JPWO2013137262A1 - 抵抗変化型記憶装置 - Google Patents
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- 230000008859 change Effects 0.000 title claims abstract description 182
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 183
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 183
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 137
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 54
- -1 oxygen ion Chemical class 0.000 claims description 46
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 22
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 21
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 20
- 229910000420 cerium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 19
- BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoceriooxy)cerium Chemical compound [Ce]=O.O=[Ce]=O BMMGVYCKOGBVEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910001233 yttria-stabilized zirconia Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 3
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical group [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 1
- 239000010436 fluorite Substances 0.000 claims 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 abstract description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 39
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 21
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 17
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 17
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 15
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 9
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 9
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000004627 transmission electron microscopy Methods 0.000 description 6
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 5
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 5
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910005881 NiSi 2 Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 229910021334 nickel silicide Inorganic materials 0.000 description 2
- RUFLMLWJRZAWLJ-UHFFFAOYSA-N nickel silicide Chemical group [Ni]=[Si]=[Ni] RUFLMLWJRZAWLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium oxide Inorganic materials O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N oxogermanium Chemical compound [Ge]=O PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/20—Multistable switching devices, e.g. memristors
- H10N70/24—Multistable switching devices, e.g. memristors based on migration or redistribution of ionic species, e.g. anions, vacancies
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/105—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including field-effect components
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/011—Manufacture or treatment of multistable switching devices
- H10N70/021—Formation of switching materials, e.g. deposition of layers
- H10N70/028—Formation of switching materials, e.g. deposition of layers by conversion of electrode material, e.g. oxidation
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/821—Device geometry
- H10N70/826—Device geometry adapted for essentially vertical current flow, e.g. sandwich or pillar type devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/841—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N70/00—Solid-state devices having no potential barriers, and specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching
- H10N70/801—Constructional details of multistable switching devices
- H10N70/881—Switching materials
- H10N70/883—Oxides or nitrides
- H10N70/8833—Binary metal oxides, e.g. TaOx
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
Description
図15は、横軸に電圧をとり、縦軸に電流をとって、従来の抵抗変化型記憶装置のI−V特性を例示するグラフ図である。
図1は、本実施形態に係る抵抗変化型装置を例示する断面図である。
図1に示すように、本実施形態に係る抵抗変化型記憶装置(以下、単に「装置1」ともいう)においては、メモリセル10が設けられている。メモリセル10においては、下部電極11、抵抗変化層12、酸素伝導層13及び上部電極14がこの順に積層されている。例えば、抵抗変化層12は下部電極11及び酸素伝導層13に接し、酸素伝導層13は上部電極14に接している。また、装置1においては、下部電極11と上部電極14との間に電圧を印加する電源回路15が設けられている。なお、本明細書においては、説明の便宜上、下部電極11から上部電極14に向かう方向を「上」といい、その反対方向を「下」というが、これらは重力の方向とは無関係である。
抵抗変化層12は、共有結合した酸化物からなり、例えばシリコン酸化物、例えば、二酸化珪素(SiO2)により形成されている。
酸素伝導層13は、酸素イオンの伝導性を持つ層であり、イオン結合した酸化物、例えばセリウム酸化物(CeOx)、例えば二酸化セリウム(CeO2)により形成されている。
上部電極14は、例えばタングステン(W)等の導電性材料により形成されている。
図2(a)及び(b)は、本実施形態に係る抵抗変化型記憶装置の動作を例示する模式的断面図であり、(a)は低抵抗状態を示し、(b)は高抵抗状態を示す。
図1に示すように、初期状態においては、抵抗変化層12は一様な組成のシリコン酸化物によって形成されており、酸素欠損部はほとんど存在しない。このため、初期状態において、抵抗変化層12は高い絶縁性を持つ。
図2(a)に示すように、電源回路15により、下部電極11と上部電極14との間に、下部電極11が負極となり上部電極14が正極となるような電圧(以下、「正電圧」という)を印加し、この電圧をゼロから連続的に増加させていく。二酸化セリウム(CeO2)からなる酸素伝導層13の比誘電率は約28であり、二酸化珪素(SiO2)からなる抵抗変化層12の比誘電率は約4であるため、酸素伝導層13の比誘電率は抵抗変化層12の比誘電率よりも高い。一方、比誘電率と電界強度との積は一定となるため、抵抗変化層12内に発生する電界の強度は、酸素伝導層13内に発生する電界の強度よりも高い。このため、電圧を増加させていくと、酸素伝導層13よりも先に抵抗変化層12が絶縁破壊される。
図2(b)に示すように、電源回路15により、下部電極11と上部電極14との間に、下部電極11が正極となり上部電極14が負極となるような電圧(以下、「負電圧」という)を印加すると、酸素イオン18には、正極側である抵抗変化層12に向かう力が作用する。これにより、酸素伝導層13を構成する酸素イオン18が、抵抗変化層12に向けて順次移動する。
図2(a)に示すように、電源回路15により、下部電極11と上部電極14との間に正電圧を印加すると、抵抗変化層12が再び絶縁破壊されて、酸素欠損部16からなる電流経路17が再形成される。これにより、抵抗変化層12は「低抵抗状態」に戻る。このとき、仮に、上述の「リセット」によって電流経路17の全体が消失していたとすると、この「セット」の際に生じる現象は上述の「フォーミング」の際に生じる現象とほぼ同じとなり、セットに必要なセット電圧は、フォーミングに必要なフォーミング電圧とほぼ等しくなる。
先ず、上述の如く構成されたメモリセル10が、抵抗変化型の記憶素子として成立する効果について説明する。
本実施形態に係る装置1においては、酸素伝導層13の比誘電率が抵抗変化層12の比誘電率よりも高いため、下部電極11と上部電極14との間に電圧を印加したときに、抵抗変化層12に印加される電界の強度が酸素伝導層13に印加される電界の強度よりも高くなる。これにより、抵抗変化層12として、シリコン酸化層のような絶縁破壊電圧が高く、絶縁性が高い層を選択した場合でも、下部電極11と上部電極14との間に電圧をゼロから連続的に増加させたときに、酸素伝導層13よりも先に抵抗変化層12が絶縁破壊する。この結果、「フォーミング」及び「セット」が可能となる。
これにより、メモリセル10を抵抗変化型の記憶素子として使用することができる。
上述の如く、本実施形態においては、酸素伝導層13の比誘電率が抵抗変化層12の比誘電率よりも高いため、抵抗変化層12として絶縁性が良好な絶縁層を用いても、「セット」動作を確実に実施することができる。抵抗変化層12として絶縁性が高い層を用いることにより、抵抗変化層12の初期状態における電気抵抗値を高くすることができる。
また、本実施形態においては、シリコンを含む下部電極11及び酸素イオン伝導性を持つ酸素伝導層13によって抵抗変化層12を挟むことにより、リセットの際に、抵抗変化層12内に形成された電流経路17を効果的に消失させることができる。これにより、電流経路17の全体又は大部分を消失させて、抵抗変化層12の電気抵抗値を初期状態の値又はそれに近い値まで戻すことができる。
この結果、抵抗変化層12が高抵抗状態にあるときの電気抵抗値を高くして、オン/オフ比を高くすることができる。
図3(a)及び(b)に示す灰色の長方形は、流れる電流の大きさを表す棒グラフである。また、円は抵抗変化層内に形成される酸素欠損部を表しており、図の縦方向に沿った位置は、抵抗変化層の厚さ方向における位置に対応している。これにより、高抵抗状態において抵抗変化層内に残留する電流経路が長いほど、流れる電流が大きく、オン/オフ比が低いことを表している。但し、図3(a)及び(b)の記載は厳密なものではなく、定量的なものでもない。
上述の如く、リセットの際に電流経路17の全体を消失させることができれば、高抵抗状態は初期状態と同様になり、フォーミング電圧はセット電圧と等しくなる。このため、特別にフォーミングを実施する必要がなくなる。この結果、フォーミングを必要としない「フォーミングフリー」の抵抗変化型記憶装置を実現することができる。後述するように、電流経路17の全体を消失させるためには、抵抗変化層12は薄いほど有利であり、酸素伝導層13の酸素イオン伝導性は高いほど有利である。
本実施形態の装置1においては、抵抗変化層12上に酸素伝導層13を設け、リセットの際には、電圧を印加して酸素伝導層13から抵抗変化層12に対して酸素イオンを供給することにより、抵抗変化層12の絶縁破壊を速やかに修復することができる。このため、リセットの速度が高い。また、セットの際には、抵抗変化層12内の酸素を速やかに酸素伝導層13へ排出することができる。このため、セットの速度も高い。
抵抗変化層12は、高抵抗状態においては絶縁性であり、且つ、リセットの際には、酸素が供給されることにより、絶縁破壊が修復されるものであるため、何らかの酸化物であることが好ましい。また、高抵抗状態のときに十分に高い電気抵抗値を実現し、ノイズ等による絶縁破壊を防止するために、絶縁特性が優れ、絶縁破壊電圧が高い材料であることが好ましい。具体的には、抵抗変化層12を形成する材料は、絶縁破壊電界が10MV/cm以上であることが好ましい。このような材料としては、例えば、共有結合した酸化物が好適であり、酸化されている元素の電気陰性度と酸素の電気陰性度の差の絶対値が、1.7以下であることが好ましい。
酸素伝導層13の材料は、それ自体が酸素イオンを含み、また、酸素イオンの伝導性が高い材料である。酸素イオンの伝導性が高いほど、より厚い抵抗変化層12の絶縁破壊をより速やかに修復することができる。具体的には、酸素イオンの伝導度が10−10S/cm以上であることが好ましい。また、低抵抗状態時におけるメモリセル全体の電気抵抗値を低くするために、酸素伝導層13の材料は、バンドギャップが小さい材料であることが好ましい。具体的には、バンドギャップが6eV以下の材料であることが好ましい。更に、下部電極11と上部電極14との間に電圧を印加したときに、抵抗変化層12に強い電界を生じさせるために、酸素伝導層13に生じる電界は弱い方が好ましい。このため、酸素伝導層13の材料の比誘電率は高い方が好ましく、具体的には、比誘電率が10以上であることが好ましい。更にまた、酸素伝導層13の厚さは、例えば、1〜20nmであることが好ましい。
図4に示すように、約500℃以上の温度範囲においては、多結晶YSZの酸素イオン伝導度は多結晶二酸化セリウムの酸素イオン伝導度よりも高いが、約500℃以下の温度範囲においては、多結晶二酸化セリウムの酸素イオン伝導度の方が高い。特に、室温(27℃)付近では、104〜108倍程度の差がある。記憶装置は室温付近で動作させるため、酸素イオン伝導度に関しては、YSZよりも二酸化セリウムの方が、酸素伝導層13の材料として好適である。
フォーミング及びセットを実現するためには、下部電極11と上部電極14との間の電圧をゼロから連続的に増加させたときに、酸素伝導層13よりも先に抵抗変化層12が絶縁破壊する必要がある。このためには、酸素伝導層13に生じる電界よりも抵抗変化層12に生じる電界の方が強いことが好ましく、従って、抵抗変化層12の比誘電率が酸素伝導層13の比誘電率よりも低いことが好ましい。また、上述の如く、抵抗変化層12は、高い絶縁性及び低い比誘電率を持つことが好ましいため、共有結合した酸化物からなることが好ましい。一方、酸素伝導層13は、抵抗変化層12よりも導電性が高く、比誘電率も高いことが好ましいため、イオン結合した酸化物からなることが好ましい。このため、抵抗変化層12に含まれる酸化された元素(例えばシリコン)の電気陰性度と酸素の電気陰性度との差の絶対値は、酸素伝導層13に含まれる酸化された元素(例えばセリウム)の電気陰性度と酸素の電気陰性度の差の絶対値よりも小さいことが好ましい。
図5に示す曲線Zは、上記数式1に対応する。また、図5には、酸素伝導層13を多結晶二酸化セリウムによって形成した場合と、多結晶YSZによって形成した場合を示している。
下部電極11は、電極として必要な導電性を持つと共に、抵抗変化層12に含まれる元素のうち、酸化されている元素と同じ元素を含む必要がある。また、下部電極11は、局所陽極酸化によって抵抗変化層12の材料と同種の材料が形成されることが好ましい。
上部電極14は、電極として必要な導電性を持つために、導電性材料により形成されている。また、酸素伝導層13と反応しない材料によって形成されていることが好ましい。上部電極14が酸素伝導層13と反応すると、界面に金属間化合物層が形成されて電気抵抗値が増加したり、酸素伝導層13の組成及び厚さの制御が困難になるからである。上部電極14が酸素伝導層13と反応しないためには、Gibbsの自由エネルギーが酸素伝導層を構成する金属よりも高く、例えば−700kJよりも高いことが好ましい。このような条件を満たす上部電極14の材料の具体例としては、タングステン(W)及び白金(Pt)が挙げられる。また、上部電極14の本体部分をタングステン層により構成し、このタングステン層内に酸素が侵入することを抑制するために、タングステン層の上にチタン窒化物(TiN)等からなるバリア層を形成してもよい。
下部電極11と上部電極14との間に印加された電圧Vappは、抵抗変化層12及び酸素伝導層13の間で、各層の電界及び厚さの積に応じて分配される。すなわち、抵抗変化層12の厚さをtVRとし、電界強度をEVRとし、酸素伝導層13の厚さをtOCとし、電界強度をEOCとすると、下記数式2が成立する。
図6は、横軸に酸素伝導層の厚さをとり、縦軸にセット電圧をとって、種々の要因が必要なセット電圧に及ぼす影響を例示するグラフ図である。
以下に説明する各実施例及び比較例においては、EB蒸着法によって実際に試料を作製し、そのI−V特性を測定した。各試料の平面サイズは、1辺が20μmの正方形とした。また、第1実施例及び第1比較例については、試料の断面をTEM(transmission electron microscopy:透過型電子顕微鏡)により観察し、写真を撮影した。
図7(a)は第1実施例の試料を示す断面図であり、(b)は横軸に電圧をとり縦軸に電流をとって、この試料のI−V特性を示すグラフ図である。
図8(a)は第1比較例の試料を示す断面図であり、(b)は横軸に電圧をとり縦軸に電流をとって、この試料のI−V特性を示すグラフ図である。
図9(a)は、第1実施例の試料の断面を示すTEM写真であり、(b)は、第1比較例の試料の断面を示すTEM写真である。
図10(a)は第2実施例の試料を示す断面図であり、(b)は横軸に電圧をとり縦軸に電流をとって、この試料のI−V特性を示すグラフ図である。
図11(a)は第2比較例の試料を示す断面図であり、(b)は横軸に電圧をとり縦軸に電流をとって、この試料のI−V特性を示すグラフ図である。
図11(b)に示すように、第2比較例においては、抵抗状態が1つの状態しか出現せず、メモリセルとして動作しなかった。
図12(a)は第3実施例の試料を示す断面図であり、(b)は横軸に電圧をとり縦軸に電流をとって、この試料のI−V特性を示すグラフ図である。
図12(a)に示すように、第3実施例は、上述の第1実施例と比較して、酸素伝導層13をハフニウム酸化物(HfO2)により形成した点が異なっている。ハフニウム酸化層の厚さは、2nmとした。第3実施例における上記以外の構成は、第1実施例と同様である。すなわち、第3実施例においては、下部電極11をニッケルダイシリサイド(NiSi2)により形成し、上部電極14はタングステン(W)により形成した。ニッケルダイシリサイド層(下部電極11)とハフニウム酸化層(酸素伝導層13)との間には、シリコン酸化層(SiO2)が形成された。
図13(a)は第4実施例の試料を示す断面図であり、(b)は横軸に電圧をとり縦軸に電流をとって、この試料のI−V特性を示すグラフ図である。
図13(a)に示すように、第4実施例は、上述の第1実施例と比較して、下部電極11を導電形がp+形のシリコンにより形成した点、及び、酸素伝導層13をハフニウム酸化物(HfO2)により形成した点が異なっている。ハフニウム酸化層の厚さは、2nmとした。それ以外の構成は、第1実施例と同様である。p+形のシリコン層(下部電極11)とハフニウム酸化層(酸素伝導層13)との間には、シリコン酸化層(SiO2)が形成された。
Claims (12)
- 第1の元素を含む第1電極と、
前記第1電極上に設けられ、前記第1の元素の酸化物を含む抵抗変化層と、
前記抵抗変化層上に設けられ、第2の元素及び酸素を含み、酸素イオン伝導性を持ち、比誘電率が前記抵抗変化層の比誘電率よりも高い酸素伝導層と、
前記酸素伝導層上に設けられた第2電極と、
を備え、
前記第1電極と前記第2電極との間の電圧をゼロから連続的に増加させたときに、前記酸素伝導層よりも先に前記抵抗変化層が絶縁破壊する抵抗変化型記憶装置。 - 前記第1電極と前記第2電極との間に電圧を印加する電源回路をさらに備え、
前記電源回路が出力可能な電圧をVappとし、前記抵抗変化層の絶縁破壊に必要な電界強度をEVR BDとし、前記抵抗変化層の厚さをtVRとし、前記抵抗変化層の比誘電率をkVRとし、前記酸素伝導層の厚さをtOCとし、前記酸素伝導層の比誘電率をkOCとするとき、下記数式を満たす請求項1記載の抵抗変化型記憶装置。
- 前記第1の元素の電気陰性度と酸素の電気陰性度との差の絶対値は、前記第2の元素の電気陰性度と酸素の電気陰性度の差の絶対値よりも小さい請求項1記載の抵抗変化型記憶装置。
- 前記抵抗変化層は、共有結合した酸化物からなる請求項1記載の抵抗変化型記憶装置。
- 前記第1の元素はシリコンである請求項1記載の抵抗変化型記憶装置。
- 前記第1電極は、不純物を含むシリコン又は金属シリサイドにより形成されている請求項5記載の抵抗変化型記憶装置。
- 前記第1電極は、局所陽極酸化によって前記抵抗変化層の材料と同種の材料が形成される材料により形成されている請求項1記載の抵抗変化型記憶装置。
- 前記酸素伝導層は、イオン結合した酸化物からなる請求項1記載の抵抗変化型記憶装置。
- 前記酸素伝導層の結晶構造は蛍石型である請求項1記載の抵抗変化型記憶装置。
- 前記酸素伝導層は、セリウム酸化物、ハフニウム酸化物、ジルコニウム酸化物、チタン酸化物、チタン酸ストロンチウム及びイットリア安定化ジルコニアからなる群より選択された1以上の酸化物を含有する請求項1記載の抵抗変化型記憶装置。
- 前記酸素伝導層はセリウム酸化物からなる請求項10記載の抵抗変化型記憶装置。
- 前記第2電極は、前記第2の元素と反応しない材料によって形成されている請求項1記載の抵抗変化型記憶装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012057871 | 2012-03-14 | ||
JP2012057871 | 2012-03-14 | ||
PCT/JP2013/056826 WO2013137262A1 (ja) | 2012-03-14 | 2013-03-12 | 抵抗変化型記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013137262A1 true JPWO2013137262A1 (ja) | 2015-08-03 |
JP6082383B2 JP6082383B2 (ja) | 2017-02-15 |
Family
ID=49161168
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014504932A Active JP6082383B2 (ja) | 2012-03-14 | 2013-03-12 | 抵抗変化型記憶装置 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9214626B2 (ja) |
EP (1) | EP2827367B1 (ja) |
JP (1) | JP6082383B2 (ja) |
KR (1) | KR101613033B1 (ja) |
CN (1) | CN104285295B (ja) |
HK (1) | HK1205822A1 (ja) |
SG (1) | SG11201405685RA (ja) |
WO (1) | WO2013137262A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG11201405685RA (en) * | 2012-03-14 | 2014-11-27 | Tokyo Inst Tech | Resistance change memory device |
KR101585477B1 (ko) | 2014-09-26 | 2016-01-15 | 현대자동차주식회사 | 방청성능이 향상된 차량용 도어프레임 및 이의 제조방법 |
TWI556245B (zh) * | 2015-02-16 | 2016-11-01 | 國立中山大學 | 電阻式記憶體 |
JP6430306B2 (ja) * | 2015-03-19 | 2018-11-28 | 東芝メモリ株式会社 | 不揮発性記憶装置 |
TWI559305B (zh) * | 2015-08-07 | 2016-11-21 | Univ Chang Gung | Resistive memory with multiple resistive states |
CN106098932B (zh) * | 2016-06-16 | 2019-01-15 | 北京大学 | 一种线性缓变忆阻器及其制备方法 |
US9887351B1 (en) * | 2016-09-30 | 2018-02-06 | International Business Machines Corporation | Multivalent oxide cap for analog switching resistive memory |
JP6541727B2 (ja) * | 2017-07-24 | 2019-07-10 | カルソニックカンセイ株式会社 | 接合方法 |
JP2019057540A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-11 | 東芝メモリ株式会社 | 記憶素子 |
US10381558B1 (en) | 2018-03-16 | 2019-08-13 | 4D-S, Ltd. | Resistive memory device having a retention layer |
WO2019232302A1 (en) * | 2018-06-01 | 2019-12-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Optoelectronic memristor devices |
JP7155752B2 (ja) * | 2018-08-24 | 2022-10-19 | 富士通株式会社 | 抵抗変化素子及びその製造方法、記憶装置 |
WO2020251747A1 (en) | 2019-06-12 | 2020-12-17 | Applied Materials, Inc. | Dual oxide analog switch for neuromorphic switching |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005285451A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 電解質膜およびその製造方法 |
JP2010028001A (ja) * | 2008-07-24 | 2010-02-04 | Fujitsu Ltd | 抵抗変化型素子および抵抗変化型素子製造方法 |
WO2010073897A1 (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-01 | 日本電気株式会社 | 抵抗変化素子 |
JP2010251352A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Panasonic Corp | 不揮発性記憶素子及びその製造方法 |
WO2011052239A1 (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-05 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化型不揮発性記憶装置およびメモリセルの形成方法 |
JP2011091325A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Sony Corp | 記憶装置及びその製造方法 |
US20110176351A1 (en) * | 2010-01-18 | 2011-07-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile memory device and method for manufacturing same |
WO2012023269A1 (ja) * | 2010-08-17 | 2012-02-23 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100960208B1 (ko) | 2005-07-29 | 2010-05-27 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 저항 기억 소자 및 불휘발성 반도체 기억 장치 |
WO2008075412A1 (ja) | 2006-12-19 | 2008-06-26 | Fujitsu Limited | 抵抗変化素子及びその製造方法 |
CN101159314A (zh) | 2007-10-30 | 2008-04-09 | 北京大学 | 一种电阻式随机存储器的存储单元及其制备方法 |
SG11201405685RA (en) * | 2012-03-14 | 2014-11-27 | Tokyo Inst Tech | Resistance change memory device |
-
2013
- 2013-03-12 SG SG11201405685RA patent/SG11201405685RA/en unknown
- 2013-03-12 JP JP2014504932A patent/JP6082383B2/ja active Active
- 2013-03-12 KR KR1020147025613A patent/KR101613033B1/ko active IP Right Grant
- 2013-03-12 EP EP13761116.6A patent/EP2827367B1/en active Active
- 2013-03-12 CN CN201380023018.7A patent/CN104285295B/zh active Active
- 2013-03-12 WO PCT/JP2013/056826 patent/WO2013137262A1/ja active Application Filing
- 2013-03-12 US US14/384,281 patent/US9214626B2/en active Active
-
2015
- 2015-06-30 HK HK15106208.8A patent/HK1205822A1/xx unknown
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005285451A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 電解質膜およびその製造方法 |
JP2010028001A (ja) * | 2008-07-24 | 2010-02-04 | Fujitsu Ltd | 抵抗変化型素子および抵抗変化型素子製造方法 |
WO2010073897A1 (ja) * | 2008-12-26 | 2010-07-01 | 日本電気株式会社 | 抵抗変化素子 |
JP5464148B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2014-04-09 | 日本電気株式会社 | 抵抗変化素子 |
JP2010251352A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Panasonic Corp | 不揮発性記憶素子及びその製造方法 |
JP2011091325A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Sony Corp | 記憶装置及びその製造方法 |
WO2011052239A1 (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-05 | パナソニック株式会社 | 抵抗変化型不揮発性記憶装置およびメモリセルの形成方法 |
US20120044749A1 (en) * | 2009-11-02 | 2012-02-23 | Shunsaku Muraoka | Variable resistance nonvolatile storage device and method of forming memory cell |
US20110176351A1 (en) * | 2010-01-18 | 2011-07-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Nonvolatile memory device and method for manufacturing same |
JP2011146111A (ja) * | 2010-01-18 | 2011-07-28 | Toshiba Corp | 不揮発性記憶装置及びその製造方法 |
WO2012023269A1 (ja) * | 2010-08-17 | 2012-02-23 | パナソニック株式会社 | 不揮発性記憶装置およびその製造方法 |
US20120199805A1 (en) * | 2010-08-17 | 2012-08-09 | Haruyuki Sorada | Nonvolatile memory device and manufacturing method thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101613033B1 (ko) | 2016-04-15 |
US20150083987A1 (en) | 2015-03-26 |
WO2013137262A1 (ja) | 2013-09-19 |
US9214626B2 (en) | 2015-12-15 |
CN104285295A (zh) | 2015-01-14 |
KR20140129170A (ko) | 2014-11-06 |
EP2827367A4 (en) | 2015-11-25 |
EP2827367B1 (en) | 2018-04-25 |
EP2827367A1 (en) | 2015-01-21 |
CN104285295B (zh) | 2017-05-31 |
SG11201405685RA (en) | 2014-11-27 |
JP6082383B2 (ja) | 2017-02-15 |
HK1205822A1 (en) | 2015-12-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161222 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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