JPWO2015002030A1 - 剥離起点作成装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、電子デバイスの製造工程について概説する。
上記のように、電子デバイスの製造工程に供される基板は、補強板で補強されたものが使用される。すなわち、基板は、補強板が貼り合わされ、積層体とされて、電子デバイスの製造に供される。
基板2は、電子デバイスの機能層を形成するための基板(第1基板)であり、電子デバイスの一部を構成する。
補強板3は、基板2を補強するための基板(第2基板)であり、基板2に取り付けられて、基板2の変形、傷付き、破損等を防止する。補強板3は、基板2の補強が目的であるため、最終的には基板2から除去される。
樹脂層4は、補強板3の表面3aに備えられ、補強板3を基板2に密着させる。基板2は、この樹脂層4との間に作用するファンデルワールス力、又は、樹脂層4の粘着力によって、補強板3に密着して取り付けられる。
機能層形成工程を経て、積層体1の基板2の表面2aには、機能層が形成される。
次に、剥離装置10について説明する。
図3は、剥離装置10の一例を示す平面図である。また、図4は、図3に示した剥離装置10の側面図である。
図5(A)、5(B)は、剥離装置10の動作説明図である。なお、図5(A)は、剥離開始から所定時間経過後の剥離装置10の状態を示しており、図5(B)は、補強板3を剥離した直後の剥離装置10の状態を示している。
上記のように、剥離装置10は、積層体1を一端から他端に向けて補強板3を徐々に撓み変形させることにより、補強板3を基板2から剥離する。
図7は、剥離起点の作成方法の概要を説明する説明図である。なお、図7(A)は、ナイフNの位置調整前の状態、図7(B)は、ナイフNの位置調整後の状態、図7(C)は、ナイフNを挿入した状態を示している。
ナイフNは、刃先がナイフ挿入位置と同じ高さの位置に位置するように調整する。
図8は、ナイフNの刃先の位置とナイフ挿入位置とのズレ量を検出するための機構の概略図である。
[剥離起点作成装置の構成]
図11は、剥離起点作成装置100の一実施形態を示す正面図である。また、図12は、図11に示した剥離起点作成装置100の平面図である。
次に、上記のように構成される本実施の形態の剥離起点作成装置100による剥離起点の作成方法について説明する。
〈構成〉
図13は、剥離起点作成装置200の第2の実施の形態を示す正面図である。
図14は、ナイフ挿入位置に対するナイフNの刃先のズレ量の検出方法の概要を説明する説明図である。
図15〜図18は、図13に示した第2の実施の形態の剥離起点作成装置200を用いた剥離起点の作成手順の説明図である。
図19は、剥離起点作成装置の第3の実施の形態の要部の概略構成図である。
図20は、剥離起点作成装置の第4の実施の形態の要部の概略構成図である。
図21は、剥離起点作成装置の第5の実施の形態の要部の概略構成図である。
上記一連の実施の形態では、剥離起点作成装置に補強板3(3A、3B)の板厚検出手段を組み込んだ構成としているが、補強板3の板厚は、事前に検出して取得する構成とすることもできる。この場合、板厚検出手段としての板厚検出計は、剥離起点作成装置には不要となる。
本出願は、2013年7月1日出願の日本特許出願2013−138223に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
Claims (17)
- 第1主面と第2主面とを有する第1基板の前記第2主面に、第1主面と第2主面とを有する第2基板の前記第1主面が剥離可能に結合した積層体の前記第1基板と前記第2基板との間にナイフを挿入して剥離起点を作成する剥離起点作成装置において、
前記積層体と前記ナイフとを前記第2基板の前記第2主面と平行な方向に相対的に移動させて、前記積層体の前記第1基板と前記第2基板との間に前記ナイフを挿入させる移動手段と、
前記第2基板の前記第2主面と平行に設定される基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における、前記ナイフの刃先の位置と、前記第2基板の前記第2主面の位置とを検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段の検出結果と、前記第2基板の板厚とに基づいて、前記ナイフの刃先が前記第1基板と前記第2基板との間に位置するように、前記積層体と前記ナイフとを前記第2基板の前記第2主面と垂直な方向に相対的に移動させて、前記積層体と前記ナイフとの位置を調整する位置調整手段と、
を備える剥離起点作成装置。 - 前記移動手段は、
前記ナイフを前記第2基板の前記第2主面と平行な方向に移動させるナイフ移動手段と、
前記積層体を前記第2基板の前記第2主面と平行な方向に移動させる積層体移動手段と、
を備え、
前記位置検出手段は、所定の検出位置に位置した物体に対して、前記基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における位置を検出する位置検出手段を備え、
前記ナイフ移動手段によって前記ナイフを前記検出位置に移動させて、前記ナイフの刃先の位置を前記位置検出手段で検出し、
前記積層体移動手段によって前記積層体を前記検出位置に移動させて、前記第2基板の前記第2主面の位置を検出する請求項1に記載の剥離起点作成装置。 - 前記位置検出手段が、レーザ変位計で構成される請求項2に記載の剥離起点作成装置。
- 前記位置検出手段は、
前記基準面と同じ位置又は前記基準面に対して所定距離離れた位置に前記基準面と平行に設定される第1基準面を基準として、前記第1基準面と垂直な方向における、前記ナイフの刃先の位置を検出する第1位置検出手段と、
前記基準面と同じ位置又は前記基準面に対して所定距離離れた位置に前記基準面と平行に設定される第2基準面を基準として、前記第2基準面と垂直な方向における、前記第2基板の前記第2主面の位置を検出する第2位置検出手段と、
前記第1位置検出手段の検出結果と、前記第2位置検出手段の検出結果と、前記基準面に対する前記第1基準面の位置の情報と、前記基準面に対する前記第2基準面の位置の情報とに基づいて、前記基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における、前記ナイフの刃先の位置と、前記第2基板の前記第2主面の位置とを算出する演算手段と、
を備える請求項1に記載の剥離起点作成装置。 - 前記第1位置検出手段と前記第2位置検出手段とが、共にレーザ変位計で構成される請求項4に記載の剥離起点作成装置。
- 前記位置検出手段は、
前記基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における物体の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段を前記第2基板の第2主面と平行な方向に移動させる位置検出手段移動手段と、
を備え、
前記位置検出手段移動手段によって前記位置検出手段を前記ナイフの配置位置に移動させて、前記ナイフの刃先の位置を前記位置検出手段で検出し、
前記位置検出手段移動手段によって前記位置検出手段を前記積層体の配置位置に移動させて、前記第2基板の第2主面の位置を検出する請求項1に記載の剥離起点作成装置。 - 前記位置検出手段が、レーザ変位計で構成される請求項6に記載の剥離起点作成装置。
- 前記位置検出手段は、前記基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における、前記ナイフの刃先の位置と、前記第2基板の前記第2主面の位置とを同時に検出し、
前記位置調整手段は、前記位置検出手段の検出結果に基づいて、前記基準面と垂直な方向における、前記ナイフの刃先の位置と前記第2基板の前記第2主面の位置とを同じ位置に調整した後、前記第2基板の板厚の情報に基づいて、前記ナイフの刃先が前記第1基板と前記第2基板との間に位置するように調整する請求項1に記載の剥離起点作成装置。 - 前記移動手段は、
前記ナイフを前記第2基板の前記第2主面と平行な方向に移動させるナイフ移動手段と、
前記積層体を前記第2基板の前記第2主面と平行な方向に移動させる積層体移動手段と、
を備え、
前記位置検出手段は、所定長さを有する検出ライン上に位置した物体に対して、前記基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における位置を検出する位置検出手段を備え、
前記ナイフの刃先と前記積層体とを前記検出ライン上に移動させて、前記ナイフの刃先の位置と前記第2基板の前記第2主面の位置とを前記位置検出手段で同時に検出する請求項8に記載の剥離起点作成装置。 - 前記位置検出手段が、二次元レーザ変位計で構成される請求項9に記載の剥離起点作成装置。
- 前記第2基板の板厚を検出する板厚検出手段を更に備える請求項1から10のいずれか1項に記載の剥離起点作成装置。
- 前記第2基板は透光性を有し、
前記板厚検出手段は、分光干渉法によって前記第2基板の板厚を検出する請求項11に記載の剥離起点作成装置。 - 第1主面と第2主面とを有する第1基板の前記第2主面に、第1主面と第2主面とを有する第2基板の前記第1主面が剥離可能に結合した積層体の前記第1基板と前記第2基板との間にナイフを挿入して剥離起点を作成する剥離起点作成方法において、
前記第2基板の前記第2主面と平行に設定される基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における、前記ナイフの刃先の位置と、前記第2基板の前記第2主面の位置とを検出する位置検出工程と、
前記位置検出工程の検出結果と、前記第2基板の板厚の情報とに基づいて、前記ナイフの刃先が前記第1基板と前記第2基板との間に位置するように、前記積層体と前記ナイフとを前記第2基板の前記第2主面と垂直な方向に相対的に移動させて、前記積層体と前記ナイフとの位置を調整する位置調整工程と、
前記積層体と前記ナイフとを前記第2基板の前記第2主面と平行な方向に相対的に移動させて、前記積層体の前記第1基板と前記第2基板との間に前記ナイフを挿入させるナイフ挿入工程と、
を備える剥離起点作成方法。 - 前記位置検出工程は、
前記基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における物体の位置を検出する位置検出手段を所定の検出位置に設置し、
前記ナイフを前記検出位置に移動させて、前記ナイフの刃先の位置を前記位置検出手段で検出し、
前記積層体を前記検出位置に移動させて、前記第2基板の前記第2主面の位置を検出する請求項13に記載の剥離起点作成方法。 - 前記位置検出工程は、
前記基準面と同じ位置又は前記基準面に対して所定距離離れた位置に前記基準面と平行に設定される第1基準面を基準として、前記第1基準面と垂直な方向における、前記ナイフの刃先の位置を第1位置検出手段で検出し、
前記基準面と同じ位置又は前記基準面に対して所定距離離れた位置に前記基準面と平行に設定される第2基準面を基準として、前記第2基準面と垂直な方向における、前記第2基板の前記第2主面の位置を第2位置検出手段で検出し、
前記第1位置検出手段の検出結果と、前記第2位置検出手段の検出結果と、前記基準面に対する前記第1基準面の位置の情報と、前記基準面に対する前記第2基準面の位置の情報とに基づいて、前記基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における、前記ナイフの刃先の位置と、前記第2基板の前記第2主面の位置とを算出する請求項13に記載の剥離起点作成方法。 - 前記位置検出工程は、
前記基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における物体の位置を検出する位置検出手段を前記ナイフの配置位置に移動させて、前記ナイフの刃先の位置を検出し、かつ、前記位置検出手段を前記積層体の配置位置に移動させて、前記第2基板の前記第2主面の位置を検出する請求項13に記載の剥離起点作成方法。 - 第1主面と第2主面とを有する第1基板の前記第2主面に、第1主面と第2主面とを有する第2基板の前記第1主面が剥離可能に結合した積層体の前記第1基板と前記第2基板との間にナイフを挿入して、前記第1基板と前記第2基板とを剥離する際の起点を作成する剥離起点作成方法において、
前記第2基板の前記第2主面と平行に設定される基準面を基準として、前記基準面と垂直な方向における、前記ナイフの刃先の位置と、前記第2基板の前記第2主面の位置とを同時に検出して、前記基準面と垂直な方向における、前記ナイフの刃先の位置と前記第2基板の前記第2主面の位置とを同じ位置に調整する第1位置調整工程と、
前記第2基板の板厚の情報に基づいて、前記ナイフの刃先が前記第1基板と前記第2基板との間に位置するように調整する第2位置調整工程と、
前記積層体と前記ナイフとを前記第2基板の前記第2主面と平行な方向に相対的に移動させて、前記積層体の前記第1基板と前記第2基板との間に前記ナイフを挿入させるナイフ挿入工程と、
を備える剥離起点作成方法。
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