JPWO2013072967A1 - 磁場計測装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)第1の空洞部に、アルカリ金属ガスを発生させる工程と、
(b)工程(a)の後に、第1の空洞部の内部の圧力により第1分離壁に発生する応力を破壊限界応力よりも高くすることで、第1分離壁の一部を破壊する工程と、を有することを特徴とする。
(a)第2の空洞部に、アルカリ金属ガスを発生させる工程と、
(b)工程(a)の後に、第1分離壁を破壊する工程とを有することを特徴とする。
図1は、本実施例1に係る磁場計測装置(ガスセル)の模式的上面図であり、図2はそのA−A’断面における模式的断面図である。図1、2において、分かり易さのため、空洞200の一部を200aと表記した。また、図1においては、分かり易さのため封止部材102を省略している(以下、模式的上面図において同じ)。空洞200aは特に、基板100の未加工部分の下部の領域、および空洞201の下部の領域を示している。
次に、図4を用いて、本実施例を行うためのガスセルの製造方法について説明する。図4(a)−(e)は、本実施例に係るガスセルの製造方法である。
図5、6において、空洞部201を複数設ける変形例について説明する。図5(a)、(b)は、本実施例に係るガスセルの模式的上面図である。図5(a)では変形例のうち、各空洞201の面積が異なる例を示す。図5(b)では変形例のうち、各空洞201を分離している分離壁400の壁厚が異なる例を示す。
図9は、ガスセルの模式的上面図であり、図10はそのA−A’断面における模式的断面図である。図9のガスセルでは、加工層110は加工部材100の1層構造からなる。
101 加工部材
102 封止部材
103 封止部材
104 マスク材料
105 マスク材料
110 加工層
200 空洞
201 空洞
300 アルカリ金属源
400 分離壁
500 光路長測定システム
501 光源
502 光検出器
600 半導体レーザ
601 コリメートレンズ
602 偏光子
603 波長板
604 集光レンズ
605 光検出器
606 光ファイバ
607 静磁場印加用コイル
608 RF磁場印加用コイル
Claims (15)
- 第1の封止部材と、
第2の封止部材と、
前記第1の封止部材および前記第2の封止部材によって封止される加工層と、を有し、
前記加工層は、
アルカリ金属ガスが封入される第1の空洞部と、
前記第1の空洞部に対し第1分離壁を介して設けられる第2の空洞部とを有することを特徴とする磁場計測装置。 - 請求項1において、
前記加工層は、第1加工部材と、第2加工部材が積層された構造からなり、
前記第2の空洞部は、前記第1加工部材の内部に設けられ、前記第1の封止部材によって封止され、
前記第1の空洞部は、前記第1加工部材の内部および前記第2加工部材の内部に設けられ、前記第1の封止部材および前記第2の封止部材によって封止されることを特徴とする磁場計測装置。 - 請求項1において、
前記第1の空洞部および前記第2の空洞部は、前記第1の封止部材および前記第2の封止部材によって封止されることを特徴とする磁場計測装置。 - 請求項1において、
前記加工層は、前記第1の空洞部に対し、第2分離壁を介して設けられる第3の空洞部をさらに有し、
第2分離壁は、所定の圧力が印加された際の応力が、前記第1分離壁とは異なることを特徴とする磁場計測装置。 - 請求項1において、
前記第2の空洞部は、真空封止されていることを特徴とする磁場計測装置。 - 請求項1において、
前記第1の封止部材および前記第2の封止部材は、前記アルカリ金属の吸収波長帯の光を透過する材料からなることを特徴とする磁場計測装置。 - 請求項6において、
前記アルカリ金属の吸収波長帯の光を透過する材料は、ガラスであることを特徴とする磁場計測装置。 - 請求項1において、
前記加工層は、非磁性材料からなることを特徴とする磁場計測装置。 - 請求項1において、
前記非磁性材料は、シリコンであることを特徴とする磁場計測装置。 - 第1の封止部材と、第2の封止部材と、前記第1の封止部材および前記第2の封止部材によって封止される加工層とを有し、前記加工層に、第1分離壁を介して設けられる第1の空洞部と第2の空洞部とを有する磁場計測装置の製造方法であって、
(a)前記第1の空洞部に、アルカリ金属ガスを発生させる工程と、
(b)前記工程(a)の後に、前記第1の空洞部の内部の圧力により前記第1分離壁に発生する応力を破壊限界応力よりも高くすることで、前記第1分離壁の一部を破壊する工程と、を有することを特徴とする磁場計測装置の製造方法。 - 請求項10において、
前記工程(a)において、前記アルカリ金属ガスとともに、非磁性ガスまたは希ガスからなる第2のガスを発生させ、
前記工程(b)において、前記第2のガスの圧力を上昇させることで、前記第1の空洞部の圧力により前記第1分離壁に発生する応力を破壊限界応力よりも高くすることを特徴とする磁場計測装置の製造方法。 - 第1の封止部材と、第2の封止部材と、前記第1の封止部材および前記第2の封止部材によって封止される加工層とを有し、前記加工層は、第1加工部材と第2加工部材が積層された構造からなり、前記第1加工部材の内部および前記第2加工部材の内部に第1の空洞部が設けられ、前記第1加工部材の内部に第1分離壁を介して第2の空洞部が設けられる磁場計測装置の製造方法であって、
(a)前記第2の空洞部に、アルカリ金属ガスを発生する工程と、
(b)前記工程(a)の後に、前記第1分離壁を破壊する工程とを有することを特徴とする磁場計測装置の製造方法。 - 請求項12において、
前記工程(b)において、レーザ光で前記第1分離壁を破壊することを特徴とする磁場計測装置の製造方法。 - 請求項12において、
前記工程(b)において、前記第1空洞部の内部の圧力により前記第1分離壁に発生する応力を破壊限界応力よりも高くすることで、前記第1分離壁を破壊することを特徴とする磁場計測装置の製造方法。 - 請求項12において、
前記工程(a)において、前記アルカリ金属ガスとともに、非磁性ガスまたは希ガスからなる第2のガスを発生させることを特徴とする磁場計測装置の製造方法。
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