JPWO2013121903A1 - 波長変換素子及びその製造方法、発光装置及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims description 78
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 40
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 36
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 62
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000010954 inorganic particle Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 23
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000004590 silicone sealant Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 52
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 51
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 32
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 16
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 12
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 9
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- 238000005987 sulfurization reaction Methods 0.000 abstract description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 36
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 35
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 23
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 23
- -1 imogolite Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 12
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 12
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 12
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 9
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 7
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 7
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 7
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 6
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 5
- 229910052604 silicate mineral Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 5
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 229910021647 smectite Chemical group 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 4
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RJDOZRNNYVAULJ-UHFFFAOYSA-L [O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[F-].[F-].[Mg++].[Mg++].[Mg++].[Al+3].[Si+4].[Si+4].[Si+4].[K+] Chemical compound [O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[O--].[F-].[F-].[Mg++].[Mg++].[Mg++].[Al+3].[Si+4].[Si+4].[Si+4].[K+] RJDOZRNNYVAULJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 239000002734 clay mineral Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 2
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical group O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000010445 mica Substances 0.000 description 2
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005486 sulfidation Methods 0.000 description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YOBOXHGSEJBUPB-MTOQALJVSA-N (z)-4-hydroxypent-3-en-2-one;zirconium Chemical compound [Zr].C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O YOBOXHGSEJBUPB-MTOQALJVSA-N 0.000 description 1
- IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,3-pentafluoropropanal Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C=O IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AIFLGMNWQFPTAJ-UHFFFAOYSA-J 2-hydroxypropanoate;titanium(4+) Chemical compound [Ti+4].CC(O)C([O-])=O.CC(O)C([O-])=O.CC(O)C([O-])=O.CC(O)C([O-])=O AIFLGMNWQFPTAJ-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 229910002012 Aerosil® Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K Aluminum fluoride Inorganic materials F[Al](F)F KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 125000005595 acetylacetonate group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910001583 allophane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- 229910000278 bentonite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000440 bentonite Substances 0.000 description 1
- SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N bentoquatam Chemical compound O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- YHWCPXVTRSHPNY-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;titanium(4+) Chemical compound [Ti+4].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] YHWCPXVTRSHPNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N butan-1-olate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] BSDOQSMQCZQLDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 239000012700 ceramic precursor Substances 0.000 description 1
- 238000000975 co-precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dioxosilane;oxygen(2-);hydrate Chemical compound O.[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910052622 kaolinite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002634 lipophilic molecules Chemical class 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910001960 metal nitrate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052901 montmorillonite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002892 organic cations Chemical class 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000001181 organosilyl group Chemical group [SiH3]* 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000275 saponite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000002522 swelling effect Effects 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- WSNJABVSHLCCOX-UHFFFAOYSA-J trilithium;trimagnesium;trisodium;dioxido(oxo)silane;tetrafluoride Chemical compound [Li+].[Li+].[Li+].[F-].[F-].[F-].[F-].[Na+].[Na+].[Na+].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O WSNJABVSHLCCOX-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 229910052902 vermiculite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010455 vermiculite Substances 0.000 description 1
- 235000019354 vermiculite Nutrition 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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- H01L33/50—Wavelength conversion elements
- H01L33/501—Wavelength conversion elements characterised by the materials, e.g. binder
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
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- H01L33/507—Wavelength conversion elements the elements being in intimate contact with parts other than the semiconductor body or integrated with parts other than the semiconductor body
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- H01L33/52—Encapsulations
- H01L33/56—Materials, e.g. epoxy or silicone resin
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/29—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the material, e.g. carbon
- H01L23/293—Organic, e.g. plastic
- H01L23/296—Organo-silicon compounds
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12041—LED
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12042—LASER
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
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- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
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- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
- H01L2933/0041—Processes relating to semiconductor body packages relating to wavelength conversion elements
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Abstract
照明のように色の均一性が求められる用途の発光装置において、十分使用可能な程度に色むらの発生を低減すること、さらに硫化防止性能及び光取り出し効率を向上させるため、発光装置は、蛍光体、膨潤性粒子、無機粒子、及び第1溶媒を含む第1混合液を発光素子上に塗布する工程と、その上に、透光性セラミック材料及び第2溶媒を含む第2混合液を塗布して加熱する工程と、さらにその上に、シリコーン封止剤を塗布して加熱する工程と、を有する製造方法によって製造されるものとする。
Description
本発明は発光素子と、発光素子から出射される光の波長を変換する波長変換部とを有する発光装置に関する。
近年、窒化ガリウム(GaN)系の青色LED(Light Emitting Diode:発光ダイオード)チップの近傍にYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)蛍光体等の蛍光体を配置し、青色LEDチップから出射される青色光と、蛍光体が青色光を受けて二次発光することにより出射される黄色光との混色により白色発光装置を得る技術が広く用いられている。また、青色LEDチップから出射される青色光と、各蛍光体が青色光を受けて二次発光することにより出射される赤色光及び緑色光との混色により白色発光装置を得る技術も用いられている。
このような白色発光装置には様々な用途があり、例えば、蛍光灯や白熱電灯の代替品としての需要がある。また、自動車のヘッドライト等の非常に高い輝度が求められる照明装置へも使われつつある。ヘッドライトには、遠方の標識等の対象物に対する高い視認性が求められるため、白色発光装置の色味や照射範囲の色の均一性においても高い性能が求められる。
このような白色発光装置では、蛍光体を分散させた透明樹脂を用いてLEDチップや実装部を封止する方法が一般的である。しかしながら、上記のような高レベルの色の均一性が求められる用途において、蛍光体を単に透明樹脂中に分散させてLEDチップを封止する構成では、蛍光体粒子の比重が透明樹脂より大きいため、透明樹脂が硬化する前に蛍光体が沈降し、発光時に色むら等を生じるという問題がある。また、使用環境によっては金属電極や金属反射部が硫化して変色することで発光効率が低下するという問題もある。
そこで、蛍光体の沈降を抑制して色むら等の発生を防止する技術が種々提案されている。例えば特許文献1には、樹脂硬化時の粘度が100〜10000mPa・sのシリコーン樹脂を封止体として用いることにより、蛍光体の沈降や偏析を抑制しようとする発光装置が開示されている。
また特許文献2には、液状の透光性封止材料に、蛍光体の沈降防止材として粘度鉱物を主とする層状化合物に有機カチオンを添加してなる親油性化合物を加えた発光装置及びその製造方法が開示されている。
また特許文献3には、硫化防止用のバリア層を設ける構成が開示されている。
特許文献1、2の技術によれば、蛍光体の沈降による色むらの問題については、ある程度改善される。しかしながら、何れの文献でも蛍光体を樹脂内に分散させているため、上記のような高輝度の照明装置に用いる場合、LED自身の発熱やLEDの光により励起された蛍光体からの発光による熱により、樹脂が劣化して着色することで透過率が低下したり、樹脂の変形による色むらや表面散乱といった問題が生じるおそれがある。また、高輝度なLEDではなくても長期間の使用に伴って同様の問題が生じるおそれがある。また、特許文献3の技術では硫化防止対策として十分でない。
本発明は、照明のように色の均一性が求められる用途において十分使用可能な程度に色むらの発生を低減すること、硫化防止性能及び光取り出し効率を向上させることを課題とし、波長変換素子の製造方法、その波長変換素子、発光装置の製造方法、その発光装置をそれぞれ提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明は、蛍光体、膨潤性粒子、無機粒子、及び第1溶媒を含む第1混合液を発光素子上に塗布する工程と、その上に、透光性セラミック材料及び第2溶媒を含む第2混合液を塗布して加熱する工程と、さらにその上に、シリコーン封止剤を塗布して加熱する工程と、を有する発光装置の製造方法とする。
上記の発光装置の製造方法において、前記第2混合液が水及び/又は無機粒子を含むことが好ましい。
また上記の発光装置の製造方法において、前記無機粒子が金属酸化物であることが好ましい。
また上記の発光装置の製造方法において、前記シリコーン封止剤がフェニルシリコーンであることが好ましい。
また本発明の発光装置は、上記の発光装置の製造方法の何れかによって製造されたものである。
また本発明は、蛍光体、膨潤性粒子、無機粒子、及び第1溶媒を含む第1混合液を透光性基板の少なくとも片面に塗布する工程と、その上に、透光性セラミック材料及び第2溶媒を含む第2混合液を塗布して加熱する工程と、さらにその上に、シリコーン封止剤を塗布して加熱する工程と、を有する波長変換素子の製造方法とする。
上記の波長変換素子の製造方法において、前記第2混合液が水及び/又は無機粒子を含むことが好ましい。
また上記の波長変換素子の製造方法において、前記無機粒子が金属酸化物であることが好ましい。
また上記の波長変換素子の製造方法において、前記シリコーン封止剤がフェニルシリコーンであることが好ましい。
また本発明の波長変換素子は、上記の波長変換素子の製造方法によって製造されたものである。
また本発明の発光装置の製造方法は、上記の波長変換素子の製造方法において波長変換素子を発光素子の発光面側に設置する工程を加えたものである。
また本発明の発光装置は、上記の発光装置の製造方法によって製造されたものである。
本発明によると、照明のように色の均一性が求められる用途において十分使用可能な程度に色むらの発生を低減するとともに、硫化防止性能及び光取り出し効率を向上させることができる。
以下、本発明の波長変換素子及びそれを備えた発光装置の実施形態を、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の第1実施形態の発光装置の概略断面図である。図1に示すように、発光装置100は、断面凹状のLED基板1の底部にメタル部2が設けられ、メタル部2上に発光素子としてLED素子3を配置している。LED素子3は、メタル部2に対向する面に、突起電極4が設けられており、メタル部2とLED素子3とを突起電極4を介して接続している(フリップチップ型)。
本実施形態では、LED素子3として青色LED素子を用いている。青色LED素子は、例えばサファイア基板上にn−GaN系クラッド層、InGaN発光層、p−GaN系クラッド層、及び透明電極を積層してなる。
また、LED素子3を覆うようにLED基板1の凹部に波長変換部6が設けられている。波長変換部6は、LED素子3を覆う波長変換層7と、波長変換層7上に形成されたセラミック層8と、セラミック層8上に形成されたシリコーン封止層11とを有している。
波長変換層7は、LED素子3から出射される所定波長の光を異なる波長の光に変換する部分であり、LED素子3からの波長により励起されて、励起波長と異なる波長の蛍光を出す蛍光体が含まれている。セラミック層8は、波長変換層7を封止して保護するための層であり、少なくともLED素子3の光及び波長変換層7の蛍光を透過する透光性を有する。シリコーン封止層11は、ガスバリア性向上、物理的強度向上、光取り出し効率向上などを目的とした層であり、少なくともLED素子3の光及び波長変換層7の蛍光を透過する透光性を有する。
次に、波長変換部6(波長変換層7、セラミック層8及びシリコーン封止層11)の構成及び形成方法と、発光装置100の製造方法とについて詳述する。
波長変換層7は、少なくとも蛍光体、膨潤性粒子、無機粒子(無機微粒子)、及び溶媒(第1溶媒)を含む混合液(第1混合液)を塗布し、加熱(乾燥)して得られる層である。ここで、第1混合液にバインダとなる透光性セラミック材料を含むと、調製から時間が経つと化学反応を起こして粘度が高くなり、調製から168時間後では塗布するのに好ましくない粘度にまで上昇する。すなわち、第1混合液にバインダ成分を含むと、第1混合液のポットライフが短くなってしまう。したがって、第1混合液は、バインダ成分の量が少ないことが好ましく、バインダ成分を含まないことがさらに好ましい。
セラミック層8は、少なくとも透光性セラミック材料及び溶媒(第2溶媒)を含む混合液(第2混合液)を塗布し、加熱(焼成)して得られる透明性セラミック層(ガラス体)である。なお、第2混合液は膨潤性粒子、水、無機粒子などを含んでいてもよい。シリコーン封止層11は、シリコーン樹脂を含むシリコーン封止剤を塗布し、加熱(硬化)して得られる層である。
(蛍光体)
(蛍光体)
蛍光体は、LED素子3からの出射光の波長(励起波長)により励起されて、励起波長と異なる波長の蛍光を出射するものである。本実施形態では、青色LED素子から出射される青色光(波長420nm〜485nm)を黄色光(波長550nm〜650nm)に変換するYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)蛍光体を使用している。
このような蛍光体は、Y、Gd、Ce、Sm、Al、La、Gaの酸化物、または高温で容易に酸化物となる化合物を使用し、それらを化学量論比で十分に混合して混合原料を得る。或いは、Y、Gd、Ce、Smの希土類元素を化学量論比で酸に溶解した溶液をシュウ酸で共沈したものを焼成して得られる共沈酸化物と、酸化アルミニウム、酸化ガリウムとを混合して混合原料を得る。そして、得られた混合原料にフラックスとしてフッ化アンモニウム等のフッ化物を適量混合して加圧し、成形体を得る。得られた成形体を坩堝に詰め、空気中1350〜1450℃の温度範囲で2〜5時間焼成し、蛍光体の発光特性をもつ焼結体を得る。
なお、本実施形態ではYAG蛍光体を使用しているが、蛍光体の種類はこれに限定されるものではなく、例えばCeを含まない非ガーネット系蛍光体等の他の蛍光体を使用することもできる。また、蛍光体の粒径が大きいほど発光効率(波長変換効率)は高くなる反面、膨潤性粒子との界面に生じる隙間が大きくなって形成された波長変換層7の膜強度が低下する。従って、発光効率と膨潤性粒子との界面に生じる隙間の大きさを考慮し、体積平均粒径が1μm以上50μm以下のものを用いることが好ましい。蛍光体の体積平均粒径は、例えばコールターカウンター法やレーザー回折・散乱式粒径測定装置によって測定することができる。
(膨潤性粒子)
(膨潤性粒子)
膨潤性粒子としては、フッ化マグネシウム、フッ化アルミニウム、フッ化カルシウム等のフッ化物粒子、層状ケイ酸塩鉱物、イモゴライト、アロフェンなどを用いることができる。層状ケイ酸塩鉱物としては、雲母構造、カオリナイト構造、スメクタイト構造等の構造を有する膨潤性粘土鉱物が好ましく、膨潤性に富むスメクタイト構造がより好ましい。層状ケイ酸塩鉱物は、混合液中においてカードハウス構造をとるため、少量で混合液の粘度を大幅に増加させる効果がある。また、層状ケイ酸塩鉱物は平板状を呈するため、波長変換層7の膜強度を向上させる効果もある。
ここでの鉱物とは、天然又は合成の無機質で一定の化学組成と結晶構造を有する固体物質であるとする。このような層状ケイ酸塩鉱物としては、天然または合成の、ヘクトライト、サポナイト、スチブンサイト、ハイデライト、モンモリロナイト、ノントライト、ベントナイト等のスメクタイト属粘土鉱物や、Na型テトラシリシックフッ素雲母、Li型テトラシリシックフッ素雲母、Na型フッ素テニオライト、Li型フッ素テニオライト等の膨潤性雲母属粘土鉱物およびバーミキュラライトやカオリナイトまたはこれらの混合物が挙げられる。
また、第1混合液中における膨潤性粒子の含有量が0.1重量%未満になると第1混合液中の蛍光体や微粒子、金属アルコキシドなどの固形成分の割合が高くなり、それらの分散性が悪化する。一方、膨潤性粒子の含有量が60重量%を超えると膨潤性粒子による励起光の散乱が多く発生し、波長変換層7では発光輝度が低下し、セラミック層8では透光性が低下する。従って、第1混合液において膨潤性粒子の含有量は0.1重量%以上60重量%以下とすることが好ましく、0.5重量%以上30重量%以下がより好ましい。
膨潤性粒子には増粘効果があるが、波長変換層7やセラミック層8中での割合が高ければ混合液の粘度が高くなるわけではなく、混合液の粘度は溶媒、蛍光体など他の成分との比率で決まる。なお、溶媒との相溶性を考慮して、膨潤性粒子の表面をアンモニウム塩等で修飾(表面処理)したものを適宜用いることもできる。
(溶媒)
(溶媒)
溶媒としては、水、有機溶媒、又は水と有機溶媒の混合溶媒を用いることができる。水は親水性の膨潤性粒子を膨潤させる役割がある。例えば、フッ化物粒子に水を添加することにより混合液の粘性が増加するため、蛍光体の沈降を抑制することができる。なお、水に不純物が含まれていると膨潤を阻害するおそれがあるため、添加する水は不純物を含まない純水を用いる必要がある。
有機溶媒は、混合液のぬれ性向上、粘度調整のために用いられる。例えば、フッ化物粒子に有機溶媒を添加することにより混合液の粘性が増加するため、蛍光体の沈降を抑制することができる。親水性の膨潤性粒子に水を添加して膨潤させる場合には、有機溶媒として、水との相溶性に優れたメタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等のアルコール類を用いることが好ましい。なお、2種以上のアルコールを組み合わせてもよい。一方、親油性の膨潤性粒子を用いる場合は、膨潤性粒子の膨潤に水は作用しないが、水を加えることにより粘度が増加するため、水との相溶性に優れた有機溶媒を用いることが好ましい。また、エチレングリコールやプロピレングリコールなどの高沸点の有機溶媒を用いることにより、混合液のポットライフが短くならず、またスプレー塗布時にはノズルの詰まりを防ぎ、取り扱い性に優れる。
(無機粒子)
(無機粒子)
無機粒子は、蛍光体と膨潤性粒子との界面に生じる隙間を埋める充填効果、加熱前の混合液の粘性を増加させる増粘効果を有する。本発明に用いられる無機粒子としては、酸化ケイ素、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム等の金属酸化物微粒子等が挙げられる。なお、セラミック材料や溶媒との相溶性を考慮して、無機粒子の表面をシランカップリング剤やチタンカップリング剤で処理したものを適宜用いることもできる。
また、波長変換層7における無機粒子の含有量が0.5重量%未満になると第1混合液中の蛍光体などの固形成分の割合が高くなり、それらの分散性が悪化して塗布時のハンドリングが悪化したり、均一な色度で塗布したりすることが困難になる。一方、無機粒子の含有量が70重量%を超えると無機粒子による励起光の散乱が多く発生し、波長変換層7の発光輝度が低下する。従って、第1混合液において無機粒子の含有量は0.5重量%以上70重量%以下とすることが好ましく、0.5重量%以上65重量%以下がより好ましく、1重量%以上60重量%以下がさらに好ましい。
無機粒子には増粘効果があるが、波長変換層7中での割合が高ければ混合液の粘度が高くなるわけではなく、混合液の粘度は溶媒、蛍光体など他の成分との比率で決まる。
無機粒子の粒径分布には特に制限はなく、広範囲に分布していてもよいし、比較的狭い範囲に分布していてもよい。なお、無機粒子の粒径としては、一次粒径の中心粒径が0.001μm以上50μm以下であり、蛍光体より小さいものが好ましい。無機粒子の平均粒径は、例えばコールターカウンター法によって測定することができる。
(透光性セラミック材料)
(透光性セラミック材料)
透光性セラミック材料はセラミック前駆体であり、無機又は有機の金属化合物を用いることができる。金属化合物としては、金属アルコキシド、金属アセチルアセトネート、金属カルボキシレート、金属硝酸塩、金属酸化物等が挙げられるが、加水分解と重合反応によりゲル化し易い金属アルコキシドが好ましい。
金属アルコキシドは、テトラエトキシシランのような単分子のものでもよいし、有機シロキサン化合物が鎖状または環状に連なったポリシロキサンでもよいが、混合液の粘性が増加するポリシロキサンが好ましい。なお、透光性のガラス体を形成可能であれば金属の種類に制限はないが、形成されるガラス体の安定性や製造の容易性の観点から、ケイ素を含有していることが好ましい。また、複数種の金属を含有していてもよい。
(シリコーン封止剤)
(シリコーン封止剤)
シリコーン封止剤としては、アルキル基やアリール基などの有機基をもつケイ素原子が酸素原子と交互に結合した構造を骨格として有する樹脂を用いることができる。なお、この骨格に他の添加元素を付与してもよい。例えば、セラミック層8上にシリコーン封止剤としてフェニルシリコーンを塗布し、150℃で1時間加熱することで、シリコーン封止層11を形成することができる。
(第1混合液の調整手順)
(第1混合液の調整手順)
第1混合液の調製手順としては、単に蛍光体、膨潤性粒子、無機粒子(無機微粒子)、溶媒(第1溶媒)を混合すればよい。第1混合液の好ましい粘度は10〜1000mPa・sであり、さらに好ましい粘度は12〜800mPa・sであり、最も好ましい粘度は20〜600mPa・sである。
(第2混合液の調整手順)
(第2混合液の調整手順)
第2混合液の調製手順としては、透光性セラミック材料を溶媒(第2溶媒)に分散させた溶液に、必要に応じて膨潤性粒子、水、無機粒子を混合すればよい。第2混合液に膨潤性粒子を添加することにより、厚塗りしてもクラックの発生しにくい透光性セラミック層ができる。
第2混合液としては、ゾル状の前駆体溶液を加熱によりゲル状態とし、さらに焼成する、いわゆるゾル・ゲル法により透明性セラミック層を形成するものであってもよいし、焼成することによりゲル化することなく直接透明性セラミック層を形成するものであってもよい。ゾル・ゲル法を用いる場合、例えば、金属アルコキシド、加水分解用の水、溶媒、触媒等を適宜混合することが好ましい。触媒としては、塩酸、硫酸、硝酸、酢酸、フッ酸、アンモニア等を用いることができる。金属アルコキシドとしてテトラエトキシシランを用いる場合、テトラエトキシシラン100質量部に対して、エチルアルコール138質量部、純水52質量部とすることが好ましい。この場合、ゲルの加熱温度は120〜250℃が好ましく、LED素子3の劣化をより抑制する観点からは120〜200℃が好ましい。また、金属アルコキシドとしてポリシロキサンを用いる場合、塗布後の加熱温度は120〜500℃が好ましく、LED素子3の劣化をより抑制する観点からは120〜350℃が好ましい。
(発光装置の製造方法)
(発光装置の製造方法)
以上のようにして得られた第1混合溶液をLED素子3が搭載されたLED基板1上にスプレーコート法により所定量噴霧する。図2に、スプレーコート法を用いた塗布装置及び製造方法を概略的に説明するための模式図を示す。塗布装置10は、主に、上下、左右、前後に移動可能な移動台20と、第1混合液を噴射可能なスプレー装置30とを有している。
スプレー装置30は移動台20の上方に配置されている。スプレー装置30はエアーが送り込まれるノズル32を有しており、ノズル32にはエアーを送り込むためのエアーコンプレッサー(図示略)が接続されている。ノズル32の先端部の孔径は20μm〜2mmであり、好ましくは0.1〜0.3mmである。ノズル32は移動台20と同様に、上下、左右、前後に移動可能となっている。
例えば、ノズル32としてはアネスト岩田社製スプレーガンW-101-142BPGが、コンプレッサーとしてはアネスト岩田社製OFP-071Cがそれぞれ使用される。ノズル32は角度調整も可能であり、移動台20(またはこれに設置されるLED基板1)に対し傾斜させることができるようになっている。被噴射物(LED基板1)に対するノズル32の角度は、当該被噴射物から垂直方向を0°とした場合、0〜60°の範囲であることが好ましい。
ノズル32には連結管34を介してタンク36が接続されている。タンク36には第1混合液40が貯留されている。タンク36には撹拌子が入っており、第1混合液40が常に撹拌されている。第1混合液40を撹拌すれば、比重の大きい蛍光体の沈降を抑止することができ、蛍光体が第1混合液40中で分散した状態を保持することができる。例えば、タンクとしてはアネスト岩田社製PC-51が使用される。
実際に第1混合液40を塗布する場合には、(LED素子3をあらかじめ実装した)複数のLED基板1を移動台20に設置し、LED基板1とスプレー装置30のノズル32との位置関係を調整する(位置調整工程)。
詳しくは、LED基板1を移動台20に設置し、LED基板1とノズル32の先端部とを対向配置する。LED基板1とノズル32との距離を離すほど第1混合液40を均一に塗布することが可能であるが、膜強度が低下する傾向もあるため、LED基板1とノズル32の先端部との距離は3〜30cmの範囲に保持することが適している。
その後、LED基板1とノズル32とを互いに相対移動させながら、ノズル32から第1混合液を噴射してLED基板1に第1混合液40を塗布する(噴射・塗布工程)。詳しくは、一方では、移動台20とノズル32とを移動させてLED基板1とノズル32とを前後左右に移動させる。移動台20とノズル32とのうちいずれか一方の位置を固定し、他方を前後左右に移動させてもよい。また、移動台20の移動方向と直交する方向にLED素子3を複数配置し、ノズル32を移動台20の移動方向と直交する方向に移動させながら塗布する方法も好ましく用いられる。
他方では、ノズル32にエアーを送り込み、第1混合液40をノズル32の先端部からLED基板1に向けて噴射する。LED基板1とノズル32との距離についてはエアーコンプレッサーの圧力を考慮して上記の範囲で調整可能である。例えば、ノズル32の入り口部(先端部)の圧力(スプレー圧)が0.14MPaとなるようにコンプレッサーの圧力を調整する。以上の操作により、第1混合液40をLED素子3上に塗布することができる。
なお、塗布装置10を用いるのに代えて、ディスペンサーやインクジェット装置を用いて第1、第2混合液及びシリコーン封止剤を塗布(滴下または吐出)するようにしてもよい。ディスペンサーを使用する場合は、塗布液の滴下量を制御可能で、蛍光体などのノズル詰まりが発生しないようなノズルを用いる。たとえば、武蔵エンジニアリング社製の非接触ジェットディスペンサーや同社のディスペンサーを用いることができる。インクジェット装置を使用する場合も、塗布液の吐出量を制御可能で、蛍光体などのノズル詰まりが発生しないようなノズルを用いる。たとえば、コニカミノルタIJ社製のインクジェット装置を用いることができる。
このようにして塗布した第1混合液を加熱(乾燥)することで、LED素子3上に均一な厚さ(均一な蛍光体分布)の波長変換層7が形成される。次に、波長変換層7の上に第2混合液をスプレーコート法により所定量噴霧する。ここでも塗布装置10を用いることができる。塗布された第2混合液の一部は蛍光体粒子や膨潤性粒子の隙間に浸透する。これを加熱(焼成)することでセラミック層8が形成される。
ここで、波長変換層7に浸透した第2混合液はセラミックに変化するため、セラミックは蛍光体粒子と膨潤性粒子とLED素子3に対してバインダとして作用する。また、第2混合液が適度な粘度を有することで、波長変換層7上にセラミック層8が明確に形成され、波長変換層7を封止するという機能もある。
なお、形成された波長変換部7の厚みが5μm未満である場合は波長変換効率が低下して十分な蛍光が得られず、波長変換層7の厚みが500μmを超える場合は膜強度が低下してクラック等が発生し易くなる。従って、波長変換層7の厚みは5μm以上500μm以下であることが好ましい。
次に、セラミック層8の上にシリコーン封止剤をディスペンサーにより所定量塗布する。これを加熱(硬化)することでシリコーン封止層11が形成される。
図3は、本発明の第2実施形態の発光装置の概略断面図である。図3に示すように、発光装置101は、平板状のLED基板1上にメタル部2を設け、メタル部2上に発光素子としてLED素子3を配置している。LED素子3は、メタル部2に対向する面に、突起電極4が設けられており、メタル部2とLED素子3とを突起電極4を介して接続している(フリップチップ型)。
また、LED素子3の上面には波長変換素子9が設けられている。波長変換素子9は、ガラス基板5と、ガラス基板5の上面に形成された波長変換部6とを有している。ガラス基板5の形状には特に限定はなく、平板状、レンズ状等を採用できる。なお、波長変換部6はガラス基板5の下面に形成してもよい。波長変換部6は、ガラス基板5上に形成された波長変換層7と、波長変換層7上に形成されたセラミック層8と、セラミック層8上に形成されたシリコーン封止層11とを有している。
発光装置101の製造方法としては、第1混合液をガラス基板5の片面に所定量塗布し、加熱して所定の膜厚の波長変換層7を形成する。次に、波長変換層7の上面に第2混合液を所定量塗布する。塗布された第2混合液の一部は蛍光体粒子や膨潤性粒子の隙間に浸透する。第2混合液が塗布されたガラス基板5を焼成することでセラミック層8が形成される。次に、セラミック層8の上面にシリコーン封止剤を所定量塗布する。シリコーン封止剤が塗布されたガラス基板5を加熱することでシリコーン封止層11が形成される。
なお、第1、第2混合液及びシリコーン封止剤の塗布方法は特に限定されるものではなく、バーコート法、スピンコート法、スプレーコート法等、従来公知の種々の方法を用いることができる。
そして、波長変換部6が形成されたガラス基板5を所定の大きさ(例えば2×2mm)に切断してLED素子3上に配置することにより、発光装置100を製造することができる。
なお、上記実施形態ではガラス基板5を使用しているが、ガラス基板に限らず、透光性の無機材料からなる基板であれば、例えば、単結晶サファイア等の結晶基板やセラミック基板を用いてもよい。
図4は、本発明の第3実施形態の発光装置の概略断面図である。図4に示すように、発光装置102は、断面凹状のLED基板1の底部にメタル部2が設けられ、メタル部2上にLED素子3が配置されるとともに、LED基板1の凹部に蓋をするように波長変換素子9が設けられている。波長変換素子9を含む他の部分の構成は第2実施形態と同様であるため説明を省略する。
本実施形態の発光装置102は、LED基板1の凹部にLED素子3を配置し、第2実施形態で用いた波長変換素子9をLED基板1の側壁の上端に凹部を覆うように接着して製造することができる。
本実施形態の発光装置102は、第2実施形態に比べて、LED素子3の側面から出射される光も効率良く蛍光に変換される。
なお、LED基板1の凹部の形状や大きさは発光装置102の仕様に応じて適宜設計することができる。例えば、凹部の側面をテーパ状としてもよい。また、凹部の内面を反射面とすることにより、発光装置102の発光効率を高める構成としてもよい。
その他、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。また、上記各実施形態では青色LEDと蛍光体とを併用することで白色発光する発光装置を例に挙げて説明したが、緑色LEDや赤色LEDと蛍光体とを併用する場合にも同様に適用できるのはもちろんである。さらに言えば、蛍光体は1種類だけでなく、紫外光を吸収して赤色、緑色、青色の光をそれぞれ放射する3種類の蛍光体や、青色光を吸収して赤色、緑色の光をそれぞれ放射する2種類の蛍光体を併用してもよい。また、第1混合液を塗布する前に、ガラス基板5又はLED素子3の表面に、上述したセラミック層8のような透光性のセラミック層を形成しておいてもよい。
以下、本発明の発光装置について実施例及び比較例により更に具体的に説明する。実施例1〜6は第1実施形態の発光装置100の例であり、比較例1、2は第1実施形態の発光装置100と同形状の発光装置の例である。なお、第2及び第3実施形態の実施例については省略しているが、実施例1〜6と同様の結果が得られた。
(蛍光体の調製例)
(蛍光体の調製例)
各実施例及び比較例で用いる蛍光体は、蛍光体原料として、Y2O37.41g、Gd2O34.01g、CeO20.63g、Al2O37.77gを十分に混合し、これにフラックスとしてフッ化アンモニウムを適量混合したものをアルミニウム製の坩堝に充填し、水素含有窒素ガスを流通させた還元雰囲気中において、1350〜1450℃の温度範囲で2〜5時間焼成して焼成品((Y0.72Gd0.24)3Al5O12:Ce0.04)を得た。
得られた焼成品を粉砕、洗浄、分離、乾燥して、体積平均粒径が1μm程度の黄色蛍光体粒子を得た。波長465nmの励起光における発光波長を測定したところ、おおよそ波長570nmにピーク波長を有していた。
以下の実施例及び比較例において示されるg数は液中の各成分の質量比であり、実際に調製する量とは異なる。
上記調製例により調製した蛍光体1gと、膨潤性粒子である合成雲母(MK-100、コープケミカル社製)0.05gと、無機粒子であるRX300(1次粒子の平均粒径が7nmのシリル化処理無水ケイ酸;日本アエロジル社製)0.05gと、溶媒であるプロピレングリコール1.5gとを混合して第1混合液を調製した。この第1混合液を塗布装置10を用いてスプレー圧0.2MPa、移動台20の移動速度100mm/sにてLED基板1の凹部及びLED素子3表面に噴霧し、50℃で1時間加熱して乾燥させることで、波長変換層7を作製した。次に、ポリシロキサン分散液(ポリシロキサン14重量%、イソプロピルアルコール86重量%)1gと、イソプロピルアルコール0.3gとを混合して第2混合液を調製した。この第2混合液を塗布装置10を用いて波長変換層7上に焼成後にクラックの発生しない最大膜厚となるよう噴霧し、150℃で1時間加熱して焼成させることで、波長変換層7の蛍光体を固着させるとともにセラミック層8を作製した。次に、フェニルシリコーン(KER−6000;信越化学工業株式会社製)をディスペンサーを用いてセラミック層8上に塗布し、150℃で1時間加熱して硬化させることでシリコーン封止層11を作製し、発光装置100を得た。なお、最大膜厚となるように噴霧するには、スプレー圧や移動台20の移動速度を適宜調整する。
上記調製例により調製した蛍光体1gと、膨潤性粒子であるスメクタイト(ルーセンタイトSWN、コープケミカル社製、以下SWNと略す)0.05gと、無機粒子であるRX300を0.05gと、溶媒であるプロピレングリコール1.5gとを混合して第1混合液を調製した。この第1混合液を用いて実施例1と同条件で波長変換層7を作製した。次に、ポリシロキサン分散液1gと、平均粒径20nmのTiO2スラリー分散液0.3gとを混合して第2混合液を調製した。この第2混合液を用いて実施例1と同条件でセラミック層8を作製した。次に、フェニルシリコーンを用いて実施例1と同条件でシリコーン封止層11を作製し、発光装置100を得た。
上記調製例により調製した蛍光体1gと、膨潤性粒子であるSWN0.05gと、無機粒子であるサイリシア470(1次粒子の平均粒径14μm、富士シリシア社製)0.05gと、溶媒であるプロピレングリコール1.5gとを混合して第1混合液を調製した。この第1混合液を用いて実施例1と同条件で波長変換層7を作製した。次に、ポリシロキサン分散液1gと、ジルコニアアルコキシド(テトラブトキシジルコニウム70重量%、1−ブタノール30重量%)0.2gと、平均粒径20nmのZrO2スラリー分散液0.3gとを混合して第2混合液を調製した。この第2混合液を用いて実施例1と同条件でセラミック層8を作製した。次に、フェニルシリコーンを用いて実施例1と同条件でシリコーン封止層11を作製し、発光装置100を得た。
上記調製例により調製した蛍光体1gと、膨潤性粒子であるSWN0.05gと、無機粒子であるサイリシア470を0.05gと、溶媒であるプロピレングリコール1.5gとを混合して第1混合液を調製した。この第1混合液を用いて実施例1と同条件で波長変換層7を作製した。次に、ポリシロキサン分散液1gと、チタンアルコキシド(テトラブチルチタネート90重量%、1-ブタノール10重量%)0.2gと、平均粒径20nmのZrO2スラリー分散液0.3gとを混合して第2混合液を調製した。この第2混合液を用いて実施例1と同条件でセラミック層8を作製した。次に、フェニルシリコーンを用いて実施例1と同条件でシリコーン封止層11を作製し、発光装置100を得た。
上記調製例により調製した蛍光体1gと、膨潤性粒子である合成雲母0.05gと、無機粒子であるRX300を0.05gと、溶媒であるプロピレングリコール1.5gとを混合して第1混合液を調製した。この第1混合液を用いて実施例1と同条件で波長変換層7を作製した。次に、ポリシロキサン分散液1gと、チタンキレート(チタンラクテート40重量%、2−プロパノール50重量%、水10重量%)0.2gと、平均粒径20nmのTiO2スラリー分散液0.3gとを混合して第2混合液を調製した。この第2混合液を用いて実施例1と同条件でセラミック層8を作製した。次に、フェニルシリコーンを用いて実施例1と同条件でシリコーン封止層11を作製し、発光装置100を得た。
上記調製例により調製した蛍光体1gと、膨潤性粒子であるSWN0.05gと、無機粒子であるサイリシア470を0.05gと、溶媒であるプロピレングリコール1.5gとを混合して第1混合液を調製した。この第1混合液を用いて実施例1と同条件で波長変換層7を作製した。次に、ポリシロキサン分散液1gと、ジルコニアキレート(ジルコニウムテトラアセチルアセトネート20重量%、1−ブタノール80重量%)0.2gと、平均粒径20nmのZrO2スラリー分散液0.3gとを混合して第2混合液を調製した。この第2混合液を用いて実施例1と同条件でセラミック層8を作製した。次に、フェニルシリコーンを用いて実施例1と同条件でシリコーン封止層11を作製し、発光装置100を得た。
フェニルシリコーン9gに上記調製例により調製した蛍光体1gを混合撹拌し、ディスペンサーを用いてLED基板1の凹部及びLED素子3表面に塗布し、150℃で1時間加熱して発光装置を得た。
上記調製例により調製した蛍光体1gと、膨潤性粒子である合成雲母0.05gと、無機粒子であるRX300を0.05gと、溶媒であるプロピレングリコール1.5gとを混合して第1混合液を調製した。この第1混合液を用いて実施例1と同条件で波長変換層を作製した。次に、ポリシロキサン分散液1gと、イソプロピルアルコール0.3gとを混合して第2混合液を調製した。この第2混合液を用いて実施例1と同条件でセラミック層8を作製し、発光装置100を得た。
(評価、検討)
(評価、検討)
各実施例及び比較例のサンプルについて、発光効率の評価、硫化耐性の評価及び色度の評価を行った。図5にその結果を示す。発光効率の評価は、分光放射輝度計(CS−2000、コニカミノルタセンシング社製)により発光装置の全光束を測定し、比較例1の全光束を基準として相対比較した。
硫化耐性の評価は、劣化試験前後での発光装置の全光束を測定し、劣化試験前の各発光装置の全光束を基準として劣化試験後の各発光装置の全光束を相対比較した。劣化試験は、発光装置と硫黄粉とを密閉容器に入れ、80℃で1日放置することで行った。
色度の評価は、色度の均一性を比較・評価したものであり、各発光装置の発光の色度を分光放射輝度計(CS−1000A、コニカミノルタセンシング社製)を用いて測定し、以下のように評価した。各実施例及び比較例のサンプルを各々5つ用意し、それぞれについて色度を測定し、色度の標準偏差を求めた。そして、色度の標準偏差の平均が0.01より大きく0.02以下であるものを色度のばらつきが実用上問題ない(照明のように色の均一性が求められる用途において十分使用可能な程度)として「○」、0.02より大きいものを実用不可であるとして「×」とした。
色度は、色空間をXYZ座標系で表したCIE−XYZ表色系で、ある点と原点を結ぶ直線が平面x+y+z=1と交わる点で定義される。色度は(x、y)座標で表し、x+y+z=1の関係から得られるz座標を省略すると、白色光の色度は(0.33,0.33)であり、色度がこの値に近いほど白色光に近くなる。x座標の値が小さくなると青色がかった白色になり、x座標の値が大きくなると黄色がかった白色になる。
実施例及び比較例の評価結果を検討したところ、比較例1は、上記の実施形態でいう波長変換層7及びセラミック層8を有さず、蛍光体を含んだシリコーン封止層が設けられているだけなので、蛍光体が沈降しており、色度のばらつきが大きい。また、光取り出し効率(発光効率)もあまり良いとは言えず、硫化耐性も低い。
比較例2は、上記の実施形態でいう波長変換層7及びセラミック層8を有しているので、蛍光体が一様に分散しており、色度のばらつきは実用上問題ない範囲である。しかし、シリコーン封止層11を有していないので、硫化耐性が低く、シリコーン封止層を有する比較例1よりも発光効率が悪い。
実施例1〜6は、波長変換層7及びセラミック層8を有しているので、蛍光体が一様に分散しており、色度のばらつきは実用上問題ない範囲である。さらに、シリコーン封止層11を有しているので、硫化耐性が高く、発光効率も良い。また、実施例1〜6は、様々な膨潤性粒子、無機粒子、透光性セラミック材料で実施可能であることを示している。
以上、上記実施形態及び実施例のような波長変換部6により、照明のように色の均一性が求められる用途において十分使用可能な程度に色むらの発生を低減するとともに、硫化防止性能及び光取り出し効率を向上させることができる。
1 LED基板
3 LED素子(発光素子)
5 ガラス基板(透光性基板)
6 波長変換部
7 波長変換層
8 セラミック層
9 波長変換素子
11 シリコーン封止層
40 第1混合液
100、101、102 発光装置
3 LED素子(発光素子)
5 ガラス基板(透光性基板)
6 波長変換部
7 波長変換層
8 セラミック層
9 波長変換素子
11 シリコーン封止層
40 第1混合液
100、101、102 発光装置
Claims (12)
- 蛍光体、膨潤性粒子、無機粒子、及び第1溶媒を含む第1混合液を発光素子上に塗布する工程と、
その上に、透光性セラミック材料及び第2溶媒を含む第2混合液を塗布して加熱する工程と、
さらにその上に、シリコーン封止剤を塗布して加熱する工程と、を有する発光装置の製造方法。 - 前記第2混合液が水及び/又は無機粒子を含むことを特徴とする請求項1記載の発光装置の製造方法。
- 前記無機粒子が金属酸化物であることを特徴とする請求項1又は2記載の発光装置の製造方法。
- 前記シリコーン封止剤がフェニルシリコーンであることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の発光装置の製造方法。
- 請求項1〜4の何れかに記載の発光装置の製造方法によって製造された発光装置。
- 蛍光体、膨潤性粒子、無機粒子、及び第1溶媒を含む第1混合液を透光性基板の少なくとも片面に塗布する工程と、
その上に、透光性セラミック材料及び第2溶媒を含む第2混合液を塗布して加熱する工程と、
さらにその上に、シリコーン封止剤を塗布して加熱する工程と、を有する波長変換素子の製造方法。 - 前記第2混合液が水及び/又は無機粒子を含むことを特徴とする請求項6記載の波長変換素子の製造方法。
- 前記無機粒子が金属酸化物であることを特徴とする請求項6又は7記載の波長変換素子の製造方法。
- 前記シリコーン封止剤がフェニルシリコーンであることを特徴とする請求項6〜8の何れかに記載の波長変換素子の製造方法。
- 請求項6〜9の何れかに記載の波長変換素子の製造方法によって製造された波長変換素子。
- 請求項6〜9の何れかに記載の波長変換素子の製造方法に、前記波長変換素子を発光素子の発光面側に設置する工程を加えた発光装置の製造方法。
- 請求項11に記載の発光装置の製造方法によって製造された発光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014500167A JPWO2013121903A1 (ja) | 2012-02-13 | 2013-02-04 | 波長変換素子及びその製造方法、発光装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012028496 | 2012-02-13 | ||
JP2012028496 | 2012-02-13 | ||
JP2014500167A JPWO2013121903A1 (ja) | 2012-02-13 | 2013-02-04 | 波長変換素子及びその製造方法、発光装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013121903A1 true JPWO2013121903A1 (ja) | 2015-05-11 |
Family
ID=48984017
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014500167A Pending JPWO2013121903A1 (ja) | 2012-02-13 | 2013-02-04 | 波長変換素子及びその製造方法、発光装置及びその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160013368A1 (ja) |
EP (1) | EP2816620A4 (ja) |
JP (1) | JPWO2013121903A1 (ja) |
WO (1) | WO2013121903A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6277931B2 (ja) * | 2014-10-01 | 2018-02-14 | 信越半導体株式会社 | 貼り合わせ不良部の検出方法及び検査システム |
JP6646934B2 (ja) * | 2015-02-10 | 2020-02-14 | アルパッド株式会社 | 半導体発光装置及び半導体発光装置の製造方法 |
CN105202507A (zh) * | 2015-10-23 | 2015-12-30 | 李峰 | 深水led照明密封结构 |
JP6966851B2 (ja) * | 2016-03-18 | 2021-11-17 | 日東電工株式会社 | 光学部材、ならびに、該光学部材を用いたバックライトユニットおよび液晶表示装置 |
US11094530B2 (en) | 2019-05-14 | 2021-08-17 | Applied Materials, Inc. | In-situ curing of color conversion layer |
US11239213B2 (en) | 2019-05-17 | 2022-02-01 | Applied Materials, Inc. | In-situ curing of color conversion layer in recess |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP4101468B2 (ja) | 2001-04-09 | 2008-06-18 | 豊田合成株式会社 | 発光装置の製造方法 |
JP4306224B2 (ja) * | 2002-10-31 | 2009-07-29 | パナソニック電工株式会社 | 発光装置の製造方法 |
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- 2013-02-04 EP EP13749248.4A patent/EP2816620A4/en not_active Withdrawn
- 2013-02-04 JP JP2014500167A patent/JPWO2013121903A1/ja active Pending
- 2013-02-04 WO PCT/JP2013/052433 patent/WO2013121903A1/ja active Application Filing
- 2013-02-04 US US14/377,649 patent/US20160013368A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2816620A1 (en) | 2014-12-24 |
WO2013121903A1 (ja) | 2013-08-22 |
EP2816620A4 (en) | 2015-08-19 |
US20160013368A1 (en) | 2016-01-14 |
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