JP5821439B2 - ガスセルの製造方法 - Google Patents
ガスセルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5821439B2 JP5821439B2 JP2011195974A JP2011195974A JP5821439B2 JP 5821439 B2 JP5821439 B2 JP 5821439B2 JP 2011195974 A JP2011195974 A JP 2011195974A JP 2011195974 A JP2011195974 A JP 2011195974A JP 5821439 B2 JP5821439 B2 JP 5821439B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cell
- gas
- gas cell
- alkali metal
- ampoule
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/032—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using magneto-optic devices, e.g. Faraday or Cotton-Mouton effect
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/20—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance
- G01R33/24—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance for measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/26—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables involving magnetic resonance for measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using optical pumping
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B2562/00—Details of sensors; Constructional details of sensor housings or probes; Accessories for sensors
- A61B2562/02—Details of sensors specially adapted for in-vivo measurements
- A61B2562/0223—Magnetic field sensors
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/24—Detecting, measuring or recording bioelectric or biomagnetic signals of the body or parts thereof
- A61B5/242—Detecting biomagnetic fields, e.g. magnetic fields produced by bioelectric currents
- A61B5/243—Detecting biomagnetic fields, e.g. magnetic fields produced by bioelectric currents specially adapted for magnetocardiographic [MCG] signals
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/24—Detecting, measuring or recording bioelectric or biomagnetic signals of the body or parts thereof
- A61B5/242—Detecting biomagnetic fields, e.g. magnetic fields produced by bioelectric currents
- A61B5/245—Detecting biomagnetic fields, e.g. magnetic fields produced by bioelectric currents specially adapted for magnetoencephalographic [MEG] signals
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/4998—Combined manufacture including applying or shaping of fluent material
- Y10T29/49982—Coating
Description
本発明は、ガスセルの特性の均一性を向上させる技術を提供する。
この製造方法によれば、組立後にコーティング層を形成する場合と比較して、ガスセル内壁のコーティング層の厚さの均一性を向上させることができる。
この製造方法によれば、複数のセルを有するセルアレイにおいて、ガスセル内壁のコーティング層の厚さの均一性を向上させることができる。
この製造方法によれば、複数のセルを有するセルアレイにおいて各セルに個別にアルカリ金属ガスを封入する場合と比較して、アルカリ金属ガスの濃度の均一性を向上させることができる。
この製造方法によれば、第3セルがセル群に対して2次元的に配置されたガスセルを製造することができる。
この製造方法によれば、第3セルがセル群に対して立体的に配置されたガスセルを製造することができる。
この製造方法によれば、コーティング工程で取り扱う板材の数が少なくてすむので、切断後にコーティング工程を行う場合と比較して、板材の取り扱いが簡便になる。
このガスセルによれば、複数のセルを有するセルアレイにおいて、ガスセルの特性の均一性を向上させることができる。
このガスセルの製造方法によれば、作業者の技能によらず、安定的にガスセルを製造することができる。
このガスセルによれば、作業者の技能によらず、安定的に製造することができる。
このガスセルによれば、第1アンプルが収容室に収容される場合でも、作業者の技能によらず、安定的に製造することができる。
このガスセルによれば、第1アンプルにバッファーガスが内包される場合でも、作業者の技能によらず、安定的に製造することができる。
このガスセルによれば、第1アンプルに希ガスが内包される場合でも、作業者の技能によらず、安定的に製造することができる。
このガスセルによれば、バッファーガスを閉空間に拡散させることができる。
このガスセルによれば、複数の主室を有するセルを、作業者の技能によらず、安定的に製造することができる。
このガスセルによれば、第1アンプルに光照射される場合でも、作業者の技能によらず、安定的に製造することができる。
このガスセルによれば、第2アンプルが収容室に収容される場合でも、作業者の技能によらず、安定的に製造することができる。
このガスセルによれば、第1アンプルに収容されるアルカリ金属が固体または液体であっても、作業者の技能によらず、安定的に製造することができる。
このガスセルの製造方法によれば、作業者の技能によらず、安定的にガスセルを製造することができる。
このガスセルの製造方法によれば、光照射を用いて、安定的にガスセルを製造することができる。
このガスセルの製造方法によれば、パルスレーザーを用いて、安定的にガスセルを製造することができる。
このガスセルの製造方法によれば、光照射を用いた貫通孔形成により破壊する場合と比較して、脱ガスが少なくなる。
このガスセルの製造方法によれば、パルスレーザーを用いて、安定的にガスセルを製造することができる。
このガスセルの製造方法によれば、応力集中部を設けない場合と比較して、安定的にガスセルを製造することができる。
このガスセルの製造方法によれば、加速度を力学的に与える工程を用いて、安定的にガスセルを製造することができる。
このガスセルの製造方法によれば、熱を与える工程を用いて、安定的にガスセルを製造することができる。
図1は、一実施形態に係る磁気測定装置1の構成を表すブロック図である。磁気測定装置1は、心臓から発生する磁場(心磁)または脳から発生する磁場(脳磁)等、生体から発生する磁場を、生体の状態の指標として測定する生体状態測定装置である。磁気測定装置1は、ガスセルアレイ10と、ポンプ光照射ユニット20と、プローブ光照射ユニット30と、検出ユニット40とを有する。ガスセルアレイ10は、複数のガスセルを有する。ガスセル内には、アルカリ金属ガス(例えば、セシウム(Cs))が封入されている。ポンプ光照射ユニット20は、アルカリ金属原子と相互作用するポンプ光(例えば、セシウムのD1線に相当する波長894nmの光)を出力する。ポンプ光は円偏光成分を有する。ポンプ光が照射されると、アルカリ金属原子の最外殻電子が励起され、スピン偏極が生じる。スピン偏極したアルカリ金属原子は、被測定物が生じる磁場Bによって歳差運動をする。一つのアルカリ金属原子のスピン偏極は、時間の経過とともに緩和するが、ポンプ光がCW(Continuous Wave)光であるので、スピン偏極の形成と緩和は、同時平行的
かつ連続的に繰り返される。その結果、原子の集団全体としてみれば、定常的なスピン偏極が形成される。
図5は、ガスセルアレイ10の製造工程を示すフローチャートである。ステップS100(コーティング工程)において、ガスセルを形成するための板材にコーティング層が形成される。コーティング層には、例えばパラフィンが用いられる。コーティング層は、ドライプロセスまたはウェットプロセスにより塗布される。コーティング層は、板材の表裏両面に塗布される。
ステップS110(切断工程)において、コーティング層が形成された板材が切断される。
ステップS130(アンプル収納工程)において、ガスセルアレイ10内のダミーセル130にアンプルが収納される。アンプルは、開放されている面から収納される。
ステップS160(気化工程)において、アンプル200内のアルカリ金属固体が気化される。具体的には、ガスセルアレイ10を加熱することによりアルカリ金属固体を加熱し、気化させる。
ステップS170(拡散工程)において、アルカリ金属ガスが拡散される。具体的には、ある温度(室温より高い温度が望ましい)で一定時間保持することにより、アルカリ金属ガスが拡散される。
本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、種々の変形実施が可能である。以下、変形例をいくつか説明する。以下の変形例のうち2つ以上のものが組み合わせて用いられてもよい。
図10は、変形例1に係るガスセルアレイ15の外観図である。ガスセルアレイの形状は、実施形態で説明したものに限定されない。ガスセルアレイ15は、ダミーセル130に代わりダミーセル160を有している。ダミーセル160は、ガスセル群との位置関係が、ガスセルアレイ10のダミーセル130とは異なっている。なお、ダミーセルとは、磁場の測定に寄与しないセルであって、アンプルを収納するためのセルをいう。ガスセルアレイ10は、ガスセル110(第1セルの一例)、ガスセル120(第2セルの一例)、ガスセル140(第4セルの一例)、ガスセル150(第5セルの一例)、およびダミーセル130(第3セルの一例)を有している。ガスセル110、ガスセル120、ガスセル140、およびガスセル150を含むセル群は、xy平面上に2次元配置(マトリクス状に配置)される。このセル群に対して、ダミーセル130は、セル群と同じxy平面上に位置する。これに対して、ガスセルアレイ15において、ダミーセル160(第3セルの別の例)は、セル群の上(z軸正方向、すなわち、セル群が属する平面に垂直な方向)に積まれている。ガスセルアレイ15によれば、ガスセルアレイ10と比較して、xy平面上のサイズを小さくすることができる。また、xy平面に平行な成分を有する光を入射させた場合、ダミーセルを通過させないぶん、光のxy平面に平行な成分の減衰量が、ガスセルアレイ10と比較して少なくなる。
図12は、変形例2に係る貫通孔の配置を示す模式図である。図12は、図4と同様の断面を示している。実施形態では、2行2列に配置されたガスセルをガスセルアレイ10が有する例を説明したが、ガスセルの数はこれに限定されない。図12は、3行3列に配置されたガスセルを有するガスセルアレイを示している。ガスセルアレイ10のように、ガスセル群と同じ面においてガスセル群の周辺にダミーセルを配置する構成において、ガスセルの数が3行3列以上になると、ダミーセルと隣接しないガスセルが存在する。図12の例では、3行3列のガスセルのうち中央のガスセルは、ダミーセルと隣接しない。この場合、中央のガスセルは、隣接する別のガスセルと結ぶ貫通孔を有している。拡散工程においては、この貫通孔および隣接する別のガスセルを介してアルカリ金属ガスが拡散する。
図13は、変形例3に係る貫通孔の配置を示す模式図である。図13は、3行3列のガスセルを有するガスセルアレイにおいて、変形例1と同様に、ダミーセルがz方向に積層された例を示している。図13は、図10と同様の断面を示している。この例では、3行3列のガスセルのうち中央のガスセル以外のガスセルは、ダミーセルと隣接しない。この場合、中央のガスセル以外のガスセルは、中央のガスセルと結ぶ貫通孔を有している。拡散工程においては、この貫通孔および中央のガスセルを介してアルカリ金属ガスが拡散する。
アンプル破壊工程の具体的内容は、実施形態で説明したものに限定されない。アンプル200は、熱膨張係数が異なる2つの材料が張り合わされた部分を有してもよい。この場合、アンプル破壊工程においては、レーザー光照射に代わり、アンプル200(が収納されたガスセルアレイ全体)が加熱される。加熱の際は、熱膨張係数の違いによりアンプル200が破壊する程度の熱が加えられる。
ガスセルアレイの製造方法は、図5で例示したものに限定されない。図5に示した工程に別の工程が加えられてもよい。または、工程の順番が入れ替えられてもよいし、工程のうち一部が省略されてもよい。例えば、コーティング工程と切断工程の順番が入れ替えられてもよい。この場合、板材はまず切断され、切断後に、コーティング層が形成される。別の例で、コーティング層の形成後に、その一部を剥離する工程が導入されてもよい。この場合、板材のうち、他の板材との接合部分のコーティング層が剥離される。または、板材のうち外部に露出している面のコーティング層が剥離されてもよい。
ダミーセルの形状は実施形態で説明したものに限定されない。ダミーセルは、アンプルの破片を保持するための凹部を有してもよい。凹部は、磁場の測定への影響を最小化するため、例えばコーナー部分に設けられる。凹部は、組立前に板材に形成されていてもよいし、穴の開いた板材に凹部となる部分を接合することにより形成されてもよい。また、移動(持ち運び)の際にアンプルの破片が動かないように、粘着性の物質が凹部に溜められていてもよい。
ガスセルの形状は実施形態で説明したものに限定されない。実施形態では、ガスセルの形状が立方体である例を説明したが、ガスセルの形状は、立方体以外の多面体、または、円柱等、一部に曲面を有するものであってもよい。例えば、ガスセルは、アルカリ金属原子が凝固する温度以下に温度が低下したときにアルカリ金属固体を溜めるためのリザーバー(金属溜まり)を有していてもよい。なお、アルカリ金属は、少なくとも測定時にガス化していればよく、常にガス状態である必要はない。
図14は、変形例8に係るガスセルアレイの製造工程を示すフローチャートである。この例で、ガスセルの内壁はコーティング層を有していない。したがって、図14のフローは、図5のフローからコーティング工程を省略したものになっている。この場合でも、1つずつ閉じたセル(他のセルと連結されてないセル)にアルカリ金属固体を収納する例と比較して、セル内のアルカリ金属ガスの濃度をより均一にすることができる。すなわち、複数のガスセルの特性の均一性をより向上させることができる。また、ガスセルアレイは、2枚の平板(上面と下面)で複数の隔壁を挟んだ構造を有している。2枚の平板を用いることで、個別の板材を用いてアレイ状ではない単体のガスセルを製造するよりも、形状の均一性を向上させることができる。
図15は、変形例9に係るガスセルアレイの製造工程を示すフローチャートである。この例で、ガスセルアレイは、ダミーセルを有さない。ガスセルアレイの一部は、ガラス管を通じてリザーバーに接続される。リザーバーには、アルカリ金属化合物の固体が入れられる。ステップS210(気化工程)において、リザーバーは加熱される。リザーバーの加熱によってアルカリ金属化合物が分解され、アルカリ金属ガスが発生する。ステップS220(拡散工程)において、アルカリ金属ガスは、ガラス管を介してガスセルに拡散する。ガスセルに達したアルカリ金属ガスは、貫通孔を介して各セルに拡散する。十分な時間が経過した後、ガラス管を加熱して切断し、ガスセルを封止する。この場合でも、1つずつ閉じたセル(他のセルと連結されてないセル)にアルカリ金属ガスを封入する例と比較して、セル内のアルカリ金属ガスの濃度をより均一にすることができる。すなわち、複数のガスセルの特性の均一性をより向上させることができる。また、ガスセルアレイは、2枚の平板(上面と下面)で複数の隔壁を挟んだ構造を有している。2枚の平板を用いることで、個別の板材を用いてアレイ状ではない単体のガスセルを製造するよりも、形状の均一性を向上させることができる。なお、図15のフローにおいて、コーティング工程が省略されてもよい。また、このガスセルアレイは、ダミーセルを有していてもよい。
図16は、変形例10に係るガスセルの製造方法を示すフローチャートである。ステップS300(接合工程)において、パッケージとリッドが接合される。パッケージおよびリッドは、ホウケイ酸ガラスや石英ガラスなど、アルカリ金属に耐性を有する材料で形成される。
図20は、変形例11に係るガスセルアレイ70の断面図である。図20は、xz平面における断面を示している。変形例10では単一のセルが製造される例を説明したが、変形例10の方法で、複数のセルを有するセルアレイが形成されてもよい。ガスセルアレイ70は、パッケージ71と、リッド72とを有する。パッケージ71は、複数の主室711と、狭窄孔712と、アンプル収容室713とを有する。隣り合う2つの主室711は、狭窄孔712により接続されている。アンプル収容室713とその隣の主室711とは、狭窄孔712により接続されている。なお、図20では1つのアンプル収容室713のみが設けられる例を示したが、アンプル収容室713は複数設けられてもよい。パッケージおよびリッドの形状が異なる以外は、製造方法は変形例10と共通である。
図21は、変形例12に係るガスセルの断面図である。図21は、xy平面における断面を示している。変形例12のガスセルは、変形例10のガスセルと異なり、アンプル収納室を有していない。このガスセルは、主室51を有する。アンプル200は、主室51に収容されている。パッケージおよびリッドの形状が異なる以外は、製造方法は変形例10と共通である。
図22は、変形例13におけるガスセルの断面図である。このガスセルは、主室51、狭窄孔52、およびアンプル収容室53を有する。アンプル収容室53には、アンプル200およびアンプル250が収容されている。アンプル250は、コーティング材が封入されたアンプルである。この例では、コーティング工程において、アンプル250が破壊される。アンプル250の破壊は、アンプル200の場合と同様に行われる。これ以外の点は、変形例10と同様である。
アンプルの破壊はレーザー光の照射によるものに限定されない。力学的な衝撃や振動を与えることにより、アンプル200をアンプル収容室53の内壁に衝突させ、アンプルを破壊してもよい。別の例で、アンプル200に熱応力を発生させる熱を与え、この熱応力によりアンプル200を破壊してもよい。
図23は、変形例15に係るガスセルの断面図である。図23は、xz平面における断面を示している。このガスセルは、主室51およびアルカリ金属収容室54を有する。変形例15では、アンプル200は用いられない。アルカリ金属収容室54は、パッケージ50に設けられた空間(室)である。この空間は、ガスセルの製造時点においては閉じられている。アルカリ金属収容室54には、アルカリ金属固体が置かれている。
レーザー光の照射による貫通孔形成の代わりに、光照射により熱応力を発生させ、この熱応力でアンプル200を割断する工程が用いられてもよい。この方法によれば、光照射により貫通孔を形成する場合と比較して、脱ガス(工程中にガラス等から放出されるガス)が減少し、センサーの特性が向上する場合がある。この場合において、ナノ秒以下のパルス幅を有するレーザーが用いられてもよい。さらに、アンプル200の割断を容易にするため、アンプル200に応力集中部(例えば、傷)を形成してもよい。
Claims (6)
- 板材の面にコーティング層を形成するコーティング工程と、
前記コーティング層が形成された複数の前記板材を、前記コーティング層が形成された面で囲まれたセルを形成するように組み立てる組立工程と、
前記形成されたセル内にアルカリ金属原子を充填する充填工程と
を有するガスセルの製造方法。 - 前記板材は、第1面と、前記第1面の裏に第2面を有し、
前記コーティング工程において、前記板材の前記第1面および前記第2面に前記コーティング層が形成され、
前記組立工程において、前記第1面を含む複数の面で囲まれた第1セルおよび前記第2面を含む複数の面で囲まれた第2セルを含む複数の前記セルが形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の製造方法。 - 前記複数のセルは、内部にアルカリ金属固体が置かれた第3セルを有し、
前記第1セルおよび前記第2セルと前記第3セルとの間の前記板材には貫通孔が設けられており、
前記充填工程は、前記第3セル内の前記アルカリ金属固体を気化してアルカリ金属ガスを発生させる気化工程と、発生した前記アルカリ金属ガスを前記貫通孔を介して前記第3セルから前記第1セルおよび前記第2セルに拡散させる拡散工程とを含む
ことを特徴とする請求項2に記載の製造方法。 - 前記複数のセルは、第4セルおよび第5セルを有し、
前記第1セル、前記第2セル、前記第4セル、および前記第5セルを含むセル群は、平面上に2次元配置され、
前記第3セルは、前記平面上に位置する
ことを特徴とする請求項3に記載の製造方法。 - 前記複数のセルは、第4セルおよび第5セルを有し、
前記第1セル、前記第2セル、前記第4セル、および前記第5セルを含むセル群は、平面上に2次元配置され、
前記第3セルは、前記セル群に対して前記平面に垂直な方向に積まれている
ことを特徴とする請求項3に記載の製造方法。 - 前記コーティング層が形成された前記板材を複数に切断する切断工程を有し、
前記組立工程において、前記切断工程により得られた複数の板材が組み立てられる
ことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011195974A JP5821439B2 (ja) | 2011-02-16 | 2011-09-08 | ガスセルの製造方法 |
CN201410439248.8A CN104188626B (zh) | 2011-02-16 | 2012-02-13 | 气室的制造方法及气室、磁测定装置的制造方法及磁测定装置 |
CN201210031156.7A CN102641118B (zh) | 2011-02-16 | 2012-02-13 | 气室的制造方法及气室 |
US13/396,984 US9151808B2 (en) | 2011-02-16 | 2012-02-15 | Production method of gas cell, and gas cell |
US14/846,494 US9684041B2 (en) | 2011-02-16 | 2015-09-04 | Production method of gas cell, and gas cell |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011031256 | 2011-02-16 | ||
JP2011031256 | 2011-02-16 | ||
JP2011195974A JP5821439B2 (ja) | 2011-02-16 | 2011-09-08 | ガスセルの製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015158190A Division JP2015222272A (ja) | 2011-02-16 | 2015-08-10 | ガスセルの製造方法、ガスセル、磁気測定装置の製造方法、および磁気測定装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012183290A JP2012183290A (ja) | 2012-09-27 |
JP2012183290A5 JP2012183290A5 (ja) | 2014-10-09 |
JP5821439B2 true JP5821439B2 (ja) | 2015-11-24 |
Family
ID=46636398
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011195974A Active JP5821439B2 (ja) | 2011-02-16 | 2011-09-08 | ガスセルの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9151808B2 (ja) |
JP (1) | JP5821439B2 (ja) |
CN (2) | CN104188626B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015222272A (ja) * | 2011-02-16 | 2015-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセルの製造方法、ガスセル、磁気測定装置の製造方法、および磁気測定装置 |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6134092B2 (ja) * | 2011-10-18 | 2017-05-24 | セイコーエプソン株式会社 | 磁場計測装置 |
JP5816697B2 (ja) * | 2011-11-18 | 2015-11-18 | 株式会社日立製作所 | 磁場計測装置およびその製造方法 |
JP5961998B2 (ja) * | 2011-12-15 | 2016-08-03 | 株式会社リコー | 原子発振器の製造方法 |
FR2996962B1 (fr) * | 2012-10-12 | 2016-01-01 | Centre Nat Rech Scient | Cellule a vapeur alcaline notamment pour horloge atomique et procede de fabrication. |
JP6160065B2 (ja) * | 2012-11-22 | 2017-07-12 | 株式会社リコー | アルカリ金属セル、原子発振器及びアルカリ金属セルの製造方法 |
JP6135308B2 (ja) | 2012-11-21 | 2017-05-31 | 株式会社リコー | アルカリ金属セル、原子発振器及びアルカリ金属セルの製造方法 |
WO2014132651A1 (ja) * | 2013-02-28 | 2014-09-04 | 国立大学法人京都大学 | アルカリ金属セルの製造方法、アルカリ金属の製造方法、およびアルカリ金属ガス含有セル |
US9169974B2 (en) * | 2013-07-23 | 2015-10-27 | Texas Instruments Incorporated | Multiple-cavity vapor cell structure for micro-fabricated atomic clocks, magnetometers, and other devices |
JP6171748B2 (ja) * | 2013-09-05 | 2017-08-02 | セイコーエプソン株式会社 | 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
JP6217261B2 (ja) * | 2013-09-09 | 2017-10-25 | セイコーエプソン株式会社 | 原子セルの製造方法 |
JP6375637B2 (ja) * | 2014-02-14 | 2018-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
JP6435617B2 (ja) * | 2014-03-20 | 2018-12-12 | セイコーエプソン株式会社 | 原子セル、量子干渉装置、原子発振器および電子機器 |
JP2016008836A (ja) * | 2014-06-23 | 2016-01-18 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセル |
JP6488572B2 (ja) * | 2014-07-02 | 2019-03-27 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセル、ガスセルの封止方法及びガスセルの製造方法 |
JP2016029362A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-03-03 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセルおよび磁気測定装置 |
JP2016070900A (ja) | 2014-10-02 | 2016-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 磁気計測装置の製造方法、ガスセルの製造方法、磁気計測装置、およびガスセル |
JP6572528B2 (ja) * | 2014-10-14 | 2019-09-11 | セイコーエプソン株式会社 | 原子セルの製造方法 |
JP2016080613A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 磁気計測装置、ガスセル、磁気計測装置の製造方法、およびガスセルの製造方法 |
JP6511782B2 (ja) * | 2014-11-17 | 2019-05-15 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器、およびガスセル |
US10145909B2 (en) | 2014-11-17 | 2018-12-04 | Seiko Epson Corporation | Magnetism measuring device, gas cell, manufacturing method of magnetism measuring device, and manufacturing method of gas cell |
JP6503697B2 (ja) * | 2014-11-17 | 2019-04-24 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセルの製造方法、および原子発振器 |
JP2016207695A (ja) * | 2015-04-15 | 2016-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | 原子セル、原子セルの製造方法、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
JP2016205984A (ja) | 2015-04-22 | 2016-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | 磁気計測装置、磁気計測装置の製造方法、ガスセル、およびガスセルの製造方法 |
US10447286B2 (en) * | 2015-07-30 | 2019-10-15 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Vapor cell comprising electro-optic function for chip-scale atomic clock, and method for manufacturing sealed container for chip-scale instrument |
JP2017125689A (ja) * | 2016-01-12 | 2017-07-20 | セイコーエプソン株式会社 | 磁気計測装置、ガスセル、磁気計測装置の製造方法、およびガスセルの製造方法 |
US10396809B2 (en) | 2016-02-19 | 2019-08-27 | Seiko Epson Corporation | Atomic cell, atomic cell manufacturing method, quantum interference device, atomic oscillator, electronic apparatus, and vehicle |
JP2017147402A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | セイコーエプソン株式会社 | 原子セルおよびその製造方法、量子干渉装置、原子発振器、電子機器、ならびに移動体 |
EP3244269B1 (en) * | 2016-05-11 | 2021-12-15 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement | Alkali vapor cell |
JP2018004430A (ja) | 2016-07-01 | 2018-01-11 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセルの製造方法、磁気計測装置の製造方法、およびガスセル |
JP2018036127A (ja) | 2016-08-31 | 2018-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセル、磁気計測装置、ガスセルの製造方法、および磁気計測装置の製造方法 |
JP2017208559A (ja) * | 2017-07-05 | 2017-11-24 | セイコーエプソン株式会社 | 原子セル、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体 |
JP6447678B2 (ja) * | 2017-07-26 | 2019-01-09 | セイコーエプソン株式会社 | 原子セルの製造方法、原子セル、量子干渉装置、原子発振器および電子機器 |
US10364144B2 (en) * | 2017-11-17 | 2019-07-30 | Texas Instruments Incorporated | Hermetically sealed package for mm-wave molecular spectroscopy cell |
JP2019193238A (ja) | 2018-04-27 | 2019-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器および周波数信号生成システム |
GB2585647A (en) * | 2019-07-08 | 2021-01-20 | Univ Strathclyde | Vapour cell |
US10605840B1 (en) * | 2019-10-21 | 2020-03-31 | Quantum Valley Ideas Laboratories | Vapor cells having reduced scattering cross-sections and their methods of manufacture |
WO2021091867A1 (en) * | 2019-11-08 | 2021-05-14 | Hi Llc | Methods and systems for homogenous optically-pumped vapor cell array assembly from discrete vapor cells |
US11112298B2 (en) * | 2019-11-27 | 2021-09-07 | Quantum Valley Ideas Laboratories | Vapor cells for imaging of electromagnetic fields |
CN113715607B (zh) * | 2021-07-23 | 2023-07-04 | 东风汽车集团股份有限公司 | 一种除气室总成及具有其的车辆 |
EP4160239A1 (en) * | 2021-10-01 | 2023-04-05 | Fundació Institut de Ciències Fotòniques | A cell for an optically-pumped atomic magnetic gradiometer, an optically-pumped atomic magnetic gradiometer, and a system comprising the gradiometer and a microscopy system |
CN114260292A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-04-01 | 英联金属科技(扬州)有限公司 | 易开盖生产线废铝回收装置 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2960197A (en) * | 1958-10-07 | 1960-11-15 | Engelhard Ind Inc | Sandwich structure |
US3281709A (en) * | 1963-02-05 | 1966-10-25 | Varian Associates | Apparatus for optical alignment and detection of atomic energy states |
US3860311A (en) | 1973-07-23 | 1975-01-14 | Us Navy | Apparatus for producing magnetic resonance cells |
US4094717A (en) * | 1975-06-03 | 1978-06-13 | Aai Corporation | Method of assembly of an insulating panel arrangement |
US5500302A (en) * | 1989-04-26 | 1996-03-19 | Flex Products, Inc. | Barrier film and method |
US5192921A (en) * | 1991-12-31 | 1993-03-09 | Westinghouse Electric Corp. | Miniaturized atomic frequency standard |
JPH08236025A (ja) | 1995-02-28 | 1996-09-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | ガス充填方法、ガス充填構造およびガス放電表示パネルの製造方法 |
JPH11238469A (ja) | 1998-02-24 | 1999-08-31 | Dainippon Printing Co Ltd | プラズマディスプレイパネル、その製造方法、およびガスカプセル |
US6806784B2 (en) * | 2001-07-09 | 2004-10-19 | The National Institute Of Standards And Technology | Miniature frequency standard based on all-optical excitation and a micro-machined containment vessel |
US7400207B2 (en) * | 2004-01-06 | 2008-07-15 | Sarnoff Corporation | Anodically bonded cell, method for making same and systems incorporating same |
US7292111B2 (en) * | 2004-04-26 | 2007-11-06 | Northrop Grumman Corporation | Middle layer of die structure that comprises a cavity that holds an alkali metal |
WO2006069115A1 (en) * | 2004-12-20 | 2006-06-29 | Northrop Grumman Corporation | Micro-cell for nmr gyroscope |
US7666485B2 (en) | 2005-06-06 | 2010-02-23 | Cornell University | Alkali metal-wax micropackets for alkali metal handling |
CN1929184B (zh) * | 2005-09-05 | 2010-05-12 | 深圳市比克电池有限公司 | 锂离子电池制造方法 |
JP5005256B2 (ja) | 2005-11-28 | 2012-08-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 磁場計測システム及び光ポンピング磁束計 |
US7928359B2 (en) * | 2006-09-20 | 2011-04-19 | University Of New Hampshire | Thermal management technology for polarizing Xenon |
CN101242007A (zh) * | 2007-02-06 | 2008-08-13 | 深圳市比克电池有限公司 | 一种锂离子电池制造方法 |
DE502007005808D1 (de) | 2007-08-01 | 2011-01-05 | Osram Gmbh | Herstellungsverfahren für entladungslampen |
JP2009140984A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Epson Toyocom Corp | 原子発振器 |
JP5178187B2 (ja) | 2007-12-28 | 2013-04-10 | キヤノン株式会社 | 原子磁気センサ、及び磁気センシング方法 |
JP2009212416A (ja) * | 2008-03-06 | 2009-09-17 | Epson Toyocom Corp | ガスセルの製造方法及びガスセル |
JP2009236599A (ja) | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Canon Inc | 光ポンピング磁力計 |
JP2009283526A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Epson Toyocom Corp | ガスセルの製造方法及びガスセル |
JP5375279B2 (ja) * | 2008-06-18 | 2013-12-25 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器 |
JP5707021B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2015-04-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 磁場計測装置 |
CN101439843B (zh) * | 2008-10-10 | 2011-08-31 | 北京大学 | 一种微型原子气室封装工艺方法 |
JP2010205875A (ja) * | 2009-03-03 | 2010-09-16 | Seiko Epson Corp | ガスセル |
JP5504851B2 (ja) | 2009-12-01 | 2014-05-28 | セイコーエプソン株式会社 | 原子発振器及び製造方法 |
US8299860B2 (en) * | 2010-02-04 | 2012-10-30 | Honeywell International Inc. | Fabrication techniques to enhance pressure uniformity in anodically bonded vapor cells |
-
2011
- 2011-09-08 JP JP2011195974A patent/JP5821439B2/ja active Active
-
2012
- 2012-02-13 CN CN201410439248.8A patent/CN104188626B/zh active Active
- 2012-02-13 CN CN201210031156.7A patent/CN102641118B/zh active Active
- 2012-02-15 US US13/396,984 patent/US9151808B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-09-04 US US14/846,494 patent/US9684041B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015222272A (ja) * | 2011-02-16 | 2015-12-10 | セイコーエプソン株式会社 | ガスセルの製造方法、ガスセル、磁気測定装置の製造方法、および磁気測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104188626A (zh) | 2014-12-10 |
CN102641118A (zh) | 2012-08-22 |
US9151808B2 (en) | 2015-10-06 |
JP2012183290A (ja) | 2012-09-27 |
CN104188626B (zh) | 2017-04-12 |
US9684041B2 (en) | 2017-06-20 |
US20150377984A1 (en) | 2015-12-31 |
CN102641118B (zh) | 2014-12-31 |
US20120206135A1 (en) | 2012-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5821439B2 (ja) | ガスセルの製造方法 | |
JP5994293B2 (ja) | 磁気測定装置、ガスセル、及びガスセルの製造方法 | |
JP5994408B2 (ja) | パッケージの封止方法およびガスセルの製造方法 | |
CN107024667A (zh) | 磁力测量装置及其制造方法以及气室及其制造方法 | |
US10234517B2 (en) | Magnetism measuring device, manufacturing method of magnetism measuring device, gas cell, and manufacturing method of gas cell | |
EP2154585B1 (en) | Physics package design for a cold atom primary frequency standard | |
US10145909B2 (en) | Magnetism measuring device, gas cell, manufacturing method of magnetism measuring device, and manufacturing method of gas cell | |
US9285249B2 (en) | Atomic sensor physics package with metal frame | |
US8665443B2 (en) | Atomic sensor physics package with integrated transmissive and reflective portions along light paths | |
JP6519627B2 (ja) | ガスセル | |
JP2018132348A (ja) | ガスセル、磁気計測装置、および原子発振器 | |
JP5786546B2 (ja) | ガスセルの製造方法及び磁気測定装置 | |
JP2016080613A (ja) | 磁気計測装置、ガスセル、磁気計測装置の製造方法、およびガスセルの製造方法 | |
WO2016016977A1 (ja) | ガスセルおよびその製造方法並びに物理量計測装置 | |
JP5954368B2 (ja) | ガスセル及び磁気測定装置 | |
JP6464593B2 (ja) | ガスセルの製造方法 | |
JP6164340B2 (ja) | ガスセル及び磁気測定装置 | |
US11002808B2 (en) | Gas cell, magnetometric device, method of manufacturing gas cell, and method of manufacturing magnetometric device | |
JP2018137265A (ja) | 電子デバイス | |
JP2017227584A (ja) | ガスセルの製造方法および磁気計測装置の製造方法 | |
JP6511782B2 (ja) | 原子発振器、およびガスセル | |
JP2018163910A (ja) | ガスセルの製造方法、ガスセル、磁気計測装置、および原子発振器 | |
JP2018054404A (ja) | ガスセル、磁場計測装置、およびガスセルの製造方法 | |
JP2017125690A (ja) | 磁気計測装置の製造方法およびガスセルの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140820 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140820 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150609 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150810 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150908 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150921 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5821439 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |