開放された状態とされ、必要に応じて、図３に示す連通が強制的に開放された状態とすることができる。
真空弁(1)は、上向きに開口した凹所(2a)、１次側通路(2b)および２次側通路(2c)が設けられたボディ(2)と、ボディ(2)の上側に設けられた筒状のケーシング(3)と、ボディ(3)の２次側通路(2c)の開口に設けられて上下移動することで１次側通路(2b)と２次側通路(2c)との連通を開放または遮断するディスクパッキン（弁体）(4)と、ディスクパッキン(4)が下端部に固定されておりディスクパッキン(4)と一体で上下移動するステム(5)と、連通が開放される時の１次側通路(2b)の流体圧力の設定値を設定する開放圧力設定手段(6)と、１次側通路(2b)の流体圧力に無関係に連通を強制的に開放する強制開放手段(7)とを備えている。
１次側通路(2b)は、凹所(2a)の側面の下端部開口に通じており、２次側通路(2c)は、凹所(2a)の底面の中央部開口に通じている。
ディスクパッキン(4)は、凹所(2a)の底面の中央部開口（すなわち２次側通路(2c)の上端開口）を閉鎖可能なように配置されている。
ケーシング(3)は、円筒状の上側ケーシング(11)と、円筒状の下側ケーシング(12)とからなる。上側ケーシング(11)の下端部内周に設けられためねじ部(11a)と下側ケーシング(12)の上端部外周に設けられたおねじ部(12a)とがねじ合わされている。下側ケーシング(12)の下端部内周にめねじ部(12b)が設けられており、ボディ(2)の上端部に設けられたおねじ部(2d)にねじ合わされている。上側ケーシング(11)の上端部の内周に、めねじ部(11b)が設けられている。
ステム(5)は、上側ステム(13)と、下側ステム(14)とからなる。下側ステム(14)の下端部に、ディスクパッキン(4)が嵌め入れられる円筒状の下方突出部(14a)が設けられている。上側ステム(13)の上端部には、ベローズ固定リング(15)が固定されており、この固定リング(15)と下側ステム(14)の下端部に設けられたフランジ部(14b)との間に、ベローズ(16)が配置されている。
開放圧力設定手段(6)は、上側ステム(13)の軸方向中程に固定された環状のばね受け（受け部材）(17)と、下端がばね受け(17)に支持された圧縮コイルばね（ステム付勢手段）(18)と、外周面におねじ部(19a)を有し上側ケーシング(11)の上端部の内周に設けられためねじ部(11b)にねじ合わされて圧縮コイルばね(18)の上端を押さえて軸方向に移動可能な調整ねじ(19)と、調整ねじ(19)のおねじ部(19a)にねじ合わされて調整ねじ(19)を上側ケーシング(11)に固定するロックナット(20)とを有している。
調整ねじ(19)の外周面の軸方向中程には、環状の段差部(19b)が設けられている。圧縮コイルばね(18)の上端は、調整ねじ(19)の段差部(19b)で受け止められ、圧縮コイルばね(18)の下端は、ばね受け(17)に設けられた段差部(17a)によって受け止められている。
調整ねじ(19)を下側にねじ込んでいくかまたは上側にねじ戻すことで圧縮コイルばね(18)の弾性力を変化させることができ、これにより、ステム(5)を下向きに付勢する付勢力（弾性力）が調整可能とされている。
調整ねじ(19)は、軸方向に延びる貫通孔(19c)を有しており、上側ステム(13)の上端部が、調整ねじ(19)の貫通孔(19c)の下端部内に上下移動可能に嵌め入れられている。上側ステム(13)の上端部外周と調整ねじ(19)の貫通孔(19c)の下端部内周との間には、Ｏリング(26)が配置されている。
強制開放手段(7)は、ばね受け(17)の下方において上側ステム(13)に上下移動可能に嵌められた円板状のピストン(21)と、圧縮空気によってピストン(21)を上方に移動させてばね受け(17)に下側から当接させ、ピストン(21)とばね受け(17)とを一体で上方に移動させるピストン駆動手段(22)とを有している。
上側ステム(13)と上側ステム(13)が貫通しているピストン(21)中央部貫通孔の内周との間には、Ｏリング(27)が配置されている。上側ステム(13)と上側ステム(13)を案内している下側ケーシング(12)の中央部貫通孔の内周との間にも、Ｏリング(28)が配置されている。
ピストン駆動手段(22)は、上側ケーシング(11)の下端部内および下側ケーシング(12)の上端部内にわたって設けられてピストン(21)を移動可能に収納するピストン収容室(23)と、調整ねじ(19)内における圧縮空気通路となる貫通孔(19c)と、調整ねじ(19)の貫通孔(19c)の上端部に設けられた圧縮空気導入管接続部(19d)と、上側ステム(13)の上端から下方に延びる圧縮空気導入用軸方向通路(24)と、圧縮空気導入用軸方向通路(24)から径方向外方に延びてピストン収容室(23)下部に通じる圧縮空気導入用軸方向通路(25)とを有している。
圧縮空気導入管接続部(19d)には、配管が接続され、制御装置によって、必要に応じて、圧縮空気が導入される。
ピストン(21)の外周面とピストン収容室(23)の内周との間には、Ｏリング(29)が配置されている。ピストン収容室(23)の上部には、外部に通じる空気逃がし孔(23a)が設けられている。
この真空弁(1)によると、通常１次側が真空条件、２次側が大気圧条件で使用される。そして、図１に示す状態では、ベローズ(16)が受ける圧力と圧縮コイルばね(18)の弾性力とによって、真空弁(1)は閉状態が維持され、１次側圧力が解放されることはない。
１次側の流体圧力が大きくなると、圧縮コイルばね(18)の弾性力がこれに抗しきれなくなり、このようになると、ステム(5)およびこれに固定されているディスクパッキン(4)が上方に移動する。こうして、図２に示す真空弁(1)の開状態が得られ、１次側の圧力が解放される。調整ねじ(19)のねじ込み量を変更して、圧縮コイルばね(18)の弾性力を調整することで、１次側圧力が解放される際の流体圧力の設定値を任意に設定することができ、１次側圧力は、この設定値以下に抑えられる。
図２の状態で、１次側の圧力が解放されて、１次側圧力が設定値よりも小さくなると、図１の状態に復帰する。この図１の状態において、トラブル発生などに伴って、１次側圧力を解放する必要が生じた場合、強制開放手段(7)に圧縮空気が導入される。強制開放手段(7)による真空弁(1)の開状態が図３に示されている。
図３においては、図１においてばね受け(17)との間に隙間を有しているピストン(21)がピストン収容室(23)下部に導入された圧縮空気によって上方に移動し、ばね受け(17)に当接して、ばね受け(17)を上方に押し上げている。ばね受け(17)がステム(5)に固定されていることから、ばね受け(17)の上方への移動に伴って、ステム(5)およびこれに固定されているディスクパッキン(4)が上方に移動する。こうして、１次側の流体圧力の値とは無関係に強制的に図３に示す真空弁(1)の開状態を得ることができる。
上記において、ピストン駆動手段(22)における圧縮空気の通路(19c)(19d)(24)(25)は、図示したものに限定されるものではなく、適宜変更することができる。
図４から図６までに、この発明による真空弁(31)の第２実施形態を示す。
この真空弁(31)は、上向きに開口した凹所(32a)、１次側通路(32b)および２次側通路(32c)が設けられたボディ(32)と、ボディ(32)の上側に設けられた筒状のケーシング(33)と、ボディ(32)の２次側通路(32c)の開口に設けられて上下移動することで１次側通路(32b)と２次側通路(32c)との連通を開放または遮断するディスクパッキン（弁体）(34)と、ディスクパッキン(34)が下端部に固定されておりディスクパッキン(34)と一体で上下移動するステム(35)と、連通が開放される時の１次側通路(32b)の流体圧力の設定値を設定する開放圧力設定手段(36)と、１次側通路(32b)の流体圧力に無関係に連通を強制的に開放する強制開放手段(37)とを備えている。
１次側通路(32b)は、凹所(32a)の底面の外周縁部開口に通じており、２次側通路(32c)は、凹所(32a)の底面の中央部開口に通じている。１次側通路(32b)および２次側通路(32c)には、それぞれ管継手(38)(39)が設置されている。
ディスクパッキン(34)は、凹所(32a)の底面の中央部開口（すなわち２次側通路(32c)の上端開口）を閉鎖可能なように配置されている。
ケーシング(33)は、円筒状の上側ケーシング(41)と、円筒状の下側ケーシング(42)とからなる。上側ケーシング(41)の下端部内周に設けられためねじ部(41a)と下側ケーシング(42)の上端部外周に設けられたおねじ部(42a)とがねじ合わされている。下側ケーシング(42)は、下側ケーシング(42)の段部に嵌められたナット(40)がボディ(32)の上端部に設けられたおねじ部(32d)にねじ合わされることで、ボディ(32)に固定されている。
ステム(35)は、上側ステム(43)と、下側ステム(44)とからなる。ディスクパッキン(34)は、下側ステム(44)の下端部に設けられたベローズ固定フランジ(44a)に嵌め入れられて固定されている。下側ステム(43)の上端部近くには、ベローズ固定リング(45)が固定されており、この固定リング(45)と下側ステム(44)の下端のベローズ固定フランジ部(44a)との間に、ベローズ(46)が配置されている。
開放圧力設定手段(36)は、上側ステム(43)の上端に固定された環状の下側ばね受け（受け部材）(47)と、下端が下側ばね受け(47)に支持された圧縮コイルばね（ステム付勢手段）(48)と、圧縮コイルばね(48)の上端を支持して軸方向に移動可能な上側ばね受け(49)と、外周面におねじ部(50a)を有し上側ケーシング(41)の上端部の内周に設けられためねじ部(41b)にねじ合わされて上側ばね受け(49)の上端を押さえて軸方向に移動可能な調整ねじ(50)と、調整ねじ(50)のおねじ部(50a)にねじ合わされて調整ねじ(50)を上側ケーシング(41)に固定するロックナット(51)とを有している。
調整ねじ(50)は、下端に回転可能なボール(50b)を有するボールプランジャとされており、ボール(50b)の下部が上側ばね受け(49)の上面に設けられた円錐状の凹所(49a)に嵌め入れられている。
上側ステム(43)は、上端にフランジ部(43a)を有しており、下側ばね受け(47)は、下面に凹所(47a)を有しており、フランジ部(43a)と凹所(47a)とが嵌め合わされることで、上側ステム(43)と下側ばね受け(47)とは、一体で上下移動するようになされている。
調整ねじ(50)を下側にねじ込んでいくかまたは上側にねじ戻して、上側ばね受け(49)を下方または上方に移動させることで、圧縮コイルばね(48)の弾性力を変化させることができ、これにより、ステム(35)を下向きに付勢する付勢力（弾性力）が調整可能とされている。
強制開放手段(37)は、フランジ部(43a)の下方において上側ステム(43)の上端部に上下移動可能に嵌められた円板状のピストン(52)と、圧縮空気によってピストン(52)を上方に移動させて、ピストン(52)とばね受け(47)とを一体で上方に移動させるピストン駆動手段(53)と、ピストン(52)を下向きに付勢する圧縮コイルばね（ピストン付勢手段）(54)とを有している。
上側ステム(43)と上側ステム(43)が貫通しているピストン(52)中央部貫通孔の内周との間には、Ｏリング(57)が配置されている。上側ステム(43)と上側ステム(43)を案内している下側ケーシング(42)の中央部貫通孔の内周との間にも、Ｏリング(58)が配置されている。
ピストン駆動手段(53)は、下側ケーシング(42)の上端部内に設けられてピストン(52)を移動可能に収納するピストン収容室(55)と、下側ケーシング(42)の周壁に設けられてピストン収容室(55)下端に設けられた環状凹所(55a)を介してピストン収容室(55)下部に通じる圧縮空気導入管接続部(56)とを有している。
圧縮空気導入管接続部(56)には、配管が接続され、制御装置によって、必要に応じて、圧縮空気が導入される。
ピストン(52)の外周面とピストン収容室(55)の内周との間には、Ｏリング(59)が配置されている。
この真空弁(31)によると、通常１次側が真空条件、２次側が大気圧条件で使用される。そして、図４に示す状態では、ベローズ(46)が受ける圧力と圧縮コイルばね(48)の弾性力とによって、真空弁(31)は閉状態が維持され、１次側圧力が解放されることはない。
１次側の流体圧力が大きくなると、圧縮コイルばね(48)の弾性力がこれに抗しきれなくなり、このようになると、ステム(35)およびこれに固定されているディスクパッキン(34)が上方に移動する。これにより、図５に示すように、真空弁(31)の開状態が得られ、１次側の圧力が解放される。調整ねじ(50)のねじ込み量を変更して、圧縮コイルばね(48)の弾性力を調整することで、１次側圧力が解放される際の流体圧力の設定値を任意に設定することができ、１次側圧力は、この設定値以下に抑えられる。
真空弁(31)が開状態となって１次側の圧力が解放され、１次側圧力が設定値よりも小さくなると、図４の状態に復帰する。
この図４の状態において、トラブル発生などに伴って、１次側圧力を解放する必要が生じた場合、強制開放手段(37)に圧縮空気が導入される。圧縮空気は、圧縮空気導入管接続部(56)および環状凹所(55a)を経てピストン収容室(55)下端に供給され、これにより、ピストン(52)が上方に移動する。ピストン(52)が移動を始めた時点では、ステム(35)は、停止状態にあるが、ピストン(52)の上面が上側ステム(43)のフランジ部(43a)の下面に当接した後は、ピストン(52)と一体となって上方に移動する。
これにより、図６に示すように、強制開放手段(37)による真空弁(31)の開状態が得られる。強制開放手段(37)によって得られる開状態では、ピストン(52)がピストン収容室(55)下部に導入された圧縮空気によって上方に移動し、これに伴い、ばね受け(47)が上方に押し上げられる。ばね受け(47)がステム(35)（上側ステム(43)の上端部）に固定されていることから、ばね受け(47)の上方への移動に伴って、ステム(35)およびこれに固定されているディスクパッキン(34)が上方に移動する。こうして、１次側の流体圧力の値とは無関係に強制的に真空弁(31)の開状態を得ることができる。
強制開放手段(37)による真空弁(31)の開状態が得られた後、圧縮空気の供給を中止すると、ピストン(52)は、圧縮コイルばね(54)によって下方に移動させられて、図４に示す位置に復帰する。これにより、適切な通常時の状態が得られる。
なお、ピストン(52)を下方に付勢する圧縮コイルばね(54)は、第１実施形態において、ピストン(21)を下方に付勢するために付加することもできる。
上記各実施形態によると、開放圧力設定手段(6)(36)および強制開放手段(7)(37)は、構造がシンプルでかつコンパクトであるので、真空弁(1)(31)の構造がシンプルでかつコンパクトなものになっている。
また、第１実施形態によると、調整ねじ(19)およびステム(5)に強制開放手段(7)の構成の一部（貫通孔(19c)、圧縮空気導入管接続部(19d)、圧縮空気導入用軸方向通路(24)および圧縮空気導入用軸方向通路(25)）が設けられていることで、真空弁(1)は、より一層構造がシンプルでかつコンパクトなものになっている。
この発明によると、強制的に開放する手段が自動（圧縮空気を使用）のものであって、しかも、開放圧力設定手段を備えているとともに、構造がシンプルでかつコンパクトな真空弁が得られるので、真空弁を備えた各種流体制御装置の自動化に寄与することができる。
特開２０１１−１２７６５５号公報 特許第３３３０８３９号公報

Claims (4)

  1. １次側通路および２次側通路が設けられたボディと、ボディの上側に設けられた筒状のケーシングと、上下移動することで１次側通路と２次側通路との連通を開放または遮断する弁体と、弁体と一体で上下移動するステムと、連通が開放される時の１次側通路の流体圧力の設定値を設定する開放圧力設定手段と、１次側通路の流体圧力に無関係に連通を強制的に開放する強制開放手段とを備え、通常時は連通が遮断されて１次側通路の流体圧力が設定値を超えた際に連通が開放されるとともに、必要に応じて連通を強制的に開放することができる真空弁であって、
    開放圧力設定手段は、ステムに固定された受け部材と、下端が受け部材に支持されたステム付勢手段と、ステム付勢手段の上端を押さえて軸方向に移動可能な調整ねじとを有し、強制開放手段は、受け部材の下方においてステムに上下移動可能に嵌められたピストンと、圧縮空気によってピストンを上方に移動させて、ピストンと受け部材とを一体で上方に移動させるピストン駆動手段とを有していることを特徴とする真空弁。
  2. 調整ねじは、軸方向に延びる貫通孔を有しており、ステムの上端部が、調整ねじの貫通孔の下端部内に上下移動可能に嵌め入れられており、ピストン駆動手段は、ケーシング内に設けられてピストンを移動可能に収納するピストン収容室と、調整ねじの貫通孔の上端部に設けられた圧縮空気導入管接続部と、ステムの上端から下方に延びる圧縮空気導入用軸方向通路と、圧縮空気導入用軸方向通路から径方向外方に延びてピストン収容室下部に通じる圧縮空気導入用軸方向通路とを有していることを特徴とする請求項１の真空弁。
  3. ピストン駆動手段は、ケーシング内に設けられてピストンを移動可能に収納するピストン収容室と、ケーシングの周壁に設けられてピストン収容室下端に設けられた環状凹所を介してピストン収容室下部に通じる圧縮空気導入管接続部とを有していることを特徴とする請求項１の真空弁。
  4. 強制開放手段は、ピストンを下向きに付勢するピストン付勢手段をさらに有していることを特徴とする請求項１から３までのいずれかに記載の真空弁。
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