JPWO2013115386A1 - 物品面上の突起ないし突条の高さを計測する方法及びそのための装置 - Google Patents
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Abstract
物品(1)の面に対して小さい角度をなす撮影光軸(OA)をなすように撮像装置(20)を設置し、照明光源(40)による照明光下で撮像装置(20)により物品(1)の面を撮影し、画像処理装置(30)により、撮影で得られた画像における突起ないし突条の高さに相当する寸法を計測し、撮像装置(20)での撮影倍率とから突起の高さを求める。また、物品(1)面に小さい角度をなしてレーザーを照射し、走査しつつ、物品(1)面上の突起ないし突条による散乱光の強度を測定し、強度分布におけるピークの幅から突起ないし突条の高さを求める。
Description
図3は画像の撮影により太陽光セル1面上に突出するフィンガー電極の高さを測定する装置の形態を示す概略図である。太陽光セル1は水平な載置台(図示せず)上に載置されており、太陽光セル面を撮影するカメラ20が太陽光セル1の面に対して撮影光軸が角度θをなすように所定位置に設置されている。カメラ20はCCD等の撮像素子により撮影するものであり、撮影レンズは焦点深度の浅いものを用いる。
図8は散乱光の検出により台部に載置された太陽光セル1の面上に突出するフィンガー電極の高さを測定する装置の形態を示す概略図である。50は太陽光セル1の面に対して上側に小さい角度θをなしてレーザービームを照射するレーザーであり、60はレーザービームが照射されたフィンガー電極での散乱光の強度を検出するフォトダイオード等による光検出部であり、70は光検出部60で検出された散乱光の強度データを演算処理して電極の高さを求める演算処理部である。さらに、図示されていないが、太陽光セル1を載置する台部と、レーザー50及び光検出部60とを相対的に(矢印方向に)移動させるための走査制御部が備えられる。
6 セル面(反射防止膜)
10 フィンガー電極
11 バスバー電極
20 カメラ
30 画像処理装置
40 照明光源
50 レーザー
60 光検出部
70 演算処理部
H ハイライト部
LB レーザービーム
SL 散乱光
S ピーク幅
h 高さ
Claims (10)
- 表面の反射率が低い物品面上に形成された反射率の高い微細な突起ないし突条の高さを計測する方法であって、載置された物品面に対して撮影光軸が1〜40°の範囲の角度をなし計測の対象となる突起ないし突条を撮影する位置に撮像装置を設置し、前記物品面上の突起ないし突条に対し物品面への法線に関して前記撮像装置側に照明光源を配置し、照明光下で前記撮像装置により前記物品面を撮影し、撮影により得られた前記物品面上の突起ないし突条の画像における突起の高さ方向に相当する寸法を計測し、計測により得られた突起ないし突条の高さ方向に相当する寸法と前記設置された撮像装置での撮影倍率とから突起ないし突条の高さを求めることを演算により行うことを特徴とする物品面上の突起ないし突条の高さを計測する方法。
- 前記突起ないし突条の画像における突起の高さ方向に相当する寸法を計測する際に、該画像上での突起ないし突条の高さ方向に相当する方向での輝度が所定値以上になる画素の数を計数し、それに基づいて突起ないし突条の高さ方向に相当する寸法を求めるものであることを特徴とする請求項1に記載の物品面上の突起ないし突条の高さを計測する方法。
- 前記撮像装置が、載置された物品面に対して撮影光軸が3〜10°の範囲の角度をなし計測の対象となる突起ないし突条を撮影する位置に設置されるものであることを特徴とする請求項1〜2のいずれかに記載の物品面上の突起ないし突条の高さを計測する方法。
- 表面の反射率が低い物品面上に形成された反射率の高い微細な突起ないし突条の高さを計測する方法であって、載置された物品面に対するレーザービームの照射角が1〜40°の範囲となるように設定されたレーザーを照射しつつレーザーと物品面とを相対的に移動させて走査を行い、前記突起ないし突条による散乱光の強度を光検出部により検出し、前記装置の過程で検出された散乱光の強度分布におけるピークの幅を求め、該ピークの幅から前記突起ないし突条の高さを求めることを特徴とする物品面上の突起ないし突条の高さを計測する方法。
- 前記物品面上の突起ないし突条が太陽光セル面上に突出するように配設された金属製電極であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の物品面上の突起ないし突条の高さを計測する方法。
- 表面の反射率が低い物品面上に形成された反射率の高い微細な突起ないし突条の高さの計測装置であって、載置された物品面上に形成された突起ないし突条を撮影する撮像装置と、該撮像装置での撮影により取得された画像について画像処理を行うための画像処理装置と、載置された物品面を照明する照明光源とを備え、前記撮像装置は前記物品面に対して撮影光軸が1〜40°の範囲の角度をなし計測の対象となる突起ないし突条を撮影する位置に設置され、前記照明光源は前記物品面上の突起ないし突条に対し物品面への法線に関して前記撮像装置側から前記物品面上の突起ないし突条を照明する位置に配置されており、前記画像処理装置は前記撮像装置での撮影により得られた前記物品面上の突起ないし突条の画像における突起ないし突条の高さ方向に相当する寸法を計測し、計測により得られた突起ないし突条の高さ方向に相当する寸法と前記設置された撮像装置での撮影倍率とから突起ないし突条の高さを求める演算を行うものであることを特徴とする物品面上の突起ないし突条の高さの計測装置。
- 前記画像処理装置において、前記画像上での突起ないし突条の高さ方向に相当する方向での輝度が所定値以上になる画素の数を計数し、計数された画素数に基づいて前記突起の画像における突起の高さ方向に相当する寸法を求めるものであることを特徴とする請求項6に記載の物品面上の突起ないし突条の高さの計測装置。
- 前記撮像装置が、載置された物品面に対して撮影光軸が3〜10°の範囲の角度をなし計測の対象となる突起を撮影する位置に設置されていることを特徴とする請求項6〜7のいずれかに記載の物品面上の突起ないし突条の高さの計測装置。
- 表面の反射率が低い物品面上に形成された反射率の高い微細な突起ないし突条の高さの計測装置であって、計測対象の物品を載置する台部と、該台上に載置された物品面に対し照射角が1〜40°の範囲となるようにレーザービームを照射するレーザーと、レーザービームが照射された時に物品面上の突起ないし突条による散乱光を受光し散乱光強度を検出する光検出部と、前記物品面上へのレーザーの照射時にレーザーと物品とを相対的に移動させる走査を制御するための走査制御部と、前記光検出部により取得された散乱光強度のデータを処理する演算処理装置と、を備え、前記演算処理装置は前記レーザーと物品とを相対的に移動させつつレーザービームを照射した時に前記光検出部により取得された散乱光の強度分布におけるピークの幅を求め、該ピークの幅から前記突起ないし突条の高さを求める演算を行うものであることを特徴とする物品面上の突起ないし突条の高さの計測装置。
- 前記物品面上の突起ないし突条が太陽光セル面上に突出するように配設された金属製電極であることを特徴とする請求項6〜9のいずれかに記載の物品面上の突起ないし突条の高さの計測装置。
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